JP2002263415A - エアフィルタ濾材およびエアフィルタユニット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】ガス吸着剤、ガス分解剤、ガス徐放剤など粒状
フィルタ剤の充填密度均一性に優れた、高いフィルタ性
能を長期間維持しうるエアフィルタ濾材を提供するこ
と。 【解決手段】互いに対向する、開放セル構造を有する外
装板の間に、フィルタ剤粒子が充填されてなるフィルタ
剤層を配置していることを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はエアフィルタ濾材お
よびエアフィルタユニットに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のエアフィルタ濾材としては、特公
平６−１５０３５号公報に記載のものなどが知られてい
る。図１３はこのエアフィルタ濾材４００の通気方向と
平行な方向の断面図である。これは、ハニカム構造を有
する紙等からなる基材２６で構成される各セル３０の中
にフィルタ剤粒子の一種である空気浄化剤１を充填し、
その両面を熱溶融性接着シートと不織布を重ねた通気性
シート２７を配置し通気性を保ったまま封止したエアフ
ィルタ濾材である。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記の従
来技術では次のような問題が生じた。このエアフィルタ
濾材４００を縦置きすると、通気性シート２７は、熱融
着性シート及び不織布で構成されているので剛性が低
く、形態保持力が弱いため、実際には図１４に示すよう
にセル３０の下部でたわみ、空気浄化剤の重さに負けて
通気性シート２７がたわみ、下部に多く空気浄化剤１が
配置されセル上部とセル下部とで空気浄化剤１の充填均
一性が損なわれ、空気浄化性能が低下する結果を招いて
いた。また、セル上部の空気浄化剤１の疎な部分を埋め
るべく各セル内に最大量近くまで充填しようとすると、
空気浄化剤の重みを支えきれずハニカム状基材２６と通
気性シート２７との接着部２８が離れて、実質上うまく
充填することができない場合もあった。

【０００４】一方、横置きした場合でも、通気性シート
２７のたわみにより空気浄化剤１が中央に偏って、やは
り空気浄化剤の充填均一性が損なわれ、空気浄化性能が
低下してしまうという問題があった。

【０００５】空気浄化剤の充填均一性が損なわれた場合
の具体的な問題点としては、次の点が挙げられる。すな
わち充填均一性が損なわれると空気浄化剤の充填密度が
高い部分（高密度部分）と、充填密度が低い部分（低密
度部分）とができることになる。低密度部分は空気の通
気抵抗も低いためその部分に選択的に多くの空気が流れ
ることになるが、その部分は空気浄化剤の充填密度が低
く、空気と空気浄化剤との接触が少ない。そこで被処理
空気は、空気浄化剤への接触が多い空気に比べ空気浄化
性が劣ることになり、結果としてフィルタ全体としての
空気浄化性が悪くなる。また、高密度部分は空気浄化剤
が多く含まれており浄化能力が高いにも関わらず、被処
理空気が低密度部分に選択的に流れるので、高密度部分
の空気浄化剤はまだ充分な浄化性能が残っているのにも
関わらず、多量の空気と接触した低密度部分の空気浄化
剤の能力が先に低下して、全体としての寿命が著しく低
下するという問題点を生じる。

【０００６】また、極端な場合には、空気浄化剤の全く
ない領域が発生し、ほとんどの空気が浄化されないまま
そこを通過してゆくということもあり得た。

【０００７】本発明の目的は、フィルタ剤の充填密度均
一性に優れ、高いフィルタ性能を長期間維持しうるエア
フィルタ濾材およびエアフィルタユニットを提供するこ
とにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明者らは上記課題に
鑑み鋭意検討した結果、次の発明に到達した。すなわ
ち、互いに対向する、開放セル構造を有する外装板の間
に、フィルタ剤粒子が充填されてなるフィルタ剤層を配
置してなるエアフィルタ濾材によって、上記課題を解決
することが分かった。

