KR100520603B1 - 전기 광학 장치용 기판, 전기 광학 장치용 기판의 제조방법, 전기 광학 장치, 전기 광학 장치의 제조 방법 및전자 기기 - Google Patents
전기 광학 장치용 기판, 전기 광학 장치용 기판의 제조방법, 전기 광학 장치, 전기 광학 장치의 제조 방법 및전자 기기 Download PDFInfo
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- 기판과,상기 기판상에 배치된 상기 기판에 대하여 경사져 있는 경사면을 갖는, 광이 투과할 수 있는 투광층과,상기 투광층상에 배치된 개구부를 갖는 반사층을 구비하되,상기 개구부의 가장자리는 상기 경사면상에 배치되어 있고,상기 경사면의 상기 기판에 대한 경사각은 68 ~ 79도의 범위내이며,상기 반사층은 가시광을 산란시킬 수 있는 요철을 갖는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치용 기판.
- 기판과,상기 기판상에 배치된 상기 기판에 대하여 경사져 있는 경사면을 갖는, 광이 투과할 수 있는 투광층과,상기 투광층상에 배치된 개구부를 갖는 반사층을 구비하되,상기 개구부의 가장자리는 상기 경사면상에 배치되어 있고,상기 경사면의 상기 기판에 대한 경사각은 68 ~ 79도의 범위내이며,상기 투광층상에 착색층이 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치용 기판.
- 기판과,상기 기판상에 배치된 개구부를 갖는 반사층과,상기 반사층상에 배치되며, 상기 기판에 대하여 경사진 경사면을 갖는, 광이 투과할 수 있는 투광층을 구비하되,상기 경사면은 상기 개구부의 가장자리와 중첩하여 배치되며,상기 투광층상에 착색층이 배치되어 있고,상기 경사면의 상기 기판에 대한 경사각은 68 ~ 79도의 범위내인 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치용 기판.
- 기판과,상기 기판상에 배치된 개구부를 갖는 반사층과,상기 반사층상에 배치되며, 상기 개구부에 중첩하는 개구를 갖는, 광이 투과할 수 있는 투광층을 구비하되,상기 투광층은, 상기 개구의 주위에 상기 기판에 대하여 경사진 경사면을 갖고,상기 반사층의 상기 개구부의 가장자리는, 상기 경사면과 중첩하여 또는 상기 투광층의 상기 개구내에 배치되며,상기 투광층상에 착색층이 배치되어 있고,상기 경사면의 상기 기판에 대한 경사각은 68 ~ 79도의 범위내인 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치용 기판.
- 기판상에 광이 투과할 수 있는 투광층을 형성하는 공정과,상기 투광층을 연화시켜 소재를 유동시키는 것에 의해, 상기 투광층의 일부에 상기 기판에 대하여 경사져 있는 경사면을 형성하는 공정과,상기 투광층상에 개구부를 갖는 반사층을 형성하는 공정을 구비하되,상기 반사층을 형성하는 공정에서는, 상기 경사면상에 상기 개구부의 가장자리가 마련되도록 상기 개구부가 형성되며,상기 경사면을 형성하는 공정에서는, 상기 경사면의 상기 기판에 대한 경사각이 68 ~ 79도의 범위내로 되도록 상기 경사면이 형성되는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치용 기판의 제조 방법.
- 기판상에 개구를 갖는, 광이 투과할 수 있는 투광층을 형성하는 공정과,상기 투광층을 연화시켜 소재를 유동시키는 것에 의해, 상기 개구의 주위에 상기 기판에 대하여 경사진 경사면을 형성하는 공정과,상기 투광층상에 상기 개구와 중첩하는 개구부를 갖는 반사층을 형성하는 공정을 구비하되,상기 반사층을 형성하는 공정에서는, 상기 경사면상 또는 상기 투광층의 상기 개구내에 상기 개구부의 가장자리가 마련되도록 상기 개구부가 형성되며,상기 경사면을 형성하는 공정에서는, 상기 경사면의 상기 기판에 대한 경사각이 68 ~ 79도의 범위내로 되도록 상기 경사면이 형성되는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치용 기판의 제조 방법.
