JPH0889729A - エアフィルタ用ろ材 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 環境中に含まれる不純物質、汚染物質等の微
粒子や腐食性の有害ガスを除去するための、イオン交換
繊維シートとエレクトレット化合成繊維シートとを積層
したエアフィルタにおいて、ろ材の圧密化現象を起こさ
ず、かつエレクトレット化合成繊維シートの性能低下を
起こさないよう改良されたエアフィルタ用ろ材及びそれ
を用いたエアフィルタを提供する。 【構成】 不純物質や有害ガス物質を化学的に除去する
イオン交換繊維シート２と、不純物質や汚染物質を物理
的に除去するエレクトレット化合成繊維シート４あるい
はこれと微粒子精密ろ過用フィルタとの間に、剛性で通
気性のセパレータ３を挿入して構成したことを特徴とす
るエアフィルタ用ろ材。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体素子や光ディス
ク等の製造や食品や医療品の製造等において、清浄な外
気を取り入れるためや清浄な環境空間を維持するため、
外気や循環空気中に含まれる塵埃、不純物質、汚染物質
や有害ガス状物質を除去するための、エアコンディショ
ナやクリーンルーム等に設けるエアフィルタに用いるた
めのろ材、及びそれを用いたエアフィルタに関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】半導体素子や光ディスク等の製造や食品
や医療品の製造等においては極めて清浄な環境空間を造
り、かつ維持することがますます必要となっている。特
に半導体素子や光ディスク等の製造においては、不純物
質や汚染物質の微粒子等が素子に付着することによる製
品歩留りの低下のみならず、外気から持ち込まれるおよ
び作業場内で発生する有害ガス状物質による素子や配線
の腐食による製品歩留りの低下が問題視されるようにな
っている。これら環境中に含まれる微量の腐食性のガス
状物質としては、例えば外気からのＳＯ₂ やＮＯ_X 等の
酸性ガスが挙げられる。この他、製品の品質や製造歩留
りに悪影響を与える腐食性のガス状物質としては、製品
自身から発生し時間の経過とともに循環空気中に蓄積さ
れる微量の腐食性のガス状物質例えばアンモニアガスの
ようなアルカリ性ガスが含まれる。前記したこれらの問
題に対処するために、最近では、高集積度の製品の製造
環境用設備に、微量の腐食性のガス状物質を除去する手
段が、従来の微粒子精密ろ過設備と共に設置されるよう
になってきた。

【０００３】前記したガス状物質を除去する手段を備え
たろ過設備の例としては、（１）特開平２−１２６９１
２号公報には、クリーンルームに循環させる空気の吹出
し口に前記微量の腐食性のガス状物質を吸着する吸着フ
ィルタを設けることが記載されている。ここで使用され
ている吸着フィルターとしては、活性炭、ゼオライト、
モレキュラーシーブ、金属酸化物等公知の吸着剤を通気
性包装材に包んで層状や繊維状に加工した構成のフィル
タが好適例として挙げられている。 （２）別の例としては、特開平４−１２６５１３号公報
に、クリーンルームに循環させる空気を排出する、クリ
ーンルームの床の空気吸込み面の下方に、有毒ガスを除
去するケミカルフィルタを部分的に配置し、該吸込み面
を通過する室内エアの一部から有毒ガスを除去するよう
にしたクリーンルームが記載されている。ここで使用さ
れているケミカルフィルタに充填されている有毒ガス除
去剤としては、前記同様通気的に包装された活性炭が挙
げられている。

【０００４】（３）さらに別の例としては、特開昭６２
−６８５０９号公報に、空気中の塵埃と同時に脱臭、脱
ガスを行う目的で、イオン交換繊維シート状物とエレク
トレット化繊維シート状物またはガラス繊維シート状物
を積層した二重層構造のろ過材について記載されてい
る。 （４）また、さらに別の例としては、特開平４−２４７
２０７号公報には、クリーンルームに吹込む空気の最終
段フィルタとして、イオン交換繊維シート状物を空気が
流れ込む側においた、イオン交換繊維シート状物と微粒
子精密ろ過用ろ材との二重層構造のろ過材またはイオン
交換繊維を混入させて成形した微粒子精密ろ過用ろ材が
記載されている。なお、ここでは陰イオン交換繊維と陽
イオン交換繊維とは混合して使用する例が記載されてい
る。