【０００９】本発明者らの知見によれば、開放セル構造
は剛性が高いうえ、通気性の高い壁を構成するのに適し
ている。そして、互いに対向する、かかる開放セル構造
を有する外装板の間にフィルタ剤粒子が充填されてなる
フィルタ剤層を介在することによって、フィルタ剤層の
変形を抑制することができるので、フィルタ剤が濾材の
下部に偏ったり、フィルタ剤層の中央部がたわんで厚み
が厚くなったりしにくくなる。かくしてフィルタ剤の充
填均一性が損なわれるなどの問題を生じにくいエアフィ
ルタ濾材を実現しうるのである。また、本発明のエアフ
ィルタ濾材は開放セル構造を有する外装板の間にフィル
タ剤層を介在してなっているので、２枚以上のセル構造
体を一体化していることになり、より高い剛性が得ら
れ、充填均一性を確保しうるのである。よって、横置き
はもちろん縦置きしても、あるいは持ち運びや据え付け
時などに濾材に振動が加わっても、上記従来技術よりも
フィルタ剤粒子の充填密度不均一化が起こりにくい。

【００１０】セル構造体のセル形状としては、花びら形
状、略三角形、略四角形、略六角形等が好ましく用いら
れる。特にセル形状が略六角形のセル構造をハニカム構
造、略三角形のセル構造をコルゲート構造とよび、これ
らは微細化が容易でより剛性を高くすることができるの
で、本発明において特に好ましく用いられる。

【００１１】濾材を通過する被処理空気はセル孔方向に
導かれて通過する。そこで、外装板のセル孔の中心軸と
フィルタ剤層の厚み方向とがなす角度が６０度以下が好
ましい。０度の場合には、被処理空気はフィルタ剤層を
直行して通過するので最短距離を通過することとなり、
圧力損失を小さくするなどの点から好ましい。一方、セ
ル孔の中心軸とフィルタ剤層の厚み方向とがなす角度が
０度よりも大きい場合は、セル孔の方向に導かれた被処
理空気がフィルタ剤層の厚み方向に対して傾いた方向に
沿って通過する。よって、フィルタ剤層の厚みよりも長
い距離を通過しフィルタ剤との接触が多くなるので、高
いフィルタ性能を得ることができる場合がある。一方、
上記角度を６０度より大きくすると被処理空気の流路が
セルによって曲がるので、エアフィルタ濾材の圧力損失
が非常に大きくなってしまう。よって、セル孔の中心軸
とフィルタ剤層の厚み方向とがなす角度は６０度以下が
好ましく、さらに好ましくは４５度以下である。

【００１２】これらの開放セル構造を有する外装板は、
接着剤などを用いて組立てることが多い。接着剤からは
揮発性有機溶剤などガスを発生する場合が非常に多く、
このガスは、フィルタ剤層の性能を劣化させたり、フィ
ルタ剤層を通過して浄化処理などをされた被処理空気
を、その通気方向の下流側の外装板の接着剤から発生し
たガスで再び汚染するなど、好ましくない影響を及ぼす
場合が多い。そこで、あらかじめ前記外装板は脱ガス処
理を施されたものであることが好ましい。脱ガス処理と
しては、通気処理もしくは加熱処理もしくはこれらを複
合した手段などが望ましい。

【００１３】また、フィルタ剤層に加えて外装板自体が
フィルタ機能を有していてもよい。例えば、開放セル構
造を有した外装板をなすセラミックスなどの骨材にガス
分解性能やガス吸着性能を有する薬品を添着したものや
ガス分解剤やガス吸着剤などを接着したものが良い。ま
た、特開平１１−１２３０７号公報に記載されるような
イオン交換繊維などガス吸着剤やガス分解剤を含むシー
ト状物をコルゲート加工したものなどでも良い。これら
開放セル構造を有する外装板がフィルタ剤の性能をさら
に補強したものでも良い。また、異なるフィルタ機能を
有するものであるとさらに好ましい。たとえば、濾材通
気方向の上流側の通気性壁材に酸性ガス（または塩基性
ガス）吸着性能を有する外装板を用い、フィルタ剤層に
有機性ガス除去性能を有するフィルタ剤を用い、下流側
に塩基性ガス（または酸性ガス）吸着性能を有する外装
板を用いると、本エアフィルタ濾材を通過すると被処理
空気中の不純ガスが一挙に除去できるので、非常に好ま
しいものになる。

