KR100526009B1 - 박막증착장치 및 방법, 그리고 박막증착장치용 챔버 - Google Patents
박막증착장치 및 방법, 그리고 박막증착장치용 챔버 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (30)
- 박막증착 대상체와 소정의 이격간격을 두고 상기 대상체의 상부 대기중에 배치되는 챔버와;상기 챔버를 통해 상기 대상체로 소정의 메탈입자를 공급하는 메탈공급부와;상기 챔버에 마련되어 상기 메탈공급부에서 공급되는 상기 메탈입자를 상기 대상체로 전달하는 메탈유로와;고압가스공급부와;상기 메탈유로를 통해 상기 대상체로 제공되는 메탈입자가 외부 대기와 격리될 수 있도록 상기 챔버에 마련되어 상기 고압가스공급부로부터 전달된 고압가스를 상기 대상체로 전달하는 고압가스유로와;상기 챔버에 마련되어 사용 후 발생한 부산물 및 고압가스를 배출시키는 적어도 하나의 배출유로와;상기 배출유로에 연통하여 상기 배출유로를 통해 배출되는 상기 사용완료된 메탈입자 및 고압가스를 펌핑하는 배기부를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막증착장치.
- 제1항에 있어서,상기 챔버는 판면방향을 따라 상호 착탈가능한 상부 및 하부챔버부분으로 이루어져 있는 것을 특징으로 하는 박막증착장치.
- 제2항에 있어서,상기 상부 및 하부챔버부분 중 적어도 어느 하나에는 상기 챔버의 장착을 위한 장착브래킷이 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 박막증착장치.
- 제2항에 있어서,상기 메탈유로는,상기 메탈공급부로부터 상기 상부 및 하부챔버부분 중 어느 하나를 통해 상기 메탈입자를 안내하는 제1메탈안내구간과;상기 하부챔버부분에 형성되어 상기 제1메탈안내구간으로부터의 메탈입자를 상기 박막증착 대상체로 전달하는 제2메탈안내구간을 포함하는 것을 특징으로 하는 박막증착장치.
- 제4항에 있어서,상기 제1메탈안내구간은 상기 하부챔버부분에 형성되어 있으며;상기 제2메탈안내구간은, 상기 상부 및 하부챔버부분이 사각평면부와 부분원호부로 형성될 경우, 상기 부분원호부의 축심에 형성되고 중앙부분이 반경방향 내측으로 잘록하게 만곡된 꽈리형상을 갖는 것을 특징으로 하는 박막증착장치.
- 제5항에 있어서,상기 제2메탈안내구간의 상부 상기 상부챔버부분에는 상기 제1 및 제2메탈안내구간으로부터 공급된 메탈입자가 역류하는 것을 저지하는 윈도우글라스 오염방지용 배기구간이 형성되어 있고,상기 하부챔버부분에는 상기 배기구간으로 소정의 가스를 공급하는 가스공급로가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 박막증착장치.
- 제2항에 있어서,상기 고압가스유로는,상기 고압가스공급부로부터 상기 상부 및 하부챔버부분 중 어느 하나를 통해 상기 고압가스를 안내하는 제1가스안내구간과;상기 상부챔버부분에 형성되어 상기 제1가스안내구간의 단부와 연통하는 제2가스안내구간과;상기 하부챔버부분에 형성되어 상기 제2가스안내구간과 연통하는 제3가스안내구간을 포함하는 것을 특징으로 하는 박막증착장치.
- 제7항에 있어서,상기 제3가스안내구간에는 상기 제1 및 제2가스안내구간으로부터 안내된 가스를 상기 대상체를 향해 에어커튼식으로 분사하기 위한 복수의 가스분사구가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 박막증착장치.
- 제8항에 있어서,상기 제1 내지 제3가스안내구간으로 안내되어 상기 대상체로 분사되는 가스는 불활성가스인 것을 특징으로 하는 박막증착장치.
