KR101682523B1 - 기판 지지 장치 - Google Patents

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KR101682523B1
KR101682523B1 KR1020150042568A KR20150042568A KR101682523B1 KR 101682523 B1 KR101682523 B1 KR 101682523B1 KR 1020150042568 A KR1020150042568 A KR 1020150042568A KR 20150042568 A KR20150042568 A KR 20150042568A KR 101682523 B1 KR101682523 B1 KR 101682523B1
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Abstract

본 발명은 길이 방향으로 연장되어 형성되고 폭 방향으로 나란하게 배치되는 복수개의 글라스 부재와, 복수개의 글라스 부재 각각을 지지 가능하도록 복수개의 글라스 부재의 하측에 형성되는 지지 부재를 포함하는 기판 지지 장치로서, 글라스 부재의 두께 방향으로의 처짐을 방지하도록 글라스 부재 몸체부의 하부면에는 보강부가 돌출 형성되거나 부착됨에 따라 기판을 지지하는 면의 처짐을 방지할 수 있는 기판 지지 장치가 제시된다.

Description

기판 지지 장치{Substrate supporting apparatus}
본 발명은 기판 지지 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 기판을 지지하는 면의 처짐을 방지할 수 있도록 구조가 개선된 기판 지지 장치에 관한 것이다.
각종 전자 장치는 기판 상에 형성되는 전자 회로를 구비하며, 이들 전자 회로의 도전 라인에는 회로 제조 중 혹은 제조 후에 일부가 단선되거나 단락되는 결함이 야기 될 수 있다. 예를 들면, LCD, OLED 및 LED 등의 각종 표시장치 또는 태양전지나 반도체 칩 등을 제조하는 공정 중에 기판 상에 형성되는 각 소자의 전극 이나 배선, 신호 라인 등이 일부 단선되거나 단락되는 경우가 있다. 이에 따라, 각종 전자 소자를 제조하는 일련의 공정 사이마다 각각에 대응되는 검사 및 리페어 공정이 실시된다. 예컨대 표시 장치용 기판을 제조하는 공정 중에, 기판의 결함을 검사하는 공정이 실시되고, 결함이 발견되는 경우에는 화학 기상 증착(CVD) 방식을 이용한 기판의 레이저 리페어 공정이 실시된다. 상기의 리페어 공정은 소정의 증착 장치에 의하여 실시되며, 이때, 기판은 스테이지에 구비되는 판 타입의 히팅 글라스(Heating Glass)에 안착되어 지지된다.
한편, 종래에는 히팅 글라스가 기판의 전체 면적에 대응되는 대면적을 가지는 일체형의 판 타입 구조로 제작되었다. 또한, 히팅 글라스의 하측으로 기판의 검사를 위한 백 라이트 발광 소자가 배치되어야 하는 경우, 상술한 히팅 글라스를 지지하는 기구물은 히팅 글라스의 길이 방향 또는 폭 방향의 양측 가장자리 단부에만 배치되었다.
따라서, 종래에는 히팅 글라스의 제작 및 운반 등에 있어 파손에 취약한 문제점이 있었고, 기판을 리페어하는 동안 히팅 글라스의 중심부가 하측으로 예컨대 4mm 내지 5mm 정도 처치는 문제점이 있었다.
KR 10-2013-0088628 A KR 10-2005-0017164 A KR 10-2005-0068243 A
본 발명은 기판의 처리 과정에서 기판을 지지하는 면의 처짐을 억제하거나 방지할 수 있는 기판 지지 장치를 제공한다.
본 발명은 기판을 균일하게 승온 시킬 수 있는 기판 지지 장치를 제공한다.
본 발명의 실시 형태에 따른 기판 지지 장치는 길이 방향으로 연장되어 형성되고, 폭 방향으로 나란하게 배치되는 복수개의 글라스 부재; 및 복수개의 상기 글라스 부재 각각을 지지 가능하도록 복수개의 상기 글라스 부재의 하측에 형성되는 지지 부재;를 포함한다. 상기 글라스 부재는 길이 방향으로의 너비가 폭 방향으로의 너비보다 클 수 있다.
상기 글라스 부재는 소정 면적을 가지는 몸체부 및 상기 몸체부의 하부면에 돌출 형성되거나 부착되는 보강부를 포함할 수 있다.
상기 몸체부는 두께 방향으로 적층되는 상부판 및 하부판을 구비하고, 상기 보강부는 상기 하부판의 폭 방향으로의 중심부에서 하측으로 돌출 형성되어 길이 방향으로 연장되며, 상기 상부판 및 하부판의 사이에는 전기 전도성 필름이 부착될 수 있다.
