KR100483313B1 - 처리장치 - Google Patents

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KR100483313B1
KR100483313B1 KR10-1998-0038363A KR19980038363A KR100483313B1 KR 100483313 B1 KR100483313 B1 KR 100483313B1 KR 19980038363 A KR19980038363 A KR 19980038363A KR 100483313 B1 KR100483313 B1 KR 100483313B1
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나오키 신도
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동경 엘렉트론 주식회사
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Abstract

본 발명은 예를 들어 반도체웨이퍼나 LCD용유리기판 등의 피처리체를 세정 또는 건조하는 처리장치에 관한 것이다.
본 발명의 처리장치에서는 세정액을 저장함과 동시에 저장된 세정액중에 반도체웨이퍼(W)를 침적하여 그 표면을 세정하는 세정조(30)과, 상기 세정조(30)과 순수공급원(31)을 접속하는 세정액공급관(33)과, 약액을 저장하기 위한 액약저장용기(34)와, 상기 세정액공급관(33)과 상기 약액저장용기(34)를 접속하는 약액공급관(36)과, 상기 약액공급관(36)에 설치된 주입개폐절환밸브(35)와, 상기 약액공급관(36)에 약액공급수단으로서 왕복구동식 펌프 예를 들어 다이어프램 펌프(37)이 설치되어 이루어지는 처리장치가 제공된다.
따라서, 본 발명에 관계하는 처리장치에서는 왕복구동식 펌프에 의한 약액의 반송에 의해, 순수나 건조가스용 반송가스의 유량 또는 압력의 변동에 영향받는 일 없이 소정량의 약액을 순수중 또는 건조가스생성부에 주입하여 소정농도의 약액을 얻고, 이것을 세정 또는 건조에 제공할 수 있는 효과가 있다.

Description

처리장치
본 발명은 예를 들어 반도체웨이퍼나 LCD용유리기판 등의 피처리체를 세정 또는 건조하는 처리장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체제조장치의 제조공정에서는 반도체웨이퍼나 LCD용유리기판 등의 피처리체(이하 웨이퍼 등이라 한다)를 예를 들어 암모니아수(NH4OH)나 불화수소산(HF)등의 약액이나 린스액(순수)등의 세정액이 저장된 처리부 예를 들어 세정조에 순차적으로 침적하여 세정을 행하는 세정처리장치나, 세정후의 웨이퍼 등을 건조시키는 건조처리장치 등의 처리장치가 널리 채용되고 있다.
종래의 이러한 종류의 세정처리장치는 세정액을 저장함과 동시에 세정액중에 피처리체를 침적하여 그 표면을 세정하는 처리부 예를 들어 세정조와 순수공급원을 접속하는 세정액공급관에 약액을 저장하는 약액저장용기를 접속하여 이루어지고, 약액저장용기내의 약액에 반송용가스 예를 들어 질소(N2)가스를 가압하고, 세정액공급관내를 흐르는 순수중에 약액을 주입하고, 소정농도의 약액을 세정조내에 공급하여 세정처리를 행하는 구조의 것이 널리 사용되고 있다.
또, 종래의 건조처리장치는 웨이퍼 등에 건조가스를 접촉시켜 건조하는 처리부 예를 들어 건조용기와, 이 건조용기와 건조가스 반송용가스 예를 들어 N2가스의 공급원을 접속하는 N2가스공급관과, 약액 예를 들어 IPA(이소프로필알코올)등의 유기용제를 저장하는 약액저장용기와 N2가스공급관에 개설된 건조가스생성부를 구비하고 있고, 약액저장용기내의 IPA를 반송용가스 예를 들어 N2가스로 가압하고, 건조가스생성부에 주입하고, 소정농도의 건조가스를 건조용기내에 공급하여 건조처리를 행하는 것이 널리 사용되고 있다.
그런데, 종래의 이러한 종류의 처리장치에서는 약액저장용기내에 저장된 약액에 불활성가스 예를 들어 N2가스의 압력을 작용시켜 약액을 순수라인중 혹은 건조가스생성부에 주입하는 방식이기 때문에, 주입되는 약액량이 순수 혹은 건조용가스의 유량 또는 압력의 변동에 크게 좌우되기 쉽고, 약액주입량의 정확성에서 뒤떨어진다고 하는 문제가 있었다. 따라서, 순수중이나 건조가스중의 약액농도가 불안정해지고, 세정효율 혹은 건조효율이 저하함과 동시에 수율의 저하를 초래하는 문제도 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 발명된 것으로, 본 발명은 순수 혹은 건조가스 반송용가스 등의 처리매체의 유량 또는 압력의 변동에 영향을 받는 일 없이, 소정량의 약액을 순수중이나 건조가스생성부에 주입하고 소정농도의 약액 또는 건조용가스를 세정 혹은 건조등의 처리에 공급할 수 있도록 한 처리장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위해 본 발명에 의하면, 세정액을 저장함과 동시에 세정액중에 피처리체를 침적하여 그 표면을 세정하는 처리부와, 순수공급원과, 처리부와 순수공급원을 접속하는 공급관과, 약액을 저장하는 약액저장용기와, 상기 공급관과 약액저장용기를 접속하는 약액공급관과, 약액공급관에 설치된 개폐절환수단과, 상기 약액공급관에 설치된 약액공급수단을 구비하여 이루어지고, 상기 약액공급수단을 용적형 펌프로 형성하여 이루어지는 처리장치가 제시된다.
