KR100588420B1 - 유동레일을 구비한 롤러형 이송장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 유동레일을 구비한 롤러형 이송장치에 관한 것이다.
본 발명의 유동레일을 구비한 롤러형 이송장치는 구동롤러, 고정롤러, 고정레일, 유동롤러, 유동레일, 이송벨트, 모터, 구동롤러받침대, 탄성부재, 고정용볼트, 구동롤러고정블럭, 좌우지지대를 포함하여 구성된다.
본 발명의 유동레일을 구비한 롤러형 이송장치는 좌우로 이동이 가능한 유동레일을 이송장치에 설치하여, 다이본더시 사용되는 다양한 모양과 크기의 리드프레임과 서브스트레이트를 이송할 수 있고, 유동레일을 좌우로 이동시킨 후 탄성부재에 의해 구동롤러와 이송롤러가 밀착되어 작동하므로, 조작이 쉽고 간편하다.
이송장치, 롤러형, 유동레일, 리드프레임, 서브스트레이트
Description
도 1은 본 발명의 유동레일을 구비한 롤러형 이송장치의 사시도.
도 2는 본 발명의 롤러형 이송장치의 회전롤러의 평면도.
도 3은 본 발명의 롤러형 이송장치의 정단면도.
도 4는 본 발명의 롤러형 이송장치의 측면도.
도 5는 본 발명의 롤러형 이송장치의 롤러 회전의 작용도.
도 6은 본 발명의 롤러형 이송장치의 회전롤러와 레일의 작용도.
도 7a는 본 발명의 롤러형 이송장치의 회전롤러의 폭을 조절하기 위하여 구동롤러를 아래로 내린것을 나타낸 상태도.
도 7b는 본 발명의 롤러형 이송장치의 회전롤러의 폭을 조절하기 위하여 구동돌러를 고정하기 위하여 고정볼트를 조이는 것을 나타낸 상태도.
도 7c는 본 발명의 롤러형 이송장치의 유동레일을 이동시키는 것을 나타낸 상태도.
도 7d는 본 발명의 롤러형 이송장치의 유동레일을 이동시킨후 고정볼트를 푸는 것을 나타낸 상태도.
도 7e는 본 발명의 롤러형 이송장치의 구동롤러가 탄성부재의 작용에 의해 이송롤러에 밀착 된 것을 나타낸 상태도.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
10 : 구동롤러 12 : 구동롤러축
14 : 우레탄 20 : 제1이송롤러
25 : 제2이송롤러 40 : 제3이송롤러
45 : 제4이송롤러 50 : 제5이송롤러
51 : 제1이송벨트 55 : 제6이송롤러
56 : 제2이송벨트 60 : 제7이송롤러
61 : 제3이송벨트 65 : 제8이송롤러
66 : 제4이송벨트 70 : 유동레일
80 : 고정레일 90 : 구동롤러받침대
100 : 구동롤러받침대지지대 110 :탄성부재
120 : 구동롤러고정블럭 130 : 고정용볼트
140 : 모터 150 : 좌우지지대
160 : 유동레일가이드 170 : 회전벨트
300 : 서브스트레이트
본 발명은 유동레일을 구비한 롤러형 이송장치에 관한 것이다.
본 발명의 유동레일을 구비한 롤러형 이송장치는 반도체 제조 공정중 칩(CHIP)과 리드프레임(LEAD FRAME)또는 서브스트레이트(SUBSTRATE)를 접합시키는 다이본딩(DIE BONDNG)시 리드프레임 또는 서브스트레이트를 이송하는 장치에 관한 것이다.
본 발명의 롤러형 이송장치는 크기와 형태가 다양해진 서브스트레이트를 간편한 조작에 의해 모두 수용하고 이송할 수 있도록 한 이송장치에 관한 것으로 기존에는 새로운 서브스트레이트나 피씨비를 이송하기 위해서는 새로 이송장비를 제작하거나 기존 장비를 재조립하여 이송레일 폭을 조정하는 방법을 사용해 왔었다.