【００１４】上記フィルタ剤は、被処理空気中にふくま
れるガス、例えばホルムアルデヒド、トルエン、アンモ
ニア、ＳＯｘ、ＮＯｘ、ＨＣｌ、湿気などを吸着し除去
するガス吸着剤やガス分解剤、ガス徐放剤、あるいはこ
れらを組み合わせたものを用いても良い。具体的には、
活性炭、活性白土、ゼオライト、イオン交換樹脂、デキ
ストリン、酸化チタン、または、シリカゲルを粒状に加
工したものなどである。また、例えばセラミックスやガ
ラスのような無機材料など他の基材からなる粒状物に上
記の物質を、添着、接着、塗布、担持させたものもフィ
ルタ剤に含む。フィルタ剤粒子の粒径の大きさは特に限
定しない。しかし、粒径が１０mmより大きくては、被処
理空気と接触する有効表面積が小さくなりすぎて十分な
空気浄化作用を得られない。また、粒径が０．１mmより
小さくては、充填密度が高くなりすぎて通気性が損なわ
れることが多く、さらに、通気時に前記粒子が脱落する
可能性があり好ましくない。よって、フィルタ剤粒子の
粒径は、０．１mm以上１０mm以下の範囲の粒子が好まし
い。なお、非球形物の粒径は、同一の体積を有する球の
直径をもって定義する。

【００１５】上記フィルタ材層に充填されるフィルタ剤
粒子の粒径が開放セル構造を有する外装板のセル孔のサ
イズよりも小さい場合には、フィルタ剤がセル孔を通過
して脱落してしまうという問題を生じる場合がある。こ
のような場合、下流側の浄化された被処理空気にフィル
タ剤が混入してしまうことを防ぐために、少なくとも一
方、好ましくは下流側、の外装板とエアフィルタ材層と
の間にフィルタ剤の脱落防止材を設けることが望まし
い。本フィルタの運搬中や装着セッティング中にもフィ
ルタ剤の脱落を防ぐためには上流側と下流側の両側に脱
落防止材を設けても良い。この脱落防止材は、通気性が
あり、かつ、フィルタ剤の通過を防ぐことができればい
かなるものでも良いが、脱落防止の機能を有し、かつ、
圧力損失ができるだけ小さいことが望ましいので、ネッ
ト状物が好ましく、特に不織布を好ましく用いることが
出来る。

【００１６】フィルタ剤層のフィルタ剤粒子をより均一
に充填するために、フィルタ剤層の面内方向における移
動が抑制されていても良い。移動を抑制する方法とし
て、フィルタ剤の表面に粘着性を持たせることや、フィ
ルタ剤をスポット状に点接着することなどがある。しか
し、フィルタ剤の表面を接着剤などで覆って、フィルタ
剤としての機能を下げてしまう問題が生じるので、好ま
しくは、フィルタ剤層にフィルタ剤面内方向移動阻止部
材を配し、それによってフィルタ剤の面内方向の移動を
抑制するようにしてもよい。フィルタ剤面内方向移動阻
止部材としては、フィルタ剤層を小部屋に区切り、その
各小部屋にフィルタ剤を充填したものや、通気性のある
不織布のようなものでできた小袋であってフィルタ剤を
充填するものであっても良い。フィルタ剤粒子のフィル
タ剤層の面内方向における移動が抑制されているフィル
タ剤層を外装板の間に介在することによって、さらに充
填密度均一性を保つことが出来る。

【００１７】また、本発明のエアフィルタ濾材は、非通
気性外枠内に納めてエアフィルタユニットとして使用で
きる。このような形態をとることにより、クリーンルー
ム等の粒子除去フィルタ装着部分にそのままエアフィル
タユニットを装着することが出来る。ここでいうエアフ
ィルタユニットとは、エアフィルタ濾材が開口部を有す
る非通気性外枠に納められたもので、開口部から被処理
空気を濾材にさらす一方で、被処理空気がエアフィルタ
濾材を通過せずに通気することがないように適当にシー
ルされうるよう構成されたものをいう。

【００１８】さらに、前述のエアフィルタ濾材が非通気
性外枠内におさめられてなるエアフィルタ濾材を、１つ
以上を備えるエアフィルタ装置であって、そのエアフィ
ルタ濾材の面が装置へのエアの流入方向に対して並行ま
たは斜めになるように配置してなるエアフィルタ装置で
あってもよい。具体的には、エアフィルタ濾材を屏風状
に配置したものや、櫛状に配置したものが挙げられる。
櫛状に配置したものとは、上記エアフィルタ濾材をエ
アフィルタ装置へのエアの流入方向とエアフィルタ濾材
の厚み方向とのなす角度が６０度以上９０度以下で配置
し、被処理空気が必ずエアフィルタ濾材を通気するよう
にエアフィルタ濾材の開口部以外には非通気性壁を設け
たものなどがある。エアフィルタ装置へのエア流入方向
とエアフィルタ濾材の厚み方向とのなす角度が６０度よ
りも小さい場合には、エアフィルタ濾材を多数装置内に
組み込みにくい。また、多数組み込んだ場合はエアフィ
ルタ濾材が重なった状態になり、濾材に有効に利用され
ない領域が発生してしまうことがある。よって、エアフ
ィルタ装置へのエア流入方向とエアフィルタ濾材の厚み
方向とのなす角度は６０度以上９０度以下が好ましい。

