KR100526118B1 - Working stage system for Flat Panel Display and Flat Panel Display working method using its system - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 평면디스플레이용 작업 스테이지 시스템 및 이 시스템을 이용한 평면디스플레이 작업 방법에 관한 것이다. 이 중, 평면디스플레이용 작업 스테이지 시스템은, 작업대상의 평면디스플레이가 적어도 두 개 이상 배치될 수 있도록 복수의 작업위치를 갖는 작업테이블과; 상기 작업테이블의 상부에 마련되어 상기 각 작업위치에 로딩된 상기 평면디스플레이를 향해 소정의 작업을 연속적으로 행하는 워킹유니트와; 상기 워킹유니트를 상기 작업위치에 대해 이동시키는 유니트이동수단과; 비어있는 복수의 작업위치로 작업대상의 평면디스플레이를 로딩시키는 작업과 상기 워킹유니트에 의해 작업완료된 평면디스플레이는 해당 작업위치로 언로딩시키는 작업을 연속적으로 병행하는 로딩/언로딩부와; 상기 로딩/언로딩부, 상기 워킹유니트 및 상기 유니트이동수단을 선택적으로 제어하는 컨트롤러를 포함하는 것을 특징으로 한다.The present invention relates to a work stage system for planar displays and a planar display working method using the system. Among these, a work stage system for a flat display includes: a work table having a plurality of work positions so that at least two flat displays of a work object can be arranged; A working unit provided on an upper portion of the work table to continuously perform a predetermined work toward the planar display loaded at each work position; Unit moving means for moving the working unit with respect to the working position; A loading / unloading unit for continuously loading the flat display of the work target into the plurality of empty working positions and the unloading of the flat display completed by the working unit; And a controller for selectively controlling the loading / unloading unit, the working unit, and the unit moving means.

이에 의하여, 하나의 작업테이블 내에서 LCD의 로딩 및 언로딩 과정과 LCD에 대한 작업을 연속적으로 병행할 수 있도록 하여 로딩 및 언로딩 시간을 세이브함으로써, 작업테이블이 기준 시간당 처리하는 LCD의 작업량이 높아져 작업효율이 증가할 뿐만 아니라 생산성이 현격하게 향상될 수 있다.This saves the loading and unloading time by allowing the LCD loading and unloading process and the LCD operation to be performed continuously in one work table, thereby increasing the amount of work of the LCD processed by the work table per reference time. Not only can the work efficiency be increased, but the productivity can be significantly improved.

Description

평면디스플레이용 작업 스테이지 시스템 및 이 시스템을 이용한 평면디스플레이 작업 방법{Working stage system for Flat Panel Display and Flat Panel Display working method using its system}Working stage system for flat panel display and flat panel display working method using its system}

본 발명은, 평면디스플레이용 작업 스테이지 시스템 및 이 시스템을 이용한 평면디스플레이 작업 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 하나의 작업대 내에서 LCD의 로딩 및 언로딩 과정과 LCD에 대한 작업을 연속적으로 병행할 수 있도록 하여 로딩 및 언로딩 시간을 세이브함으로써, 작업대가 기준 시간당 처리하는 LCD의 작업량이 높아져 작업효율이 증가할 뿐만 아니라 생산성이 현격하게 향상될 수 있도록 한 평면디스플레이용 작업 스테이지 시스템 및 이 시스템을 이용한 평면디스플레이 작업 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a work stage system for a flat panel display and a planar display working method using the system, and more particularly, to continuously perform the loading and unloading process of the LCD and the work on the LCD in one work bench . Work stage system for flat-panel displays and the use of this system, which saves loading and unloading time, thereby increasing the work efficiency of the LCD which the workbench handles per reference time, and increasing productivity. It relates to a flat display working method.

소위, FPD(Flat Panel Display)란 평면디스플레이를 총체적으로 일컫는 말로써, 이에는 음극선관(CRT, Cathode Ray Tube) 디스플레이를 비롯하여 후술할 액정 디스플레이(LCD, Liquid Crystal Display) 등으로 분류된다.The so-called flat panel display (FPD) refers to a flat panel display as a whole, and is categorized into a cathode ray tube (CRT) display and a liquid crystal display (LCD) to be described later.

CRT는 전후방으로 결합되는 패널과 펀넬이 유리로 제조되며 펀넬의 넥크 부분 내부에 전자총이 수용되는 것으로써 해상도는 높으나 그 무게가 무겁다는 결점이 있다. 이에, 근자에 들어 디스플레이의 산업이 발전됨에 따라 CRT보다는 LCD의 공급 및 수요가 높아지고 있는 실정이다. 이하, 설명의 편의를 위해 평면디스플레이를 LCD라 하여 설명하기로 한다.The CRT is made of glass and panels joined together in front and rear, and the electron gun is accommodated inside the neck portion of the funnel, which has a high resolution but a heavy weight. Accordingly, as the display industry develops in recent years, the supply and demand of LCDs rather than CRTs are increasing. Hereinafter, for convenience of description, the flat panel display will be described as LCD.

도 1은 종래의 평면디스플레이용 작업 스테이지 시스템에 대한 개략적인 평면도이고, 도 2는 도 1의 측면도이다. 이들 도면에 도시된 바와 같이, 종래의 평면디스플레이용 작업 스테이지 시스템은, 크게 작업 대상의 LCD(101)가 배치되는 작업테이블(116)과, 작업테이블(116)의 상부에 장착되어 작업테이블(116)에 로딩된 LCD(101)를 향해 소정의 작업을 행하는 워킹유니트(120)를 포함한다. 작업테이블(116)의 일측에는 작업테이블(116)로 LCD(101)를 이동시키거나 반출하도록 일방향으로 이동하는 로봇(117)이 마련되어 있다.1 is a schematic plan view of a work stage system for a conventional planar display, and FIG. 2 is a side view of FIG. As shown in these figures, a conventional work stage system for a flat panel display has a work table 116 in which the LCD 101 of a work object is largely arranged, and is mounted on the work table 116 and mounted on the work table 116. It includes a working unit 120 for performing a predetermined operation toward the LCD 101 loaded in the). One side of the work table 116 is provided with a robot 117 that moves in one direction to move or unload the LCD 101 to the work table 116.

작업테이블(116)의 상부에는 LCD(101)의 하면을 지지하는 복수의 지지핀(119)이 마련되어 있다. 지지핀(119)들은 로봇(117)에 의해 LCD(101)가 작업테이블(116)로 옮겨질 경우, 기립되어 그 단부로써 LCD(101)의 하면을 떠받치며, 로봇(117)이 취출되면 일방향으로 회전하여 LCD(101)를 작업테이블(116)의 상부에 면배치시킨다.A plurality of support pins 119 supporting the lower surface of the LCD 101 are provided on the work table 116. When the LCD 101 is moved to the worktable 116 by the robot 117, the support pins 119 stand up to support the lower surface of the LCD 101 as an end thereof, and one direction when the robot 117 is taken out. By rotating the LCD 101 to face the top of the work table (116).

작업테이블(116)의 상측에는 소정의 이격간격을 두고 상호 이격된 한 쌍의 컬럼(118a)이 장착되어 있고, 한 쌍의 컬럼(118a) 사이에는 컬럼(118a)을 상호 연결하는 연결부(118b)가 마련되어 있다. 그리고, 워킹유니트(120)는 이 연결부(118b)에 마련되어 소정의 전기적 신호에 의해 연결부(118b)를 따라 이동하면서 LCD(101)를 향해 소정의 작업을 행하게 된다.On the upper side of the worktable 116, a pair of columns 118a spaced apart from each other at predetermined intervals is mounted, and a connection portion 118b interconnecting the columns 118a between the pair of columns 118a. Is provided. The working unit 120 is provided in the connecting portion 118b to perform a predetermined operation toward the LCD 101 while moving along the connecting portion 118b by a predetermined electrical signal.

여기서, LCD(101)를 향한 소정의 작업이란, 자세히 후술하겠지만 LCD(101)에 형성가능한 전기적 신호의 단락 및 단선 여부를 검사하는 것과 더불어, 이를 리페어하는 것, 그리고 에칭하는 것 등, LCD(101)를 양품으로 출시하기 전 행해지는 모든 작업이나 검사 및 리페어 등을 포함하는데, 이에 대해서는 후술한다.Here, the predetermined operation toward the LCD 101, as will be described later in detail, in addition to the inspection of the short circuit and disconnection of the electrical signal that can be formed in the LCD 101, repairing it, etching, such as repairing, etc. ) Includes all operations, inspections, and repairs performed before the product is released as a good product, which will be described later.

이러한 구성을 갖는 종래의 평면디스플레이용 작업 스테이지 시스템에 대한 작동 메커니즘을 살펴보면 다음과 같다.Looking at the operation mechanism for a conventional work stage system for a flat display having such a configuration is as follows.

우선, 작업대상의 LCD(101)들이 모여 있는 카세트(미도시)로부터 로봇(117)이 하나의 LCD(101)를 파지한 후, 작업테이블(116)의 상측으로 배치한다. 로봇(117)에 의해 LCD(101)가 작업테이블(116)의 상측으로 배치되면 각 지지핀(119)들이 회동하여 그 단부가 상측을 향하게 된다.First, the robot 117 grips one LCD 101 from a cassette (not shown) in which the LCD 101 of the work object is gathered, and then arranges the LCD 101 above the work table 116. When the LCD 101 is disposed above the work table 116 by the robot 117, the respective support pins 119 rotate so that their ends face upward.

지지핀(119)들이 기립하게 배치되면, 로봇(117)은 파지한 LCD(101)를 각 지지핀(119)들의 단부로 내려놓는다(로딩한다). 그리고는, 다시 원위치로 복귀한다.When the support pins 119 stand upright, the robot 117 lowers (loads) the held LCD 101 to the ends of the respective support pins 119. Then, it returns to the original position again.

LCD(101)가 기립배치된 지지핀(119)들의 단부에 놓여지면, 지지핀(119)들은 일방향으로 회전하면서 LCD(101)를 작업테이블(116)의 상부에 면배치시킨다. 이 때의 위치가 LCD(101)의 작업위치가 된다.When the LCD 101 is placed at the ends of the standing support pins 119, the support pins 119 rotate in one direction to face the LCD 101 on the work table 116. The position at this time becomes the working position of the LCD 101.

이처럼 로봇(117)과 지지핀(119)들에 의해 LCD(101)가 소정의 작업위치에 배치되면, 소정의 전기적 신호에 의해 워킹유니트(120)는 연결부(118b)를 따라 이동하면서 LCD(101)를 향해 소정의 작업을 행하게 된다.As such, when the LCD 101 is disposed at a predetermined working position by the robot 117 and the support pins 119, the working unit 120 moves along the connection portion 118b by the predetermined electrical signal. The predetermined work is performed toward

결국, 종래의 평면디스플레이용 작업 스테이지 시스템의 경우에는, 크게 작업대상 LCD(101)의 로딩, LCD(101)에 대한 작업, 그리고 작업완료된 LCD(101)의 언로딩이라는 단계를 연속적으로 밟아가면서 수많은 LCD(101)에 대해 하나씩 개별적인 작업을 행하게 되는 것이다.As a result, in the case of a conventional flat display work stage system, a large number of steps are taken in succession, such as loading of the LCD 101, work on the LCD 101, and unloading of the finished LCD 101. The individual operations are performed one by one on the LCD 101.