【０００５】（１）及び（２）に記載した活性炭、ゼオ
ライト、モレキュラーシーブ、金属酸化物等公知の吸着
剤は、粉体や粉体を固めて粒状化したものであり、それ
らの間を空気が通過すると吸着剤から粉体（微小な塵状
体）が空気中に混入する。従って、それら吸着剤を精密
ろ過用ろ材で包んで使用しても、微粒子が漏洩するかあ
るいはろ材が目詰まりして吸着性能が劣化する。

【０００６】また、腐食性のガス状物質の除去のために
イオン交換繊維シート状物を使用し、このイオン交換繊
維シート状物をガラス繊維シート状物あるいはエレクト
レット化繊維シート状物と積層した二重層構造の（３）
及び（４）に記載したろ過材については次のような問題
点がある。 直接性能の異なる繊維シート状物を積層した構造とし
たろ材では、該ろ過材を、実際に使用される高流速の条
件（開口面で０．３５ｍ／ｓｅｃ以上、通常０．３５ｍ
／ｓｅｃ）に置くと、積層構造のろ材には圧密化現象が
生じ、通風が困難になる。 特開平４−２４７２０７号公報中には、イオン交換繊
維シート状物をエレクトレット化繊維シート状物の前段
（上流側で使用）に使用すると、イオン交換繊維シート
状物が水分を吸着するので、エレクトレット化繊維シー
ト状物の水分による性能劣化を防ぐ効果があると記載さ
れているが、実際には前記２つのシートを密着させる
と、イオン交換繊維は吸水性が高いため多くの水を吸着
し、このイオン交換繊維シート状物に吸着された水分は
容易にエレクトレット化繊維シート状物に境界面を通っ
て移行し、エレクトレット化繊維シート状物の性能が悪
化する。さらに、エレクトレット化繊維シート状物は水
分を多く含んでその性能が低下すると、一旦捕捉した微
粒子を再放出するという欠点を有する。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、前記した従
来の有害ガス除去のために使用されるイオン交換繊維シ
ート状物を含む複合精密ろ過用ろ材が有する、エレクレ
ット化繊維状物に水分が移行してその性能を低下させる
という問題点を解決し、半導体素子や光ディスク等の製
造に際して、外気や環境中に含まれる微細な不純物質と
有害ガス物質を充分に除去できるように改良されたエア
フィルタ用ろ材及びそれを用いたエアフィルタを提供す
ることにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記課題は、下記のエア
フイルタ用ろ材の提供により達成された。 （１）化学的な不純物質や有害ガス物質の除去を行うイ
オン交換繊維シートと、不純物質や汚染物質を物理的に
除去するエレクトレット化合成繊維シート又は微粒子精
密ろ過用シートとの間に、これらの２つのシートよりも
剛性が高い通気性のセパレータをはさみ込んで複合的に
構成してなることを特徴とするエアフィルタ用ろ材。 （２）前記（１）項のエアフィルタ用ろ材を用いたエア
フィルタ。 さらにまた、前記イオン交換繊維よりなるイオン交換繊
維シートは、陰イオン交換繊維よりなるイオン交換繊維
シート、陽イオン交換繊維よりなるイオン交換繊維シー
ト、陰イオン交換繊維と陽イオン交換繊維とが混合した
イオン交換繊維シート、あるいは陰イオン交換繊維シー
トと陽イオン交換繊維シートを積層した（陰陽複合）イ
オン交換繊維シートのいずれでもよい。さらにまた、前
記陰イオン交換繊維よりなるイオン交換繊維シート等の
イオン交換要素フィルタは他種の要素フィルタと組合せ
て複合的エアフィルタユニットを構成する際には各要素
フィルタの間に通気性のセパレータを挿入して使用する
ことはいうまでもない。