- 기판상에 하지층(下地層)을 부분적으로 형성하는 공정과,상기 하지층상에 상기 기판에 대하여 경사져 있는 경사면을 갖는, 광이 투과할 수 있는 투광층을 형성하는 공정과,상기 투광층상에 개구부를 갖는 반사층을 형성하는 공정을 구비하되,상기 투광층을 형성하는 공정에서는, 상기 하지층의 가장자리부 근방과 중첩하여 상기 경사면이 형성되고,상기 반사층을 형성하는 공정에서는, 상기 경사면상에 상기 개구부의 가장자리가 마련되도록 상기 개구부가 형성되며,상기 경사면을 형성하는 공정에서는, 상기 경사면의 상기 기판에 대한 경사각이 68 ~ 79도의 범위내로 되도록 상기 경사면이 형성되는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치용 기판의 제조 방법.
- 제 12 항에 있어서,상기 하지층을 형성하는 공정에서는, 상기 하지층의 표면상에 요철이 형성되고,상기 투광층을 형성하는 공정에서는, 상기 하지층의 상기 요철상에 상기 투광층을 형성하는 것에 의해 상기 투광층의 표면상에 요철이 형성되며,상기 반사층을 형성하는 공정에서는, 상기 투광층의 상기 요철상에 상기 반사층을 형성하는 것에 의해, 상기 반사층에 가시광을 산란시킬 수 있는 요철이 형성되는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치용 기판의 제조 방법.
- 기판상에 개구부를 갖는 반사층을 형성하는 공정과,상기 반사층상에 상기 기판에 대하여 경사져 있는 경사면을 갖는, 광이 투과할 수 있는 투광층을 형성하는 공정과,상기 투광층상에 착색층을 형성하는 공정을 구비하되,상기 투광층을 형성하는 공정에서는, 상기 경사면이 상기 개구부의 가장자리와 중첩하여 마련되도록, 또한, 상기 경사면의 상기 기판에 대한 경사각이 68 ~ 79도의 범위내로 되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치용 기판의 제조 방법.
- 기판상에 개구부를 갖는 반사층을 형성하는 공정과,상기 반사층상에 상기 개구부에 중첩하는 개구를 갖는, 광이 투과할 수 있는 투광층을 형성하는 공정과,상기 투광층상에 착색층을 형성하는 공정을 구비하되,상기 투광층을 형성하는 공정에서는, 상기 개구의 주위에 마련되며 상기 기판에 대하여 경사진 경사면을, 상기 반사층의 상기 개구부의 가장자리가 상기 경사면과 중첩하여 또는 상기 투광층의 상기 개구의 내측에 마련되도록, 또한, 상기 경사면의 상기 기판에 대한 경사각이 68 ~ 79도의 범위내로 되도록 형성하는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치용 기판의 제조 방법.
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- 기판과,상기 기판상에 배치된 개구부를 갖는 반사층과,상기 반사층상에 배치된 상기 기판에 대하여 경사진 경사면을 갖는, 광이 투과할 수 있는 투광층을 구비하되,상기 경사면은 상기 개구부의 가장자리와 중첩하여 배치되고,상기 투광층상에 착색층이 배치되어 있으며,상기 경사면의 상기 기판에 대한 경사각은 68 ~ 79도의 범위내인 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
- 기판과,상기 기판상에 배치된 개구부를 갖는 반사층과,상기 반사층상에 배치되고 상기 개구부에 중첩하는 개구를 갖는, 광이 투과할 수 있는 투광층을 구비하되,상기 투광층은, 상기 개구의 주위에 상기 기판에 대하여 경사진 경사면을 갖고,상기 반사층의 상기 개구부의 가장자리는, 상기 경사면과 중첩하여 또는 상기 투광층의 상기 개구내에 배치되며,상기 투광층상에 착색층이 배치되어 있고,상기 경사면의 상기 기판에 대한 경사각은 68 ~ 79도의 범위내인 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
- 청구항 10에 기재된 전기 광학 장치용 기판의 제조 방법을 공정으로서 구비하는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치의 제조 방법.