그런데, 이러한 종래의 평면디스플레이용 작업 스테이지 시스템에 있어서, 실질적으로 LCD(101)에 대한 작업을 행하는 실제의 작업시간 보다 작업테이블(116)로 작업대상의 LCD(101)를 로딩하거나 작업완료된 LCD(101)를 작업테이블(116)로부터 언로딩시키는데 걸리는 시간이 상대적으로 훨씬 많이 소요된다.By the way, in such a conventional flat display work stage system, the LCD 101 of the work object is loaded or finished on the work table 116 rather than the actual work time of actually working on the LCD 101. The time taken to unload 101 from worktable 116 is relatively much longer.

이처럼 LCD(101)의 로딩 및 언로딩에 소요되는 시간이 너무 많이 걸리기 때문에 실제로 LCD(101)에 대한 작업을 효율적으로 행할 수 없어 작업효율이 떨어지고 생산성이 현저히 저하될 수밖에 없다. 실제로 종래에는 하나의 작업테이블(116)이 기준 시간당 처리하는 LCD(101)의 실제 작업량은 그리 많지 않은 것이 사실이다.Since the time required for loading and unloading the LCD 101 is too long, it is impossible to efficiently perform the operation on the LCD 101, which inevitably lowers work efficiency and significantly reduces productivity. In fact, it is true that the actual amount of work of the LCD 101 which one work table 116 processes per reference time is not so large.

따라서, 하나의 작업테이블(116) 내에서 LCD(101)의 로딩 및 언로딩 과정과 LCD(101)에 대한 작업을 연속적으로 병행할 수 있도록 한다면 작업테이블(116)로 작업대상의 LCD(101)를 로딩하거나 작업완료된 LCD(101)를 작업테이블(116)로부터 언로딩시키는데 걸리는 시간을 세이브할 수 있어 작업테이블(116)이 기준 시간당 처리하는 LCD(101)의 작업량이 높아져 작업효율이 증가하고 생산성이 현격하게 향상될 수 있을 것이다.Therefore, if the loading and unloading process of the LCD 101 and the operation for the LCD 101 can be performed in parallel in one work table 116, the work table 116 may be the LCD 101 of the work target. Can save the time taken to load the unloaded LCD 101 from the worktable 116 from the worktable 116, thereby increasing the amount of work of the LCD 101 that the worktable 116 processes per reference time, thereby increasing work efficiency and productivity. This could be greatly improved.

따라서, 본 발명의 목적은, 하나의 작업대 내에서 LCD의 로딩 및 언로딩 과정과 LCD에 대한 작업을 연속적으로 병행할 수 있도록 하여 로딩 및 언로딩 시간을 세이브함으로써, 작업대가 기준 시간당 처리하는 LCD의 작업량이 높아져 작업효율이 증가할 뿐만 아니라 생산성이 현격하게 향상될 수 있도록 한 평면디스플레이용 작업 스테이지 시스템 및 이 시스템을 이용한 평면디스플레이 작업 방법을 제공하는 것이다.Therefore, by an object of the present invention, saving the loading and unloading time, to parallel the operation continuously for loading and unloading process and the LCD of the LCD within a work surface, of the LCD, which table is processed based on per hour The present invention provides a work stage system for a flat display and a planar display working method using the system, in which not only the work efficiency is increased due to the increased workload, but also the productivity is significantly improved.

상기 목적은, 본 발명에 따라, 평면디스플레이가 적어도 두 개 이상 배치될 수 있도록 하는 작업대와;상기 작업대의 상부에 마련되어 상기 각 작업대에 로딩된 상기 평면디스플레이를 향해 소정의 작업을 연속적으로 행하는 검침수단과; 상기 검침수단을 상기 작업대에 대해 이동시키는 이동수단과; 비어있는 복수의 작업대로 작업대상의 평면디스플레이를 로딩시키는 작업과 상기 검침수단에 의해 작업완료된 평면디스플레이는 해당 작업대로 언로딩 시키는 작업을 연속적으로 병행하는 위치조정수단과; 상기 검침수단 및 이동수단을 제어하는 컨트롤러;를 포함하는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 작업 스테이지 시스템에 의해 달성된다.The object is, according to the present invention, a worktable for allowing at least two or more flat panel displays ; Meter reading means provided at an upper portion of the work bench and continuously performing a predetermined work toward the flat panel displays loaded on the work benches ; Moving means for moving the metering means relative to the work table ; A position display means for continuously loading a flat display of a work object into a plurality of empty work pieces and a flat display work completed by the meter reading means for continuously unloading the work pieces into a corresponding work piece ; A controller for controlling the meter reading means and the moving means; It is achieved by a work stage system for a flat panel display comprising a.

여기서, 상기 위치조정수단은, 상기 작업대의 상부 복수 마련되 별도의 로봇에 의해 상기 평면디스플레이가 해당 작업로 로딩될 경우, 해당 평면디스플레이를 지지하는 복수의 지지핀이다 Here, the position adjusting means, the said plurality being provided by the upper portion of the work surface by a separate robot when the flat-panel display to be loaded into the operation units, a plurality of support pins for supporting the flat display

상기 복수의 지지핀들은 상기 컨트롤러에 의해 각기 서로 다르게 구동한다.The plurality of support pins are driven differently by the controller.

상기 이동수단은, 상기 작업대 상으로 로딩되는 상기 평면디스플레이의 로딩 및 언로딩방향에 대해 나란하게 상기 검침수단을 이동시키는 X축이동부와; 상기 X축이동부에 대해 가로방향을 따라 상기 검침수단을 이동시키는 Y축이동부와; 상기 X축 및 Y축이동부에 대한 XY의 가상평면에 대한 가로방향을 따라 상기 검침수단을 부분적으로 승강시키는 Z축이동부를 포함한다.The moving means may include an X-axis moving unit for moving the meter reading means in parallel with the loading and unloading directions of the flat panel display loaded onto the work table ; A Y-axis moving unit which moves the meter reading means along the horizontal direction with respect to the X-axis moving unit; And a Z-axis moving part for partially elevating the metering means along the transverse direction with respect to the imaginary plane of XY with respect to the X-axis and Y-axis moving parts.

상기 검침수단은 상기 평면디스플레이에 형성가능한 전기적 신호의 단락 및 단선 여부를 검사하는 작업에 채용될 수 있다. 이는 제3실시예에서 설명된다.The meter reading means may be employed to check the short circuit and disconnection of the electrical signal that can be formed in the flat panel display. This is explained in the third embodiment.

상기 검침수단은 상기 평면디스플레이에 형성된 불량을 리페어하는 작업에 채용될 수 있는데 제4실시예로써 설명된다. 이 때, 상기 리페어 작업은, 모듈 리페어(Module Repair), 패널 리페어(Panel Repair), 어레이 리페어(Array Repair) 및 데포 리페어(Depo Repair) 중 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다.The meter reading means may be employed in the repair of the defect formed in the flat panel display, which will be described as a fourth embodiment. In this case, the repair operation may include at least one of a module repair, a panel repair, an array repair, and a depo repair.

상기 검침수단은 상기 평면디스플레이를 부분적으로 에칭하는 작업에 채용될 수도 있다. 그리고 상기 검침수단은 에이오아이(A.O.I) 장치 또는 에이오아이 리페어(A.O.I Repair) 장치 중 어느 하나에 장착될 수도 있다.The metering means may be employed for the task of partially etching the planar display. The meter reading means may be mounted on any one of an AIO device or an AIO repair device.

한편, 본 발명의 다른 분야에 따르면, 상기 목적은, 본 발명에 따라, 복수의 작업대 상에 평면디스플레이를 로딩시키는 단계와; 로딩 순서에 따라 해당 작업대를 향해 연속적으로 이동하면서 검침수단이 평면디스플레이를 향해 소정의 작업을 행하는 단계와; 상기 검침수단에 의한 작업이 완료된 해당 평면디스플레이를 언로딩시키는 단계와; 언로딩되어 비어있는 해당 작업대로 새로운 평면디스플레이를 로딩시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 작업 스테이지 시스템을 이용한 평면디스플레이 작업 방법에 의해서도 달성된다.On the other hand, according to another field of the present invention, the above object, according to the present invention, the step of loading a flat panel display on a plurality of worktables; Performing the predetermined operation toward the flat panel display by the meter reading means while continuously moving toward the work table in the loading order; Unloading the planar display on which work by the metering means is completed; It is also achieved by a planar display working method using a work stage system for a planar display comprising the step of loading a new planar display into a corresponding unloaded empty workbench .

여기서, 상기 단계들은 소정의 컨트롤러에 의해 연속적으로 행해지는 것이 바람직할 것이다.Here, it may be preferable that the above steps are performed continuously by a predetermined controller.

이하에서는 첨부도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명하며, 각 실시예의 설명 중, 동일 구성에 대해서는 동일한 참조부호를 부여하도록 한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, and in the description of each embodiment, the same reference numerals will be given to the same components.

제1실시예First embodiment

도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 평면디스플레이용 작업 스테이지 시스템에 대한 개략적인 평면도이고, 도 4는 도 3의 측면도이다.3 is a schematic plan view of a work stage system for a planar display according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a side view of FIG.

이들 도면에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1실시예에 따른 평면디스플레이용 작업 스테이지 시스템은, 작업대상의 평면디스플레이(이하, LCD(1)로 설명함)가 적어도 두 개 이상 배치될 수 있도록 복수의 작업대와, 작업대(16a,16b)의 상부에 마련되어 각 작업대(16a,16b)에 로딩된 LCD(1)를 향해 소정의 작업을 연속적으로 행하는 검침수단(20)과, 비어있는 복수의 작업대로 작업대상의 LCD(1)를 로딩시키는 작업과 검침수단(20)에 의해 작업완료된 LCD(1)는 해당 작업대로 언로딩시키는 작업을 연속적으로 병행하는 위치조정수단과, 상기 위치조정수단, 검침수단(20)이동수단을 선택적으로 제어하는 컨트롤러(18)를 포함한다.As shown in these figures, in the work stage system for a flat display according to the first embodiment of the present invention, at least two flat displays (hereinafter referred to as LCD 1) of a work subject can be arranged. and a plurality of work surface, and the work surface inspection means (20) for performing a predetermined operation is continuously provided on the upper portion toward the LCD (1) loaded in each table (16a, 16b) of the (16a, 16b), via a plurality of work surface with The LCD 1, which is completed by the operation of loading the LCD 1 of the work target and the meter reading means 20, includes position adjusting means for continuously performing the unloading operation on the work table , and the position adjusting means and meter reading. And a controller 18 for selectively controlling the means 20 and the means of movement .