- 제9항에 있어서,상기 불활성가스는 아르곤(Ar)인 것을 특징으로 하는 박막증착장치.
- 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 배출유로는 상기 메탈유로 및 상기 고압가스유로 사이에 원주방향을 따라 배치되는 제1배출유로부분과; 상기 고압가스유로의 반경방향 외측에 원주방향을 따라 배치되는 제2배출유로부분을 포함하는 것을 특징으로 하는 박막증착장치.
- 제11항에 있어서,상기 제1 및 제2배출유로부분은,상기 하부챔버부분에 형성되어 상기 대상체와 상기 챔버 사이의 공간 내에 존재하는 부산물, 고압가스 및 대기중의 가스를 흡입하는 제1흡입구간과;상기 상부챔버부분에 형성되어 상기 제1흡입구간에 연통하는 제2흡입구간과;양단이 상기 배기부와 상기 제2흡입구간에 각각 연결되어 상기 제1 및 제2흡입구간을 통해 흡입된 상기 부산물, 고압가스 및 대기중의 가스를 상기 배기부로 전달하는 제3흡입구간을 포함하는 것을 특징으로 하는 박막증착장치.
- 제12항에 있어서,상기 제1흡입구간에는 상기 대상체와 상기 챔버 사이의 공간 내에 존재하는 부산물, 고압가스 및 대기중의 가스를 흡입하기 위한 복수의 흡입구가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 박막증착장치.
- 제13항에 있어서,상기 흡입구는 상기 가스분사구에 비해 그 직경이 크게 형성되는 것을 특징으로 하는 박막증착장치.
- 제2항에 있어서,상기 상부 및 하부챔버부분이 상호 접하는 접촉영역에는 실링부재가 개재되어 있는 것을 특징으로 하는 박막증착장치.
- 박막증착 대상체의 상부에 소정의 이격간격을 두고 챔버를 배치하는 제1단계와;상기 챔버에 형성된 메탈유로를 통해 상기 대상체로 소정의 메탈입자를 공급하는 제2단계와;상기 메탈유로의 반경방향 외측에 원주방향을 따라 배치된 고압가스유로를 통해 상기 제2단계와 더불어 상기 대상체로 고압가스를 공급하는 제3단계와;공급되는 상기 메탈입자로 인해 상기 대상체에 소정의 박막이 증착되는 제4단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막증착방법.
- 제16항에 있어서,상기 제2 및 제3단계에서 공급된 상기 메탈입자와 고압가스는 상기 제2 및 제3단계가 수행되는 과정에서 상기 챔버에 마련된 적어도 하나의 배출유로를 통해 배출되는 것을 특징으로 하는 박막증착방법.
- 제1항의 메탈공급부, 고압가스공급부 및 배기부와 상호작용하여 소정의 대상체에 박막을 증착시키는 박막증착장치용 챔버에 있어서,판면방향을 따라 상호 착탈가능하게 결합되는 상부 및 하부챔버부분과;상기 상부 및 하부챔버부분에 마련되어 상기 메탈공급부에서 공급되는 상기 메탈입자를 상기 대상체로 전달하는 메탈유로와;상기 메탈유로를 통해 상기 대상체로 제공되는 메탈입자가 외부 대기와 격리될 수 있도록 상기 상부 및 하부챔버부분에 마련되어 상기 고압가스공급부로부터 전달된 고압가스를 상기 대상체로 전달하는 고압가스유로와;상기 상부 및 하부챔버부분에 마련되어 사용 후 발생한 부산물 및 고압가스를 배출시키는 적어도 하나의 배출유로를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막증착장치용 챔버.
- 제18항에 있어서,상기 메탈유로는,상기 메탈공급부로부터 상기 상부 및 하부챔버부분 중 어느 하나를 통해 상기 메탈입자를 안내하는 제1메탈안내구간과;상기 하부챔버부분에 형성되어 상기 제1메탈안내구간으로부터의 메탈입자를 상기 박막증착 대상체로 전달하는 제2메탈안내구간을 포함하는 것을 특징으로 하는 박막증착장치.