종래기술로는 리드프레임 본딩장치등에서 리니어모터 및 리니어 스케일센서를 이용하여 정확하고 신속한 리드프레임 위치제어를 할수 있도록 한 등록실용신안 제0216622호(리니어스케일을 이용한 리드프레임 이송장치)가 공개되어 있다. 그러나, 상기 기술은 다양한 종류의 리드프레임이나 서브스트레이트를 이송할 수 없는 문제점이 있었다.
또 다른 종래 기술로는 이송벨트의 흔들림 현상을 방지하여 리드프레임의 손상율을 줄일 수 있도록 발명된 공개특허 공개번호 특2003-009129호(리드프레임 이송장치)가 공개되어 있다. 그러나, 상기 기술 또한 다양한 종류의 리드프레임이나 서브스트레이트를 이송할 수 없는 문제점이 있었다.
본 발명의 이송장치는 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 구동롤러를 축으로 고정롤러가 설치된 고정레일과 좌우로 움직일 수 있는 이동롤러가 설치된 유동레일을 구비하여, 다양한 종류의 리드프레임 또는 서브스트레이트를 이송할 수 있는 이송장치를 제공하는 데 목적이 있다.
본 발명은 유동레일을 구비한 롤러형 이송장치에 관한 것이다.
본 발명의 유동레일을 구비한 롤러형 이송장치는 좌우로 이동이 가능한 유동레일을 이송장치에 설치하여, 다이본더시 사용되는 다양한 모양과 크기의 리드프레임 또는 서브스트레이트를 이송할 수 있고, 유동레일을 좌우로 이동시킨 후 탄성부재에 의해 구동롤러와 이송롤러가 밀착되어 작동하므로, 조작이 쉽고 간편하다.
본 발명의 유동레일을 구비한 롤러형 이송장치는
모터(140)의 회전축에 연결된 회전벨트(170)와 연결되어 회전하는 구동롤러(10)와;
상기 구동롤러(10)와 밀착되어 회전하는 제2이송롤러(25)와 제4이송롤러(45)로 구성된 고정롤러와;
상기 고정롤러가 중심에 결합되고 양끝에 제6이송롤러(55)와 제8이송롤러(65)가 설치되는 고정레일(80)과;
상기 구동롤러(10)와 밀착되어 회전하고 구동롤러(10)위에서 좌우로 움직이는 제1이송롤러(20)와 제3이송롤러(40)로 구성되는 유동롤러와;
상기 유동롤러가 중심에 결합되고 양끝에 제5이송롤러(50)와 제7이송롤러(60)가 결합되는 유동레일(70)과;
상기 고정롤러와 유동롤러의 회전력을 전달해 주는 이송벨트(51,56,61,66)와;
상기 구동롤러(10)를 회전시키는 회전벨트(170)와 연결되어 구동롤러(10)를 회전시키는 모터(140)와;
상기 구동롤러(10)의 회전축이 좌우에 설치되고, 하부에 구동롤러받침대지지대(100)가 설치되고, 측면에는 고정용볼트(130)가 결합될 수 있는 나사홈이 만들어진 구동롤러받침대(90);
상기 구동롤러받침대(90)의 아래 설치되어 구동롤러(10)가 고정롤러와 가변형롤로에 밀착되도록 하는 탄성부재(100)와;
상기 구동롤러받침대(90)의 측면에 결합되어 구동롤러받침대(90)를 상하움직임을 고정하는 고정용볼트(130)와;
상기 구동롤러받침대(90)의 구동롤러받침대지지대(100)가 결합되는 홀이 형성되어 있고 외부지지대와 결합되어 구동롤러받침대(90)의 상하 왕복축이 되는 구동롤러고정블럭(120)과;
상기 고정레일(80)의 양끝이 모서리에 고정되고 상부에 형성된 유동레일가이드(160)에 유동레일(70)이 좌우로 움직일 수 있도록 설치되고 고정레일(80)과 유동레일(70)을 지지하는 좌우지지대(150)를 포함하여 구성된다.
본 발명의 유동레일을 구비한 롤러형 이송장치를 도면을 참조로 상세히 설명한다.
그러나, 도면에 의해서 본 발명의 기술적 사상이 한정되는 것은 아니다.
