KR100630430B1 - An oven for bake or dry of wide LCD glass - Google Patents
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Abstract
본 발명은 대면적 LCD 글라스의 화학물 증착 후 소성 또는 세척 후 건조를 위한 오븐에 관한 것이다.The present invention relates to an oven for firing after chemical deposition of large area LCD glass or for drying after washing.
본 발명은, 로봇 암(Robot-Arm)이 일측 개방형 오븐(Oven)에 소성 또는 건조를 요하는 대면적 LCD 글라스를 투입한다. 그러면, 봉 형상의 가열수단이 내장된 발열수단이 발열하여 오븐 내부를 건조시킨다. 이와 동시에 외부로부터 공급되는 프로세스가스가 발열수단에 균일하게 형성된 통공을 통해 고르게 분출되어 글라스의 건조를 돕는 한편, 오븐 내부에 발생된 흄(Fume : 중금속을 가열했을 때 발생하는 증기가 공기 중의 산소와 결합하여 생성된 것)을 오븐 일측에 형성된 배출구로 배출한다. 따라서, 본 발명은 발열수단에 내장된 가열수단과 발열수단을 통해 분출되는 프로세스가스가 글라스 전체를 고르게 건조시킴과 동시에 특히 프로세스가스는 흄을 제거하게 된다.In the present invention, a robot arm (Robot-Arm) is put into a large area LCD glass that requires firing or drying in one open type oven (Oven). Then, the heat generating means in which the rod-shaped heating means is built-in heats and dries the inside of the oven. At the same time, the process gas supplied from the outside is evenly ejected through the through hole uniformly formed in the heat generating means to help dry the glass, while the fume generated when the heavy metal is heated is mixed with oxygen in the air. Combined) is discharged to an outlet formed on one side of the oven. Therefore, the present invention allows the process gas ejected through the heating means and the heating means built in the heat generating means to dry the entire glass evenly, and in particular, the process gas removes the fume.
이러한 본 발명은 봉 형상의 가열수단을 발열수단에 내장시켜 가열수단이 발열수단을 지지하도록 함으로써, 대면적 글라스의 건조를 위해 면적이 넓을 수밖에 없는 발열수단의 처짐 현상을 방지함과 동시에, 발열수단의 구조를 간소화함으로써, 발열수단의 제작ㆍ설치 및 유지 보수가 용이하도록 하는 한편, 발열수단의 두께를 현저히 슬림화할 뿐 아니라, 발열수단의 통공을 통해 고르게 분출되는 프로세스가스에 의해 글라스를 고르게 소성 또는 건조함으로써, 건조 효율을 향상시키게 된다. The present invention incorporates a rod-shaped heating means into the heat generating means so that the heating means supports the heat generating means, thereby preventing the sag of the heat generating means, which has a large area for drying the large area glass, and at the same time, the heat generating means. By simplifying the structure of the heat generating means, it is easy to manufacture, install, and maintain the heat generating means, while not only significantly reducing the thickness of the heat generating means, but also sintering the glass evenly by the process gas evenly ejected through the through hole of the heat generating means. By drying, drying efficiency is improved.
Description
도 1은 종래 오븐에 적용되는 발열수단의 구조를 보인 단면도.1 is a cross-sectional view showing the structure of a heating means applied to a conventional oven.
도 2는 종래 오븐의 구성을 보인 단면도.Figure 2 is a cross-sectional view showing the configuration of a conventional oven.
도 3은 본 발명 중 핫프레이트의 세부 구성을 보인 측 단면도.Figure 3 is a side cross-sectional view showing a detailed configuration of the hot plate of the present invention.
도 4는 본 발명 중 발열수단의 세부 구성을 보인 정 단면도.Figure 4 is a cross-sectional view showing a detailed configuration of the heating means of the present invention.
도 5는 본 발명인 오븐의 전체 구성을 보인 단면도. Figure 5 is a cross-sectional view showing the overall configuration of the present inventors oven.
도 6의 a,b는 본 발명의 다른 실시예를 보인 사시도.Figure 6 a, b is a perspective view showing another embodiment of the present invention.
<도면의 주요부분에 대한 부호 설명> <Description of Signs of Major Parts of Drawings>
10 : 발열수단 11 : 가열수단10: heating means 11: heating means
12 : 통공 20 : 본체(오븐)12: through-hole 20: main body (oven)
21 : 가열공간 22 : 지지수단21: heating space 22: support means
23 : 배출구 23 outlet
본 발명은 대면적 LCD 글라스의 화학물 증착 후 소성 또는 세척 후 건조를 위한 오븐에 관한 것이다.The present invention relates to an oven for firing after chemical deposition of large area LCD glass or for drying after washing.