상기 몸체부는 길이 방향으로 연장되어 형성되는 상부판을 구비하고, 상기 상부판의 하부면에는 전기 전도성 막이 증착 형성되며, 상기 보강부는 길이 방향으로 연장되어 형성되고, 상기 상부판의 하측에서 상기 전기 전도성 막의 폭 방향으로의 중심부에 부착될 수 있다.
상기 보강부의 양측 단부는 상기 몸체부의 외측으로 돌출되어 형성되고, 상기 지지 부재는 상기 보강부의 양측 단부에 각각 결합될 수 있다.
상기 지지 부재는, 폭 방향으로 연장되어 형성되고, 길이 방향으로 이격되어 배치되는 복수개의 지지 프레임; 복수개의 상기 글라스 부재 각각을 지지 가능하도록 폭 방향으로 서로 이격되어 상기 지지 프레임의 복수의 위치에 각각 배치되는 글라스 부재 홀더; 및 상기 지지 프레임의 폭 방향으로의 양측 단부에 각각 배치되는 클램핑 부재;를 포함할 수 있다.
상기 글라스 부재 홀더는 상기 글라스 부재 홀더를 길이 방향으로 관통하는 삽입구를 구비하되, 상기 삽입구는 상기 글라스 부재의 보강부와 끼움 결합 가능하도록 상측으로 개방될 수 있다.
상기 클램핑 부재는 상기 글라스 부재를 향하여 상향 경사진 방향으로 전후진 가능하도록 형성될 수 있다.
상기 클램핑 부재는, 상기 글라스 부재를 향하는 방향으로 상기 지지 프레임의 양측 단부에 장착되는 제1 클램핑 부재; 상기 글라스 부재를 향하여 전후진 가능하도록 상기 제1 클램핑 부재의 일측면에 장착되는 제2 클램핑 부재; 및 상기 글라스 부재를 향하는 상기 제2 클램핑 부재의 단부에 장착되는 클램핑 휠;을 포함하고, 상기 제2 클램핑 부재는 상기 글라스 부재를 향하는 방향으로 상향 경사지게 장착될 수 있다.
본 발명의 실시 형태에 따르면 기판이 안착되어 지지되는 동안 기판을 지지하는 면 예컨대 복수개의 글라스 부재의 상부면이 연결되어 형성되는 면의 처짐을 억제 또는 방지 가능하다. 특히, 글라스 부재의 구조가 T 타입 구조로 개선됨에 따라, 글라스 부재를 지지하는 지지 부재의 배치 위치에 상관없이 기판을 지지하는 면의 처짐을 방지 가능하다. 예컨대 글라스 부재의 하측에 배치되는 백 라이트 발광 소자와의 구조적 간섭을 피하도록 글라스 부재를 지지하는 지지 부재가 글라스 부재의 양측 가장자리 단부에만 배치되더라도 글라스 부재의 중심부의 처짐을 효과적으로 방지 또는 억제할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시 형태에 따르면 글라스 부재가 대면적의 일체형 구조에서 소면적의 분할형 구조로 개선됨에 따라, 글라스 부재를 보다 안정적으로 운반 및 보관 가능하고, 글라스 부재가 일부 손상되는 경우 이에 해당되는 글라스 부재만을 용이하게 교체 가능하다.
또한, 본 발명의 실시 형태에 따르면 글라스 부재의 분할형 구조에 대응하여 전기 전도성 막 또는 전기 전도성 필름 또한 각 글라스 부재별로 분할되어 구비됨에 따라, 종래보다 승온 시간 및 승온에 소모되는 전력을 감소시킬 수 있고, 승온 온도를 증가시킬 수 있다. 즉, 기판 지지 장치를 이용한 기판의 승온 효율이 향상될 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 지지 장치를 설명하기 위한 도면.
도 2 및 도 3은 본 발명의 실시 형태에 따른 글라스 부재를 설명하기 위한 도면.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 클램핑 부재를 설명하기 위한 도면.
이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 실시 예를 더욱 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예에 한정되는 것이 아니며, 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이다. 단지 본 발명의 실시 예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 해당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위하여 제공되는 것이다. 본 발명의 실시 예를 설명하기 위하여, 도면은 과장되거나 확대될 수 있으며, 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다.
본 발명의 실시 예에 따른 기판 지지 장치는 다양한 기판 처리 공정이 진행되는 동안에 기판이 지지되는 면의 평탄도를 목적하는 범위 내에서 일정하게 유지하면서 기판을 안정적으로 지지 가능함과 함께, 기판을 목적하는 온도로 신속하게 승온시킬 수 있는 기술적인 특징을 제시한다.