【００１９】なお、かかるエアフィルタ装置にエアフィ
ルタ濾材を組み込むときは、エアフィルタユニットの形
態で組み込んでも良い、この場合は、有効な開口面積は
減るがハンドリング性が向上する。

【００２０】屏風状に配置したものとは、複数のエアフ
ィルタ濾材をそのエアフィルタ濾材の面が装置へのエア
流入方向に対して斜めになるようにジグザグに配置した
ものをいう。

【００２１】このように櫛状や屏風状に配置したエアフ
ィルタ装置を構成することによって、被処理空気はフィ
ルタ装置の開口面積よりも広い面積のエアフィルタ濾材
を通過することになり、単にフィルタ剤層を厚くしたの
に比べて低圧力損失を維持した状態でありながら、長寿
命のエアフィルタ装置を得ることができるというメリッ
トがある。

【００２２】空気中のガス状物質は半導体製造工程や液
晶表示板製造工程、ハードディスク製造工程で悪影響を
及ぼすことが知られており、本発明の濾材はクリーンル
ームや半導体製造装置または液晶表示板製造装置、ハー
ドディスク製造装置等の半導体等製造装置に組み込まれ
て好ましく使用できる。

【００２３】なお、図６は本発明の一実施形態例を示す
エアフィルタ濾材をセル孔の中心軸と平行な軸で切断し
た断面図であるが、本発明でいうフィルタ剤層の厚み方
向とは、矢印２２で示す通りフィルタ剤層２の中立面２
１の法線方向であり、セル孔の中心軸方向とは矢印２３
で示す方向である。また、エアフィルタ濾材の通気方向
とは矢印２４に示す通りエアフィルタ濾材の上流側面を
平面に近似したときの法線方向をいう。

【００２４】また、図９はエアフィルタユニットを屏風
状に配置したエアフィルタ装置を上面から見た断面図で
あるが、エアフィルタ装置へのエア流入方向とは、同図
中の矢印２５で示すように通常の使用におけるエアフィ
ルタ装置全体の上流側の空気流通方向をいう。

【００２５】

【発明の実施の形態】図１に本発明のエアフィルタ濾材
の実施形態の一例を示す。これは、エアフィルタ濾材１
００を濾材通気の上流側から見た正面図である。本形態
では、外装板３（ａ）のセル形状が略三角形のコルゲー
ト構造を有している。このエアフィルタ濾材１００のA-
A'矢視断面図を図２に示す。１はフィルタ剤粒子、２は
フィルタ剤層、３（ａ）と３（ｂ）は開放セル構造を有
する外装板、４は開放セル構造のセル孔、６は端止め板
である。本形態では、被処理空気が矢印２４の方向から
流入し、上流側の外装板３（ａ）を通過して、フィルタ
剤層２をフィルタ剤粒子１と接触しながら通過すること
によって、ガス吸着やガス分解、あるいはガス徐放など
の処理を受け、その処理を受けた被処理空気が下流側の
外装板３（ｂ）を通気して放出される。また、非通気性
の端止め板６によって、エアフィルタ濾材に流入した被
処理空気が濾材の側面からもれることを防ぐ。

【００２６】開放セル構造を有する外装板のセル形状は
特にコルゲート構造に限るものでなく、図３〜５に示す
通り異なる形状を有していても良い、図３〜５はすべて
図１のエアフィルタ濾材を濾材通気の上流側から見た正
面図に対応する。図３のエアフィルタ濾材１０１は、外
装板３の開放セル構造は略六角形のハニカム構造を有し
たものである。図４のエアフィルタ濾材１０２は、外装
板３の開放セル構造が花びら形状のものであり、図５の
エアフィルタ濾材１０３は、外装板３の開放セル構造が
略四角形のものである。