상기 작업대(16a,16b)의 일측에는 작업대(16a,16b)로 LCD(1)를 이동시키거나 반출하도록 각 방향으로 이동하는 로봇(17)이 마련되어 있다. 로봇(17)은 도 3에 도시된 바와 같이, 가이드레일(17a)에 의해 이동가능하다. 그러나, 이러한 타입의 로봇(17) 외에도, 반도체 산업현장에서 웨이퍼를 이동시키는데 사용하는 로봇을 채용할 수도 있는 것이다.One side of the work surface (16a, 16b) is provided with a robot 17 for movement in each direction table (16a, 16b) so as to move the LCD (1) or out. The robot 17 is movable by the guide rail 17a , as shown in FIG. However, in addition to this type of robot 17, a robot used to move a wafer in the semiconductor industry may be employed.

본 제1실시예에서, 2개의 작업대가 마련되어 있으며, 이하에서는 설명의 편의를 위해 2개의 작업대를 각각 도 3의 좌측으로부터 제1작업대(16a) 및 제2작업대(16b)라 하여 설명하기로 한다.In the first embodiment, will be described with the two and work table is provided, in the following referred to as a first work surface (16a) and a second work surface (16b) of the two work surface for the convenience from the left side of Figure 3, each of the described .

검침수단(20)은, 소정의 이동수단에 의해 작업대(16a,16b)의 상부에서 원하는 위치로 이동하면서 해당하는 LCD(1)를 향해 소정의 작업을 연속적으로 행한다. The meter reading means 20 continuously performs a predetermined work toward the corresponding LCD 1 while moving to the desired position from the upper portions of the work tables 16a and 16b by predetermined moving means .

이 때, 검침수단(20)에 의해 행해질 수 있는 작업으로는, LCD(1)에 형성가능한 전기적 신호의 단락 및 단선 여부를 검사하는 작업(제3실시예 참조), LCD(1)에 형성된 불량을 리페어하는 작업(본 출원인에 의해 출원된 바 있는 리페어장치), LCD(1)를 부분적으로 에칭하는 작업을 포함하여, LCD(1)가 양질의 제품으로 출시되기 전 행해지는 모든 작업을 포함한다.At this time, the work that can be performed by the meter reading means 20 includes the work of checking whether there is a short circuit or disconnection of the electrical signal that can be formed on the LCD 1 (see the third embodiment), and the defect formed on the LCD 1. Includes all operations performed before the LCD 1 is released to a quality product, including repairing the device (the repair apparatus filed by the applicant), and partially etching the LCD 1; .

이동수단은, 검침수단(20)을 각각 X/Y/Z축으로 이동시키기 위한 각종 구성을 지니고 있는데, 이에 대해서는 다음의 제3실시예에서 설명하기로 한다. The moving means has various configurations for moving the meter reading means 20 to the X / Y / Z axis, which will be described in the following third embodiment.

통상적으로 LCD(1)는 비교적 넓은 면적을 갖는 얇은 판상체로 형성된다. 따라서, 로봇(17)은 이러한 판상체의 LCD(1)의 하부를 떠받친 후, 회전하거나 이동하여 제1 및 제2작업대(16a,16b)로 옮기거나 반출시킬 수 있는 구조를 갖는 것이 유리하다. 이러한 로봇(17)은, 통상의 반도체 장비 산업에서 자주 채용되는 것이므로 본 실시예에서는 설명을 생략하기로 한다.Typically, the LCD 1 is formed of a thin plate-like body having a relatively large area. Therefore, it is advantageous that the robot 17 has a structure capable of supporting the lower part of the LCD 1 of this plate-like object, and then rotating or moving it to the first and second work benches 16a and 16b to be moved out or taken out. . Since the robot 17 is frequently employed in the general semiconductor equipment industry, the description thereof will be omitted.

로봇(17)이 LCD(1)의 하부를 떠받친 후, 제1 및 제2작업대(16a,16b)에 올려놓을 경우, 제1 및 제2작업대(16a,16b)와 로봇(17)과의 이격간격이 없다면, 로봇(17)은 취출될 수 없다.When the robot 17 supports the lower part of the LCD 1 and then puts it on the first and second work benches 16a and 16b, the robot 17 and the first and second work benches 16a and 16b are separated from each other. If there is no spacing, the robot 17 cannot be taken out.

이에, 본 실시예에서는, 로봇(17)의 작업에 연동하여, 위치조정수단을 더 마련하고 있는 것이다. 상기 위치조정수단은, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 제1 및 제2작업대(16a,16b)의 상부에 마련되는데, 로봇(17)에 의해 LCD(1)가 제1 및 제2작업대(16a,16b)로 로딩될 경우, 해당 LCD(1)가 해당 작업위치로 지지되도록 LCD(1)를 지지하는 복수의 지지핀(19)으로 채용될 수 있다.Therefore, in this embodiment, the position adjusting means is further provided in conjunction with the work of the robot 17. The position adjusting means , as shown in Figures 3 and 4, is provided on the upper portion of the first and second working tables 16a, 16b, the LCD (1) by the robot 17, the first and second When loaded into the work benches 16a and 16b , the LCD 1 may be employed as a plurality of support pins 19 for supporting the LCD 1 so as to be supported at the work position.

이러한 지지핀(19) 역시, 컨트롤러(18)에 의해 제어되는데, 본 실시예에서는 제1작업위치(16a)에 마련된 지지핀들을 제1지지핀군(19a)이라 하고 제2작업대(16b)에 마련된 지지핀들을 제2지지핀군(19b)이라 하여 설명하기로 한다.The support pin 19 is also controlled by the controller 18. In the present embodiment, the support pins provided in the first work position 16a are referred to as the first support pin group 19a and are provided on the second work bench 16b. The support pins will be described as a second support pin group 19b.

제1 및 제2지지핀군(19a,19b) 모두는, 로봇(17)에 의해 LCD(1)가 제1 및 제2작업대(16a,16b)로 옮겨질 경우, 기립되어 그 단부로써 LCD(1)의 하면을 떠받치며, 로봇(17)이 취출되면 일방향으로 회전하여 LCD(1)를 제1 및 제2작업대(16a,16b)의 상부 해당 작업위치에 면배치 로딩시킨다.Both the first and second support pin groups 19a and 19b stand up when the LCD 1 is moved to the first and second work benches 16a and 16b by the robot 17 and the LCD 1 as its end. When the robot 17 is taken out, the robot 17 is rotated in one direction to face-load the LCD 1 to the upper and corresponding working positions of the first and second working tables 16a and 16b .

물론, 도면에는 지지핀(19)들이 모두 일방향으로 회전할 수 있는 구조로 도시되어 있지만, 액츄에이터 등을 이용하여 지지핀(미도시)들이 높이방향을 따라 승강할 수 있는 구조를 갖도록 할 수도 있는 것이다. 또한, 직접적으로 LCD(1)에 접촉하지 않더라도 LCD(1)를 향해 압축공기를 분사한 후, 압축공기를 서서히 제거함으로써 LCD(1)가 제1 및 제2작업대(16a,16b)로 로딩될 수 있는 구조를 채용할 수도 있을 것이다.Of course, although the support pins 19 are all shown in a structure that can rotate in one direction, by using an actuator, the support pins (not shown) may have a structure that can be elevated in the height direction. . In addition, after spraying the compressed air toward the LCD 1 even if it does not directly contact the LCD 1, the LCD 1 can be loaded onto the first and second working tables 16a and 16b by gradually removing the compressed air. It may be possible to adopt a structure that can.

이러한 구성을 갖는 본 발명의 제1실시예에 따른 평면디스플레이용 작업 스테이지 시스템에 대한 작동 메커니즘을 살펴보면 다음과 같다.Looking at the operating mechanism for the work stage system for a flat display according to the first embodiment of the present invention having such a configuration as follows.

우선, 작업대상의 LCD(1)들이 모여 있는 카세트로부터 로봇(17)이 하나의 LCD(1)를 파지한 후, 제1작업위치(16a)에 해당하는 상측으로 배치한다. 로봇(17)에 의해 LCD(1)가 제1작업대(16a)에 해당하는 상측으로 배치되면 제1지지핀군(19a)들이 회동하여 그 단부가 상측을 향하게 된다.First, the robot 17 grips one LCD 1 from the cassette in which the LCDs 1 of the work object are gathered, and then arranges the upper side corresponding to the first work position 16a. When the LCD 1 is disposed upward by the robot 17 corresponding to the first work bench 16a , the first support pin groups 19a are rotated so that their ends face upward.

제1지지핀군(19a)들이 기립하게 배치되면, 로봇(17)은 파지한 LCD(1)를 제1지지핀군(19a)들의 단부로 내려놓는다. LCD(1)가 기립배치된 제1지지핀군(19a)들의 단부에 놓여지면, 제1지지핀군(19a)들은 일방향으로 회전하면서 LCD(1)를 상부 제1작업대(16a)로 면배치시킨다.When the first support pin groups 19a are standing upright, the robot 17 lowers the held LCD 1 to the ends of the first support pin groups 19a. When the LCD 1 is placed at the ends of the first support pin groups 19a that are placed upright, the first support pin groups 19a face the LCD 1 to the upper first work platform 16a while rotating in one direction.

로봇(17)과 제1지지핀군(19a)들에 의해 LCD(1)가 제1작업대(16a)에 배치되면, 컨트롤러(18)에 의해 전기적 신호를 전해 받은 검침수단(20)은 이동수단에 의해 소정의 위치로 이동되면서 LCD(1)를 향해 소정의 작업을 행한다.When the LCD 1 is placed on the first work bench 16a by the robot 17 and the first support pin groups 19a, the meter reading means 20 which has received the electrical signal by the controller 18 is transferred to the moving means . The predetermined work is performed toward the LCD 1 while being moved to a predetermined position by the.

한편, LCD(1)가 제1작업대(16a)로 배치되어 검침수단(20)에 의해 작업이 행해지는 동시에, 로봇(17)은 원위치로 복귀하여 카세트로부터 다시 새로운 LCD(1)를 파지한다. 그리고는, 비어있는 제2작업대(16b)에 해당하는 상측으로 배치한다.On the other hand, the LCD 1 is placed on the first work table 16a to perform work by the meter reading means 20 , and the robot 17 returns to its original position and grips the new LCD 1 again from the cassette. And it arrange | positions to the upper side corresponding to the empty 2nd work bench 16b .

로봇(17)에 의해 LCD(1)가 제2작업대(16b)에 해당하는 상측으로 배치되면 이번에는 제2지지핀군(19b)들이 회동하여 그 단부가 상측을 향하게 된다. 제2지지핀군(19b)들이 기립하게 배치되면, 로봇(17)은 파지한 LCD(1)를 제2지지핀군(19b)들의 단부로 내려놓는다(로딩한다).When the LCD 1 is disposed upward by the robot 17 corresponding to the second work bench 16b, the second support pin group 19b is rotated at this time, and its end faces upward. When the second support pin groups 19b are standing upright, the robot 17 lowers (loads) the held LCD 1 to the ends of the second support pin groups 19b.

LCD(1)가 기립배치된 제2지지핀군(19b)들의 단부에 놓여지면, 제2지지핀군(19b)들은 일방향으로 회전하면서 LCD(1)를 작업테이블(16)의 상부 제2작업대(16b)로 면배치시킨다.When the LCD 1 is placed at the ends of the standing second support pin groups 19b, the second support pin groups 19b rotate the LCD 1 in one direction while the upper second work table 16b of the work table 16 is rotated. ) Is placed face down.