하기에서는 기판의 화학 기상 증착 공정 또는 화학 기상 증착 방식을 이용한 기판의 리페어 공정에 적용되는 기판 지지 장치를 기준으로 하여 본 발명의 실시 예를 설명한다. 이때, 본 발명을 설명함에 있어 본 발명의 실시 예에 따른 구성부들과 관련된 공지의 기술에 대한 구체적인 설명은 본 발명의 요지를 모호하게 하지 않기 위하여 생략될 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 지지 장치를 도시한 개략도이고, 도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 글라스 부재를 도시한 개략도이며, 도 3은 본 발명의 변형 예에 따른 글라스 부재를 도시한 개략도이다. 또한, 도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 클램핑 부재를 도시한 개략도이다.
하기에서는 도 1 내지 도 4를 참조하여 본 발명의 실시 예에 따른 기판 지지 장치를 구체적으로 설명한다. 이때, 기판 지지 장치의 구조를 설명하기 용이하도록 도 1에서 볼 때, 복수개의 지지 부재(200)가 서로 이격되어 있는 방향을 '길이 방향'이라 정의하며, 복수개의 글라스 부재(100)가 나열되는 방향을 '폭 방향'이라 정의한다. 또한, 상술한 길이 방향 및 폭 방향 모두에 대하여 교차되는 방향을 '두께 방향'이라 정의한다. 물론, 상술한 각 방향들은 본 발명의 설명을 위한 것이며, 제한을 위한 것이 아니다.
본 발명의 실시 예에 따른 기판 지지 장치는 예컨대 기판이 안착되는 기판 지지 장치로서, 길이 방향으로 연장되어 형성되고, 폭 방향으로 나란하게 배치되는 복수개의 글라스 부재(100), 복수개의 글라스 부재(100) 각각을 지지 가능하도록 복수개의 글라스 부재(100)의 하측에 형성되는 지지 부재(200)를 포함하며, 글라스 부재(100)에는 글라스 부재(100)의 두께 방향으로의 처짐을 방지 가능하도록 보강부(120)가 구비된다.
한편, 본 발명의 실시 예에 따른 글라스 부재(100)는 그 연장 방향 및 배치 방향을 상술한 각각의 방향으로 특별히 한정하지 않는다. 글라스 부재(100)가 연장되는 방향 및 배치되는 방향은 서로 교차되는 것을 만족하는 다양한 방향으로 전환 가능하다. 예컨대 글라스 부재(100)는 폭 방향으로 연장되어 형성되고, 길이 방향으로 나란하게 배치될 수 있다. 물론, 상술한 바와 같이 글라스 부재(100)가 폭 방향으로 연장되어 형성되고, 길이 방향으로 나란하게 배치되는 경우, 이에 대응하여 후술하는 지지 부재(200)는 길이 방향으로 연장되어 형성되고, 폭 방향으로 이격되어 배치될 수 있다.
기판(S)은 각종 전자 소자가 제조되는 베이스재 이거나, 이들 전자 소자가 제조되는 공정이 진행 중이거나, 공정이 종료된 판일 수 있다. 예컨대 액정 표시 장치의 경우, 유리 기판 상에 소정의 화소 전극, 게이트 라인, 데이터 라인 및 박막 트랜지스터 등이 형성된 TFT 기판일 수 있고, 컬러 필터, 공통 전극 등이 형성되는 전극 판일 수 있다. 물론, 기판은 LCD 외에 LED 또는 OLED용 패널일 수도 있다. 또한, 기판은 표시 장치에서 제조되는 각종 패널 외에 다양한 웨이퍼 또는 반도체 기판일 수 있다.
글라스 부재(100)는 복수개가 구비되어 기판을 지지하는 하나의 스테이지를 형성하는 분할형 구조의 글라스 부재(100)로서, 각각의 글라스 부재(100)는 기판의 적어도 일부를 지지 가능한 소정 면적을 가지는 예컨대 사각 판 형상의 몸체부 및 몸체부의 하부면에 두께 방향으로 돌출 형성되는 보강부(120)를 포함할 수 있다. 보다 상세하게는 다음과 같다. 글라스 부재(100)는 길이 방향으로 연장되어 형성되되, 길이 방향으로의 일측을 절단하였을 경우 절단된 일측 단면의 구조가 T 타입 구조를 가지도록, 글라스 부재(100)의 몸체부는 소정 면적을 가지는 사각 판 형상으로 형성되며, 몸체부의 하부면에는 보강부(120)가 돌출 형성되거나 부착될 수 있다. 이에, 글라스 부재(100)는 글라스 부재(100)를 지지하기 위하여 기판 지지 장치에 구비되는 지지 부재(200)와 글라스 부재(100) 간의 결합 구조 및 방식과는 독립적으로, 길이 방향으로의 복수의 위치 각각에 대하여 두께 방향으로의 처짐이 억제 또는 방지될 수 있다. 특히, 지지 부재(200)가 배치되지 않는 길이 방향으로의 글라스 부재(100)의 중심부의 처짐이 효과적으로 억제 또는 방지될 수 있어, 글라스 부재(100)의 상부면의 평탄도를 목적하는 수치 범위 예컨대 ±120㎛ 이내의 범위에서 유지시킬 수 있다.