일반적으로, LCD 글라스는 표면의 가공 처리 상태 및 세척 상태에 따라 품질 및 수율이 결정된다고 해도 과언이 아니며, 그 만큼 LCD 글라스 표면의 처리 및 관리 상태가 중요하다는 것은 주지하는 바와 같다.In general, it is no exaggeration to say that the quality and yield of LCD glass are determined according to the processing state and cleaning state of the surface, and it is noted that the treatment and management state of the LCD glass surface is important.
이와 같이 LCD 글라스의 표면에 화학물을 증착 또는 도포시킨 후, 소성하거나, 불순물을 세척 후 건조시키는 장치 중 하나로 오븐이 사용되고 있다.As described above, an oven is used as one of devices for depositing or applying a chemical on the surface of the LCD glass, firing, or washing and drying impurities.
전술한 오븐에는 발열수단이 하나 이상 탑제되어 있으며, 이러한 발열수단의 종래 구조를 살펴보면, 첨부 도면 도 1에서 보는 바와 같이, 열선(1)이 일정한 패턴(Pattern)으로 형성되고, 그 양면에 절연을 위한 운모(2 ; Mica)가 각각 적층되며, 전술한 운모(2) 외곽에 발열판인 알루미늄플레이트(3)가 적층된 구조로 이루어져 있다.One or more heat generating means are installed in the above-described oven. Referring to the conventional structure of the heat generating means, as shown in FIG. 1, the
그러나, 이와 같은 발열수단의 경우, 대형화 추세에 있는 현재 LCD 글라스의 기술 동향에 비추어볼 때, 발열수단 역시 대형화 되어야 하나, 적층된 구성요소가 많아 두께가 두꺼워져 자중에 의해 처지게 되는 문제점이 있는 것이었다.However, in the case of such heat generating means, in view of the current trend of LCD glass technology, which has become larger in size, the heat generating means must also be enlarged, but there is a problem that the thickness of the stacked components is large and sagging due to its own weight. Was.
이를 보완하기 위해서는 첨부 도면 도 2에서 보는 바와 같이, 보강파이프(4)를 발열수단의 하부면에 배열시켜 지지하도록 하는 구조로 이루어져 있어, 동일 용적를 갖는 오븐에서 발열수단의 단수 적어지게 되는 문제점이 있는 것이었다.To compensate for this, as shown in the accompanying drawings, as shown in FIG. 2, the
특히, 종래, 첨부 도면 도 2에서 보는 바와 같은 오븐의 경우, 열풍이 오븐의 각 단의 중앙에서 양측으로 분출되는 구조로 이루어져 있으나, 이는 열풍이 고르게 LCD 글라스로 전달되지 못하여 불균일하게 소성 또는 건조되는 문제점이 있는 것이었다. Particularly, in the related art, in the oven as shown in FIG. 2, hot air is blown out from the center of each stage of the oven to both sides. However, the hot air is not uniformly transferred to the LCD glass and is unevenly fired or dried. There was a problem.
상기와 같은 문제점을 고려하여 창출한 본 발명의 목적은 면적이 넓어져도 처지지 않는 발열수단을 제공하고, 발열수단의 설치 및 유지 보수가 용이하며, 고르게 LCD 글라스를 소성 또는 건조 시킬 수 있도록 하는 대면적 LCD 글라스의 화학물 증착 후 소성 또는 세척 후 건조를 위한 오븐을 제공하는데 있다. An object of the present invention created in view of the above problems is to provide a heating means that does not sag even if the area is wide, easy to install and maintain the heating means, and to be able to sinter or dry the LCD glass evenly. It is to provide an oven for baking after chemical deposition of area LCD glass or drying after washing.