앞서 설명한 바와 같이, 검침수단(20)에 의해 LCD(1)에 대한 작업을 행하는 실제의 작업시간 보다 LCD(1)를 로딩 및 언로딩하는데 걸리는 시간이 상대적으로 훨씬 많이 소요된다.As described above, the time required for loading and unloading the LCD 1 is relatively much longer than the actual working time for the LCD 1 by the meter reading means 20 .

따라서, 로봇(17)과 제2지지핀군(19b)들에 의해 새로운 LCD(1)를 제2작업위치(16b)로 로딩시키는 과정에서, 제1작업대(16a)에 배치된 LCD(1)는 검침수단(20)에 의한 작업이 이미 종료된다. 이에, 검침수단(20)은 곧이어 연속적으로 제2작업대(16b)에 로딩된 LCD(1)에 대한 작업을 행하게 된다.Therefore, in the process of loading the new LCD 1 into the second work position 16b by the robot 17 and the second support pin groups 19b, the LCD 1 placed on the first work bench 16a is The work by the meter reading means 20 is already finished. As a result, the meter reading means 20 continuously works on the LCD 1 loaded on the second work bench 16b .

한편, 로봇(17)은 제1작업대(16a)에서 작업이 완료된 LCD(1)를 취출하기 위해 제1작업대(16a)로 이동한다. 이 때, 컨트롤러(18)의 신호를 받은 제1지지핀군(19a)들은 다시 기립되면서 제1작업대(16a)에서 작업완료된 LCD(1)를 부상시킨다. 이에 로봇(17)은 제1지지핀군(19a)들에 의해 부상된 LCD(1)의 하단을 떠받쳐 별도의 수납부로 옮긴다.On the other hand, the robot 17 moves to the first work bench 16a to take out the LCD 1 on which work is completed on the first work bench 16a . At this time, the first support pin group 19a receiving the signal from the controller 18 stands up again to injure the completed LCD 1 from the first work bench 16a . The robot 17 supports the lower end of the LCD 1 injured by the first support pin group 19a and moves it to a separate storage part.

그리고는, 다시 작업대상의 LCD(1)들이 모여 있는 카세트로부터 다시 새로운 LCD(1)를 파지한 후, 제1지지핀군(19a)들과 연계하여 제1작업대(16a)에 로딩시킨다.Then, the new LCD 1 is gripped again from the cassette in which the LCDs 1 of the work are gathered, and then loaded onto the first work platform 16a in association with the first support pin groups 19a.

그러면, 이 시간동안 검침수단(20)은 제2작업대(16b)에 로딩된 LCD(1)에 대한 작업을 완료한 상태이므로, 검침수단(20)은 다시 컨트롤러(18)에 의해 제어되어 제1작업대(16a)에 로딩된 LCD(1)에 대한 작업을 행하게 된다.Then, during this time, since the meter reading means 20 has completed the work on the LCD 1 loaded on the second work bench 16b , the meter reading means 20 is again controlled by the controller 18 to control the first. The operation of the LCD 1 loaded on the work table 16a is performed.

그리고 이와 동시에 로봇(17)은, 제2작업대(16b)로 이동된 후, 제2지지핀군(19b)들과의 상호 작용에 의해 제2작업대(16b)에서 작업완료된 LCD(1)를 수납부로 옮긴 후, 다시 새로운 LCD(1)를 비어있는 제2작업대(16b)로 로딩한다.At the same time, the robot 17 stores the LCD 1 which is completed on the second work bench 16b by the interaction with the second support pin group 19b after being moved to the second work bench 16b. After moving to, load the new LCD 1 again into the empty second working platform 16b .

이와 같이, 본 발명의 제1실시예에 의하면, 컨트롤러(18)에 의해 로봇(17), 제1 및 제2지지핀군(19a,19b), 그리고 검침수단(20)이 선택적으로 제어됨으로써 종래와 같이, LCD(1)가 로딩되는 과정에서 검침수단(20)의 작동이 중지되거나 혹은 반대로, 검침수단(20)이 작동하는 과정에서 로봇(17)의 움직임이 정지하는 등의 시간 손실을 최대로 줄일 수 있다.As described above, according to the first embodiment of the present invention, the robot 18, the first and second support pin groups 19a and 19b, and the meter reading means 20 are selectively controlled by the controller 18. Likewise, the operation of the meter reading means 20 is stopped in the process of loading the LCD 1 or vice versa, and the time loss such as the movement of the robot 17 is stopped in the process of the meter reading means 20 is maximized. Can be reduced.

따라서, 작업대(16a,16b) 내에서 LCD(1)의 로딩 및 언로딩 과정과 LCD(1)에 대한 작업을 연속적으로 병행할 수 있도록 하여 로딩 및 언로딩 시간을 세이브함으로써, 작업대(16a,16b)가 기준 시간당 처리하는 LCD(1)의 작업량이 높아져 작업효율이 증가할 뿐만 아니라 생산성이 현격하게 향상될 수 있게 되는 것이다.Thus, the work surface (16a, 16b) and to be parallel in the operations on the loading and unloading process and the LCD (1) of the LCD (1) successively by saving the loading and unloading time, work surface (16a, 16b ) is the base will be the higher the amount of work of the LCD (1) hour to handle not only the work efficiency significantly increased productivity can be remarkably improved.

제2실시예Second embodiment

도 5는 본 발명의 제2실시예에 따른 평면디스플레이용 작업 스테이지 시스템에 대한 개략적인 평면도이다.5 is a schematic plan view of a work stage system for a planar display according to a second embodiment of the present invention.

앞서 설명한 제1실시예에서는, 2개의 제1 및 제2작업대(16a,16b)가 마련되어 로봇(17), 제1 및 제2지지핀군(19a,19b) 및 검침수단(20)이 상호 작용하면서 LCD(1)에 대한 로딩, 언로딩을 비롯하여 LCD(1)에 대한 작업을 연속적으로 병행하였다.In the first embodiment described above, two first and second working tables 16a and 16b are provided so that the robot 17, the first and second support pin groups 19a and 19b and the metering means 20 interact with each other. The operation on the LCD 1 was continuously performed, including loading and unloading on the LCD 1.

그러나, 2개의 작업대(16a,16b)만이 마련될 필요는 없다.However, only two work benches 16a and 16b need not be provided.

즉, 본 발명의 제2실시예를 도시한 도 5에서와 같이, 별도의 가이드레일(17a)에 의해 이동가능한 로봇(17)에 대해, 3개의 작업대(16a,16b,16c)를 마련해 놓고, 역시 지지핀(19)들과 연계한 로봇(17)과 검침수단(20)이 컨트롤러(18)에 의해 적절하게 컨트롤될 수 있도록 한다면, 제1실시예에 비해 훨씬 더 작업효율을 증가시킬 수 있는 장점이 있을 것이다.That is, as shown in Fig. 5 showing the second embodiment of the present invention, three work benches 16a, 16b, and 16c are provided for the robot 17 movable by a separate guide rail 17a, Also, if the robot 17 and the metering means 20 in connection with the support pins 19 can be properly controlled by the controller 18, the work efficiency can be further increased compared to the first embodiment. Will be there.

물론, 이 때에도 3개의 작업대(16a,16b,16c) 각각에는 제1 내지 제3지지핀군(19a~19c)이 마련되어 있어야 할 것이다.Of course, at this time, the first to third support pin groups 19a to 19c should be provided on each of the three working tables 16a, 16b, and 16c .

한편, 상기 작업대는 4개 이상으로 마련될 수도 있는 것이므로, 각 경우에 대해서는 별도로 도시하지 않도록 한다.On the other hand, since the work table may be provided with four or more, it will not be shown separately for each case.

제3실시예Third embodiment

한편, 도 6 내지 도 10에는, 본 발명의 제3실시예에 따른 평면디스플레이용 작업 스테이지 시스템이 검사장치로 적용된 상태를 도시한 도면들이 개시되어 있다.Meanwhile, FIGS. 6 to 10 are views showing a state in which a work stage system for a flat display according to a third embodiment of the present invention is applied to an inspection apparatus.

도 6을 참조하면, LCD(1)에는 주사전극과 신호전극 등을 포함한 소정의 좌표정보가 마련되어 있다. 즉, LCD(1)에는 전기적 신호를 포함한 소정의 좌표정보가 각각 입력된 접점패드군(2a~2d)이 복수개로 형성되어 있으며, 접점패드군(2a~2d)은 각기 3개씩의 군으로 되어 서로 다른 배열방향을 갖도록 형성되어 있다.Referring to FIG. 6, the LCD 1 is provided with predetermined coordinate information including a scan electrode, a signal electrode, and the like. That is, the LCD 1 has a plurality of contact pad groups 2a to 2d into which predetermined coordinate information including electrical signals are input, respectively, and the contact pad groups 2a to 2d are each made of three groups. It is formed to have a different arrangement direction.

이러한 LCD(1) 좌표정보는 LCD(1)의 제조사에서 LCD(1)의 제조시 전기적 신호를 포함한 소정의 좌표정보가 각각 입력된 접점패드군(2a~2d)을 복수개로 형성하여 LCD(1)에 입력하는 것이 보통이다. 그리고, 컴퓨터를 제조하는 제조사에서는 LCD(1) 제조사로부터 공급받은 LCD(1) 내의 좌표정보를 검사한 후, 양품으로 판정된 것에 한하여 컴퓨터의 모니터 패널로 채용하게 된다.The LCD 1 coordinate information is formed by forming a plurality of contact pad groups 2a to 2d into which predetermined coordinate information, including electrical signals, is input at the time of manufacture of the LCD 1 by the manufacturer of the LCD 1. ) Is common. Then, the manufacturer of the computer examines the coordinate information in the LCD 1 supplied from the LCD 1 manufacturer, and then adopts it as the monitor panel of the computer only if it is determined to be good.

이 때, LCD(1)를 검사하기 위한 검사장치가 도 7 내지 도 10에 도시되어 있는데, 이 검사장치 내에 본 발명의 평면디스플레이용 작업 스테이지 시스템이 채용된다.At this time, an inspection apparatus for inspecting the LCD 1 is shown in Figs. 7 to 10, in which the work stage system for a flat display of the present invention is employed.

본 발명의 제3실시예에 따른 LCD 검사장치는 도 6에 도시된 LCD(1)에 마련된 전기적 신호를 포함한 소정의 좌표정보가 입력된 접점패드군(2a~2d)으로부터의 정보를 검출하여 LCD(1)의 양부를 판별하기 위해 사용된다.The LCD inspection apparatus according to the third embodiment of the present invention detects information from the contact pad group 2a to 2d to which predetermined coordinate information including an electrical signal provided in the LCD 1 shown in FIG. It is used to determine the fitness of (1).