이하에서는 글라스 부재(100)의 구조를 상세히 설명함에 있어, 두께 방향을 기준으로 하여 글라스 부재(100)를 상부 영역 및 하부 영역으로 구분하였을 경우, 이의 상부 영역에 대응되는 몸체부를 먼저 설명하고, 이어서 이의 하부 영역에 대응되는 보강부(120)를 설명한다.
글라스 부재(100)의 몸체부는 두께 방향으로 복수개의 층을 구비하는 판 형상의 부재로서, 길이 방향으로의 너비가 폭 방향으로의 너비에 비하여 상대적으로 크도록 형성될 수 있다. 보다 상세하게는, 글라스 부재 몸체부의 길이 방향으로의 너비는 기판 지지 장치에서 처리되는 기판의 길이 방향으로의 너비에 대응하도록 형성될 수 있고, 폭 방향으로의 너비는 기판 지지 장치에 구비되는 글라스 부재(100)의 개수 및 기판 지지 장치에서 처리되는 기판의 폭 방향으로의 너비에 대응하도록 형성될 수 있다. 글라스 부재(100)의 몸체부는 두께 방향으로 적층되는 상부판(110a) 및 하부판(110b)을 구비하며, 이때, 상부판(110a) 및 하부판(110b)의 사이에는 전기 전도성 필름(110c)이 구비될 수 있다. 이를 도 2에 도시하였다.
한편, 상부판(110a) 및 하부판(110b)과 전기 전도성 필름(110c)은 예컨대 본딩(bonding) 방식으로 서로 접착 또는 부착되어 결합될 수 있다.
상기와 같은 구조 즉, 몸체부가 상부판 및 하부판으로 형성되고, 이의 사이에 전기 전도성 필름이 부착되는 구조에 의하여 본 발명의 실시 예에 따른 글라스 부재(100)의 몸체부는 후술하는 본 발명의 변형 예에 따른 글라스 부재(100)의 몸체부 구조에 비하여 구조적으로 견고할 수 있다.
한편, 본 발명의 실시 예에 따른 글라스 부재 몸체부 구조는 하기의 변형 예를 포함하여 다양한 구조일 수 있다. 도 3을 참조하면, 본 발명의 변형 예에 따른 글라스 부재(100)의 몸체부는, 길이 방향으로 연장되어 형성되는 상부판(110d)을 구비하며, 상부판(110d)의 하부면에는 전기 전도성 막(110e)이 증착 또는 코팅 형성될 수 있다. 이때, 후술하는 보강부(120)는 상부판(110d) 및 전기 전도성 막(110e)의 하측에서 상부판(110d) 및 전기 전도성 막(110e)의 폭 방향으로의 중심부에 예컨대 본딩 방식으로 부착되어 결합될 수 있다. 즉, 본 발명의 변형 예에서는 글라스 부재(100)의 몸체부가 두께 방향으로의 하나의 층을 구비하는 판 형상의 부재이며, 그 하부면에 전기 전도성 막(110e)이 코팅되는 구조일 수 있다.
이와 같은 구조에 의하여 본 발명의 변형 예에 따른 글라스 부재 몸체부는 상술한 본 발명의 실시 예에 따른 글라스 부재 몸체부 구조에 비하여 전기 전도성 막(110e)의 유지 보수가 용이할 수 있다.
물론, 글라스 부재(100)의 몸체부 구조는 상술한 바에 한정하지 않으며, 길이 방향으로의 너비가 폭 방향으로의 너비에 비하여 상대적으로 큰 소정의 판 형상으로 형성되되, 두께 방향으로 적층되는 복수개의 층을 구비함과 함께 상부층을 제외한 나머지의 층 중 적어도 하나의 층이 전기 전도성 재질의 막 또는 필름으로 형성되는 것을 만족하는 다양한 구조일 수 있다.
보강부(120)는 글라스 부재(100)의 몸체부의 폭 방향으로의 중심부에서 하측으로 돌출 형성되어 길이 방향으로 연장되거나, 길이 방향으로 연장 형성되어 글라스 부재(100)의 몸체부의 폭 방향으로의 중심부에 부착될 수 있다. 더욱 상세하게는, 본 발명의 실시 예에 따른 하부판(110b)의 폭 방향으로의 중심부에서 하측으로 돌출 형성되어 길이 방향으로 연장되거나, 본 발명의 변형 예에 따른 상부판(110d)의 폭 방향으로의 중심부에서 하측에서 길이 방향으로 연장 형성되어 상부판(110d)의 하부면에 증착 또는 코팅된 전기 전도성 막(110e)의 폭 방향으로의 중심부에 부착될 수 있다.
