KR19990031089U - 열산화장비의 외부연소장치 - Google Patents
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Abstract
본 고안에 의한 열산화장비의 외부연소장치는 외부연소튜브의 온도를 불꽃반응이 일어나는 온도까지 상승시키는 적외선램프와, 상기 외부연소튜브의 외부에 설치하여 외부연소튜브내의 불꽃반응여부와 온도를 감지하도록 한 적외선 온도계와, 상기 적외선 온도계와 연결되어 불꽃반응여부 및 온도를 외부연소제어기로 보내 제어하도록 한 기전력변환기로 구성되어, 열산화장비의 외부연소장치에서의 온도 및 불꽃반응여부를 하나의 적외선온도계를 통해 감지할 수 있고, 또한 기존 열전대를 이용한 접촉감지방식의 센서에서 발생되는 접촉불량등의 문제점을 사전에 방지하도록 하였다.
Description
본 고안은 열산화장비의 외부연소장치에 관한 것으로, 특히 반도체 제조장비중 열산화장비의 외부연소장치에서의 온도 및 불꽃반응여부를 하나의 센서를 통해 감지할 수 있고, 또한 기존 열전대를 이용한 접촉감지방식의 센서에서 발생되는 접촉불량등의 문제점을 사전에 방지하도록 한 열산화장비의 외부연소장치에 관한 것이다.
종래의 기술에 의한 열산화장비의 외부연소장치는 도 1에 도시한 바와 같이, 열산화공정을 진행하는 공정진행관(1)과, 상기 공정진행관(1)의 일측과 연결된 외부연소튜브(2)와, 상기 외부연소튜브(2)의 일측에 연결되어 수소와 산소가 공급되도록 한 수소인입구(5) 및 산소인입구(6)와, 상기 수소 및 산소를 외부연소튜브(2)에 인입한 후, 온도를 일정값까지 올리는 적외선램프(8)와, 상기 외부연소튜브(2)내에 설치되어 온도를 검출하도록 한 열전대(4)와, 상기 열전대(4)를 통해 외부연소튜브(2)의 온도를 제어하는 외부연소제어기(7)로 구성된다.
이와 같이 구성된 열산화장비의 외부연소장치의 동작은 다음과 같다. 외부연소기에서 가스와 온도의 설정치 및 기능 명령을 제어하는데, 수소인입구(5)와 산소인입구(6)를 통해 일정비율로 수소와 산소가 외부연소튜브(2)에 공급되면, 적외선램프(8)가 작동하여 외부연소튜브(2)의 온도를 불꽃반응이 일어나는 온도까지 상승시킨다.
이때 불꽃반응이 이루어 지는가를 불꽃감지센서(3)가 감지하게 되고, 외부연소튜브(2)의 반응온도를 열전대(4)가 감지하게 된다.
이러한, 종래의 기술에서는 외부연소튜브(2)내의 온도를 열전대(4)를 이용 감지함으로써, 열전대(4)가 외부연소튜브(2)의 불꽃반응 및 산소로 인하여 쉽게 손상되고, 상기 열전대(4)가 불꽃반응도중 손상되면 공정진행중인 웨이퍼가 손상을 받게 되는 문제점이 있다.
따라서, 본 고안의 목적은 반도체 제조장비중 열산화장비의 외부연소장치에서의 온도 및 불꽃반응여부를 하나의 센서를 통해 감지할 수 있고, 또한 기존 열전대를 이용한 접촉감지방식의 센서에서 발생되는 접촉불량등의 문제점을 사전에 방지하도록 한 열산화장비의 외부연소장치에 의해 달성된다.
도 1은 종래의 기술에 의한 열산화장비를 개략적으로 나타내는 구성도.
도 2는 본 고안에 의한 열산화장비를 개략적으로 나타내는 구성도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
11 : 공정진행관12 : 외부연소튜브
13 : 적외선온도계15 : 수소인입구
16 : 산소인입구17 : 외부연소제어기
18 : 적외선램프19 : 기전력변환기
이러한, 본 고안의 목적은 열산화공정을 진행하는 공정진행관과, 상기 공정진행관내로 주입되는 반응가스를 수증기형태로 변환시키는 외부연소튜브와, 상기 외부연소튜브내로 수소를 공급하는 수소인입구와, 상기 외부연소튜브내로 산소를 공급하는 산소인입구와, 상기 외부연소튜브의 온도를 불꽃반응이 일어나는 온도까지 상승시키는 적외선램프와, 상기 외부연소튜브의 외부에 설치하여 외부연소튜브내의 불꽃반응여부와 온도를 감지하도록 한 적외선 온도계와, 상기 적외선온도계와 연결되어 불꽃반응여부 및 온도를 외부연소제어기로 보내 제어하도록 한 기전력변환기에 의해 달성된다.