이러한 LCD 검사장치는 장치의 외관을 형성하는 캐비넷(10)과, 캐비넷(10) 내에 마련되는 검사스테이지(12)와, 검사스테이지(12) 상에 마련되며 검사 대상의 LCD(1)가 안착되는 작업대(16a,16b)와, 상기 작업대(16a,16b)의 상부에 배치되는 검수수단(20)과, 상기 검침수단(20)를 적어도 일방향으로 위치이동시키는 이동수단과, 검수수단(20)의 프루브팁(21a,22a)에 의한 검사 결과값을 출력하는 모니터부(32)를 포함한다.The LCD inspection apparatus is provided with a cabinet 10 forming an exterior of the apparatus, an inspection stage 12 provided in the cabinet 10, and an inspection stage 12 provided on the inspection stage 12 to which the LCD 1 of the inspection object is seated. Work table 16a, 16b, inspection means 20 disposed on the work table 16a, 16b, moving means for moving the meter reading means 20 in at least one direction, and the inspection means 20 And a monitor unit 32 for outputting the inspection result values by the probe tips 21a and 22a.

캐비넷(10)은 복수의 단위측벽부(10a)들로 이루어져 검사스테이지(12) 및 워킹유니트(20)를 외부에서 보호한다. 만일, LCD 검사장치가 사용되지 않는다면 캐비넷(10)을 폐쇄할 수 있다.The cabinet 10 includes a plurality of unit side wall portions 10a to protect the inspection stage 12 and the working unit 20 from the outside. If the LCD inspection apparatus is not used, the cabinet 10 may be closed.

검사스테이지(12)는 캐비넷(10)의 내부에 마련되며 정반으로 제조된다. 이러한 검사스테이지(12) 내에는 도시하고 있지는 않으나 외부 및 내부에서 발생할 수 있는 진동을 제거하기 위한 제진수단이 마련되어 있다. 검사스테이지(12)의 하부 네 모서리 영역에는 검사스테이지(12)를 지지하는 복수의 수평조절자(14)가 마련되어 있다. 이 수평조절자(14)는 검사스테이지(12)를 수평으로 지지하는 한편 검사스테이지(12)의 수평상태를 조절하기 위해 높이조절볼트(14a)를 가지고 있다.The inspection stage 12 is provided in the cabinet 10 and is manufactured in a surface plate. Although not shown in the inspection stage 12, vibration damping means for removing vibrations that may occur from outside and inside are provided. In the lower four corner regions of the test stage 12, a plurality of horizontal adjusters 14 supporting the test stage 12 are provided. The horizontal adjuster 14 supports the test stage 12 horizontally and has a height adjusting bolt 14a for adjusting the horizontal state of the test stage 12.

검사 대상의 LCD(1)가 로딩되어 안착되는 작업대(16a,16b)는 검사스테이지(12)의 상면 수평방향에 대해 소정 각도로 요동가능하게 마련된다. 이처럼 작업대(16a,16b)를 소정 각도 요동가능하게 마련하고 있는 이유는 검사되는 LCD(1)의 로딩 위치를 보다 확실하고 빠르게 보정하기 위함이다.The worktables 16a and 16b on which the LCD 1 of the inspection target is loaded and seated are provided to be swingable at a predetermined angle with respect to the horizontal direction of the upper surface of the inspection stage 12. The reason why the work tables 16a and 16b are provided so as to be able to swing at a predetermined angle is to more accurately and quickly correct the loading position of the LCD 1 to be inspected.

따라서, 본 발명의 검사장치로 LCD(1)를 로딩하는 로봇(17)의 로딩각도가 정밀하게 제어될 수만 있다면 작업대(16a,16b)를 요동가능하게 마련할 필요는 없는 것이다. 요동수단에 대해서는 도시하고 있지는 않으나 진동소자 등을 적용할 수 있을 것이다. 그리고 전술한 제1실시예에서 설명한 바와 같이, 제1 및 제2작업대(16a,16b)가 마련되어 있다.Therefore, if the loading angle of the robot 17 for loading the LCD 1 with the inspection apparatus of the present invention can be precisely controlled , it is not necessary to provide the worktables 16a and 16b to be swingable. Although not shown, the oscillation means may be a vibrating element or the like. And as described in the above-described first embodiment, it is provided with a first and a second work surface (16a, 16b).

이동수단은 검사스테이지(12)에 마련되며, 후술할 검수수단(20)에 마련된 프루브팁(21a,22a)이 검사 대상의 LCD(1)에 형성된 접점패드군(2a~2d, 도 6 참조)에 접촉될 수 있도록 검수수단(20)을 적어도 일방향으로 위치이동시킨다. 여기서, 일방향이란 후술하는 바와 같이, X축, Y축 및 Z축을 가리킨다. The moving means is provided in the inspection stage 12, and the probe pads 21a and 22a provided in the inspection means 20 to be described later are formed in the contact pad group 2a to 2d (see FIG. 6). The inspection means 20 is moved in at least one direction so that the contact means 20 can be contacted. Here, one direction refers to the X-axis, Y-axis, and Z-axis as mentioned later.

이동수단은, 제1 및 제2작업대(16a,16b) 상으로 로딩 및 언로딩되는 검사 대상의 LCD(1)의 로딩방향에 대해 나란하게 검수수단(20)을 이동시키는 X축이동부(40)와, X축이동부(40)에 대해 가로방향을 따라 검수수단(20)을 이동시키는 Y축이동부(50)와, 검수수단(20)에 마련되어 Y축이동부(50) 상에서 프루브팁(21a,22a)을 승강시키는 Z축이동부(60)를 포함한다. The moving means includes an X-axis moving part 40 for moving the inspection means 20 side by side with respect to the loading direction of the LCD 1 of the inspection object loaded and unloaded onto the first and second work benches 16a and 16b. ), and X-axis is probe tip is Y-Y axis is provided in the ET 50, and verification means 20 for moving the inspection means (20) along the horizontal direction with respect to the oscillating portion 40 on the East 50 And a Z-axis moving part 60 for elevating (21a, 22a).

이하에서는, 이동수단에 대한 도면에 참조부호의 표기가 곤란한 관계로 이동수단에 대한 참조부호는 생략하기로 한다. 그리고, 이동수단인 X축, Y축 및 Z축으로의 이동은 모터에 의해 회전하는 볼스크루가 장착되어 이동되는 엘엠가이드(LM Guide) 구조를 채용하고 있는 바, 이에 대한 자세한 설명은 생략하기로 한다.In the following description, reference numerals for the movement means to the difficult relationship representation of the reference numerals in the figures for the moving means is omitted. In addition, the movement in the X-axis, Y-axis, and Z-axis, which is a moving means , adopts an LM Guide structure in which a ball screw that is rotated by a motor is mounted to move the detailed description thereof. do.

X축이동부(40)는, 제1 및 제2작업대(16a,16b) 중 어느 하나로 로딩되는 LCD(1)의 로딩방향에 대해 가로방향을 따라 상호 이격배치되고 검사스테이지(12)의 상면으로부터 기립되게 마련되는 제1 및 제2 X축지지대(41a,41b)와, 제1 및 제2 X축지지대(41a,41b)의 상단에 마련되는 제1 및 제2 X축레일부(42a,42b)와, 제1 및 제2 X축레일부(42a,42b)에 상호 도브테일 형상으로 슬라이딩 이동가능하게 마련되는 적어도 한 쌍의 X축레일블럭(43)과, X축레일블럭(43)을 제1 및 제2 X축레일부(42a,42b) 상에서 슬라이딩 이동시키는 X축구동부(44)를 포함한다.The X-axis moving parts 40 are spaced apart from each other along the transverse direction with respect to the loading direction of the LCD 1 loaded with any one of the first and second work benches 16a and 16b, and from the upper surface of the inspection stage 12. First and second X-axis support members 41a and 41b provided to stand up, and first and second X-axis rail parts 42a and 42b provided to upper ends of the first and second X-axis support members 41a and 41b. And at least one pair of X-axis rail blocks 43 and X-axis rail blocks 43 provided on the first and second X-axis rail parts 42a and 42b so as to be slidably movable in a mutual dovetail shape. And an X-axis driving part 44 which slides on the second X-axis rail parts 42a and 42b.

이 때, X축레일블럭(43)은 한 쌍으로 마련될 수도 있으나, 본 실시예에서는 검사시간을 단축시키면서도 검사의 정밀도를 높여 검사의 신뢰성을 향상시키기 위해 X축레일블럭(43)을 제1 및 제2작업대(16a,16b)를 중심으로 사각구도 배치하고 있다.At this time, X-axis rail block 43, but may be provided as a pair, in this embodiment, while still reducing the test time the X-axis rail block 43 first in order to increase improves reliability of the inspection accuracy of the inspection And a square sphere around the second work benches 16a and 16b .

Y축이동부(50)는, 상호 대응되는 한 쌍의 X축레일블럭(43)을 상호 연결하는 제1 및 제2 Y축지지대(51a,51b)와, 제1 및 제2 Y축지지대(51a,51b)에 마련되는 제1 및 제2 Y축레일부(52a,52b)와, 일단은 제1 및 제2 Y축레일부(52a,52b)에 슬라이딩 이동가능하게 결합되고 타단은 검침수단(20)에 결합되는 Y축레일블럭(53)과, Y축레일블럭(53)을 제1 및 제2 Y축레일부(52a,52b) 상에서 슬라이딩 이동시키는 Y축구동부(54)를 포함한다.The Y-axis moving unit 50 includes first and second Y-axis supports 51a and 51b for interconnecting a pair of X-axis rail blocks 43 corresponding to each other, and first and second Y-axis supports ( The first and second Y-axis rail portions 52a and 52b provided at 51a and 51b, and one end thereof are slidably coupled to the first and second Y-axis rail portions 52a and 52b, and the other end thereof is the meter reading means 20. ) and the Y-axis including the East (54) for moving the sliding block on the Y-axis rail 53 and, the Y-axis rail block (part 53), a first and a 2 Y chukre (52a, 52b) is coupled.

이 때, Y축레일블럭(53)은 제1 및 제2 Y축레일부(52a,52b)에 각각 한 쌍씩 마련된다. 따라서, Y축레일블럭(53)에 결합되는 검침수단(20)은 총 4개가 된다.At this time, one pair of Y-axis rail blocks 53 are provided in the first and second Y-axis rail portions 52a and 52b, respectively. Therefore, the total number of meter reading means 20 coupled to the Y-axis rail block 53 is four.

Z축이동부(60)는, Y축레일블럭(53)에 결합되는 결속구(62)와, 상기 결속구(62)에 대해 승강가능하게 결합되는 가동부(64)와, 상기 가동부(64)결속구(62)에 대해 승강시키는 Z축구동부(66)를 포함한다.The Z-axis moving part 60 includes a binding hole 62 coupled to the Y-axis rail block 53, a movable part 64 coupled to the lowering hole 62 so as to be movable up and down, and the movable part 64. It includes a Z-axis drive unit 66 for elevating the with respect to the binding port (62) .