상기의 보강부(120)는 글라스 부재 몸체부가 폭 방향으로 처지는 것을 방지하도록 제공되는 구성부이다. 따라서, 폭 방향으로의 보강부(120)의 너비는 글라스 부재 몸체부의 상부면 면적에 대응하도록 형성될 수 있고, 두께 방향으로의 보강부(120)의 너비는 길이 방향으로의 글라스 부재 몸체부의 너비에 대응하도록 형성될 수 있다. 이때, 폭 방향으로의 보강부(120)의 너비는 두께 방향으로의 보강부(120)의 너비에 비하여 상대적으로 작을 수 있으며, 즉, 보강부(120)는 두께 방향 및 길이 방향으로 연장되어 소정의 면적을 가지는 수직 판일 수 있다.
또한, 보강부(120)는 길이 방향으로의 보강부(120)의 양측 단부 각각이 길이 방향으로의 글라스 부재 몸체부의 상부면의 양측 단부 각각보다 외측에 위치하도록 보강부(120)의 길이 방향으로의 너비가 형성될 수 있다. 즉, 보강부(120)의 양측 단부는 글라스 부재(100)의 몸체부의 양측 단부 각각의 외측으로 각각 돌출 형성될 수 있다. 보강부(120)의 돌출된 양측 단부 각각에 후술하는 지지 부재(200)가 결합되는 방식으로 글라스 부재(100)가 지지 부재(200)에 결합 지지될 수 있다. 이에, 길이 방향으로 서로 이격된 복수의 지지 부재(200) 사이에 배치되는 백 라이트 발광 소자(미도시)에서 생성되는 광과 지지 부재(200)와의 간섭이 방지될 수 있다.
한편, 상술한 글라스 부재(100)의 몸체부 및 보강부(120)는 내열 특성을 가지는 예컨대 파이렉스 글라스(pyrex glass) 및 광투과성이 향상된 화이트 글라스(white glass) 등을 재질로서 포함할 수 있다. 또한, 전기 전도성 필름(110c) 및 전기 전도성 막(110e) 각각은 전원을 공급받아 목적하는 온도로 신속하게 발열 가능하도록 소정 크기의 전기 저항을 가지는 ITO(Indium Tin Oxide) 필름 및 ITO(Indium Tin Oxide) 막일 수 있다. 이때, ITO(Indium Tin Oxide) 필름 및 ITO(Indium Tin Oxide) 막 각각의 형상 및 면적은 상술한 글라스 부재(100)의 몸체부 형상 및 면적에 대응하도록 형성될 수 있다.
이하에서는 본 발명의 실시 예를 기준으로 하여 복수개의 글라스 부재의 연결 및 결합 구조 등을 설명한다. 그러나 하기에서 설명되는 기술적인 특징들은 본 발명의 변형 예에 따른 글라스 부재에도 동일하게 적용될 수 있다.
상기와 같이 형성되는 복수개의 글라스 부재(100)는 각각의 상부면이 동일 면상에서 서로 매끄럽게 연결되도록 폭 방향으로 나란하게 배치되어 기판이 지지되는 면을 형성하고, 이에 기판이 처리되는 동안 기판을 지지하는 스테이지의 역할을 한다. 이때, 폭 방향으로 나란하게 배치되는 복수개의 글라스 부재(100)의 하측에는 백 라이트 발광 소자(미도시)가 마련되어, 기판 상에 증착 또는 리페어 완료된 전자 소자의 정상 또는 결함 여부 검사에 사용될 수 있다.
또한, 기판이 처리되는 동안 기판을 안정적으로 고정시키도록 글라스 부재 몸체부의 상부면에는 복수개의 진공 홀(미도시)이 두께 방향으로 관통 형성되고, 복수개의 진공 홀은 글라스 부재 몸체부의 일측을 길이 방향으로 관통하여 형성되는 진공 관(미도시)과 연결되며, 진공 관은 진공 펌프(미도시)에 연결될 수 있다.
