KR100625313B1 - 마그네틱 구동을 이용한 셔터 어셈블리 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 마그네틱 구동을 이용한 셔터 어셈블리에 관한 것으로, 챔버의 기판 출입구를 개방 및 폐쇄시키는 회전식 셔터; 상기 셔터에 회전력을 부여하는 축; 상기 축의 일단부에 마련된 피동 자석; 상기 챔버를 둘러싸는 바디를 사이에 두고 상기 피동 자석과 대면하는 구동 자석; 및 상기 구동 자석에 회전력을 전달하는 구동원을 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하면, 바디에 홀을 형성할 필요가 없으므로 바디 내의 환경 기밀성이 보장되어 누출 현상이 없어진다.

Description

마그네틱 구동을 이용한 셔터 어셈블리{MAGNETIC DRIVEN SHUTTER}
도 1은 본 발명에 따른 마그네틱 구동을 이용한 셔터 어셈블리를 도시한 측면도.
도 2는 본 발명에 따른 마그네틱 구동을 이용한 셔터 어셈블리를 도시한 정면도.
< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 >
80; 웨이퍼 출입구 90; 챔버
100; 셔터 102; 기밀 부재
104a, 104b; 접촉 부재 110; 연결 부재
120; 축 200; 구동 자석
210; 모터 220; 피동 자석
300; 바디
본 발명은 셔터 어셈블리에 관한 것으로, 보다 상세하게는 마그네틱을 이용하여 개폐 구동을 구현하는 셔터 어셈블리에 관한 것이다.
반도체 메모리 소자의 기판으로 사용되는 웨이퍼(wafer), 액정디스플레이 또는 플라즈마 디스플레이 패널로 사용되는 평판 기판 등의 위에는 소정의 박막과 금속막 등 여러 공정을 거쳐 메모리 소자나 디스플레이 소자로 제조된다. 이러한 각 공정은 외부와는 격리된 환경을 제공하는 챔버(chamber)라는 장비내에서 진행된다. 따라서, 챔버에는 기판의 출입을 허용하는 도어(door)를 개폐할 수 있는 셔터(shutter)가 마련되는 것이 종래이다.
이러한 셔터의 개폐 동작을 구현하기 위해선 모터나 실린더와 같은 구동 장치가 필수적이다. 그런데, 셔터의 구동 장치는 챔버를 둘러싸는 바디 외부에 설치되는 것이 일반적이다. 그런데, 종래의 셔터는 축의 회전에 의해서 동작하므로 축이 설치될 수 있게끔 바디에는 홀이 가공되어야 한다. 이렇게 바디에 홀이 가공되어 있으면 홀을 통해 공정에 사용되는 화학약품이 외부로 누출될 수 있거나, 또는 외부로부터 바디 내부로 특정 물질이 들어가게 되어 바디 내부의 환경이 오염될 수 있는 문제점이 있다.
이에 본 발명은 상기한 종래 기술상의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 바디 내의 기밀성이 담보될 수 있는 셔터 어셈블리를 제공함에 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 셔터 어셈블리는 마그네틱을 이용하여 개폐 구동이 가능한 것을 특징으로 한다.
상기 특징을 구현할 수 있는 본 발명에 따른 셔터 어셈블리는 챔버의 기판 출입구를 개방 및 폐쇄시키는 회전식 셔터; 상기 셔터에 회전력을 부여하는 축; 상기 축의 일단부에 마련된 피동 자석; 상기 챔버를 둘러싸는 바디를 사이에 두고 상기 피동 자석과 대면하는 구동 자석; 및 상기 구동 자석에 회전력을 전달하는 구동원을 포함하는 것을 특징으로 한다.