이와 같이 용적형 펌프를 이용함으로써, 공급관 안을 흐르는 순수의 유량 또는 압력의 변동에 좌우되는 일 없이 약액공급관으로부터 소정량의 약액을 순수중에 주입하고, 소정농도의 약액을 처리부내에 공급할 수 있다. 따라서, 세정효율의 향상을 도모할 수 있음과 동시에 수율의 향상을 도모할 수 있다.
상기 약액공급수단을 왕복구동식 펌프로 형성하고, 상기 약액공급관에서의 상기 약액공급수단의 약액토출측과 상기 약액저장용기에 순환관로를 접속함과 동시에, 이 순환관로에 개폐수단 및 필터를 설치할 수 있다.
이와 같이 구성함으로써 대기중인 약액을 상시 순환함과 동시에 필터링하여 약액주입의 원활화 및 주입량의 정량화를 도모할 수 있다.
또, 본 발명에 의하면 피처리체에 건조가스를 접촉시켜 건조하는 처리부와, 상기 처리부와 건조가스용 반송가스의 공급원을 접속하는 공급관과, 약액을 저장하는 약액저장용기와, 상기 공급관에 설치된 건조가스생성부와, 건조가스생성부와 약액저장부를 접속하는 약액공급관과, 상기 약액공급관에 설치된 약액공급수단을 구비하고 있고, 상기 약액공급수단이 용적형 펌프로 형성된다.
이와 같이 구성함으로써, 건조가스생성부내에 공급되는 반송용가스의 유량 또는 압력의 변동에 좌우되는 일 없이 소정량의 약액을 반송용가스중에 주입(혼입)하고, 소정농도의 약액을 처리부내에 공급할 수 있다. 따라서, 건조효율의 향상을 도모할 수 있음과 동시에 수율의 향상을 도모할 수 있다.
상기 약액공급관에서의 약액공급수단의 약액토출측에 필터를 설치할 수 있다.
이와 같이 구성함으로써, 약액주입시에 약액을 필터링할 수 있어 약액중에 혼입하는 파티클등의 불순물을 제거할 수 있다.
상기 용적형 펌프를 왕복구동식 펌프로 하고, 이 왕복구동식 펌프를 1 또는 상호 연동하는 복수의 다이어프램을 가지는 공기압식 다이어프램 펌프로 형성하고, 상기 다이어프램 펌프의 구동부와 구동공기공급원을 접속하는 공기공급관에, 공기압조정수단과 관로개폐절환수단을 개설하고, 상기 관로개폐절환수단의 절환속도를 제어가능하게 형성할 수 있다.
이와 같이 구성함으로써, 소정량의 약액을 확실히 순수중 또는 건조가스생성부에 주입할 수 있고, 약액의 농도조정을 용이하게 할 수 있다.
상기 왕복구동식 펌프를 1 또는 상호 연통하는 복수의 전동식 벨로즈 펌프로 형성할 수 있고, 이 경우 벨로즈 펌프의 구동부에 예를 들어 볼나사기구를 사용할 수 있다.
이와 같이 구성함으로써, 소정량의 약액을 확실히 순수중 또는 건조가스생성부에 주입할 수 있고, 또 벨로즈 펌프의 스트로크(stroke)를 길게 함으로써 연속적인 약액의 주입을 가능하게 할 수 있다.
상기 왕복구동식 펌프를 상호 연통하는 복수의 펌프로 형성함과 동시에 이들의 펌프의 구동에 위상차를 가지게 하여도 좋다.
이와 같이 구성함으로써, 한쪽의 펌프가 흡입공정 시 다른 한쪽의 펌프를 토출공정으로 할 수 있기 때문에, 약액의 연속주입을 가능하게 할 수 있다.
왕복구동식 펌프의 토출측에 압력검출수단을 설치하고, 이 압력수단으로부터의 검출신호를 기초로 하여 약액토출량을 제어하도록 상기 왕복구동식 펌프의 구동부를 제어할 수 있다.
이와 같이 구성함으로써, 약액의 주입량을 감시하면서 적량의 약액을 순수중 또는 건조가스생성부에 주입할 수 있다.
상기 처리부를 피처리체를 침적하는 내조와, 이 내조의 개구부의 외측 가장자리부를 덮는 외조로 구성하고, 상기 외조의 바닥부와 상기 내조내에 설치된 세정공급부를 순환관로로 접속하고, 상기 건조관로에 순환펌프, 온도조정기구 및 필터를 설치할 수 있다.