【０００９】本発明において使用するイオン交換繊維シ
ートは、、有機高分子からの繊維を不織布あるいは織物
とし、これら不織布あるいは織物にイオン交換基を導入
した、不織布状又は織物状イオン交換体を用いることが
好ましい。前記イオン交換繊維シートは、陰イオン交換
繊維よりなるイオン交換繊維シートと陽イオン交換繊維
よりなるイオン交換繊維シートの２種類を別に製造する
ことができる。両者を別々のろ材とすると、フィルタに
用いた際、より容易に再生できるのではるかに有利であ
る。以下の説明では陰イオン交換繊維シートと陽イオン
交換繊維シートを別に説明する。しかしながら、イオン
交換繊維シートの段階で両者を積層すれば陰陽複合イオ
ン交換繊維フィルターを構成できることはいうまでもな
い。ここで、イオン交換繊維シートとは、イオン交換性
を付与する処理に際して処理単位として使用し、イオン
交換性が付与された繊維シートであり、イオン交換繊維
シートを２〜数枚積層してエアフィルタのイオン交換繊
維シート部を形成することができる。

【００１０】前記の本発明のイオン交換繊維シートの製
造に使用する高分子基材の材質は、ポリエチレン、ポリ
プロピレン、ポリスチレン、ポリビニルアルコールおよ
びそれらの共重合体が好ましい。これらの基材が有する
極性基としては、カルボキシル基、スルホン酸基、ホス
ホン酸基、リン酸基、フェノール性水酸基等（以上陽イ
オン交換繊維）及び１〜３級アミノ基、４級アンモニウ
ム基等（以上陰イオン交換繊維）が挙げられる。本発明
で用いるイオン交換繊維シートは、有害なガス状物質を
イオン交換基によって化学的に吸着除去するため、エア
フィルタに使用される。

【００１１】この吸着除去における機能を説明するた
め、アンモニアあるいは硝酸を吸着する場合を化学式を
用いて例示すると下記のように表される。すなわち、陽
イオン交換繊維よりなるイオン交換繊維シートでは、 Ｐｏｌｙ−Ｒ₁ ^-・Ｈ⁺＋ＮＨ₃→Ｐｏｌｙ−Ｒ₁ ^-・ＨＨ₄ ⁺ のような機構でアンモニアが陽イオンとして固定され
る。また、陰イオン交換繊維よりなるイオン交換フィル
タでは、 Ｐｏｌｙ−Ｒ₂ ＋ＨＮＯ₃→Ｐｏｌｙ−Ｒ₂・ＨＮ
Ｏ₃ のような機構で陰イオン（ＮＯ₃ ^-）が固定される。ここ
で、Ｐｏｌｙは高分子基材の骨格（分子鎖）、Ｒ₁ ^-・Ｈ
⁺は強酸性カチオン交換基（Ｈ型）、Ｒ₂ は弱塩基性ア
ニオン交換基（遊離塩基型）を表す。また、陰イオン交
換繊維および陽イオン交換繊維に付与されるイオン交換
基の種類と除去対象成分の種類を第１表に例示した。

【００１２】

【表１】

【００１３】本発明のエアフィルタを構成するろ材に用
いるエレクトレット化合成繊維シートは、エレクトレッ
ト化合成繊維から形成されるが、これはエレクトレット
化可能な繊維状の高分子を公知の方法、すなわち熱エレ
クトレット法、エレクトロエレクトレット法、ラジオエ
レクトレット法、ホトエレクトレット法等によってエレ
クトレット化される。エレクトレット化可能な高分子物
質としては、ポリオレフィン、ポリエステル、ポリアミ
ド、ポリスチレンなどが挙げられる。これら高分子物質
を繊維状に加工した後、上記方法でエレクトレット化す
ると高分子物質は分極し繊維の表面は帯電する。エレク
トレット化された繊維は微細な粒子を分極力又はクーロ
ン力で吸引し捕集する。水分は分極や帯電を中和するの
で、エレクトレット化繊維シートは水分を含むと不純物
質や汚染物質を捕捉する能力が低下する。本発明のエア
フィルタに用いる微粒子精密ろ過用シートは非常に細い
ガラス繊維の不織布状のシートから成形される。ろ過さ
れる空気中の不純物質や汚染物質は細いガラス繊維の間
隙で物理的に捕捉される。従って非常に微細な粒子を捕
捉しようとするとガラス繊維の間隙を小さくしなければ
ならず、ろ過抵抗が高くなる。