이 실시예에 의하면, 상기 피동 자석과 상기 구동 자석은 원반 형태인 것을 특징으로 한다. 상기 피동 자석은 상기 구동 자석의 회전력을 자력에 의해 전달받아 상기 구동 자석이 회전될 때 동시에 회전되는 것을 특징으로 한다. 상기 셔터의 일부분에 제1자석이 더 포함하고, 상기 챔버에는 상기 제1자석과는 다른 극성을 가진 제2자석이 더 포함하는 것을 특징으로 한다. 상기 제1자석과 상기 제2자석의 자력 세기는 상기 피동 자석 및 상기 구동 자석의 자력 세기에 비해 상대적으로 작은 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 마그네틱을 이용한 셔터 어셈블리에 의하면 바디에 홀을 형성할 필요가 없으므로 바디 내의 환경 기밀성이 보장되어 누출 현상이 없어진다.
본 발명에 따른 마그네틱을 이용한 셔터 어셈블리를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
본 발명과 종래 기술과 비교한 이점은 첨부된 도면을 참조한 상세한 설명과 특허청구범위를 통하여 명백하게 될 것이다. 특히, 본 발명에 따른 반도체 소자의 제조 장치는 특허청구범위에서 잘 지적되고 명백하게 청구된다. 그러나, 본 발명에 따른 반도체 소자의 제조 장치는 첨부된 도면과 관련해서 다음의 상세한 설명을 참 조함으로써 가장 잘 이해될 수 있다. 도면에 있어서 동일한 참조부호는 다양한 도면을 통해서 동일한 구성요소를 나타낸다.
(실시예)
도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 마그네틱 구동을 이용한 셔터 어셈블리는 셔터(100)를 회전시키는 축(120)과는 소정의 연결 부재(110)와 연결된다. 여기서, 셔터(100)는 특정 공정이 진행되는 챔버(90) 일부분에 형성된 기판 출입구(80)를 선택적으로 개방시키거나 이를 폐쇄시키는 장치이다.
셔터(100)와 출입구(80)와 직접 맞닿는 셔터 일부분(102)에는 직접적인 마찰로 인해 발생되는 셔터(100)의 부분적 마모를 방지하여 챔버 내의 기밀성을 확보하기에 적합한 부재로 이루어지는 것이 바람직하다. 예를 들어, 기밀 부재(102)는 탄력성이 있으며 내마모성이 있는 수지 등으로 이루어질 수 있다.
후술하는 바와 같이, 축(120)의 회전에 의해 셔터(100)는 화살표 방향(A)으로 회전하여 출입구(80)를 폐쇄시킨다. 이때, 셔터(100)가 열리지 아니하고 출입구(80)를 폐쇄하는 상태를 계속적으로 확보하기 위해 셔터의 일부분(104a)과 챔버(90)의 일부분(104b)에 각각 접촉 부재, 예를 들어, 자석을 내장하는 것이 바람직하다. 예를 들어, 셔터(100)의 자석(104a) 극성은 N극이고, 챔버(90)의 자석(104b)은 S극일 수 있다. 이에 따라, N극과 S극의 인력 작용에 의해 셔터(100)는 챔버(90)의 벽에 계속적으로 접촉하게 출입구(80)의 폐쇄를 온전히 유지할 수 있게 된다.
도 2를 참조하면, 축(120)의 회전은 마그네틱 구동을 이용한다. 즉, 챔버(90)를 둘러싸는 바디(300)쪽을 향하는 축(120)의 일단부에는 자석(220;이하, 피동 자석)이 달려있다. 그리고, 바디(300)를 사이에 두고 축(120)과 연결된 자석(220) 너머에는 또 다른 자석(200;이하, 구동 자석)이 모터(210)의 구동축(230) 일단부에 달려있다. 피동 자석(220)과 달리 구동 자석(200)은 구동원인 모터(210)의 회전력을 전달받아 회전할 수 있다. 자석(220,200)을 이용함으로써 종래와 같이 바디(300)에 축(120) 설치를 위한 홀을 형성할 필요가 없다.
