KR100576435B1 - 반도체 연소 시스템의 수소 가스 연소 장치 및 방법 - Google Patents

반도체 연소 시스템의 수소 가스 연소 장치 및 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 반도체 연소 시스템(burning system)의 수소 가스 연소 장치 및 방법에 관한 것이다.
본 발명은 반도체 확산 공정의 소결(sintering) 공정에 사용되는 연소 시스템의 수소 가스 연소 장치에 있어서, 수소 가스의 흐름을 초기 개/폐하는 제 1 밸브(10)와; 제 1 밸브(10)를 통해 유입되는 수소 가스를 1차 연소시키는 제 1 연소기(20)와; 제 1 연소기(20)에서 1차 연소되는 배기 가스의 흐름을 개/폐하는 제 2 밸브(12)와; 제 2 밸브(12)를 통해 유입되는 배기 가스를 2차 연소시키는 제 2 연소기(30)와; 제 2 연소기(30)에서 2차 연소되는 배기 가스의 흐름을 개/폐하는 제 3 밸브(14)와; 제 2 연소기(30)와 제 3 밸브(14) 사이에 장착되어, 제 2 연소기(30)에서 배출되는 배기 가스에서 수소 가스의 잔량 유무를 검출하는 수소 가스 검출기(40)와; 수소 가스 검출기(40)와 제 1 연소기(20) 사이에 병렬로 연결되어, 수소 가스 검출기(40)를 경유하여 제 1 연소기(20)로 제공되는 배기 가스의 흐름을 개/폐하는 제 4 밸브(13)와; 수소 가스 검출기(40)에서 검출되는 수소 가스의 잔량이 존재하지 않을 때까지 제 1 밸브(10), 제 2 밸브(12) 및 제 3 밸브(14)를 차단하고 제 4 밸브(13)를 개방하는 제어부(50)로 이루어진다. 따라서, 본 발명은 반도체 연소 공정에서의 안전성(安全性) 및 신뢰성(信賴性)을 확보하는 효과가 있다.

Description

반도체 연소 시스템의 수소 가스 연소 장치 및 방법{APPARATUS AND METHOD FOR BURNING A HYDROGEN GAS OF A BURNING SYSTEM IN A DIFFUSION FURNACE PROCESS}
도 1은 종래의 반도체 연소 시스템의 개략적인 구성도,
도 2는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 반도체 연소 시스템의 수소 가스 연소 장치의 구성도,
도 3은 도 2의 제 1 연소기 또는 제 2 연소기 내부의 상세 구성도,
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 연소 시스템의 수소 가스 연소 과정을 설명하는 흐름도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
10, 12, 13, 14 : 밸브
20, 25, 30 : 연소기
40 : 수소 가스 검출기
50 : 제어부
60 : 적외선 램프
본 발명은 반도체 확산(diffusion) 공정 중 소결(sintering) 공정에 사용되는 연소 시스템(burning system)에 관한 것으로, 특히, 연소 시스템의 수소 가스 연소 장치 및 그 방법에 관한 것이다.
반도체 확산 공정 중 소결 공정은 융점이 높은 성분이나 융점이 현저하게 다른 성분의 경계면을 고온으로 융착하여 일체화하는 과정을 말하며, 반도체 금속 라인의 분자 배열을 정렬하여 전도도를 향상시키는 역할을 한다.
이러한 소결 공정을 수행하기 위해서는 수소 가스를 연소시키는 연소 시스템이 구비되어야만 한다.
도 1에는 이러한 연소 시스템의 일반적인 구성이 도시되어 있다.
도시된 바와 같이, 통상의 연소 시스템은 외부 공정에 의한 수소 가스가 인입되는 연소기(25)로 구성되며, 인입되는 수소 가스의 연소에 필요한 연소용 수소 가스를 연소기(25)의 다른 통로를 통해 인입시켜, 연소기(25)내 수소 가스를 연소시키고(연소용 수소 가스에 불을 붙여 외부 공정 수행후 인입되는 수소 가스를 연소시키고), 연소된 배기 가스를 외부로 배출시킨다.
이러한 연소 시스템에서는, 도시한 바와 같이, 하나의 연소기(25)에 의해 수소 가스 연소 과정이 수행되므로, 연소기(25)를 거친 수소 가스가 완전히 연소되지 못하고 외부로 배출될 수 있다는 문제가 있었다.