이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 대면적 LCD 글라스의 가열을 위한 오븐에 있어서, 일측으로부터 타측 방향으로 하나 이상 인서트되어 외부에서 전원을 공급받아 발열하는 가열수단과, 전술한 가열수단과 수평 방향으로 형성되면서 일측 면 방향으로 다수개의 구멍이 연통되어 외부로부터 공급되는 프로세스가스를 고르게 분출하는 하나 이상의 통공을 포함하여 전술한 가열수단으로부터 전도되는 열에 의해 발열하는 발열수단과; 소정의 부피를 갖는 본체 내측에 소정의 간격을 갖으며 적층되는 전술한 발열수단에 의해 형성되어, 인입되는 LCD 글라스를 수용하는 가열공간과; 전술한 가열공간에 구비되어 LCD 글라스를 지지하는 지지수단과; 전술한 가열공간 일측 방향에만 형성되어 LCD 글라스가 인/출입되도록 하고, 프로세스가스가 배출되도록 하는 배출구를 포함하여서 구성됨을 특징으로 한다. In order to achieve the above object, the present invention provides an oven for heating a large-area LCD glass, wherein at least one insert is inserted from one side to the other direction to generate heat by receiving power from the outside; A heat generating means configured to generate heat by heat conducted from the above-described heating means, including one or more through-holes which communicate with a plurality of holes in one side direction and evenly eject the process gas supplied from the outside; A heating space formed by the above-described heat generating means stacked at a predetermined interval inside the main body having a predetermined volume to accommodate the LCD glass to be introduced; Support means provided in the above-described heating space for supporting the LCD glass; It is formed only in one direction of the above-described heating space is characterized in that it comprises a discharge port for the LCD glass is drawn in / out, the process gas is discharged.
이러한 본 발명은 로봇 암(Robot-Arm)이 일측 개방형 오븐(Oven)에 소성 또는 건조를 요하는 대면적 LCD 글라스를 투입한다. 그러면, 봉 형상의 가열수단이 내장된 발열수단이 발열하여 오븐 내부를 건조시킨다. 이와 동시에 외부로부터 공 급되는 프로세스가스가 발열수단에 균일하게 형성된 통공을 통해 고르게 분출되어 글라스의 건조를 돕는 한편, 오븐 내부에 발생된 흄(Fume : 중금속을 가열했을 때 발생하는 증기가 공기 중의 산소와 결합하여 생성된 것)을 오븐 일측에 형성된 배출구로 배출한다. 따라서, 본 발명은 발열수단에 내장된 가열수단과 발열수단을 통해 분출되는 프로세스가스가 글라스 전체를 고르게 건조시킴과 동시에 흄을 제거하게 된다.In the present invention, the robot arm (Robot-Arm) is injected into a large area LCD glass requiring firing or drying in one open oven (Oven). Then, the heat generating means in which the rod-shaped heating means is built-in heats and dries the inside of the oven. At the same time, the process gas supplied from the outside is evenly ejected through the through hole uniformly formed in the heating means to help dry the glass, while the fumes generated when the heavy metal is heated in the oven are oxygen in the air. Generated in combination with the discharge to an outlet formed on one side of the oven. Therefore, in the present invention, the heating means built in the heating means and the process gas ejected through the heating means dry the entire glass evenly and remove the fume at the same time.
이와 같이 되는 본 발명 중, 전술한 발열수단은 예컨대, 발열하면서 원적외선을 방사하는 IR플레이트일 수 있으며, 이는 금속산화물 또는 세라믹 재질로 되거나 이를 포함하는 것일 수 있다.In the present invention as described above, the above-described heating means may be, for example, an IR plate that emits far infrared rays while generating heat, which may be made of or include a metal oxide or ceramic material.
한편, 본 발명 중 전술한 발열수단에 포함되는 가열수단은 예컨대, 니켈 또는 크롬 등의 열선을 갖는 봉 형상의 히터일 수 있다.On the other hand, the heating means included in the above-described heating means of the present invention may be, for example, a rod-shaped heater having a heating wire such as nickel or chromium.
여기서, 전술한 가열수단은 예컨대, 발열수단의 일측으로부터 타측으로 관통하여 설치될 수도 있다.Here, the above-described heating means may be installed, for example, penetrating from one side of the heat generating means to the other side.
또한, 전술한 가열수단은 예컨대, 발열수단의 일측 중간 부분에 인서트될 수 있으며, 중간을 중심으로 양측에 대칭으로 다수개가 인서트될 수 있다.In addition, the above-described heating means may be inserted into, for example, an intermediate portion of one side of the heating means, and a plurality of symmetrical inserts may be inserted at both sides about the middle.
여기서, 가열수단은 발열수단을 지지할 수 있는 것이면 어떠한 구조도 만족한다. Here, the heating means satisfies any structure as long as it can support the heat generating means.