【００１４】本発明のエアフィルタ用ろ材の特徴は、前
述したイオン交換繊維シートとエレクトレット化合成繊
維シート又は微粒子精密ろ過用シートとの間にセパレー
タを介在させていることにある。このセパレータは、そ
の目的が前記した両シートを離した状態に維持すること
にあるから、それ以外にエアフィルタの性能を悪化させ
るような要因を有しないものであることが好ましく、例
えば、これを介在したためにエアフィルタ全体のろ過抵
抗が増大することがないよう、なるべく低い通気抵抗を
もつものであることが好ましく、かつエアフィルタ全体
の強度が十分維持されるよう、両シートよりも高い剛性
をもつ通気性材料であることが好ましい。

【００１５】セパレータの構成材料としては、その形態
がネット、格子、パンチングされた薄板、パンチングさ
れた波板等が挙げられる。セパレータの材質としては、
通常一般に用いられるプラスチック類、金属類等の素材
が挙げられるが、機能的に満足できる材質のものであれ
ばこれらに制限されない。好ましい具体例には、プラス
チック例えばポリエチレン、ポリピロピレン、ポリ塩化
ビニル、テフロンで造られたセパレータを挙げることが
できる。また、エレクレット化合成繊維シートの帯電性
を弱めないような材質であるものが好ましい。また、セ
パレータの形状は、通気性があり、両シート間に挿入す
ることによって隣接両シートの直接の接触を防ぐことが
できるものであれば前記形状に限られるものではない。
特に、セパレータの厚さは、隣接両シートの直接の接触
を防ぐに十分な厚さを有することが好ましいが、その厚
さが増すことはろ材全体の厚さが増してろ過抵抗を増大
させることになるので、なるべく薄い方がよい。より具
体的には、セパレータの網目の大きさは、円の場合は直
径あるいは格子状の場合はその内側の間隔が、１μｍ〜
１０ｍｍ、好ましくは１０μｍ〜５ｍｍ、特に３００μ
ｍ〜３ｍｍの大きさのものが好ましい。セパレータの厚
みは０．１ｍｍ〜５ｍｍ、好ましくは０．５ｍｍ〜３ｍ
ｍのものが好ましい。また、開口率は８０％以上のもの
が好ましい。

【００１６】前記した特開昭６２−６８５０９号公報お
よび特開平４−２４７２０７号公報に記載のフィルタユ
ニットでは、前記イオン交換繊維フィルタと、エレクト
レット化繊維フィルタあるいはガラス繊維製微粒子精密
ろ過フィルタを直接積層して複合化されたろ過フィルタ
ーとしてフィルターユニットに組込み使用するものであ
る。従って既に前記したように、ろ過の下流側のフィ
ルタに圧密化現象が生じろ過抵抗が急増したり、イオ
ン交換繊維シート状物に吸着された水分がエレクトレッ
ト化繊維シート状物に移行し、エレクトレット化繊維シ
ート状物の性能が悪化するという問題が発生する。