도 1은 본 발명의 롤러형 이송장치의 분해사시도이다.
본 발명의 유동레일을 구비한 롤러형 이송장치는 구동롤러(10), 고정롤러(25,45), 고정레일(80), 유동롤러(20,40), 유동레일(70), 이송벨트(51,56,61,66), 모터(140), 구동롤러받침대(90), 탄성부재(110), 고정용볼트(130), 구동롤러고정블럭(120), 좌우지지대(150)를 포함하여 구성된다.
구동롤러(10)는 모터(140)에 의한 회전력이 전달되는 구동롤러축(12)과 구동롤러축을 둘러싸고 있는 우레탄(14)으로 구성된다. 구동롤러(10)는 모터(140)에서 발생한 회전력을 회전벨트(170)를 통하여 전달받아 고정롤러(25.45)와 유동롤러(20,40)에 회전력을 전달하는 역할을 한다. 구동롤러(10)는 구동롤러받침대(90)에 구동롤러축(12)이 결합되어 구동롤러받침대(90)와 같이 상하로 움직여서 고정롤러, 유동롤러와 밀착되고 떨어진다. 구동롤러(10)의 길이는 다양한 크기의 리드프레임이나 서브스트레이트가 올라갈 수 있도록 가장 큰 리드프레임이나 서브스트레이트의 폭만큼 길이로 만들어진다.
고정롤러(25,45)는 상기 구동롤러(10)와 밀착되어 회전되는 이송롤러로 제2이송롤러(25)와 제4이송롤러(45)로 구성된다. 고정롤러(25,45)는 구동롤러(10)의 한끝에 고정되어 구동롤러(10)와 같이 회전한다. 고정롤러(25,45)의 둘레의 양 끝단에는 구동롤러(10)의 회전력을 잘 전달하기 위하여 실리콘 또는 우레탄 재질로 둘러 싸여져 있다. 또한, 제2이송벨트(56)와 제4이송벨트(66)에 연결되어 이송벨트(56,66)에 회전력을 전달해 준다. 고정롤러(25.45)는 고정레일(80)에 설치된다.
유동롤러(20,40)는 상기 구동롤러(10)와 밀착되어 회전하며 구동롤러(10)의 축을 따라 이동하며 제1이송롤러(20)와 제3이송롤러(40)로 구성된다. 유동롤러(20,40)도 상기한 고정롤러(25,45)처럼 둘레의 양 끝단에 구동롤러(10)의 회전력을 잘 전달하기 위하여 실리콘 또는 우레탄 재질로 둘려 싸여져 있고, 제1이송벨트(51)와 제3이송벨트(61)에 연결되어 회전력을 이송벨트(55,56)에 전달한다. 또한, 유동레일(70)에 결합되어 유동레일(70)과 같이 상기 구동레일(10)위를 좌우로 움직인다.
도 2은 구동레일(10)위에 고정레일(80)과 고정롤러(25,45), 유동레일(70)과 유동롤러(20,40)가 결합된 것을 나타낸 것이다.
고정레일(80)에 설치되는 고정롤러(25,45)는 회전축에 베어링을 설치하여 고정롤러(25,45)의 회전을 원할하게 한다.
또한, 유동레일(70)에 설치되는 유동롤러(20,40)도 회전축에 베어링을 설치하여 유동롤러(20,40)의 회전을 원할하게 한다.
이송벨트(51,56,61,66)는 상기 고정롤러(25,45)와 유동롤러(20,40)의 회전력을 고정레일(80)과 유동레일(70)의 양끝에 설치된 이송롤러로 전달한다. 고정롤러(25,45)와 유동롤러(20,40)의 폭 보다 작으며, 롤러의 회전력을 잘 전달할 수 있는 합성수지나 고무등의 재질로 만들어진다. 실리콘재질의 벨트가 신축성과 밀착성이 가장 좋다.
모터(140)는 구동롤러(10)를 회전시키는 원동력으로 회전벨트(170)에 의하여 회전력이 구동롤러(10)에 전달된다. 모터(140)는 부하에 상관없이 일정한 속도로 회전하는 정속도 모터가 사용된다.