또한, 연소기(25) 내부 수소 가스, 즉, 연소용 수소 가스에 불꽃을 발생시켜 외부 공정이 종료되어 유입되는 수소 가스를 연소시키기 때문에 화재가 발생할 수 있다는 문제가 있었다.
따라서, 본 발명은 상술한 문제를 해결하기 위해 안출한 것으로, 적외선 램프(infrared lamp)가 내장된 두 개의 연소기를 통해 수소 가스를 연소시키고, 최종 배출되는 배기 가스에서 잔류 수소 가스가 존재하지 않을 때까지 수소 가스를 연소시키므로써, 반도체 연소 공정에서의 안전성(安全性)과 신뢰성(信賴性)을 구현하도록 한 반도체 연소 시스템(burning system)의 수소 가스 연소 장치 및 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일실시예에 따르면, 반도체 확산 공정의 소결(sintering) 공정에 사용되는 연소 시스템의 수소 가스 연소 장치에 있어서, 수소 가스의 흐름을 초기 개/폐하는 제 1 밸브와; 제 1 밸브를 통해 유입되는 수소 가스를 1차 연소시키는 제 1 연소기와; 제 1 연소기에서 1차 연소되는 배기 가스의 흐름을 개/폐하는 제 2 밸브와; 제 2 밸브를 통해 유입되는 배기 가스를 2차 연소시키는 제 2 연소기와; 제 2 연소기에서 2차 연소되는 배기 가스의 흐름을 개/폐하는 제 3 밸브와; 제 2 연소기와 제 3 밸브 사이에 장착되어, 제 2 연소기에서 배출되는 배기 가스에서 수소 가스의 잔량 유무를 검출하는 수소 가스 검출기와; 수소 가스 검출기와 제 1 연소기 사이에 병렬로 연결되어, 수소 가스 검출기를 경유하여 제 1 연소기로 제공되는 배기 가스의 흐름을 개/폐하는 제 4 밸브와; 수소 가스 검출기에서 검출되는 수소 가스의 잔량이 존재하지 않을 때까지 제 1 밸브, 제 2 밸브 및 제 3 밸브를 차단하고 제 4 밸브를 개방하는 제어부를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 연소 시스템의 수소 가스 연소 장치를 제공한다.
또한, 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 제 1 연소기 또는 제 2 연소기내에는 적외선 램프가 구비되는 것을 특징으로 하는 반도체 연소 시스템의 수소 가스 연소 장치를 제공한다.
또한, 본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 인입되는 수소 가스를 1차 연소시키는 제 1 연소기와, 제 1 연소기에서 1차 연소되어 배출되는 배기 가스를 2차 연소시키고 외부 배출구로 배출하는 제 2 연소기와, 제 2 연소기에서 배출되는 배기 가스에서 수소 가스의 잔량 유무를 검출하는 수소 가스 검출기를 구비하는 반도체 연소 시스템의 수소 가스 연소 방법에 있어서, 수소 가스 검출기로부터 수소 가스 검출 신호가 제공되는지를 판단하는 단계와; 단계의 판단 결과, 수소 가스 검출기로부터 수소 가스 검출 신호가 제공되지 않으면, 제 1 연소기, 제 2 연소기, 외부 배출구로의 가스 흐름을 허용하는 단계와; 단계의 판단 결과, 수소 가스 검출기로부터 수소 가스 검출 신호가 제공되면, 제 1 연소기, 제 2 연소기, 외부 배출구로의 가스 흐름을 차단하고, 제 2 연소기, 수소 가스 검출기, 제 1 연소기로의 가스 흐름만을 허용하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 연소 시스템의 수소 가스 연소 방법을 제공한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명한다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 반도체 연소 시스템의 수소 가스 연소 장치의 구성도로서, 네 개의 밸브(valve)(10),(12),(13),(14)(이하, V1, V2, V3, V4라 각각 약칭함), 제 1 연소기(20), 제 2 연소기(30), 수소 가스 검출기(40) 및 제어부(50)를 포함한다.
도시한 바와 같이, V1(10)은 수소 가스가 초기 인입되는 밸브로서, 제어부(50)의 제어에 의해 온/오프되므로써 수소 가스의 흐름을 조절한다.
제 1 연소기(20)는 V1(10)을 통해 유입되는 수소 가스를 1차 연소시키는 역할을 수행한다.
V2(12)는 제어부(50)의 제어신호에 따라 제 1 연소기(20)에서 1차 연소되는 배기 가스의 흐름을 조절한다.