【００１７】

【作用】本発明のエアフィルタ用ろ材には、以下に示す
４種類の繊維シート（「要素シート」ともいう）が組込
まれる。 （１）不純物質や有害ガス物質を化学的な機構で除去す
るイオン交換繊維よりなるイオン交換繊維シート。 （１ａ）陰イオン交換繊維よりなる陰イオン交換繊維シ
ート （１ｂ）陽イオン交換繊維よりなる陽イオン交換繊維シ
ート （２）不純物質や汚染物質を物理的な機構で除去する繊
維シート （２ａ）エレクトレット化繊維よりなるろ過用シート （２ｂ）微粒子精密ろ過用シート ただし、常に前記４種のすべてを組込む必要はなく、実
際には状況に応じて適当な要素シートを選択して使用す
ればよい。また１種の要素シートを２枚以上組込んでも
よい。前記各要素シートは、一般的には厚さ１ｍｍ〜５
ｍｍ程度のシート、好ましくは厚さ１ｍｍ〜２ｍｍ程度
のシートとして製造される。そして、使用に際して各要
素シートは、１枚のシートで使用してもよいが、２枚か
ら数枚程度積層して使用されるのが普通である。

【００１８】本発明のエアフィルタ用ろ材の特徴は、エ
アフィルタに複数の要素シートを組み込むに当たって各
要素シートの間にセパレータを挿入させることにある。
以下、図面により本発明を具体的に説明する。図１及び
図２に本発明のエアフィルタ用ろ材の２種の例を示す。
図１に示した例は、陽イオン交換繊維シート２をセパレ
ータ３を介してエレクトレット化合成繊維シート４と一
体にした、複合構造のエアフィルタ用ろ材１を示すもの
であって、このセパレータ３は、図３の平面図に示すよ
うに、格子状の開口部５を有するものである。このエア
フィルタ用ろ材１をエアフィルタに使用するに当たって
は、空気の入って来る側に陽イオン交換繊維シート２ｃ
が置かれるように配置することが好ましい。

【００１９】また、図２に示した例は、陰イオン交換繊
維シート２ｄをセパレータ３を介してエレクトレット化
合成繊維シート４を配置し、さらに前記シート４の隣に
セパレータ３を介して微粒子精密ろ過フィルタ５を配置
して一体にした、複合構造のエアフィルタ用ろ材１を示
すものであって、ここで用いるセパレータ３も、図１で
用いられたものと同様なものである。図１及び図２のい
ずれの場合も空気の吹込み方向をＷで示してあり、図２
の陰イオン交換繊維シート２は空気の吹込み方向側にあ
るように配置する。このように構成されたエアフィルタ
用ろ材は、その全体を枠に入れてエアフィルタユニット
に組込むことができる。図３には、例えば図１や図２の
エアフィルタ用ろ材に用いるセパレータ３の正面図を示
す。この図３に示したセパレータ３は、格子状の開口６
を有するものである。

【００２０】本発明のエアフィルタ用ろ材は、これを用
いてエアフィルタを構成する際には、以下の図４及び図
５に示すような枠にスペーサとともに組込んで、フィル
タユニットを構成するのが便利である。フィルタ枠内に
組込まれる各ろ材は、繊維を不織布や織物として製造し
た状態のシートを１枚として使用されても、複数枚積層
されたシートとして使用されても良い。これらろ材をフ
ィルタ枠内に組込む際、例えば波形に折曲げたシートと
し、その折曲げたシートの間に平板状スペーサを挿入す
る形でも、あるいは各シートは平板状でスペーサを波形
に折曲げたものとしても良い。各シートもスペーサも平
板状としたのでは空気の通過抵抗が大きくなるので避け
た方が良い。

【００２１】図４及び図５に示した本発明の枠付のエア
フィルタの構造について以下に説明する。図４及び図５
において、２組の外枠ａと２組の外枠ｂで形成されたケ
ース内に、同一種のシート７を３枚積層したものを用い
たエアフイルタ用ろ材８は、ポリプロピレン製スペーサ
９を介して多重のプリーツ折りされた形で嵌め込まれ、
外枠ａ及び外枠ａとの間はガスケット１０で縁止めし、
両側を樹脂で密封して枠付エアフィルタ７に成形され
る。図４に示した本発明の枠付エアフィルタの各部の仕
様を第２表に示した。なお、図５は図４に示した本発明
の枠付エアフィルタ７のＡ−Ａ方向から見た切断図であ
る。