또한, 전술한 통공은 예컨대, 외부로부터 프로세스가스가 인입되는 단부로부터 타측 단부로 갈수록 직경이 좁아질 수도 있으며, 넓어질 수도 있다.In addition, the above-described through hole may be narrower or wider, for example, from the end from which the process gas enters from the outside to the other end.
여기서, 통공의 직경 차이는 외부로부터 공급되는 프로세스가스를 고르게 분 출시킬 수 있도록 하는 것으로, 이를 위한 통공의 형성 구조는 어떠한 것이든 만족한다. Here, the difference in the diameter of the through hole is to be able to evenly eject the process gas supplied from the outside, the structure for forming the through hole for this satisfies any.
한편, 본 발명 중, 전술한 지지수단은 예컨대, 구형상의 석영일 수 있으며, 로봇암에 의해 입체적으로 이동될 수도 있다.Meanwhile, in the present invention, the above-mentioned support means may be, for example, spherical quartz, and may be three-dimensionally moved by the robot arm.
여기서, 지지수단의 형상과 재질은 LCD 글라스의 표면을 손상시키지 않으면서도, 난반사를 방지할 수 있는 것이면 어떠한 것이든 만족한다.Here, the shape and the material of the support means satisfy any thing as long as it can prevent diffuse reflection without damaging the surface of the LCD glass.
또 한편, 본 발명 중, 배출구는 예컨대, 본체에 설치되는 개폐수단에 의해 개폐될 수도 있으며, 이 경우 개폐수단에는 별도의 배출구멍이 형성될 수도 있다.On the other hand, in the present invention, the discharge port may be opened and closed by, for example, the opening and closing means installed in the main body, in this case, the opening and closing means may be formed with a separate discharge hole.
또 한편, 본 발명에서 건조와 흄 제거를 목적으로 사용하는 프로세스가스는 N2(질소)가스일 수 있으나, 이에 한정하지 않는다. In addition, the process gas used for the purpose of drying and removing the fume in the present invention may be an N 2 (nitrogen) gas, but is not limited thereto.
이와 같이 되는 본 발명의 실시예를 첨부 도면을 참고하여 설명하면 다음과 같다.An embodiment of the present invention as described above will be described with reference to the accompanying drawings.
먼저, 본 발명은 첨부 도면 도 3 내지 도 5에서 보는 바와 같이, 일측으로부터 타측 방향으로 하나 이상 인서트되어 외부에서 전원을 공급받아 발열하는 가열수단(11)과, 전술한 가열수단(11)과 수평 방향으로 형성되면서 일측 면 방향으로 다수개의 구멍(12a)이 연통되어 외부로부터 공급되는 프로세스가스를 고르게 분출하는 하나 이상의 통공(12)을 포함하여 전술한 가열수단(11)으로부터 전도되는 열에 의해 발열하는 발열수단(10)과; 소정의 부피를 갖는 본체(20) 내측에 소정의 간격을 갖으며 적층되는 전술한 발열수단(10)에 의해 형성되어, 인입되는 LCD 글라스(G)를 수용하는 가열공간(21)과; 전술한 가열공간(21)에 구비되어 LCD 글라스 (G)를 지지하는 지지수단(22)과; 전술한 가열공간(21) 일측 방향에만 형성되어 LCD 글라스(G)가 인/출입되도록 하고, 프로세스가스가 배출되도록 하는 배출구(23)를 포함하여서 구성된다.First, the present invention, as shown in the accompanying drawings, Figures 3 to 5, the heating means 11 is inserted into one or more directions from one side to the other direction to generate heat by receiving power from the outside, and the heating means 11 and the horizontal And a plurality of
여기서, 본 발명의 발열수단(10)은 발열하면서 원적외선을 방사하는 IR플레이트로서, 금속산화물 또는 세라믹 재질로 되거나 이를 포함하는 것이다. Here, the heat generating means 10 of the present invention is an IR plate that emits far infrared rays while generating heat, and is made of or include a metal oxide or ceramic material.
또한, 본 발명의 전술한 가열수단(11)은 발열수단(10)의 일측으로부터 타측으로 인서트되는 재질이 니켈/크롬으로 된 열선을 수용하는 봉 형상의 히터로서, 전술한 가열수단(11)은 전원이 공급되면 열선 자체의 전기저항에 의해 열이 발생되고, 발생된 열은 금속산화물 또는 세라믹을 포함한 발열수단(10)을 가열시켜 발열수단(10)이 원적외선을 방사시키도록 한다.In addition, the above-described heating means 11 of the present invention is a rod-shaped heater for receiving a heating wire made of nickel / chromium material is inserted from one side to the other side of the heat generating means 10, the heating means 11 described above When power is supplied, heat is generated by the electrical resistance of the heating wire itself, and the generated heat heats the heat generating means 10 including the metal oxide or ceramic so that the heat generating means 10 radiates far infrared rays.