이하, 본 고안에 의한 열산화장비의 외부연소장치를 첨부도면에 도시한 실시예에 따라서 설명한다.
도 2는 본 고안에 의한 열산화장비를 개략적으로 나타내는 구성도를 보인 것으로, 이에 도시한 바와 같이, 본 고안은 열산화공정을 진행하는 공정진행관(11)과, 상기 공정진행관(11)내로 주입되는 반응가스를 수증기형태로 변환시키는 외부연소튜브(12)와, 상기 외부연소튜브(12)내로 수소를 공급하는 수소인입구(15)와, 상기 외부연소튜브(12)내로 산소를 공급하는 산소인입구(16)와, 상기 외부연소튜브(12)의 온도를 불꽃반응이 일어나는 온도까지 상승시키는 적외선램프(18)와, 상기 외부연소튜브(12)의 외부에 설치하여 외부연소튜브(12)내의 불꽃반응여부와 온도를 감지하도록 한 적외선 온도계(13)와, 상기 적외선온도계(13)와 연결되어 불꽃반응여부 및 온도를 외부연소제어기(17)로 보내 제어하도록 한 기전력변환기(19)를 포함하여 구성된다.
이와 같이 구성된 본 고안에 의한 열산화장비의 외부연소장치의 작용효과를 설명한다.
공정진행관(11)에 수증기를 넣어주기 위해서 외부연소튜브(12)내로 수소인입구(15)와 산소인입구(16)를 통해 반응가스를 주입한다. 상기 반응가스가 인입되면 적외선 램프(18)가 발열하여 수소와 산소가 불꽃반응을 하게 되고, 수소와 산소가 최적으로 반응할 수 있는 온도를 유지하기 위하여 적외선 온도계(18)가 불꽃반응여부 및 온도를 감지하여 외부연소제어기(17)에 불꽃반응여부와 온도를 보내주어 외부연소제어기(17)가 외부연소튜브(12)의 상태를 사용자가 알 수 있도록 나타낸다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 고안에 의한 열산화장비의 외부연소장치는 외부연소튜브의 온도를 불꽃반응이 일어나는 온도까지 상승시키는 적외선램프와, 상기 외부연소튜브의 외부에 설치하여 외부연소튜브내의 불꽃반응여부와 온도를 감지하도록 한 적외선 온도계와, 상기 적외선온도계와 연결되어 불꽃반응여부 및 온도를 외부연소제어기로 보내 제어하도록 한 기전력변환기로 구성되어, 열산화장비의 외부연소장치에서의 온도 및 불꽃반응여부를 하나의 적외선온도계를 통해 감지할 수 있고, 또한 기존 열전대를 이용한 접촉감지방식의 센서에서 발생되는 접촉불량등의 문제점을 사전에 방지하도록 한 효과가 있다.
Claims (1)
- 열산화공정을 진행하는 공정진행관과, 상기 공정진행관내로 주입되는 반응가스를 수증기형태로 변환시키는 외부연소튜브와, 상기 외부연소튜브내로 수소를 공급하는 수소인입구와, 상기 외부연소튜브내로 산소를 공급하는 산소인입구와, 상기 외부연소튜브의 온도를 불꽃반응이 일어나는 온도까지 상승시키는 적외선램프와, 상기 외부연소튜브의 외부에 설치하여 외부연소튜브내의 불꽃반응여부와 온도를 감지하도록 한 적외선 온도계와, 상기 적외선온도계와 연결되어 불꽃반응여부 및 온도를 외부연소제어기로 보내 제어하도록 한 기전력변환기를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 열산화장비의 외부연소장치.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019970043798U KR19990031089U (ko) | 1997-12-30 | 1997-12-30 | 열산화장비의 외부연소장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019970043798U KR19990031089U (ko) | 1997-12-30 | 1997-12-30 | 열산화장비의 외부연소장치 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR19990031089U true KR19990031089U (ko) | 1999-07-26 |
Family
ID=69696592
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR2019970043798U KR19990031089U (ko) | 1997-12-30 | 1997-12-30 | 열산화장비의 외부연소장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR19990031089U (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100576435B1 (ko) * | 1999-12-22 | 2006-05-08 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 반도체 연소 시스템의 수소 가스 연소 장치 및 방법 |
-
1997
- 1997-12-30 KR KR2019970043798U patent/KR19990031089U/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100576435B1 (ko) * | 1999-12-22 | 2006-05-08 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 반도체 연소 시스템의 수소 가스 연소 장치 및 방법 |
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