또한, 기판이 처리되는 동안 기판의 온도를 목적하는 온도에서 유지시키도록 글라스 부재 몸체부에는 소정의 전원 공급수단(미도시)이 연결될 수 있다. 예컨대 길이 방향으로의 전기 전도성 필름(110c) 및 전기 전도성 막(110e)의 양측 단부에는 예컨대 실크 박판 재질의 전극(미도시)이 적층 또는 연결되고, 상기의 전극에 전원 공급수단이 접속되어, 전기 전도성 필름(110c) 및 전기 전도성 막(110e) 각각이 전원 공급수단이 전기적으로 연결될 수 있다. 물론 상술한 전원 공급수단의 연결방식은 전기 전도성 필름(100c) 및 전기 전도성 막(110e) 각각에 목적하는 만큼의 전원을 공급 가능한 것을 만족하는 다양한 구성 및 방식으로 다양하게 변경될 수 있다.
지지 부재(200)는 폭 방향으로 나란하게 배치된 복수개의 글라스 부재(100)를 지지 가능하도록 제공되는 구성부이며, 이를 위하여, 폭 방향으로 연장되어 형성되고, 길이 방향으로 이격되어 배치되는 복수개의 지지 프레임(210), 복수개의 글라스 부재(100) 각각을 지지 가능하도록 폭 방향으로 서로 이격되어 지지 프레임(210)의 복수의 위치에 각각 배치되는 글라스 부재 홀더(220), 지지 프레임(210)의 폭 방향으로의 양측 단부에 각각 배치되는 클램핑 부재(230)를 그 세부 구성부로서 포함할 수 있다.
지지 프레임(210)은 폭 방향으로 연장되어 형성되고, 복수개 구비되어 길이 방향으로 서로 이격 배치될 수 있다. 지지 프레임(210)의 양측 단부는 서로 마주보는 지지 프레임(210)을 향하도록 길이 방향으로 서로 이격된 지지 프레임(210) 사이의 중심 위치를 향하는 방향으로 각각 돌출 형성될 수 있다. 또한, 폭 방향으로의 지지 프레임(210)의 복수의 위치에는 길이 방향으로 서로 이격된 지지 프레임(210) 사이의 중심 위치를 향하는 방향으로 돌출 형성되는 돌출부가 각각 구비될 수 있고, 이의 상부면에 글라스 부재 홀더(220)가 구비될 수 있다.
글라스 부재 홀더(220)는 소정의 형상을 가지는 예컨대 지지 블록일 수 있으며, 글라스 부재 홀더(220)에는 글라스 부재 홀더(220)를 길이 방향으로 관통하는 삽입구(220a)가 구비될 수 있다. 이때, 삽입구(220a)는 도 1에 도시된 바와 같이, 글라스 부재의 보강부(120)와 끼움 결합 가능하도록 그 내부가 보강부(120)의 형상 및 크기에 대응하는 형상 및 크기로 형성되되, 상측으로 개방될 수 있다.
클램핑 부재(230)는 글라스 부재(100) 상에 안착되는 기판을 정렬 및 클램핑 하도록 제공되는 구성부이며, 글라스 부재(100)를 향하여 상향 경사진 방향으로 전후진 가능하도록 형성될 수 있다. 예컨대 클램핑 부재(230)는 글라스 부재(100)를 향하는 방향으로 폭 방향으로의 지지 프레임의 양측 단부에 장착되는 제1 클램핑 부재(231), 글라스 부재(100)를 향하여 전후진 가능하도록 제1 클램핑 부재(231)의 일측면에 장착되는 제2 클램핑 부재(232), 글라스 부재(100)를 향하는 제2 클램핑 부재(232)의 단부에 장착되는 클램핑 휠(233)을 포함할 수 있다. 이때, 제2 클램핑 부재(232)는 도 4에 도시된 바와 같이, 제2 클램핑 부재(232)의 전진 및 후진 시 클램핑 휠(233)이 글라스 부재(100)의 상측 및 하측에 위치 가능하도록 글라스 부재(100)를 향하는 방향으로 상향 경사지게 장착될 수 있다.
상기의 클램핑 부재(230)는 글라스 부재(100)를 향하여 경사지는 소정의 방향으로의 전진 동작에 의하여 글라스 부재(100)의 상측에서 기판(S)을 용이하게 정렬 및 클램핑 가능하며, 후진 동작에 의하여 글라스 부재(100)의 하측으로 이동되어 예컨대 기판(S)의 로딩 및 언로딩 시에 기판(S)과의 간섭이 방지될 수 있다.