검침수단(20)가동부(64)에는 카메라(70)가 장착되어 있다. 카메라(70)는 모니터부(32)와 전기적으로 연결되어 LCD(1)를 촬상한 촬상신호를 모니터부(32)로 전송한다. 이에, 작업자는 카메라(70)에 의해 촬상된 LCD(1)의 부분 적인 영상을 확인하면서 컨트롤부(미도시)를 통해 제1 및 제2작업대(16a,16b)를 소정 각도 요동시키거나, 혹은 이동수단을 통해 검침수단(20)의 위치를 제어하는 등의 작업을 수행한다. The camera 70 is attached to the movable portion 64 of the meter reading means 20 . The camera 70 is electrically connected to the monitor unit 32 and transmits an image pickup signal of the LCD 1 to the monitor unit 32. Accordingly, the operator swings the first and second work benches 16a and 16b by a predetermined angle through a control unit (not shown) while checking a partial image of the LCD 1 captured by the camera 70, or To control the position of the meter reading means 20 through the movement means .

이처럼 LCD(1)의 로딩으로부터 제1 및 제2작업대(16a,16b)를 요동, 그리고 이동수단에 의한 검침수단(20)의 위치 제어 등은 작업자가 모니터부(32)를 확인하면서 컨트롤부(34)를 제어하여 수행한다. 그러나, 이러한 작업 행위의 일체는 소정의 제어프로그램에 의해 전자동으로 수행되도록 될 수도 있을 것이다.As described above, the first and second work platforms 16a and 16b are swung from the loading of the LCD 1, and the position control of the meter reading means 20 by the moving means is performed while the operator checks the monitor part 32. 34) to control. However, all of these work actions may be made to be performed automatically by a predetermined control program.

가동부(64)와 카메라(70) 사이에는 카메라(70)를 가동부(64)의 승강방향에 가로방향으로 위치이동시키는 카메라이동부(72)가 마련되어 있다. 카메라이동부(72)는 가동부(64)에 고정된 가로고정블럭(72a)과, 카메라(70)가 결합되고 가로고정블럭(72a)과 도브테일 형상으로 맞물리며 가로고정블럭(72a)에 대해 횡방향으로 이동가능한 가로가동블럭(72b)과, 가로가동블럭(72b)을 구동시키는 카메라구동모터(72c)를 갖는다. 이 때, 카메라구동모터(72c) 역시, 컨트롤부(34)에 의해 제어된다.Between the movable part 64 and the camera 70, the camera moving part 72 which moves the camera 70 in the horizontal direction to the lifting direction of the movable part 64 is provided. The camera moving part 72 has a horizontally fixed block 72a fixed to the movable part 64, and the camera 70 is coupled and engaged in a dovetail shape with the horizontally fixed block 72a, and transversely with respect to the horizontally fixed block 72a. The movable horizontal block 72b and the camera driving motor 72c for driving the horizontal movable block 72b are provided. At this time, the camera driving motor 72c is also controlled by the control unit 34.

한편, 도 9 및 도 10에 도시된 바와 같이, 검침수단(20)의 하부에는 제1 및 제2프루브카드(21,22)가 착탈가능하게 결합되어 있다. 그리고, 이들 제1 및 제2프루브카드(21,22)에는 LCD(1)의 접점패드군(2a~2d)에 접촉되어 접점패드군(2a~2d)에 입력된 소정의 정보를 검출하는 제1 및 제2프루브팁(21a,22a)이 마련되어 있다.Meanwhile, as shown in FIGS. 9 and 10, the first and second probe cards 21 and 22 are detachably coupled to the lower portion of the meter reading means 20 . The first and second probe cards 21 and 22 are in contact with the contact pad groups 2a to 2d of the LCD 1 to detect predetermined information input to the contact pad groups 2a to 2d. First and second probe tips 21a and 22a are provided.

전술한 바와 같이, LCD(1)의 접점패드군(2a~2d)은 서로 다른 배열방향을 가지고 있다. 이에, 접점패드군(2a~2d)의 서로 다른 배열방향에 대응하기 위해 제1 및 제2프루브카드(21,22) 역시, 워킹유니트(20)의 하단에서 서로 다른 배열방향(직교방향)을 갖도록 배치되어 있다. 제1 및 제2프루브카드(21,22)는 각각 클램프(21d,22d)에 의해 지지되어 있다.As described above, the contact pad groups 2a to 2d of the LCD 1 have different arrangement directions. Accordingly, in order to correspond to different arrangement directions of the contact pad groups 2a to 2d, the first and second probe cards 21 and 22 also have different arrangement directions (orthogonal directions) at the lower end of the working unit 20. It is arranged to have. The first and second probe cards 21 and 22 are supported by clamps 21d and 22d, respectively.

제1 및 제2프루브카드(21,22)가 상호 직교방향으로 배치됨으로써 제1 및 제2프루브카드(21,22)에 마련된 제1 및 제2프루브팁(21a,22a) 역시 상호 교호적으로 배치되어 서로 다른 배열방향을 갖는다. 제1 및 제2프루브팁(21a,22a)의 단부는 접점패드군(2a~2d, 도 2 참조)으로의 접촉을 위해 절곡되어 있다.By arranging the first and second probe cards 21 and 22 in a direction perpendicular to each other, the first and second probe tips 21a and 22a provided on the first and second probe cards 21 and 22 are also alternated with each other. Arranged to have different alignment directions. End portions of the first and second probe tips 21a and 22a are bent for contact with the contact pad groups 2a to 2d (see FIG. 2).

서로 직교방향으로 배치된 제1 및 제2프루브카드(21,22)는 가동부(64) 상에서 상호 독립적으로 승강가능하다. 즉, 제1프루브카드(21)는 제1프루브승강부(21b)에 의해 독립적으로 승강되고, 제2프루브카드(22)는 제2프루부승강부에 의해 역시 독립적으로 승강된다.The first and second probe cards 21 and 22 arranged in the orthogonal direction to each other can be independently lifted up and down on the movable part 64 . That is, the first probe card 21 is independently lifted by the first probe lifter 21b, and the second probe card 22 is lifted independently by the second probe lifter.

따라서, 도 6에 도시된 복수의 접점패드군(2a~2d) 중, 어느 하나의 접점패드군은 예를 들어, 제1프루브승강부(21b)에 의한 제1프루브카드(21)의 제1프루브팁(21a)에 의해 검사되고, 다른 하나의 접점패드군은 예를 들어, 제2프루브승강부(22b)에 의한 제2프루브카드(22)의 제2프루브팁(22a)에 의해 검사될 수 있다. 물론, 제1 및 제2프루브팁(21a,22a)에 의해 검사된 결과값은 모두 모니터부(32)로 출력된다.Accordingly, any one of the plurality of contact pad groups 2a to 2d shown in FIG. 6 is, for example, the first of the first probe card 21 by the first probe lifting unit 21b. The other probe pad group is inspected by the probe tip 21a, and the other contact pad group is to be inspected by the second probe tip 22a of the second probe card 22, for example, by the second probe lifter 22b. Can be. Of course, the result values inspected by the first and second probe tips 21a and 22a are all output to the monitor unit 32.

이 때, 제1 및 제2프루브승강부(21b,22b)는 전술한 모터 및 볼스크루의 구조와는 달리 엘엠가이드와 함께 승강실린더(21c,22c)를 채용하고 있다. 이는, 제1 및 제2프루브팁(21a,22a)이 시작위치와 종료위치의 양끝 위치만을 왕복이동하는 바, 전술한 모터 제어에 비해 승강실린더(21c,22c)의 제어가 유리하기 때문이다.At this time, unlike the structures of the motor and the ball screw described above, the first and second probe elevating portions 21b and 22b employ elevating cylinders 21c and 22c together with the L guide. This is because the first and second probe tips 21a and 22a reciprocate only at both end positions of the start position and the end position, so that the control of the lift cylinders 21c and 22c is advantageous compared to the motor control described above.

이러한 구성을 갖는 LCD 검사장치에 대한 작동을 전술한 평면디스플레이용 스테이지 시스템과 관련하여 설명하면 다음과 같다.The operation of the LCD inspection apparatus having such a configuration will be described with reference to the stage system for a flat panel display described above.

우선, 작업대상의 LCD(1)들이 모여 있는 카세트로부터 로봇(17)이 하나의 LCD(1)를 파지한 후, 제1작업대(16a)에 해당하는 상측으로 배치한다. 로봇(17)에 의해 LCD(1)가 제1작업대(16a)에 해당하는 상측으로 배치되면 제1지지핀군(19a)들이 회동하여 그 단부가 상측을 향하게 된다.First, the robot 17 grasps one LCD 1 from the cassette in which the LCDs 1 of the work object are gathered, and then arranges the upper side corresponding to the first work table 16a . When the LCD 1 is disposed upward by the robot 17 corresponding to the first work bench 16a , the first support pin groups 19a are rotated so that their ends face upward.

제1지지핀군(19a)들이 기립하게 배치되면, 로봇(17)은 파지한 LCD(1)를 제1지지핀군(19a)들의 단부로 내려놓는다. LCD(1)가 기립배치된 제1지지핀군(19a)들의 단부에 놓여지면, 제1지지핀군(19a)들은 일방향으로 회전하면서 LCD(1)를 작업테이블(16)의 상부 제1작업위치(16a)로 면배치시킨다.When the first support pin groups 19a are standing upright, the robot 17 lowers the held LCD 1 to the ends of the first support pin groups 19a. When the LCD 1 is placed at the ends of the standing first group of support pins 19a, the first group of support pins 19a rotate in one direction to move the LCD 1 to the upper first work position of the work table 16 ( Face to 16a).

로봇(17)과 제1지지핀군(19a)들에 의해 LCD(1)가 제1작업대(16a)에 배치되면, 컨트롤러(18)에 의해 전기적 신호를 전해 받은 검침수단(20)은 이동수단에 의해 소정의 위치로 이동되면서 LCD(1)를 향해 소정의 작업을 행한다.When the LCD 1 is placed on the first work bench 16a by the robot 17 and the first support pin groups 19a, the meter reading means 20 which has received the electrical signal by the controller 18 is transferred to the moving means . The predetermined work is performed toward the LCD 1 while being moved to a predetermined position by the.

즉, X축구동부(44)에 의해 4개의 X축레일블럭(43)이 제1 및 제2 X축레일부(42a,42b) 상에서 X축 방향으로 위치이동됨과 동시에, Y축구동부(54)에 의해 4개의 Y축레일블럭(53)이 제1 및 제2 Y축레일부(52a,52b) 상에서 각기 Y축 방향으로 위치이동된다.That is, the four X-axis rail blocks 43 are moved on the first and second X-axis rail portions 42a and 42b in the X-axis direction by the X-axis driving portion 44, and the Y-axis driving portion 54 The four Y-axis rail blocks 53 are moved in the Y-axis direction on the first and second Y-axis rail portions 52a and 52b, respectively.

X축이동부(40) 및 Y축이동부(50)에 의해 4개의 검침수단(20)이 각기 복수의 접점패드군(2a~2d, 도 6 참조) 상으로 위치이동되면 Z축이동부(60)가 작동한다. 즉, Z축구동부(66)에 의해 결속구(62)에 대해 가동부(64)가 검사 대상의 LCD(1)를 향해 소정 거리 하향 이동한다.When the four meter reading means 20 is moved on the plurality of contact pad groups 2a to 2d (see FIG. 6) by the X-axis moving unit 40 and the Y-axis moving unit 50, the Z-axis moving unit ( 60) works. In other words, the movable section 64 moves downward by the Z-axis driving section 66 toward the LCD 1 to be inspected with respect to the binding port 62 .