구동롤러받침대(90)는 상기 구동롤러(10)의 회전축의 양끝이 결합되어 회전을 하고, 구동롤러(10)를 고정롤러(25,45)와 유동롤러(20,40)에 밀착시키고 분리시킬수 있도록 한다. 구동롤러(10)가 결합된 구동롤러받침대(90)가 위아래로 움직여 고정롤러(25,45)와 유동롤러(20,40)에 밀착되고 분리된다. 구동롤러받침대(90)는 하부에 상하움직임의 지지대역할을 하는 구동롤러받침대지지대(100)가 설치되어 있다. 구동롤러받침대(90)는 '└┘' 형태의 구동롤러받침대(90)의 하부에 구동롤러받침대지지대(100)가 결합되고, 측면에는 고정용볼트(130)를 결합할 수 있도록 나사가 형성된 홀이 있는 돌출된면이 만들어져 있다.
탄성부재(110)는 상기 구동롤러받침대(90)의 아래 설치되어 구동롤러받침대(90)를 위로 밀어주는 역할을 한다. 구동롤러받침대(90)를 위로 밀어 올려주어 구동롤러받침대(90)에 결합되어 있는 구동롤러(10)를 고정롤러(25,45)와 유동롤러(20,40)에 밀착되게 한다. 탄성이 있는 스프링으로 만들어 진다.
고정용볼트(130)는 상기 구동롤러받침대(90)의 측면에 만들어져 있는 나사홀에 결합되어 구동롤러받침대(90)를 아래로 내려 고정롤러(25,45)와 유동롤러(20,40)로 부터 구동롤러받침대(90)에 결합된 구동롤러(10)를 분리시킨 후 탄성부재(110)의 탄성에 의해서 위로 올라가지 않도록 하기 위하여 구동롤러고정블럭(120)에 고정하고, 고정롤러(25,45)와 유동롤러(20,40)에 밀착시키기 위해서는 고정용볼트(130)를 풀어 탄성부재(110)의 탄성력에 의하여 밀착되도록 한다.
구동롤러고정블럭(120)은 상기 구동롤러받침대(90)를 고정하기 시켜주는 것 으로 구동롤러받침대(90)의 구동롤러받침대지지대(100)가 결합되어 위 아래로 움직일수 있는 홀이 만들어져 있고, 상기 탄성부재(110)를 설치할 수 있는 홀이 만들어져 있다.
좌우지지대(150)는 상기 고정레일(80)과 유동레일(70)의 양끝단을 고정하기 위한 것으로 유동레일(70)이 움직일 수 유동레일가이드(160)이 만들어져 있다.
좌우지지대(150)는 고정레일(80)과 유동레일(70)이 구동레일(10)에 밀착될 수 있는 높이로 만들어진다.
도 3은 본 발명의 유동레일을 구비한 롤러형 이송장치의 정면도를 나타낸 것이다. 구동롤러(10)가 회전하면 고정롤러(25,45)가 돌아가는 것을 도시한 것이다. 고정용볼트(130)를 조이고 풀러서 구동롤러고정블럭(120)에 구동롤러받침대(90)에 고정시키거나 상하로 움직여 고정롤러(25,45)나 유동롤러(20,40)에 밀착되게 한다.
도 4는 본 발명의 유동레일을 구비한 롤러형 이송장치의 측면도로 각 작동부위를 도시하였다.
유동레일(70)은 구동롤러(10)위에서 서브스트레이트나 리드프레임의 크기만큼 사용자에 의해서 움직여지고, 구동롤러받침대(90)는 구동롤러고정블럭(120)을 축으로 상하로 움직인다. 유동레일(70)을 움직여 폭을 변환시킬 때는 구동롤러받침대(90)를 아래로 내리고, 내려진 구동롤러받침대(90)를 고정하기 위하여 고정용볼트(130)를 조여 구동롤러고정블럭(120)에 고정시킨다. 이때, 구동롤러(10)와 밀착되어 있던 고정롤러(25,45)와 유동롤러(20,40)가 분리되므로 이동이 용이해진다.