- 기판과,상기 기판상에 배치된 개구부를 갖는 반사층과,상기 반사층상에 배치되고 상기 기판에 대하여 경사져 있는 경사면을 갖는, 광이 투과할 수 있는 투광층을 구비하되,상기 경사면은 상기 개구부의 둘레와 겹쳐져 배치되고,상기 투광층상에 착색층이 배치되어 있으며,상기 경사면의 상기 기판에 대한 경사각은 68 ~ 79도의 범위내인 것특징으로 하는 전기 광학 장치와,해당 전기 광학 장치를 제어하는 제어 수단을 구비한 전자 기기.
- 기판과,상기 기판상에 배치된 개구부를 갖는 반사층과,상기 반사층상에 배치되고 상기 개구부에 겹치는 개구를 갖는, 광이 투과할 수 있는 투광층을 구비하되,상기 투광층은 상기 개구의 주위에 상기 기판에 대해 경사진 경사면을 갖고,상기 반사층의 상기 개구부의 둘레는 상기 경사면과 겹쳐서 혹은 상기 투광층의 상기 개구내에 배치되며,상기 투광층상에 착색층이 배치되어 있고,상기 경사면의 상기 기판에 대한 경사각은 68 ~ 79도의 범위내인 것특징으로 하는 전기 광학 장치와,해당 전기 광학 장치를 제어하는 제어 수단을 구비한 전자 기기.
- 기판과,상기 기판상에 배치되고, 상기 기판에 대해 경사져 있는 경사면을 갖는, 광이 투과할 수 있는 투광층과,상기 투광층상의 일부에 배치된 반사층과,상기 투광층 위 및 상기 반사층 위에 배치된 착색층을 구비하되,상기 반사층은 상기 경사면상에 상기 기판에 대해 경사져 있는 경사 반사면을 갖고 있고,상기 반사층의 둘레는 상기 경사면상에 배치되어 있으며,상기 착색층은 상기 경사 반사면상에 배치되고,상기 경사 반사면상에 배치된 상기 착색층은 상기 경사 반사면상을 제외하는 상기 반사층상에 배치된 상기 착색층보다 두께가 두꺼운 부분을 가지며,상기 경사 반사면은 반사되는 광이 상기 두꺼운 부분을 통과하도록 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치용 기판.
- 기판과,상기 기판상에 배치되고 개구를 갖는, 광이 투과할 수 있는 투광층과,상기 투광층상의 일부에 배치된 반사층과,상기 개구내 및 상기 반사층 위에 배치된 착색층을 구비하되,상기 투광층은 상기 개구의 주위에 상기 기판에 대해 경사진 경사면을 갖고,상기 반사층은 상기 경사면상에 상기 기판에 대해 경사져 있는 경사 반사면을 갖고 있으며,상기 반사층의 둘레는 상기 경사면과 겹쳐져서 혹은 상기 투광층의 상기 개구내에 배치되어 있고,상기 착색층은 상기 경사 반사면상에 배치되고,상기 경사 반사면상에 배치된 상기 착색층은, 상기 경사 반사면 상을 제외하는 상기 반사층상에 배치된 상기 착색층보다 두께가 두꺼운 부분을 가지며,상기 경사 반사면은 반사되는 광이 상기 두꺼운 부분을 통과하도록 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치용 기판.
- 기판상에 광이 투과할 수 있는 투광층을 형성하는 공정과,상기 투광층을 연화시켜 소재를 유동시킴으로써 상기 투광층의 일부에 상기 기판에 대해 경사져 있는 경사면을 형성하는 공정과,상기 투광층상의 일부에 반사층을 형성하는 공정과,상기 투광층 위 및 상기 반사층 위에 착색층을 형성하는 공정을 구비하되,상기 반사층을 형성하는 공정에서는, 상기 경사면상에 상기 반사층의 둘레가 마련되고, 상기 경사면상에 상기 기판에 대해 경사져 있는 경사 반사면이 형성되며,상기 착색층을 형성하는 공정에서는, 상기 경사 반사면상에 당해 경사 반사면상을 제외하는 상기 반사층상에 배치된 상기 착색층보다 두께가 두꺼운 부분을 형성하고,상기 경사 반사면은 반사되는 광이 상기 두꺼운 부분을 통과하도록 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치용 기판의 제조 방법.