【００２２】

【表２】

【００２３】従って、空気は図４の図面上側（表面）か
ら枠付エアフィルタ７に入り、波形のスペーサ９の間を
通って図面の裏面へ通過することになる。この間に空気
に含まれる不純物質、有害ガス物質や汚染物質がエアフ
ィルタ用ろ材８でろ過あるいは吸収される。この例では
直交流型のフィルタが用いられ、これはエアフィルタ用
ろ材８が折返され、その間にスペーサ９が設けられてプ
リーツ折りされたフィルターが形成され、空気は前面と
裏面でろ材層を横断し、スペーサ９の部分ではフィルタ
層と平行して通過することになる。ろ材層と平行して通
る間でも十分に不純物質や有害ガス物質等はろ材８でろ
過されあるいは吸収される。この場合、前記ろ材８は、
直交流型のフィルタに限られることはなく、平行流型の
フィルタとすることもできる。

【００２４】前記ろ材を枠内に組込む形式としては、前
記図４及び図５に示した波形のスペーサ９を挟んで前記
ろ材８のシートをプリーツ折りして空気との接触面積を
大きくする形式の他種々の組込み形式が考えられる。要
するに空気の通過抵抗があまりに大きくならず、かつ前
記ろ材と空気との接触面積が大きければ良い。また、枠
付ろ材の外枠も、前記図４及び図５に示した外枠（ａ及
びｂ）以外種々の形式があってもよくこれに限定される
ものではない。

【００２５】

【実施例】以下に本発明のエアフィルタ用ろ材を用いた
エアフィルタをユニットとして組込んだクリーンルーム
の１例を挙げて本発明を具体的に説明する。しかし本発
明は以下の実施例に限定されるものではない。

【００２６】図６は、本発明の説明のために例示するた
めに使用する本発明のエアフィルタを組込んだクリーン
ルームの１例を示す図である。図６において、クリーン
ルーム１１には上部に微粒子精密ろ過用ろ材（例えばＨ
ＥＰＡ１２）を収納したフィルタユニットを有し、下部
はグレーチングからなる開口床１３となっており、開口
床１３の下には適当なフィルタユニット１８を備えてい
る。クリーンルーム１１への空気はＨＥＰＡ１２の上部
の吹込み口から吹込む。そして、クリーンルーム１１内
の空気は開口床１３からフィルタユニット１８を経て大
部分はリターンスペース１４を通って循環している。ま
た空気の一部分はリターンスペース１４の下部（クリー
ンルーム１１の下部）から外部に排気される。

【００２７】外気は、クリーンルーム１１に吹込むまで
に本発明のエアフィルタユニット１８を組込んだエアコ
ンディショナー１５を通過する。エアコンディショナー
１５内には、入口から順に、プレフィルタ１６、中性能
フィルタ１７、本発明のエアフィルタユニット１８、冷
却器１９、加熱器２０および加湿器２１が組込まれてい
る。外気は送風機２２により供給ダクトを通ってクリー
ンルーム１１に吹込まれる。図６では、クリーンルーム
１１内で発生する腐食性ガス状物質を除去するために、
開口床１３の下部およびリターンスペース１４の上部に
も本発明のエアフィルタユニット１８を設けた構造を示
した。これらクリーンルーム１１内の２箇所に設けた本
発明のエアフィルタユニット１８もの形状もエアコンデ
ィショナー１５中のフィルタユニット１８の形状と同様
のフィルタユニットとすれば、好都合である。

【００２８】図６のエアコンディショナー１５内のフィ
ルタユニット１８は、前記図１に示した枠付エアフィル
タとセパレータが組込まれた構成のもので、空気入口側
より枠付陽イオン交換フィルタ２ｃを置き、セパレータ
１を介して空気の出口側に枠付エレクトレット化フィル
タ３が配置され、全体をエアフィルタユニットに組込ん
だものである。図６のクリーンルーム１１入口（リター
ンスペース１４の出口）に設けたフィルターユニット１
８は、前記図２に示した枠付要素フィルタとセパレータ
が組込まれた構成のもので、空気入口側より枠付陰イオ
ン交換フィルタ２ｄを置き、セパレータ１を介して、中
間に枠付エレクトレット化繊維フィルタ３を配置し、さ
らにセパレータ１を介して空気の出口側に、枠付微粒子
精密ろ過フィルタ４が配置され、全体をエアフィルタユ
ニットに組込んだものである。