구동롤러(10)는 모터(140)의 회전이 회전벨트(170)로 전해져 회전한다.
도 5는 구동롤러(10)에 고정롤러(25,45)가 밀착되어 회전되는 것을 나타낸 것이다. 구동롤러(10)의 회전방향과 반대방향으로 회전하여 고정롤러(25,45)에 연결된 이송벨트(56,66)위에 올려진 서브스트레이트나 리드프레임이 이동하게 된다.
도 6은 구동롤러(10)에 밀착되어 회전하는 고정롤러(25,45)와 유동롤러(20,40)가 설치된 고정레일(80)과 유동레일(70)을 따라 리드프레임이나 서브스트레이트가 이송되는 것을 나타낸 것이다.
본 발명의 유동롤러를 구비한 롤러형 이송장치의 작용에 대하여 설명한다.
도 7a, 도 7b, 도 7c, 도 7d, 도 7e는 본 발명의 유동롤러를 구비한 롤러형 이송장치의 작용을 순차적으로 도시한 것이다.
기존 이송하던 서브스트레이트나 리드프레임과는 다른 종류의 서브스트레이트나 리드프레임을 이송하기 위해서 유동레일(70)과 고정레일(80)간의 폭을 조정해야한다.
구동롤러받침대(90)을 아래로 내린다. 구동롤러(10)은 구동레일받침대(90)에 회전축이 고정되어 있으므로 같이 내려가고, 구동롤러(10)와 유동롤러(20,40), 고정롤러(25,45)가 분리된다. 도 7a의 상태가 된다.
구동롤러받침대(90)와 결합되어 있는 고정용볼트(130)을 조여, 구동롤러고정블럭(120)에 결합되어 움직이지 못하게 한다. 도 7b의 상태가 된다.
유동레일(70)을 원하는 폭 만큼 이동시킨다. 도 7c의 상태가 된다.
구동롤러받침대(90)와 결합되어 있는 고정용볼트(130)를 풀어 구동롤러고정 블럭(120)과 분리한다. 도 7d의 상태가 된다.
탄성부재(110)의 탄성력에 의하여 구동롤러받침대(90)가 위로 올라가고 구동롤러(10)와 유동롤러(20,40),고정롤러(25,45)가 밀착되어 같이 회전할 수 있는 상태가 된다.
모터(140)가 회전하면 구동롤러(10)가 회전하고 구동롤러(10)와 반대방향으로 유동롤러(20,40)와 고정롤러(25,45)가 회전하고 유동롤러(20,40)와 고정롤러(25,45)에 설치되어 있는 이송벨트(51,56,61,66)도 같이 움직인다. 이송벨트(51,56,61,66)위로 리드프레임이나 서브스트레이트가 놓여지면 이송벨트의 방향으로 이동된다.
본 발명의 유동레일을 구비한 롤러형 이송장치는 좌우로 이동이 가능한 유동레일을 이송장치에 설치하여, 다이본더시 사용되는 다양한 모양과 크기의 리드프레임 또는 서브스트레이트를 이송할 수 있다.
또한, 유동레일을 좌우로 이동시킨 후 탄성부재에 의해 구동롤러와 이송롤러가 밀착되어 작동하므로, 조작이 쉽고 간편하다.