【００２７】また図６は本発明のフィルタ濾材のさらに
別の実施形態についての図２に対応する断面図である。
この例のエアフィルタ濾材１０４は、フィルタ材層の厚
み方向である矢印２２とセル孔中心軸である矢印２３が
平行ではなく、交差している。上記の通り、被処理空気
はセル孔の方向に導かれ濾材を通過するので、本例で
は、被処理空気がフィルタ剤層の厚み方向に対して傾い
た方向で通過する。よって、フィルタ剤層の厚みよりも
長い距離を通過し、フィルタ剤との接触が多くなるので
高いフィルタ性能を得ることができる。図６のような断
面形状のエアフィルタ濾材は後述する図９に示す屏風状
に配置したエアフィルタ装置などに使用することが好ま
しい。

【００２８】図７に本発明のエアフィルタユニットの実
施形態例を示す。これは、ハニカム構造を有する通気性
壁材を用いたエアフィルタ濾材１０１を非通気性外枠内
に納めたエアフィルタユニット１０５の斜視図である。
B-B'における矢視断面図を図８に示す。図８において、
矢印２４の方向から非処理空気が流入し、外装板３
（ａ）、フィルタ剤層２、外装板３（ｂ）を通過してフ
ィルタユニットから放出される。７はエアフィルタ濾材
１０１を収納している非通気性外枠である。非通気性外
枠７をなす材質は木、鉄など非通気性であれば何であっ
ても構わないが、強度、軽さなどの面からアルミニウ
ム、アルミニウム合金が好ましく用いられる。非通気性
外枠にエアフィルタ濾材を納めると端止め板６を用いな
いで直接外装板３とフィルタ剤粒子１をセットすること
もできる。１２はフィルタ剤粒子が外装板のセル孔を通
過して脱落してしまうのを防ぐための脱落防止層で、上
流側と下流側の双方の外装板３とフィルタ剤層２との間
に介在している。５は、フィルタ剤面内方向移動阻止部
材で、例えばアルミニウム製の、セル開口サイズが外装
板３のそれよりもはるかに大きな３cmの開放セル構造物
で、そのセルがフィルタ濾材層を面方向に小部屋として
区切り、この各小部屋内にフィルタ剤粒子が充填されて
いる形態をとっている。このフィルタ面方向移動阻止部
材５によって、本フィルタユニットを縦置きした場合な
どにフィルタ剤が下方に移動するといったように、フィ
ルタ剤が面方向に移動してしまうことを阻止している。
他のフィルタ剤面内方向移動阻止部材としては、不織布
などの通気性シートで構成された袋状物などでも良い。

【００２９】本形態のように非通気性外枠７内にエアフ
ィルタ濾材１０１を納めることによって、側面からの空
気もれを防ぐことができ、エアフィルタ濾材を例えばク
リーンルームの粒子除去用フィルタの装着部分そのまま
装着することができる。

【００３０】本発明のエアフィルタ装置の一実施形態例
を示す。図９は上記エアフィルタ濾材を非通気性外枠に
収納した図６に示した構成を有するエアフィルタ濾材１
０４を内蔵したエアフィルタユニット７をジグザグの屏
風状に配置したエアフィルタ２００のエアフィルタ装置
通気方向に平行な方向の断面図である。３１は本エアフ
ィルタ装置の装置外枠である。各エアフィルタユニット
７を非通気性シールなどで連結することにより、被処理
空気は必ずエアフィルタ濾材を通過するよう構成されて
いる。図６に示した形状のエアフィルタ濾材を使用する
と、隣接するエアフィルタユニットの接合部２９が面に
なるので接合部からの空気漏れをふさぎ易くなり、開口
面積のロスも少ないので、好ましい。矢印９は本フィル
タ装置を通過する被処理空気の流れを示す。本フィルタ
装置のようにエアフィルタユニットを配置すると、被処
理空気がフィルタ装置の通気部分である開口部面積より
も広い面積のエアフィルタ濾材面を通過するので、圧力
損失を小さく保つことができる。なお、適当な非通気性
シールを用いることでエアフィルタユニットではなく、
エアフィルタ濾材を直接用いてエアフィルタ装置を構成
しても良い。