제 2 연소기(30)는 제 1 연소기(20)에서 1차 연소되어 V2(12)를 통해 유입되는 배기 가스를 2차 연소시키는 역할을 수행한다.
이러한 수소 가스를 연소시키는 수단인 제 1 연소기(20) 또는 제 2 연소기(30)는 도 3에 보다 상세히 도시되어 있다. 즉, 도 3에 도시한 바와 같이, 제 1 연소기(20) 또는 제 2 연소기(30) 내부에는 적외선 램프(Infrared Lamp)(60)가 구비되며, 이러한 적외선 램프(60)의 발열로 인해 인입되는 수소 가스가 연소될 수 있을 것이다.
즉, 본 실시예에서는 화재 발생 위험이 존재하는 종래 불꽃 점화 방식이 아닌 적외선 램프 방식을 채용하였다.
한편, 수소 가스 검출기(40)는 상술한 제 2 연소기(30)의 후단에 연결되어 있으며, 제 2 연소기(30)에서 배출되는 배기 가스에서 수소 가스의 잔량 유무를 검출한다.
V3(13)은 상술한 수소 가스 검출기(40)와 제 1 연소기(20) 사이에 병렬로 연결되어 있으며, 수소 가스 검출기(40)를 경유하여 제 1 연소기(20)로 제공되는 배기 가스의 흐름을 조절한다. 즉, 후술하는 흐름도에서 설명되는 바와 같이, 수소 가스 검출기(40)에서 수소 가스가 검출되면 제어부(50)의 제어에 의해 V3(13)만이 개방되어, 제 2 연소기(30)에서 배출되는 배기 가스가 제 1 연소기(20)까지만 유입되도록 한다.
V4(14)는 수소 가스 검출기(40) 후단에 연결되어 있으며, 제어부(50)의 온/오프 제어 신호에 따라 제 2 연소기(30)에서 2차 연소되는 배기 가스의 흐름을 조절한다. 즉, 제어부(50)의 제어에 따라 V4(14)가 온 또는 오프되므로써, 배기 가스가 차단 또는 배출되는 것이다.
제어부(50)는 수소 가스 검출기(40)로부터 제공되는 수소 가스 검출 데이터에 따라 각 밸브들을 선택적으로 제어하여 배기 가스의 흐름이 조절되도록 한다. 즉, 수소 가스 검출기(40)로부터 수소 가스의 잔량이 존재하지 않는다는 데이터가 제공될 때까지, V1(10), V2(12), V4(14)를 차단하고 V3(13)을 개방하여, 제 2 연소기(30)에서 배출되는 배기 가스가 외부로 배출되지 않고 제 1 연소기(20)까지만 유입되도록 한다.
이하에서는, 이러한 제어부(50)에서 제어되는 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 연소 시스템의 수소 가스 연소 과정을 도 4의 흐름도를 참조하여 보다 상세히 설명한다.
먼저, 본 실시예는 수소 가스가 V1(10), 제 1 연소기(20), V2(12), 제 2 연 소기(30), 수소 가스 검출기(40), V4(14)를 통해 연소되어 외부로 배출되는 연소 모드 이후의 발생 과정이며, 이러한 사실은 본 발명의 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 용이하게 알 수 있을 것이다.
연소 모드에서, 제어부(50)는 단계(S100)로 진행하여 수소 가스 검출기(40)로부터 수소 가스 검출 데이터를 입력받는다.
데이터 입력 과정 수행 후, 제어부(50)는 단계(S102)로 진행하여 수소 가스 잔량 유무를 판단한다. 즉, 수소 가스 검출기(40)로부터 입력되는 데이터가 수소 가스가 존재한다는 데이터인지를 판단하는 것이다.
단계(S102)의 판단 결과, 수소 가스가 존재한다고 판단되면, 제어부(50)는 단계(S104)로 진행하여 V1(10), V2(12), V4(14)를 차단하고 V3(13)을 개방시키기 위한 제어 신호를 V1(10), V2(12), V3(13), V4(14)로 각각 제공한다.
제어부(50)의 제어 신호에 대응하여 V1(10), V2(12), V4(14)가 차단되고 V3(13)이 개방되면, 제 2 연소기(30)와 V4(14)를 통해 외부로 배출되던 배기 가스는 V3(13)을 경유하여 제 1 연소기(20)로 제공된다. 이때, V2(12)가 차단되어 있으므로 배기 가스는 제 2 연소기(30)로 유입되지 않을 것이다.