어느 정도 하향 이동되면, 제1 및 제2프루브승강부(21b,22b) 중 어느 하나의 작동에 의해 제1 및 제2프루브카드(21,22) 중 어느 하나가 하강되어 이에 해당하는 프루브팁이 접점패드군에 접촉되도록 한다. 프루브팁이 접점패드군에 접촉되어 접점패드군에 입력된 소정의 정보를 검출하면 검출된 결과값은 모니터부(32)로 출력되어 검사 대상의 LCD(1)의 양부가 판별된다. When it is moved downward to some extent, either one of the first and second probe cards 21 and 22 is lowered by the operation of any one of the first and second probe lifting portions 21b and 22b, and the corresponding probe tip is lowered. Make contact with the contact pad group. When the probe tip is in contact with the contact pad group and detects predetermined information input to the contact pad group, the detected result value is output to the monitor unit 32 to determine whether the LCD 1 to be inspected is good or bad.

한편, 위와 같이, LCD(1)가 제1작업대(16a)로 배치되어 검침수단(20)에 의해 작업이 행해지는 동시에, 로봇(17)은 원위치로 복귀하여 카세트로부터 다시 새로운 LCD(1)를 파지한다. 그리고는, 비어있는 제2작업대(16b)에 해당하는 상측으로 배치한다.On the other hand, as described above, the LCD 1 is placed on the first work bench 16a, and the work is performed by the meter reading means 20, while the robot 17 returns to the original position and returns the new LCD 1 from the cassette. Gripping. And it arrange | positions to the upper side corresponding to the empty 2nd work bench 16b .

로봇(17)에 의해 LCD(1)가 제2작업대(16b)에 해당하는 상측으로 배치되면 이번에는 제2지지핀군(19b)들이 회동하여 그 단부가 상측을 향하게 된다. 제2지지핀군(19b)들이 기립하게 배치되면, 로봇(17)은 파지한 LCD(1)를 제2지지핀군(19b)들의 단부로 내려놓는다.When the LCD 1 is disposed upward by the robot 17 corresponding to the second work bench 16b, the second support pin group 19b is rotated at this time, and its end faces upward. When the second support pin groups 19b are standing upright, the robot 17 lowers the held LCD 1 to the ends of the second support pin groups 19b.

LCD(1)가 기립배치된 제2지지핀군(19b)들의 단부에 놓여지면, 제2지지핀군(19b)들은 일방향으로 회전하면서 LCD(1)를 제2작업대(16b)의 상부로 면배치시킨다.When the LCD 1 is placed at the ends of the standing second group of support pins 19b, the second group of support pins 19b rotate in one direction and face the LCD 1 to the top of the second work bench 16b . .

앞서 설명한 바와 같이, 검침수단(20)에 의해 LCD(1)에 대한 작업을 행하는 실제의 작업시간 보다 LCD(1)를 로딩 및 언로딩하는데 걸리는 시간이 상대적으로 훨씬 많이 소요된다.As described above, the time required for loading and unloading the LCD 1 is relatively much longer than the actual working time for the LCD 1 by the meter reading means 20 .

따라서, 로봇(17)이 새로운 LCD(1)를 제2작업대(16b)로 로딩시키는 과정에서, 제1작업대(16a)에 배치된 LCD(1)는 검침수단(20)에 의한 작업이 이미 종료된다. 이에, 검침수단(20)은 곧이어 연속적으로 제2작업대(16b)에 로딩된 LCD(1)에 대한 작업을 행하게 된다.Therefore, in the process of the robot 17 loading the new LCD 1 into the second work bench 16b , the LCD 1 arranged on the first work bench 16a has already finished work by the meter reading means 20. do. As a result, the meter reading means 20 continuously works on the LCD 1 loaded on the second work bench 16b .

한편, 로봇(17)은 제1작업대(16a)에서 작업이 완료된 LCD(1)를 취출하기 위해 제1작업대(16a)로 이동한다. 이 때, 컨트롤러(18)의 신호를 받은 제1지지핀군(19a)들은 다시 기립되면서 제1작업위치(16a)에서 작업완료된 LCD(1)를 부상시킨다. 이에 로봇(17)은 제1지지핀군(19a)들에 의해 부상된 LCD(1)의 하단을 떠받쳐 별도의 수납부로 옮긴다.On the other hand, the robot 17 moves to the first work bench 16a to take out the LCD 1 on which work is completed on the first work bench 16a . At this time, the first support pin group 19a receiving the signal from the controller 18 stands up again to raise the finished LCD 1 at the first working position 16a. The robot 17 supports the lower end of the LCD 1 injured by the first support pin group 19a and moves it to a separate storage part.

그리고는, 다시 작업대상의 LCD(1)들이 모여 있는 카세트로부터 다시 새로운 LCD(1)를 파지한 후, 제1지지핀군(19a)들과 연계하여 제1작업대(16a)에 로딩시킨다. 그러면, 이 시간동안 검침수단(20)은 제2작업대(16b)에 로딩된 LCD(1)에 대한 작업을 완료한 상태이므로, 검침수단(20)은 다시 컨트롤러(18)에 의해 제어되어 제1작업대(16a)에 로딩된 LCD(1)에 대한 작업을 행하게 된다.Then, the new LCD 1 is gripped again from the cassette in which the LCDs 1 of the work are gathered, and then loaded onto the first work platform 16a in association with the first support pin groups 19a. Then, during this time, since the meter reading means 20 has completed the work on the LCD 1 loaded on the second work bench 16b , the meter reading means 20 is again controlled by the controller 18 to control the first. The operation of the LCD 1 loaded on the work table 16a is performed.

그리고 이와 동시에 로봇(17)은, 제2작업대(16b)로 이동된 후, 제2지지핀군(19b)들과의 상호 작용에 의해 제2작업대(16b)에서 작업완료된 LCD(1)를 수납부로 옮긴 후, 다시 새로운 LCD(1)를 비어있는 제2작업대(16b)로 로딩하게 된다.At the same time, the robot 17 stores the LCD 1 which is completed on the second work bench 16b by the interaction with the second support pin group 19b after being moved to the second work bench 16b. After moving to, the new LCD 1 is loaded again into the second empty work bench 16b .

이와 같이, 본 발명이 제3실시예에 의해서도, 하나의 작업테이블(16) 내에서 LCD(1)의 로딩 및 언로딩 과정과 LCD(1)에 대한 작업을 병행할 수 있도록 하여 로딩 및 언로딩 시간을 세이브함으로써, 작업대(16a,16b)를 기준 시간당 처리하는 LCD(1)의 작업량이 높아져 작업효율이 증가할 뿐만 아니라 생산성이 현격하게 향상될 수 있게 된다.As described above, according to the third embodiment of the present invention, the loading and unloading process of the loading and unloading of the LCD 1 and the operation of the LCD 1 can be performed in one work table 16. By saving the time, the amount of work of the LCD 1 which processes the work benches 16a and 16b per reference time is increased, which not only increases work efficiency but also significantly improves productivity.

제4실시예Fourth embodiment

본 제4실시예에서는 도면을 첨부하지 않은 상태에서 설명을 하고 있지만, 본 출원인에 의해 출원된 적이 있는 리페어장치를 도용하고 있기 때문에, 당업자라면 충분히 이해하고 실시할 수 있을 것이다.In the fourth embodiment, a description is made without the accompanying drawings. However, since the repair apparatus which has been filed by the present applicant is stolen, those skilled in the art will be able to fully understand and implement the present invention.

전술한 제3실시예에서는 LCD용 검사장치에 본 작업 스테이지 시스템이 적용된 사례에 대해 도시하고 설명하였지만, LCD용 리페어장치에도 본 사상을 적용할 수 있는 것이다.In the above-described third embodiment, the case in which the work stage system is applied to the LCD inspection apparatus is illustrated and described, but the present invention can be applied to the LCD repair apparatus.

본 출원인에 의해 출원된 바 있는 리페어장치는, 실제로 도 7에 도시된 장비의 형상과 유사한 형태를 갖는다.The repair apparatus filed by the applicant has in fact a shape similar to that of the equipment shown in FIG. 7.

예를 들어, 도 6에 도시된 접점패드군(2a~2d) 중에서 어느 하나의 접점패드군으로부터 연장된 하나의 전기적 신호선이 인접한 신호선과 평행하지 않고 중첩(이를 "디펙트"라 함)되어 있다면, LCD에는 올바른 화상이 형성될 수 없다. 이럴 경우, 신호선들 사이에 중첩한 부분을 절단하거나 수리하여 신호선들이 상호 중첩되지 않도록 디펙트를 수리해야 하는데, 이러한 장비를 리페어장치라 한다.For example, if one electrical signal line extending from any one of the contact pad groups 2a to 2d shown in FIG. 6 overlaps with each other and is not parallel to an adjacent signal line (this is referred to as "defect"). The correct image cannot be formed on the LCD. In this case, the defect must be repaired so that the signal lines do not overlap each other by cutting or repairing the overlapping portions between the signal lines. Such equipment is called a repair apparatus.

따라서, 리페어장치 역시, 리페어대상의 LCD가 놓여지는 작업대를 가지고 있으며, 작업대의 상측에는 LCD에 형성된 디펙트를 리페어하기 위한 리페어장치(검침수단)가 별도의 이동수단에 의해 이동가능하게 장착되어 있다. 리페어장치는 작업대에 안착된 LCD의 디펙트를 촬상하는 한편 리페어하는 레이저스코프 등의 구성을 가지고 있다.Therefore, the repair apparatus also has a worktable on which the LCD to be repaired is placed, and a repair apparatus (measurement means) for repairing defects formed on the LCD is mounted on the upper side of the worktable by a separate moving means . . The repair apparatus has a configuration such as a laser scope for repairing while imaging the defect of the LCD mounted on the work table .

이 때, 제3실시예와 동일한 방법으로 리페어장치 상에 복수의 작업대를 마련해 놓고, 이 작업대에 각각 해당하는 지지핀들을 마련한 다음, LCD를 이동시키거나 반출시키는 로봇과 지지핀, 그리고 리페어장치가 별도의 컨트롤러에 의해 제어되도록 한다면 LCD의 로딩 및 언로딩작업, 그리고 실제로 LCD가 리페어되는 작업이 연속적으로 병행될 수 있다.At this time, in the same manner as in the third embodiment, a plurality of work benches are provided on the repair apparatus , and support pins corresponding to the work benches are provided, and then the robot, the support pins, and the repair apparatus for moving or unloading the LCD are provided . If it is controlled by a separate controller, the loading and unloading operation of the LCD, and the operation of actually repairing the LCD may be performed in parallel.