Claims (4)
- 반도체 제조 설비중 리드프레임 또는 서브스트레이트를 이송하는 장치에 있어서,모터(140)의 회전축에 연결된 회전벨트(170)와 연결되어 회전하는 구동롤러(10)와;상기 구동롤러(10)와 밀착되어 회전하는 제2이송롤러(25)와 제4이송롤러(45)로 구성되는 고정롤러와;상기 고정롤러가 중심에 결합되고 양끝에 제6이송롤러(55)와 제8이송롤러(65)가 설치되는 고정레일(80)과;상기 구동롤러(10)와 밀착되어 회전하고 구동롤러(10)위에서 좌우로 움직이는 제1이송롤러(20)와 제3이송롤러(40)로 구성되는 유동롤러와;상기 유동롤러가 중심에 결합되고 양끝에 제5이송롤러(50)와 제7이송롤러(60)가 결합되는 유동레일(70)과;상기 고정롤러와 유동롤러의 회전력을 전달해 주는 이송벨트(51,56,61,66)와;상기 구동롤러(10)를 회전시키는 회전벨트(170)와 연결되어 구동롤러(10)를 회전시키는 모터(140)와;상기 구동롤러(10)의 회전축이 좌우에 설치되고, 하부에 구동롤러받침대지지대(100)가 설치되고, 측면에는 고정용볼트(130)가 결합될 수 있는 나사홈이 만들어 진 구동롤러받침대(90);상기 구동롤러받침대(90)의 아래 설치되어 구동롤러(10)가 고정롤러와 가변형롤로에 밀착되도록 하는 탄성부재(100)와;상기 구동롤러받침대(90)의 측면에 결합되어 구동롤러받침대(90)를 상하움직임을 고정하는 고정용볼트(130)와;상기 구동롤러받침대(90)의 구동롤러받침대지지대(100)가 결합되는 홀이 형성되어 있고 외부지지대와 결합되어 구동롤러받침대(90)의 상하 왕복축이 되는 구동롤러고정블럭(120)과;상기 고정레일(80)의 양끝이 모서리에 고정되고 상부에 형성된 유동레일가이드(160)에 유동레일(70)이 좌우로 움직일 수 있도록 설치되고 고정레일(80)과 유동레일(70)을 지지하는 좌우지지대(150)를 포함하여 구성된,유동레일을 구비한 롤러형 이송장치
- 제 1항에 있어서,상기 구동롤러(10)는 구동롤러축(12)의 둘레를 우레탄으로 둘러싼 것을 특징으로 하는,유동레일을 구비한 롤러형 이송장치
- 제 1항에 있어서,상기 모터(140)는 정속도 모터인 것을 특징으로 하는,유동레일을 구비한 롤러형 이송장치
- 제 1항에 있어서,상기 이송벨트(51,56,61,66)는 실리콘 벨트인 것을 특징으로 하는,유동레일을 구비한 롤러형 이송장치
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020050034652A KR100588420B1 (ko) | 2005-04-26 | 2005-04-26 | 유동레일을 구비한 롤러형 이송장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020050034652A KR100588420B1 (ko) | 2005-04-26 | 2005-04-26 | 유동레일을 구비한 롤러형 이송장치 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR100588420B1 true KR100588420B1 (ko) | 2006-06-09 |
Family
ID=37182597
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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KR1020050034652A KR100588420B1 (ko) | 2005-04-26 | 2005-04-26 | 유동레일을 구비한 롤러형 이송장치 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100588420B1 (ko) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101159605B1 (ko) * | 2010-03-30 | 2012-06-27 | 현대제철 주식회사 | 조절형 탕면 프로파일 측정 장치 |
KR101772959B1 (ko) | 2016-06-15 | 2017-08-31 | 유금범 | 로프인양장치 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03245539A (ja) * | 1990-02-23 | 1991-11-01 | Toshiba Corp | リードフレーム搬送装置 |
KR920005860B1 (ko) * | 1988-08-25 | 1992-07-23 | 가부시키가이샤 도시바 | 리드프레임 반송장치 |
KR20000032322A (ko) * | 1998-11-13 | 2000-06-15 | 윤종용 | 리드 프레임 이송장치 |
-
2005
- 2005-04-26 KR KR1020050034652A patent/KR100588420B1/ko not_active IP Right Cessation
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR920005860B1 (ko) * | 1988-08-25 | 1992-07-23 | 가부시키가이샤 도시바 | 리드프레임 반송장치 |
JPH03245539A (ja) * | 1990-02-23 | 1991-11-01 | Toshiba Corp | リードフレーム搬送装置 |
KR20000032322A (ko) * | 1998-11-13 | 2000-06-15 | 윤종용 | 리드 프레임 이송장치 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101159605B1 (ko) * | 2010-03-30 | 2012-06-27 | 현대제철 주식회사 | 조절형 탕면 프로파일 측정 장치 |
KR101772959B1 (ko) | 2016-06-15 | 2017-08-31 | 유금범 | 로프인양장치 |
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