【００３１】次に本発明のエアフィルタ装置の異なる実
施形態を示す。図１０に示すエアフィルタ装置２０１は
上記エアフィルタ濾材１００〜１０３のいずれかを非通
気性外枠に収納したエアフィルタユニット８を櫛状に配
置したものである。本例の櫛状に配置したものは、エア
フィルタ装置へのエア流入方向とフィルタ剤層厚み方向
が直交するように複数のエアフィルタユニット８を配置
したもので、被処理空気が必ずエアフィルタ濾材を通過
するようにエアフィルタ濾材の開口部以外は非通気板１
０を設けた。非通気板１０は、通気性がないものならば
木板、鉄板、プラスチック板、フィルムなどいかなるも
のでも良いが、強度、軽さなどの点からアルミニウム
板、アルミニウム合金板などが好ましい。図１１はエア
フィルタ装置２０１のC-C'における矢視断面図で、８は
上記同様のエアフィルタユニット、１０は非通気板であ
る。本装置に流入した被処理空気は矢印９のように装置
内を通過する。よって、エアフィルタ装置２００の場合
と同様に被処理空気がフィルタ装置の通気部分である開
口部分面積よりも広い面積のエアフィルタ濾材面を通過
するので、圧力損失を小さく保つことができる。また、
圧力損失を低く保ちながら、多くのフィルタ剤を配する
ことができるので、高性能かつ長寿命のフィルタユニッ
トを得ることができる。

【００３２】なお、上記フィルタ装置の上流側または下
流側の少なくとも一方に被処理空気中に含まれる粒子を
除去するための不織布などを配しても良い。

【００３３】本発明のクリーンルームを備えたクリーン
ルームシステムの一形態の概略平面図を図１２に示す。
本クリーンルームシステム３００においては、外気は外
気取り入れ口１１から上記のようなエアフィルタユニッ
ト１２を通過して取り入れられ、空気搬送経路１５に設
置したエアフィルタユニット１６を通過して、吹き入れ
口１３に設置されたエアフィルタユニット１４を通過し
てクリーンルーム２０に吹き入れられる。クリーンルー
ム２０内には、半導体製造装置、液晶表示板製造装置、
又は、ハードディスク製造装置等の製造装置１７が設置
されており、本装置にもエアフィルタユニット１８が設
置されている。本クリーンルームシステム内では、外気
から取り入れられた空気が、空気搬送経路１５、吹き入
れ口１３、クリーンルーム２０の流路で内部循環してお
り、複数回上記のようなエアフィルタユニットを通過す
るので、浄化度の高い被処理空気がクリーンルーム内や
半導体等製造装置に入れられる。

【００３４】なお、４箇所に上記のエアフィルタユニッ
トが設置されているが、いずれか１箇所でもよいし、複
数箇所組み合わせてもよい。

【００３５】また、上記のようなエアフィルタユニット
の代わりに、エアフィルタ装置を設置しても良い。

【００３６】

【実施例】以下、本発明のエアフィルタ濾材の実施例を
示す。 実施例 まず、セルサイズ０．９ｍｍのアルミニウムハニカムを
作成し、縦１２０ｍｍ×横１２０ｍｍ×エアフィルタ濾
材通気方向の厚み１０ｍｍに切断したものを２枚作成す
る。なお、セルサイズとは、セル孔の開口面積と同面積
の円の直径をとする。また、不織布（東レ（株）社製、
アクスターＧ２０４０−１Ｓ）で縦１２０ｍｍ×横１２
０ｍｍの袋状物をつくり、厚み５ｍｍになるように略球
形の粒径０．５ｍｍの粒状活性炭（武田薬品工業（株）
社製、粒状白鷺Ｇ_2C）を充填後、ヒートシーラーで開口
部を閉じる。一方、アルミニウム板を板金加工して、内
寸で縦１２１ｍｍ×横１２１ｍｍ×ユニット通気方向の
厚み２５mmでかつフィルターの通気部分の開口部が縦１
００ｍｍ×横１００ｍｍになるような非通気性フィルタ
外枠を作成する。

【００３７】この外枠にアルミハニカム、活性炭入り不
織布、アルミハニカムの順で隙間がないようにかつ、ア
ルミハニカム同士の間隔が均一になるように挿入し、さ
らに外枠ふたを取り付けて、開口１００ｍｍ×１００ｍ
ｍのガス除去用エアフィルタユニットを得る。 比較例 目空き６ｍｍ、板厚１ｍｍのアルミニウム製のラス網
を、縦１２０ｍｍ×横１２０ｍｍのサイズに２枚切断す
る。また、不織布（東レ（株）社製、アクスターＧ２０
４０−１Ｓ）で縦１２０ｍｍ×横１２０ｍｍの袋状物を
つくり、厚み５ｍｍになるように粒状活性炭（武田薬品
工業（株）社製、粒状白鷺Ｇ_2C）を充填後、ヒートシー
ラーで開口部を閉じる。一方、アルミ板を板金加工し
て、内寸で縦１２１ｍｍ×横１２１ｍｍ×通気方向の厚
み２７mmでかつフィルターの通気部分の開口部が縦１０
０ｍｍ×横１００ｍｍになるようなフィルタ外枠を作成
する。