- 제19항에 있어서,상기 제1메탈안내구간은 상기 하부챔버부분에 형성되어 있으며;상기 제2메탈안내구간은, 상기 상부 및 하부챔버부분이 사각평면부와 부분원호부로 형성될 경우, 상기 부분원호부의 축심에 형성되고 중앙부분이 반경방향 내측으로 잘록하게 만곡된 꽈리형상을 갖는 것을 특징으로 하는 박막증착장치.
- 제20항에 있어서,상기 제2메탈안내구간의 상부 상기 상부챔버부분에는 상기 제1 및 제2메탈안내구간으로부터 공급된 메탈입자가 역류하는 것을 저지하는 윈도우글라스 오염방지용 배기구간이 형성되어 있고,상기 하부챔버부분에는 상기 배기구간으로 소정의 가스를 공급하는 가스공급로가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 박막증착장치.
- 제18항에 있어서,상기 고압가스유로는,상기 고압가스공급부로부터 상기 상부 및 하부챔버부분 중 어느 하나를 통해 상기 메탈입자를 안내하는 제1가스안내구간과;상기 상부챔버부분에 형성되어 상기 제1가스안내구간의 단부와 연통하는 제2가스안내구간과;상기 하부챔버부분에 형성되어 상기 제2가스안내구간과 연통하는 제3가스안내구간을 포함하는 것을 특징으로 하는 박막증착장치.
- 제22항에 있어서,상기 제3가스안내구간에는 상기 제1 및 제2가스안내구간으로부터 안내된 가스를 상기 대상체를 향해 에어커튼식으로 분사하기 위한 복수의 가스분사구가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 박막증착장치.
- 제23항에 있어서,상기 제1 내지 제3가스안내구간으로 안내되어 상기 대상체로 분사되는 가스는 불활성가스인 것을 특징으로 하는 박막증착장치.
- 제24항에 있어서,상기 불활성가스는 아르곤(Ar)인 것을 특징으로 하는 박막증착장치.
- 제18항에 있어서,상기 배출유로는 상기 메탈유로 및 상기 고압가스유로 사이에 원주방향을 따라 배치되는 제1배출유로부분과; 상기 고압가스유로의 반경방향 외측에 원주방향을 따라 배치되는 제2배출유로부분을 포함하는 것을 특징으로 하는 박막증착장치.
- 제26항에 있어서,상기 제1 및 제2배출유로부분은,상기 하부챔버부분에 형성되어 상기 대상체와 상기 챔버 사이의 공간 내에 존재하는 부산물, 고압가스 및 대기중의 가스를 흡입하는 제1흡입구간과;상기 상부챔버부분에 형성되어 상기 제1흡입구간에 연통하는 제2흡입구간과;양단이 상기 배기부와 상기 제2흡입구간에 각각 연결되어 상기 제1 및 제2흡입구간을 통해 흡입된 상기 부산물, 고압가스 및 대기중의 가스를 상기 배기부로 전달하는 제3흡입구간을 포함하는 것을 특징으로 하는 박막증착장치.
- 제27항에 있어서,상기 제1흡입구간에는 상기 대상체와 상기 챔버 사이의 공간 내에 존재하는 부산물, 고압가스 및 대기중의 가스를 흡입하기 위한 복수의 흡입구가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 박막증착장치.
- 제28항에 있어서,상기 흡입구는 상기 가스분사구에 비해 그 직경이 크게 형성되는 것을 특징으로 하는 박막증착장치.
- 제18항에 있어서,상기 상부 및 하부챔버부분이 상호 접하는 접촉영역에는 실링부재가 개재되어 있는 것을 특징으로 하는 박막증착장치.
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