또한, 가열수단(11)은 대면적 LCD 글라스(G)에 적용되도록 대형화된 발열수단(10)이 자중에 의해 처지는 것을 최소화하도록 발열수단(10)을 지지한다.In addition, the heating means 11 supports the heat generating means 10 to minimize the sagging of the heat generating means 10 enlarged to be applied to the large area LCD glass G by its own weight.
그러나, 종래의 가열수단은 열선이 프린팅된 얇은 박판 형태의 열선플레이트로 이루어져 있어, 발열 온도가 높지 않을 뿐 아니라, 대형화된 발열수단의 처짐을 지지하지 못하여 전체적인 형상의 변형을 일으키고 있었다.However, the conventional heating means is composed of a thin plate-shaped hot wire plate printed with a heating wire, not only does not generate a high heat generation temperature, but also does not support the sagging of the enlarged heating means, causing deformation of the overall shape.
이때, 본 발명의 전술한 가열수단(11)은 발열수단(10)의 일측 중간 부분에 형성된 홀(Hole)에 인서트되는 것으로, 1개가 중간 부분에 인서트 될 수 도 있고, 중간 부분을 중심으로 양측에 대칭으로 2개 또는 그 이상이 인서트될 수 있다.At this time, the above-described heating means 11 of the present invention is inserted into a hole (Hole) formed in one side middle portion of the heat generating means 10, one may be inserted in the middle portion, both sides around the middle portion Two or more may be inserted symmetrically in the.
이는, 발열수단(10)의 발열 온도 및 처짐을 고려하여 선택적으로 적용한다. This is selectively applied in consideration of the heat generation temperature and deflection of the heat generating means 10.
또한, 전술한 통공(12)은 전체적으로 직경이 동일하게 하는 것이 바람직하 나, 직경의 차이를 두어 외부로부터 공급되는 프로세스가스를 고르게 분출시키는 것도 바람직하다.In addition, the above-described through
한편, 전술한 지지수단(22)은 구형상의 석영을 적용하여 LCD 글라스(G)의 표면을 손상시키지 않도록 하면서 열의 난반사를 방지한다.On the other hand, the support means 22 described above prevents diffuse reflection of heat while applying spherical quartz to avoid damaging the surface of the LCD glass (G).
이때, 지지수단(22)은 별도의 로봇암에 의해 전후좌우 방향으로 사전에 설정된 제어루트에 따라 이동된다.At this time, the support means 22 is moved according to the control route set in advance in the front, rear, left and right directions by a separate robot arm.
이와 같은 본 발명은 또한, 첨부 도면 도 6의 a), b)에서 보는 바와 같이, 전술한 통공(12)으로부터 발열수단(10)의 일측 방향으로 형성되는 구멍(12a)을 상부로 형성할 수도 있으며, 상하 양방으로 형성할 수 도 있다.In the present invention, as shown in (a) and (b) of FIG. 6, the above-described
이와 같이 되는 본 발명은 봉 형상의 가열수단을 발열수단에 내장시켜 가열수단이 발열수단을 지지하도록 함으로써, 대면적 글라스의 건조를 위해 면적이 넓을 수밖에 없는 발열수단의 처짐 현상을 방지함과 동시에, 발열수단의 구조를 간소화함으로써, 발열수단의 제작ㆍ설치 및 유지 보수가 용이하도록 하는 한편, 발열수단의 두께를 현저히 슬림화할 뿐 아니라, 발열수단의 통공을 통해 고르게 분출되는 프로세스가스에 의해 글라스를 고르게 소성 또는 건조함으로써, 건조 효율을 향상시키는 효과를 얻는다.In the present invention as described above, the rod-shaped heating means is built in the heating means so that the heating means supports the heating means, thereby preventing the drooping phenomenon of the heating means that must be large for drying the large area glass. By simplifying the structure of the heat generating means, it is easy to manufacture, install, and maintain the heat generating means, while not only significantly reducing the thickness of the heat generating means, but evenly spreading the glass by the process gas evenly ejected through the through hole of the heat generating means. By baking or drying, the effect of improving a drying efficiency is acquired.
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