【００３８】この外枠にアルミニムラス網、活性炭入り
不織布、アルミニウムラス網の順で隙間がないように挿
入し、さらに外枠ふたを取り付けて、開口１００ｍｍ×
１００ｍｍのガス除去用エアフィルタユニットを得る。

【００３９】実施例１及び比較例１で得られたエアフィ
ルタユニットのトルエン除去効率を測定する。トルエン
除去効率は、エアが水平方向に流れるダクト中にフィル
タユニットをダクト内を流れるエアの進行方向に対して
略垂直に設置して測定する。具体的には被測定エアフィ
ルタユニットに対しユニット通気方向片面から面風速
０．５ｍ／ｓ、トルエン濃度体積比１００ｐｐｂになる
ように供給したエアがフィルタ面一様に透過するように
風を送る。濃度測定方法は、フィルタの上流及び下流そ
れぞれから一定量エアをサンプリングしてガス吸着管に
トルエンガスを吸着させ、ついで吸着したトルエンガス
を熱脱離してガスクロマトグラフに導入しガス量を定量
評価する。上流側のガス濃度をＰ、下流側のガス濃度を
Ｑとすると、フィルタのガス除去効率（％）は［（１−
Ｑ／Ｐ）×１００］で得られる。典型的な結果を第１表
に示す。

【００４０】

【表１】

【００４１】第１表の結果より、本発明のエアフィルタ
濾材は、充分なガス除去性能を有することがわかる。ま
た、ダクトに縦置きした実施例１及び比較例１のフィル
タユニットを観察すると、実施例１のフィルタユニット
は粒状活性炭が開口面にまんべんなく配置されているの
に対し、比較例１のフィルタユニットではアルミラス網
がフィルタ外側に広がっているため、下部に粒状活性炭
がかたより、フィルタ上部に隙間が生じる。

【００４２】また、実施例１は７３５時間の長期間にわ
たって９０％以上と高いガス除去効率を保つことでき
る。これに対し、比較例では、３５時間程度でガス除去
効率が６５％以下になる。

【００４３】

【発明の効果】以上詳述したように、本発明のエアフィ
ルタ濾材によれば、多数のフィルタ剤粒子が充填された
エアフィルタ剤層を、通気方向両側から開放セル構造を
有した外装板で挟持することによって、フィルタ剤粒子
の充填密度均一性が高く、優れたフィルタ特性を長期間
維持できるエアフィルタ濾材及びエアフィルタユニット
を得ることが出来る。

【００４４】また、上記のエアフィルタ濾材またはエア
フィルタユニットを設置することによって室内の空気が
浄化されたクリーンルームを得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のエアフィルタ濾材をエアフィルタ濾材
通気方向からみた図である。