제1 클램핑 부재(231)는 글라스 부재(100)를 향하는 방향으로 상향 경사지는 상부면을 가지는 다양한 형상의 부재일 수 있으며, 상기의 상부면에는 제2 클램핑 부재(231)의 전후진 경로를 안내하도록 소정의 홈이 연장 형성될 수 있다. 제2 클램핑 부재(232)는 제1 클램핑 부재(231)의 상부면에 삽입 장착되어 상기의 홈을 따라 전후진하며 기판(S)을 클램핑하는 역할을 한다. 제2 클램핑 부재(231)에는 클램핑 부재 구동부(234)가 연결될 수 있으며, 클램핑 부재 구동부(234)는 예컨대 유압에 의하여 제2 클램핑 부재(232)를 전진 및 후진시키도록 형성되는 다양한 구성 및 방식의 유압 실린더일 수 있다. 클램핑 휠(233)은 제2 클램핑 부재(231)의 이동에 의하여 그 외주면이 기판(S)과 직접 접촉되며 기판을 정렬 가능한 다양한 구성 및 방식의 휠일 수 있다. 물론, 상술한 클램핑 부재(230)의 구성 및 방식은 하나의 방향에 대하여 전후진 하면서 클램핑 휠(233)을 이동시켜 기판(S)을 정렬 가능한 것을 만족하는 다양한 구성 및 방식으로 다양하게 변경 가능하다.
상기와 같이 형성되는 기판 지지 장치는 글라스 부재(100)의 T 타입 구조에 의하여 기판을 지지하는 면의 처짐이 방지될 수 있다. 즉, 보강부(120)가 글라스 부재 몸체부의 자중 및 이에 안착되는 기판의 하중에 의하여 글라스 부재 몸체부에 두께 방향으로 가해지는 전단하중을 효과적으로 지지 분산시킴에 따라 글라스 부재(100)의 상부면 처짐이 효과적으로 방지될 수 있다. 따라서, 기판 지지 장치는 예컨대 화학 기상 증착 방식을 이용하여 기판의 결함을 리페어하는 과정에서 기판의 전체 면적에 대하여 평탄도가 유지되도록 기판을 안정적으로 지지 가능하다. 물론, 기판 지지 장치는 화학 기상 증착 방식을 이용한 기판의 리페어 과정 외의 다양한 웨이퍼 또는 반도체 기판의 처리 과정에 적용되어 기판을 안정적으로 지지 가능하다. 또한, 글라스 부재(100)는 글라스 부재(100)의 양측 단부에만 지지 부재(200)가 결합 지지되더라도, 글라스 부재(100)의 중심부의 처짐이 방지됨과 함께 목적하는 평탄도를 가질 수 있으며, 이에 지지 부재(200)의 사이에 기판의 배선 검사를 위한 구성부가 배치될 수 있는 소정의 공간이 마련될 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시 예에 따른 기판 지지 장치에 기판이 지지되는 동안, 기판의 증착 공정 또는 리페어 공정과 기판의 검사 공정을 연속적으로 실시할 수 있다.
또한, 상기와 같이 형성되는 기판 지지 장치는 복수개로 분할되어 구비되는 글라스 부재(100)에 의하여 전기 전도성 필름(110c) 및 전기 전도성 막(110e)의 승온 효율이 향상될 수 있다. 즉, 본 발명의 실시 예에서는 기판의 전체 면적에 대응하는 하나의 전기 전도성 필름(110c) 또는 전기 전도성 막(110e)이 제공되는 것이 아니라, 상술한 바와 같이 길이 방향으로 구분되어 폭 방향으로 서로 이웃하는 기판의 부분 면적 각각에 대응하는 복수의 글라스 부재(100) 각각마다 전기 전도성 필름(110c) 또는 전기 전도성 막(110e)이 제공될 수 있다.
예컨대 기판의 전체 면적을 승온시키는데 있어서, 종래에는 하나의 전기 전도성 필름을 이용하여 기판의 전체 면적을 승온시키는 방식이 적용되었으며, 이에 대응하여, 전기 전도성 필름 또한 대면적이었다. 하지만, 전극은 기판과의 간섭을 피하기 위하여 전기 전도성 필름의 에지부에서만 연결 가능하였다. 따라서, 열이 목적하는 온도까지 올라가기 어려운 구조적인 한계가 있었다.
반면에, 본 발명의 실시 예에서는 기판의 전체 면적을 승온시키는데 있어서, 이를 하나의 전기 전도성 필름을 이용하여 승온시키는 방식이 아닌, 기판의 전체 면적을 복수개로 분할하여 각각을 복수개의 전기 전도성 필름 또는 전기 전도성 막으로 승온시키는 방식이다. 전기 전도성 필름 또는 전기 전도성 막에 각각 연결되는 전극을 기준으로 할 때, 전기 전도성 필름 또는 전기 전도성 막의 면적이 상대적으로 작아질 수 있으며, 이에 전기 전도성 필름 또는 전기 전도성 막을 목적하는 승온 온도로 보다 신속하게 승온 시킬 수 있다.