- 기판상에, 개구를 갖고 광이 투과할 수 있는 투광층을 형성하는 공정과,상기 투광층을 연화시켜 소재를 유동시킴으로써 상기 개구의 주위에 상기 기판에 대해 경사진 경사면을 형성하는 공정과,상기 투광층상의 일부에 반사층을 형성하는 공정과,상기 개구내 및 상기 반사층 상에 착색층을 형성하는 공정을 구비하되,상기 반사층을 형성하는 공정에서는, 상기 경사면상 혹은 상기 투광층의 상기 개구내에 상기 반사층의 둘레가 마련되고, 상기 경사면상에 상기 기판에 대해 경사져 있는 경사 반사면이 형성되며,상기 착색층을 형성하는 공정에서는, 상기 경사 반사면상에 당해 경사 반사면상을 제외하는 상기 반사층상에 배치된 상기 착색층보다 두께가 두꺼운 부분을 형성하고,상기 경사 반사면은 반사되는 광이 상기 두꺼운 부분을 통과하도록 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치용 기판의 제조 방법.
- 기판상에 하지층을 부분적으로 형성하는 공정과,상기 하지층 상에 상기 기판에 대해 경사져 있는 경사면을 갖는, 광이 투과할 수 있는 투광층을 형성하는 공정과,상기 투광층상의 일부에 반사층을 형성하는 공정과,상기 투광층 상 및 상기 반사층 상에 착색층을 형성하는 공정을 구비하되,상기 투광층을 형성하는 공정에서는, 상기 하지층의 둘레부 근방과 겹쳐서 상기 경사면이 형성되고,상기 반사층을 형성하는 공정에서는, 상기 경사면 상에 상기 반사층의 둘레가 마련되고, 상기 경사면 상에 상기 기판에 대해 경사져 있는 경사 반사면이 형성되며,상기 착색층을 형성하는 공정에서는, 상기 경사 반사면 상에, 당해 경사 반사면 상을 제외하는 상기 반사층 상에 배치된 상기 착색층보다 두께가 두꺼운 부분을 형성하고,상기 경사 반사면은 반사되는 광이 상기 두꺼운 부분을 통과하도록 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치용 기판의 제조 방법.
- 기판과,상기 기판 상에 배치된 상기 기판에 대해 경사져 있는 경사면을 갖는, 광이 투과할 수 있는 투광층과,상기 투광층 상의 일부에 배치된 반사층과,상기 투광층 상 및 상기 반사층 상에 배치된 착색층을 구비하되,상기 반사층은 상기 경사면 상에 상기 기판에 대해 경사져 있는 경사 반사면을 갖고 있고,상기 반사층의 둘레는 상기 경사면 상에 배치되어 있으며,상기 착색층은 상기 경사 반사면 상에 배치되고,상기 경사 반사면 상에 배치된 상기 착색층은, 상기 경사 반사면 상을 제외하는 상기 반사층 상에 배치된 상기 착색층보다 두께가 두꺼운 부분을 가지며,상기 경사 반사면은 반사되는 광이 상기 두꺼운 부분을 통과하도록 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
- 기판과,상기 기판상에 배치되고 개구를 갖는, 광이 투과할 수 있는 투광층과,상기 투광층 상의 일부에 배치된 반사층과,상기 개구와 겹치는 상기 반사층이 배치되어 있지 않은 영역과,상기 투광층 상 및 상기 개구내에 배치된 착색층을 구비하되,상기 투광층은 상기 개구의 주위에 상기 기판에 대해 경사진 경사면을 갖고,상기 반사층은 상기 경사면 상에 상기 기판에 대해 경사져 있는 경사 반사면을 가지며,상기 반사층의 둘레는 상기 경사면과 겹쳐서 혹은 상기 투광층의 상기 개구내에 배치되어 있고,상기 착색층은 상기 경사 반사면 상에 배치되며,상기 경사 반사면 상에 배치된 상기 착색층은 상기 경사 반사면 상을 제외하는 상기 반사층 상에 배치된 상기 착색층보다 두께가 두꺼운 부분을 갖고,상기 경사 반사면은 반사되는 광이 상기 두꺼운 부분을 통과하도록 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
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