【図２】図１のエアフィルタ濾材のA-A'における断面の
図である。

【図３】本発明の外装板のセル形状の一例を示す図であ
る。

【図４】本発明の外装板のセル形状の一例を示す図であ
る。

【図５】本発明の外装板のセル形状の一例を示す図であ
る。

【図６】本発明の他の実施形態のエアフィルタ濾材の断
面の図である。

【図７】本発明のエアフィルタユニットの実施形態の一
例を示す斜視図である。

【図８】図７のエアフィルタユニットのB-B'における断
面の図である。

【図９】本発明のエアフィルタ装置の実施形態をフィル
タ装置の上面から見た断面図である。

【図１０】本発明のエアフィルタ装置の他の実施形態を
示す斜視図である。

【図１１】図１０のエアフィルタ装置のC-C'における断
面の図である。

【図１２】本発明のエアフィルタ濾材の使用の実施形態
の例を示す図である。

【図１３】従来技術によるエアフィルタ濾材の通気方向
と平行な断面図である。

【図１４】従来技術によるエアフィルタ濾材の通気方向
と平行な断面図で、フィルタ剤の偏在を示す図である。

【符号の説明】

１：フィルタ剤粒子 ２：フィルタ剤層 ３：外装板 ３（ａ）：上流側外装板 ３（ｂ）：下流側外装板 ４：セル孔 ５：フィルタ剤面内移動阻止部材 ６：端止め板 ７：非通気性外枠 ８：エアフィルタユニット ９：被処理空気の通気方向 １０：非通気板 １１：外気取り入れ口 １２：外気取り入れ口に設置された本発明のエアフィル
タユニット １３：吹き入れ口 １４：吹き入れ口に設定、装着された本発明のエアフィ
ルタユニット １５：空気搬送経路 １６：空気搬送経路に設置、装着された本発明のエアフ
ィルタユニット １７：半導体等デバイス製造装置 １８：半導体等デバイス製造装置に設置、装着されたエ
アフィルタユニット １９：クリーンルーム内の空気の流れを示す矢印 ２０：クリーンルーム ２１：フィルタ剤層中立面 ２２：フィルタ剤層の厚み方向 ２３：セル孔の中心軸 ２４：エアフィルタ濾材の通気方向 ２５：エアフィルタ装置の通気方向 ２６：ハニカム状機材 ２７：熱溶融性接着シート及び不織布 ２８：ハニカム状基材と熱溶融性シート及び不織布との
接着部 ２９：エアフィルタユニットの接合部 ３０：セル ３１：装置外枠

Claims (14)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】互いに対向する、開放セル構造を有する外
   装板の間に、フィルタ剤粒子が充填されてなるフィルタ
   剤層を配置してなるエアフィルタ濾材。
2. 【請求項２】外装板がハニカム構造板またはコルゲート
   構造板からなる、請求項１に記載のエアフィルタ濾材。
3. 【請求項３】外装板のセル孔の中心軸とフィルタ剤層の
   厚み方向とがなす角度が６０度以下である、請求項１ま
   たは２に記載のエアフィルタ濾材。
4. 【請求項４】外装板がフィルタ機能を有している、請求
   項１〜３のいずれかに記載のエアフィルタ濾材。
5. 【請求項５】外装板が脱ガス処理されている、請求項１
   〜４のいずれかに記載のエアフィルタ濾材。
6. 【請求項６】少なくとも一方の外装板とフィルタ剤層と
   の間にフィルタ剤粒子の脱落防止材を配置してなる、請
   求項１〜５のいずれかに記載のエアフィルタ濾材。
7. 【請求項７】フィルタ剤粒子が、ガス吸着剤、ガス分解
   剤およびガス徐放剤から選ばれる少なくとも１種を含ん
   でいる、請求項１〜６のいずれかに記載のエアフィルタ
   濾材。
8. 【請求項８】フィルタ剤粒子が、活性炭、ゼオライト、
   活性白土、シリカゲル、イオン交換樹脂、デキストリン
   および酸化チタンから選ばれる少なくとも１種を含んで
   いる、請求項１〜７のいずれかに記載のエアフィルタ濾
   材。
9. 【請求項９】フィルタ剤粒子の、フィルタ剤層の面内方
   向における移動が抑制されている、請求項１〜８のいず
   れかに記載のエアフィルタを有するエアフィルタ濾材。
10. 【請求項１０】請求項１〜９のいずれかに記載のエアフ
    ィルタ濾材を有するエアフィルタユニット。
11. 【請求項１１】請求項１〜９のいずれかに記載のエアフ
    ィルタ濾材を、そのエアフィルタ濾材の面が装置へのエ
    アの流入方向に対して並行または斜めになるように配置
    してなるエアフィルタ装置。
12. 【請求項１２】エアフィルタ濾材の複数個を屏風状また
    は櫛状に配置してなる、請求項１１に記載のエアフィル
    タ装置。
13. 【請求項１３】請求項１〜９のいずれかに記載のエアフ
    ィルタ濾材、請求項１０に記載のエアフィルタユニット
    または請求項１１もしくは１２に記載のエアフィルタ装
    置を通気口に装着してなるクリーンルーム。
14. 【請求項１４】請求項１〜９のいずれかに記載のエアフ
    ィルタ、請求項１０に記載のエアフィルタユニットまた
    は請求項１１もしくは１２のいずれかに記載のエアフィ
    ルタ装置を通気口に装着してなる半導体等製造装置。