그러나, 단계(S102)의 판단 결과, 제 2 연소기(30)를 통과하는 배기 가스내에 수소 가스가 존재하지 않는다고 판단되면, 제어부(50)는 단계(S106)로 진행하여 V1(10), V2(12), V4(14)를 개방시키고 V3(13)을 차단하기 위한 제어 신호를 V1(10), V2(12), V3(13), V4(14)로 각각 제공한다.
제어부(50)의 제어 신호에 대응하여 V1(10), V2(12), V4(14)가 개방되고 V3(13)이 차단되면, V3(13)을 통해 제 1 연소기(20)로 유입되던 배기 가스는 차단되고, 연소 모드를 재 수행하게 된다. 즉, 수소 가스를 함유하지 않는 배기 가스가 제 1 연소기(20), V2(12), 제 2 연소기(30), V4(14)를 통해 외부로 배출되는 것이다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명은 적외선 램프가 내장된 두 개의 연소기를 통해 수소 가스를 연소시키고, 최종 배출되는 배기 가스에서 잔류 수소 가스가 존재하지 않을 때까지 수소 가스를 연소시키도록 구현하였다.
따라서, 본 발명은 반도체 연소 공정에서의 안전성 및 신뢰성을 확보하는 효과가 있다.

Claims (3)

  1. 반도체 확산 공정의 소결(sintering) 공정에 사용되는 연소 시스템(burning system)의 수소 가스 연소 장치에 있어서,
    수소 가스의 흐름을 초기 개/폐하는 제 1 밸브와;
    상기 제 1 밸브를 통해 유입되는 수소 가스를 1차 연소시키는 제 1 연소기와;
    상기 제 1 연소기에서 1차 연소되는 배기 가스의 흐름을 개/폐하는 제 2 밸브와;
    상기 제 2 밸브를 통해 유입되는 배기 가스를 2차 연소시키는 제 2 연소기와;
    상기 제 2 연소기에서 2차 연소되는 배기 가스의 흐름을 개/폐하는 제 3 밸브와;
    상기 제 2 연소기와 상기 제 3 밸브 사이에 장착되어, 상기 제 2 연소기에서 배출되는 배기 가스에서 수소 가스의 잔량 유무를 검출하는 수소 가스 검출기와;
    상기 수소 가스 검출기와 상기 제 1 연소기 사이에 병렬로 연결되어, 상기 수소 가스 검출기를 경유하여 상기 제 1 연소기로 제공되는 배기 가스의 흐름을 개/폐하는 제 4 밸브와;
    상기 수소 가스 검출기에서 검출되는 수소 가스의 잔량이 존재하지 않을 때까지 상기 제 1 밸브, 상기 제 2 밸브 및 상기 제 3 밸브를 차단하고 상기 제 4 밸 브를 개방하는 제어부를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 연소 시스템의 수소 가스 연소 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 연소기 또는 상기 제 2 연소기내에는 적외선 램프(Infrared Lamp)가 구비되는 것을 특징으로 하는 반도체 연소 시스템의 수소 가스 연소 장치.
  3. 인입되는 수소 가스를 1차 연소시키는 제 1 연소기와, 상기 제 1 연소기에서 1차 연소되어 배출되는 배기 가스를 2차 연소시키고 외부 배출구로 배출하는 제 2 연소기와, 상기 제 2 연소기에서 배출되는 배기 가스에서 수소 가스의 잔량 유무를 검출하는 수소 가스 검출기를 구비하는 반도체 연소 시스템의 수소 가스 연소 방법에 있어서,
    상기 수소 가스 검출기로부터 수소 가스 검출 신호가 제공되는지를 판단하는 단계와;
    상기 단계의 판단 결과, 상기 수소 가스 검출기로부터 수소 가스 검출 신호가 제공되지 않으면, 상기 제 1 연소기, 상기 제 2 연소기, 상기 외부 배출구로의 가스 흐름을 허용하는 단계와;
    상기 단계의 판단 결과, 상기 수소 가스 검출기로부터 수소 가스 검출 신호가 제공되면, 상기 제 1 연소기, 상기 제 2 연소기, 상기 외부 배출구로의 가스 흐름을 차단하고, 상기 제 2 연소기, 상기 수소 가스 검출기, 상기 제 1 연소기로의 가스 흐름만을 허용하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 연소 시스템의 수소 가스 연소 방법.
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