KR100555589B1 - 감방사선성 조성물 현상액 - Google Patents
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Abstract
Description
실시예 | 비교예 | 실시예 | |||||||
1 | 2 | 3 | 1 | 2 | 3 | 4 | 5 | ||
현상액 조성비 (중량%) | 계면활성제 화학식 1 (Tetronic 704) | - | 13 | 6 | 8 | 10 | 12 | 14 | |
M-TSP1026 | - | - | 13 | 7 | 5 | 3 | 1 | 5 | |
계면활성제 POE(10) nonylphenol | 13 | - | - | - | - | - | - | - | |
무기알칼리화합물 (KOH) | 4 | 4 | 4 | 4 | 4 | 4 | 4 | 5 | |
초순수 | 현상액을 100 중량%로 만드는 잔량 | ||||||||
물성 | pH (100배 희석액) | 11.9 | 11.9 | 11.9 | 11.9 | 11.9 | 11.9 | 11.9 | 11.9 |
표면장력 (mN/m) | 33.5 | 39.8 | 42.4 | 41.6 | 41.2 | 40.2 | 40.0 | 41.0 | |
저기포성 | 1 | 3 | 4 | 5 | 5 | 5 | 5 | 4 | |
유화분산성 | 3 | 5 | 5 | 5 | 5 | 4 | 4 | 5 | |
시간경과에 따른 변화 | 우수 | 우수 | 우수 | 우수 | 우수 | 우수 | 우수 | 우수 | |
현상력 | 포토레지스트 | 2 | 3 | 3 | 5 | 5 | 4 | 4 | 5 |
블랙메트릭스 | 2 | 2 | 2 | 5 | 5 | 4 | 3 | 5 | |
포토스페이서 | 3 | 4 | 3 | 5 | 5 | 5 | 4 | 5 |
실시예 | 6 | 7 | 8 | 9 | 10 | 11 | 12 | |
현상액 조성비 (중량%) | 계면활성제 화학식 1 Tetronic 704 | 16 | 18 | 6 | 8 | 10 | 12 | 3 |
M-TSP1026 | 5 | 5 | 7 | 5 | 3 | 1 | 10 | |
무기알칼리화합물 (KOH) | 4 | 4 | 5 | 5 | 5 | 5 | 4 | |
초순수 | 현상액을 100 중량%로 만드는 잔량 | |||||||
물성 | pH (100배 희석액) | 11.9 | 11.9 | 11.9 | 11.9 | 11.9 | 11.9 | 11.9 |
표면장력 (mN/m) | 40.3 | 40.1 | 41.1 | 40.8 | 40.5 | 40.0 | 42.0 | |
저기포성 | 4 | 4 | 5 | 5 | 5 | 5 | 4 | |
유화분산성 | 5 | 5 | 5 | 5 | 4 | 4 | 5 | |
시간경과에 따른 변화 | 우수 | 우수 | 우수 | 우수 | 우수 | 우수 | 우수 | |
현상력 | 포토레지스트 | 5 | 5 | 5 | 5 | 4 | 4 | 4 |
블랙메트릭스 | 4 | 4 | 5 | 5 | 4 | 4 | 4 | |
포토스페이서 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 |
Claims (4)
- 제 1 항에 있어서, 방향족 알코올에 알킬렌 옥사이드가 부가된 비이온성 계면활성제는 방향족 알코올에 옥시에틸렌기, 옥시프로필렌기, 폴리옥시에틸렌 또는 폴리옥시프로필렌가 부가된 블록 공중합체로 이루어진 군으로부터 선택된 일종 이상의 비이온 계면활성제로 그의 HLB가 12 ~ 15 이고, 표면장력이 35 ~ 45 dyne/cm인 감방사선성 조성물용 현상액.
- 제 1 항에 있어서, 현상액의 표면장력이 35 ~ 45 dyne/cm인 감방사선성 조성물용 현상액.
- 제 1 항에 있어서, 알칼리성 화합물은 수산화칼륨, 수산화나트륨, 탄산나트륨으로 이루어진 군으로부터 선택되는 감방사선성 조성물용 현상액.
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