피동 자석(220)과 구동 자석(200)은 구동 자석(200)이 모터(210)에 의해 회전될 때 자력(Magnetic force)에 의해 피동 자석(220)도 같은 속도로 회전될 수 있을만큼의 자력 세기를 가져야 할 것이다. 그리고, 양 자석(200,220)간의 간격도 마찬가지일 것이다. 한편, 도 1에 도시된 바와 같이, 셔터(100)와 챔버(90)의 일부분에도 각각 자석(104a,104b)이 있는 바, 이 자석(104a,104b)의 자력 세기는 피동 및 구동 자석(220,200)의 자력에 비해 상대적으로 작아야 할 것이다. 그래야만, 구동 자석(200)의 회전이 피동 자석(220)의 회전을 유발하고, 결과적으로 셔터(100)가 개방 또는 폐쇄 방향으로 움직여야 하기 때문이다. 한편, 피동 자석(220)과 구동 자석(200)의 형태는 큰 원반 형태인 것이 회전에 도움이 될 것이다.
상기와 같이 구성된 마그네틱을 이용한 셔터 어셈블리는 다음과 같이 동작한다.
도 1 및 도 2를 다시 참조하면, 소정의 공정을 진행되어야 할 기판(70)이 출입구(80)를 통해 챔버(90) 내부로 들어오게 되면, 챔버(90) 내부 환경을 외부와 격리시키기 위해 셔터(100)가 회전하여 출입구(80)를 폐쇄한다. 셔터(100)의 구동 자 석(200)과 피동 자석(220) 사이의 자력에 의한다. 일단 모터(210)가 구동하면 모터 구동축(230) 끝부분에 달린 구동 자석(200)이 회전하게 된다. 일단 구동 자석(200)이 회전하게 되면 바디(300) 너머에 있는 피동 자석(220)은 같은 방향과 같은 속도로 회전된다. 피동 자석(220)이 회전하게 되면 축(120)도 같이 회전하게 되어 셔터(100)가 회전되어 출입구(80)를 폐쇄한다. 한편, 셔터(100)와 챔버(90)는 접촉 부재, 즉 약한 자력을 갖는 자석(104a,104b)에 의해 폐쇄 상태를 온전히 유지한다. 챔버(90)내의 기판(70)에 대한 소정의 공정이 완료되면 상기와 같은 작용으로 출입구(80)는 개방된다.
이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내고 설명하는 것에 불과하며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 그리고, 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위 내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 전술한 실시예들은 본 발명을 실시하는데 있어 최선의 상태를 설명하기 위한 것이며, 본 발명과 같은 다른 발명을 이용하는데 당업계에 알려진 다른 상태로의 실시, 그리고 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서, 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.
이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 마그네틱을 이용한 셔터 어셈블리에 의하면, 바디에 홀을 형성할 필요가 없으므로 바디 내의 환경 기밀성이 보장되어 누출 현상이 없어진다.

Claims (5)

  1. 챔버의 기판 출입구를 개방 및 폐쇄시키는 회전식 셔터;
    상기 셔터에 회전력을 부여하는 축;
    상기 축의 일단부에 마련된 피동 자석;
    상기 챔버를 둘러싸는 바디를 사이에 두고 상기 피동 자석과 대면하는, 그리고 상기 축의 연장선상에 놓이는 구동 자석; 및
    상기 구동자석이 상기 축을 중심으로 회전되도록 상기 구동 자석에 회전력을 전달하는 구동원;
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 셔터 어셈블리.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 피동 자석과 상기 구동 자석은 원반 형태인 것을 특징으로 하는 셔터 어셈블리.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 피동 자석은 상기 구동 자석의 회전력을 자력에 의해 전달받아 상기 구동 자석이 회전될 때 동시에 회전되는 것을 특징으로 하는 셔터 어셈블리.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 셔터가 자석의 인력 작용에 의해 상기 챔버의 벽에 계속적으로 접촉하도록, 상기 셔터는 상기 챔버의 벽과 접촉하는 일부분에 제1자석을 더 포함하고, 상기 챔버는 상기 제1자석과는 다른 극성을 가진 제2자석을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 셔터 어셈블리.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제1자석과 상기 제2자석의 자력 세기는 상기 피동 자석 및 상기 구동 자석의 자력 세기에 비해 상대적으로 작은 것을 특징으로 하는 셔터 어셈블리.
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