따라서, 이 역시 로딩 및 언로딩 시간을 세이브할 수 있게 됨으로써, 작업대가 기준 시간당 처리하는 LCD의 작업량이 높아져 작업효율이 증가할 뿐만 아니라 생산성이 현격하게 향상될 수 있는 효과가 있게 된다.Therefore, this also saves the loading and unloading time, thereby increasing the amount of work of the LCD handled by the workbench per reference time to increase the work efficiency and the productivity can be significantly improved.

이상 본 발명에 대해 상세히 설명하였지만 본 발명은 이에 제한되는 것은 아니다.Although the present invention has been described in detail above, the present invention is not limited thereto.

즉, 전술한 실시예에 더하여, 검침수단에 의해 행해질 수 있는 다양한 작업을 간략하게 소해하면 다음과 같다. 물론, 다음에서 설명하는 각 작업 및 장치는 당업자라면 쉽게 이해할 수 있는 통상의 용어를 그대로 사용하는 것이다.That is, in addition to the above-described embodiment, briefly explain various operations that can be performed by the meter reading means as follows. Of course, each of the operations and devices described in the following are to use common terms that are easily understood by those skilled in the art.

검침수단은, 모듈 리페어(Module Repair), 패널 리페어(Panel Repair) 및 어레이 리페어(Array Repair) 등의 작업을 행할 수 있다. 이들은, 레이저를 이용하여 해당 디펙트를 절단(Cut)함으로써, 검침수단에 의한 작업을 완료하는 것인데, 각각의 작업은 패널 단위, 어레이 단위 및 모듈 단위로 작업이 진행된다. The meter reading means can perform operations such as module repair, panel repair, array repair, and the like. These are to complete the work by the meter reading means by cutting the defect using a laser, and each work is carried out in panel units, array units and module units.

이에 더하여 검침수단은, 데포 리페어(Depo Repair)의 작업을 행할 수도 있다. 이는, 레이저를 이용하여 해당 디펙트를 절단하는 것은 위와 동일하지만 절단한 자리를 증착을 할 수 있다는 점에서 상이하다.In addition, the meter reading means may perform a depo repair operation. This is the same as above to cut the defect using a laser, but is different in that the cut position can be deposited.

한편, 검침수단은, 에이오아이(A.O.I) 장치 또는 에이오아이 리페어(A.O.I Repair)에도 적용할 수 있다. 전자의 것은, 별도의 광원을 조사하여 디펙트를 검출하는 장비이고, 후자의 것은 앞서 설명한 리페어장치들에 에이오아이(A.O.I) 검사 가능한 별도의 카메라(Camera) 등을 포함한 장비이다.Meanwhile, the meter reading means can be applied to an AIO device or an AIO repair. The former is a device for detecting defects by irradiating a separate light source, and the latter is a device including a separate camera capable of inspecting AIO in the repair devices described above.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 하나의 작업대 내에서 LCD의 로딩 및 언로딩 과정과 LCD에 대한 작업을 연속적으로 병행할 수 있도록 하여 로딩 및 언로딩 시간을 세이브함으로써, 작업대가 기준 시간당 처리하는 LCD의 작업량이 높아져 작업효율이 증가할 뿐만 아니라 생산성이 현격하게 향상될 수 있도록 한 평면디스플레이용 작업 스테이지 시스템 및 이 시스템을 이용한 평면디스플레이 작업 방법이 제공된다.As described above, according to the present invention, by making it sequentially in parallel with the operation for the loading and unloading process and the LCD of the LCD save the loading and unloading time within a work surface, the work table is processed based on per hour There is provided a work stage system for a flat panel display and a planar display working method using the system, which can increase productivity and significantly increase productivity.

도 1은 종래의 평면디스플레이용 작업 스테이지 시스템에 대한 개략적인 평면도,1 is a schematic plan view of a work stage system for a conventional flat display;

도 2는 도 1의 측면도,2 is a side view of FIG. 1;

도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 평면디스플레이용 작업 스테이지 시스템에 대한 개략적인 평면도,3 is a schematic plan view of a work stage system for a flat panel display according to a first embodiment of the present invention;

도 4는 도 3의 측면도,4 is a side view of FIG. 3;

도 5는 본 발명의 제2실시예에 따른 평면디스플레이용 작업 스테이지 시스템에 대한 개략적인 평면도,5 is a schematic plan view of a work stage system for a flat panel display according to a second embodiment of the present invention;

도 6은 LCD에 대한 좌표정보를 도시하기 위한 개략도,6 is a schematic diagram showing coordinate information for an LCD;

도 7은 본 발명의 제3실시예에 따른 평면디스플레이용 작업 스테이지 시스템이 검사장치로 적용된 상태를 도시한 사시도,7 is a perspective view showing a state in which a work stage system for a flat display according to a third embodiment of the present invention is applied as an inspection apparatus;

도 8은 도 7의 부분 확대 사시도,8 is a partially enlarged perspective view of FIG. 7;

도 9는 도 8의 부분 확대 사시도,9 is a partially enlarged perspective view of FIG. 8;

도 10은 워킹유니트 하부 영역의 확대 사시도,10 is an enlarged perspective view of the lower portion of the working unit;

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for the main parts of the drawings

1 : LCD 10 : 캐비넷 1: LCD 10: Cabinet

12 : 검사스테이지 14 : 수평조절자12: inspection stage 14: horizontal adjuster

16a : 제1작업대16a: 1st work bench

16b : 제2작업대 17 : 로봇 16b: second workbench 17: robot

18 : 컨트롤러 19a : 제1지지핀군18: controller 19a: first support pin group

19b : 제2지지핀군 20 : 검침수단 19b: second support pin group 20: meter reading means

21 : 제1프루브카드 21a : 제1프루브팁21: first probe card 21a: first probe tip

22 : 제2프루브카드 22a : 제2프루브팁22: second probe card 22a: second probe tip

32 : 모니터부 34 : 컨트롤부32: monitor 34: control

40 : X축이동부 50 : Y축이동부40: X axis moving part 50: Y axis moving part

60 : Z축이동부 70 : 카메라60: Z axis moving part 70: camera

Claims (11)

평면디스플레이가 적어도 두 개 이상 배치될 수 있도록 하는 작업대와; A worktable for allowing at least two flat display displays ; 상기 작업대의 상부에 마련되어 상기 각 작업대에 로딩된 상기 평면디스플레이를 향해 소정의 작업을 연속적으로 행하는 검침수단과; Meter reading means provided at an upper portion of the work bench and continuously performing a predetermined work toward the flat panel displays loaded on the work benches ; 상기 검침수단을 상기 작업대에 대해 이동시키는 이동수단과; Moving means for moving the metering means relative to the work table ; 비어있는 복수의 작업대로 작업대상의 평면디스플레이를 로딩시키는 작업과 상기 검침수단에 의해 작업완료된 평면디스플레이는 해당 작업대로 언로딩 시키는 작업을 연속적으로 병행하는 위치조정수단과; A position display means for continuously loading a flat display of a work object into a plurality of empty work pieces and a flat display work completed by the meter reading means for continuously unloading the work pieces into a corresponding work piece ; 상기 검침수단 및 이동수단을 제어하는 컨트롤러;를 포함하는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 작업 스테이지 시스템. A controller for controlling the meter reading means and the moving means; Work stage system for a flat panel display comprising a. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 위치조정수단은, 상기 작업대의 상부 복수 마련되 별도의 로봇에 의해 상기 평면디스플레이가 해당 작업로 로딩될 경우, 해당 평면디스플레이를 지지하는 복수의 지지핀인 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 작업 스테이지 시스템.The position adjusting means, when said being provided in plurality at an upper side of the work surface by a separate robot is the flat-panel display to be loaded into the task for a flat-screen display, characterized in that a plurality of support pins for supporting the flat display Stage system for work. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 복수의 지지핀들은 상기 컨트롤러에 의해 각기 서로 다르게 구동하는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 작업 스테이지 시스템.And said plurality of support pins are driven differently by said controller. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 이동수단은, The means for moving, 상기 작업대 상으로 로딩되는 상기 평면디스플레이의 로딩 및 언로딩방향에 대해 나란하게 상기 검침수단을 이동시키는 X축이동부와;An X-axis moving unit which moves the metering means in parallel with the loading and unloading directions of the flat panel display loaded onto the work table ; 상기 X축이동부에 대해 가로방향을 따라 상기 검침수단을 이동시키는 Y축이동부와;A Y-axis moving unit which moves the meter reading means along the horizontal direction with respect to the X-axis moving unit; 상기 X축 및 Y축이동부에 대한 XY의 가상평면에 대한 가로방향을 따라 상기 검치수단을 부분적으로 승강시키는 Z축이동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 작업 스테이지 시스템.And a Z-axis moving unit for partially elevating the detecting means along a transverse direction with respect to the virtual plane of XY with respect to the X-axis and Y-axis moving units . 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 검침수단은 상기 평면디스플레이에 형성가능한 전기적 신호의 단락 및 단선 여부를 검사하는 작업에 채용되는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 작업 스테이지 시스템.And the metering means is employed in a task of inspecting whether a short circuit or disconnection of an electrical signal that can be formed in the planar display is employed. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 검침수단은 상기 평면디스플레이에 형성된 불량을 리페어하는 작업에 채용되는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 작업 스테이지 시스템.And said meter reading means is employed for repairing a defect formed in said flat panel display. 제6항에 있어서,The method of claim 6, 상기 리페어 작업은, 모듈 리페어(Module Repair), 패널 리페어(Panel Repair), 어레이 리페어(Array Repair) 및 데포 리페어(Depo Repair) 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 작업 스테이지 시스템.The repair operation may include at least one of a module repair, a panel repair, an array repair, and a depo repair. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 검침수단은 상기 평면디스플레이를 부분적으로 에칭하는 작업에 채용되는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 작업 스테이지 시스템.And said metering means is employed for the task of partially etching said planar display. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 검침수단은 에이오아이(A.O.I) 장치 또는 에이오아이 리페어(A.O.I Repair) 장치 중 어느 하나에 장착되는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 작업 스테이지 시스템.And the metering means is mounted on any one of an AIO device or an AIO repair device. 복수의 작업대 상에 평면디스플레이를 로딩시키는 단계와;Loading a flat panel display onto a plurality of work surfaces; 로딩 순서에 따라 해당 작업대를 향해 연속적으로 이동하면서 검침수단이 평면디스플레이를 향해 소정의 작업을 행하는 단계와; Performing the predetermined operation toward the flat panel display by the meter reading means while continuously moving toward the work table in the loading order; 상기 검침수단에 의한 작업이 완료된 해당 평면디스플레이를 언로딩시키는 단계와;Unloading the planar display on which work by the metering means is completed; 언로딩되어 비어있는 해당 작업대로 새로운 평면디스플레이를 로딩시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 작업 스테이지 시스템을 이용한 평면디스플레이 작업 방법.Flat-panel display operation method using the language being loaded and empty, the flat display working stage system characterized in that it comprises the step of loading a new flat-panel display into the work table with. 제10항에 있어서,The method of claim 10, 상기 단계들은 소정의 컨트롤러에 의해 연속적으로 행해지는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 작업 스테이지 시스템을 이용한 평면디스플레이 작업 방법.And said steps are performed successively by a predetermined controller.
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