【００２９】図１に示すエアフィルタ用ろ材として、厚
さ１０００μｍの陽イオン交換繊維シート、厚さ１００
μｍで開口率９０％の格子状のポリプロピレン製セパレ
ータ及び厚さ１００μｍのポリプロピレン製エレクトレ
ット化繊維シートを積層して複合させて構成した。ま
た、図２に示すエアフィルタ用ろ材として、厚さ９５０
μｍの陰イオン交換繊維シート、厚さ１００μｍで開口
率９０％の格子状のポリプロピレン製セパレータ、厚さ
１００μｍのポリプロピレン製エレクトレット化繊維シ
ート、厚さ１００μｍで開口率９０％の格子状のポリプ
ロピレン製セパレータ、及び厚さ２５０μｍのガラス繊
維製の微粒子精密ろ過フィルタを順次に積層して複合さ
せて構成した。

【００３０】

【発明の効果】以上説明した通り、本発明の改良された
エアフィルタ用ろ材及びそれを用いたエアフィルタにお
いては、 １）長期間、比較的高い風速で空気を送風した場合でも
ろ過の下流側のフィルタに圧密化現象が生じろ過抵抗が
急増することはない。 ２）高い湿度の外気をで送風した場合でもろ過の下流側
のエレクトレット化繊維シートのろ過用フィルタ部の性
能が悪化することがない。 ３）本発明のエアフィルタ用ろ材及びそれを用いたエア
フィルタは軽量で、また空気を通した時圧力損失も少な
く、かつ既存のクリーンルームやエアコンディショナ内
に取付けが容易である。 ４）いずれも発塵を起さないので、下流側の環境を汚染
することはない。 ５）本発明のエアフィルタは再生して再使用ができるの
で、半導体の製造コストを低下させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のエアフィルタ用ろ材の１例の側面概略
図である。

【図２】本発明のエアフィルタ用ろ材の他の１例の側面
概略図である。

【図３】本発明のエアフィルタ用ろ材に用いるセパレー
タの１例を示す正面図である。

【図４】本発明の枠付要素フィルタの１例の構造を示す
正面の断面説明図である。

【図５】本発明の枠付要素フィルタの１例の構造を示す
側面の断面説明図である。

【図６】本発明の改良されたエアフィルタユニットを組
込んだクリーンルームの１例を示す図である。

【符号の説明】

１ セパレータ ２ｃ 陽イオン交換繊維シート ２ｄ 陰イオン交換繊維シート ３ セパレータ ４ エレクトレット化合成繊維シート ５ 微粒子精密ろ過フィルタ ６ 格子状開口 ７ 枠付要素フィルタ ８ エアフィルタ用ろ材 ９ スペーサ １０ ガスケット １１ クリーンルーム １２ ＨＥＰＡ １３ 開口床 １４ リターンスペース １５ エアコンディショナ １６ プレフィルタ １７ 中性能フィルタ １８ エアフィルタユニット １９ 冷却器 ２０ 加熱器 ２１ 加湿器 ２２ 送風機 ａ 外枠 ｂ 外枠 Ｗ 空気の方向 Ａ−Ａ 断面を見る方向線

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｂ０３Ｃ 3/155

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 化学的な不純物質や有害ガス物質の除去
   を行うイオン交換繊維シートと、不純物質や汚染物質を
   物理的に除去するエレクトレット化合成繊維シート又は
   微粒子精密ろ過用シートとの間に、これらのシートより
   も剛性が高い通気性のセパレーターをはさみ込んで複合
   的に構成してなることを特徴とするエアフィルタ用ろ
   材。
2. 【請求項２】 請求項１のエアフィルタ用ろ材を用いた
   エアフィルタ。