상기한 바에 의하여, 본 발명의 실시 형태에 따른 기판 지지 장치가 예컨대 화학 기상 증착 방식을 이용한 기판의 리페어 공정에 적용되는 경우, 기판이 대기 상태에서 복수개의 글라스 부재(100) 상부면에 지지되는 동안, 전기 전도성 필름(100c)은 전원을 공급받아 목적하는 온도로 승온 될 수 있다. 이에, 기판 상부면의 리페어 위치에 예컨대 텅스텐 등의 금속 원료가 증착되는 동안, 기판의 온도가 목적하는 온도로 유지될 수 있다. 따라서 기판의 리페어에 사용되는 예컨대 텅스텐 가스가 기판의 상부에서 상온보다 낮은 온도로 냉각되며 불규칙하게 결정화되는 것을 방지하여 리페어 성공률을 향상시킬 수 있다.
본 발명의 상기 실시 예는 본 발명의 설명을 위한 것이며, 제한을 위한 것이 아님을 주지해야 한다. 본 발명은 후술하는 특허청구범위 및 이와 균등한 기술 사상의 범위 내에서 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 본 발명이 해당하는 기술 분야에서의 업자는 본 발명의 기술 사상의 범위 내에서 다양한 실시 예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.
100: 글라스 부재 110c: 전기 전도성 필름
110e: 전기 전도성 막 120: 보강부
200: 지지 부재 230: 클램핑 부재

Claims (9)

  1. 삭제
  2. 길이 방향으로 연장되어 형성되고, 폭 방향으로 나란하게 배치되며, 길이 방향으로의 너비가 폭 방향으로의 너비보다 큰 복수개의 글라스 부재; 및
    복수개의 상기 글라스 부재 각각을 지지 가능하도록 복수개의 상기 글라스 부재의 하측에 형성되는 지지 부재;를 포함하고,
    상기 글라스 부재는,
    소정 면적을 가지는 몸체부; 및
    상기 몸체부의 하부면의 폭 방향으로의 중심부에 돌출 형성되거나 부착되며, 폭 방향으로의 너비가 두께 방향으로의 너비보다 작은 보강부;를 포함하는 기판 지지 장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 몸체부는 두께 방향으로 적층되는 상부판 및 하부판을 구비하고,
    상기 보강부는 상기 하부판의 폭 방향으로의 중심부에서 하측으로 돌출 형성되어 길이 방향으로 연장되며,
    상기 상부판 및 하부판의 사이에는 전기 전도성 필름이 부착되는 기판 지지 장치.
  4. 청구항 2에 있어서,
    상기 몸체부는 길이 방향으로 연장되어 형성되는 상부판을 구비하고,
    상기 상부판의 하부면에는 전기 전도성 막이 증착 형성되며,
    상기 보강부는 길이 방향으로 연장되어 형성되고, 상기 상부판의 하측에서 상기 전기 전도성 막의 폭 방향으로의 중심부에 부착되는 기판 지지 장치.
  5. 청구항 2 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 보강부의 양측 단부는 상기 몸체부의 외측으로 돌출되어 형성되고,
    상기 지지 부재는 상기 보강부의 양측 단부에 각각 결합되는 기판 지지 장치.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 지지 부재는,
    폭 방향으로 연장되어 형성되고, 길이 방향으로 이격되어 배치되는 복수개의 지지 프레임;
    복수개의 상기 글라스 부재 각각을 지지 가능하도록 폭 방향으로 서로 이격되어 상기 지지 프레임의 복수의 위치에 각각 배치되는 글라스 부재 홀더; 및
    상기 지지 프레임의 폭 방향으로의 양측 단부에 각각 배치되는 클램핑 부재;를 포함하는 기판 지지 장치.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 글라스 부재 홀더는 상기 글라스 부재 홀더를 길이 방향으로 관통하는 삽입구를 구비하되,
    상기 삽입구는 상기 글라스 부재의 보강부와 끼움 결합 가능하도록 상측으로 개방되는 기판 지지 장치.
  8. 청구항 6에 있어서,
    상기 클램핑 부재는 상기 글라스 부재를 향하여 상향 경사진 방향으로 전후진 가능하도록 형성되는 기판 지지 장치.
  9. 청구항 6에 있어서,
    상기 클램핑 부재는,
    상기 글라스 부재를 향하는 방향으로 상기 지지 프레임의 양측 단부에 장착되는 제1 클램핑 부재;
    상기 글라스 부재를 향하여 전후진 가능하도록 상기 제1 클램핑 부재의 일측면에 장착되는 제2 클램핑 부재; 및
    상기 글라스 부재를 향하는 상기 제2 클램핑 부재의 단부에 장착되는 클램핑 휠;을 포함하고,
    상기 제2 클램핑 부재는 상기 글라스 부재를 향하는 방향으로 상향 경사지게 장착되는 기판 지지 장치.
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