이와 같이 구성함으로써, 처리부내에 저장된 약액을 소정온도로 온도조정함과 동시에 필터링하면서 순환공급할 수 있다. 따라서, 약액 소비량의 삭감을 도모할 수 있음과 동시에 약액의 효과적인 이용을 도모할 수 있다.
상기 약액공급관에서의 약액공급수단의 토출측에 맥동완충수단을 설치해도 좋다.
이와 같이 구성함으로써, 약액공급수단에 의해 토출되는 약액의 단속(斷續)적인 파형(波形)을 연속(連續)적인 파형으로 수정할 수 있고, 약액의 순수중 또는 건조가스생성부로의 주입을 원활히 할 수 있다.
이하 본 발명의 실시예를 도면을 기초로 하여 상세히 설명한다. 이 실시예에서는 반도체웨이퍼의 세정처리시스템에 적용한 경우에 대하여 설명한다.
도 1은 본 발명에 관계하는 세정처리장치를 적용한 세정처리시스템의 일예를 도시한 개략평면도이고, 도 2는 도 1의 일부의 개략측면도이다.
상기 세정처리시스템은 피처리체인 반도체웨이퍼(W)(이하 웨이퍼라 한다)를 수평상태로 수납하는 용기 예를 들어 캐리어(1)을 반입, 반출하기 위한 반송부(2)와, 웨이퍼(W)를 약액, 세정액 등의 액처리를 함과 동시에 건조처리하는 세정·건조처리부(3)과, 반송부(2)와 세정·건조처리부(3)과의 사이에 위치하고 웨이퍼(W)의 인수인도, 위치조정 및 자세교환 등을 행하는 인터페이스부(4)로 주로 구성되어 있다.
상기 반송부(2)는 세정처리시스템의 한 측단부에 병설하여 설치된 반입부 (5)와 반출부(6)으로 구성되어 있다. 또, 반입부(5)는 상부 반송기구(7)로부터 캐리어(1)을 인수하는 인수부(5a)와, 이 인수부(5a)로부터 수평으로 반송되는 캐리어(1)을 재치하는 인수인도부(5b)로 이루어지고, 인수인도부(5b)에는 캐리어(1)을 상부위치와 인터페이스부(4)의 반입구(도시하지 않음)와의 사이에서 반송하는 케리어리프터(8)이 설치되어 있다. 또, 반출부(6)에는 캐리어(1)을 인터페이스부(4)의 반출구(도시하지 않음)와 상부와의 사이에서 반송하는 케리어리프터(8)이 설치되어, 이들 케리어리프터(8)에 의해 반입부(5)사이 또는 반출부(6)의 사이에서 캐리어(1)의 반송을 행할 수 있으며, 빈 캐리어(1)을 인터페이스부(4)의 상측에 설치된 캐리어대기부(9)로 인수인도 및 캐리어대기부(9)로부터의 인수를 행할 수 있도록 구성되어 있다(도 2 참조).
상기 인터페이스부(4)는 구획벽(4c)에 의해 구획된 반송부(2)에 접속하는 제 1실(4a)와 세정·건조처리부(3)에 접속하는 제 2실(4b)로 구성되어 있다. 그리고, 제 1실(4a)내에는 반입부(5)(구체적으로는 인수인도부(5b))의 캐리어(1)로부터 복수매의 웨이퍼(W)를 꺼내어 반송하는 수평방향(X, Y방향), 수직방향(Z방향) 및 회전(θ방향)가능한 웨이퍼취출아암(10)과, 웨이퍼(W)에 설치된 노치(notch)를 정렬하는 노치정렬기(11)과, 웨이퍼취출아암(10)에 의해 꺼내진 복수매의 웨이퍼(W)의 간격을 정돈하는 간격조정기구(도시하지 않음)를 구비함과 동시에, 수평상태의 웨이퍼(W)를 수직상태로 변환하는 제 1 자세변환장치(12)가 설치되어 있다.
또, 제 2실(4b)내에는 처리가 끝난 복수매의 웨이퍼(W)를 세정·건조처리부(3)으로부터 수직상태인 채로 반송하는 후술하는 웨이퍼반송척(23)으로부터 받은 웨이퍼(W)를 수직상태에서 수평상태로 변환하는 제 2 자세변환장치(13)과, 이 제 2 자세변환장치(13)에 의해 수평상태로 변환된 복수매의 웨이퍼(W)를 받아 웨이퍼수취부(14)에 반송된 빈 캐리어(1)내에 수납하는 수평방향(X, Y방향), 수직방향(Z방향) 및 회전(θ방향)가능한 웨이퍼수납아암(15)가 배설되어 있다. 또한, 웨이퍼수취부(14)에는 웨이퍼수취부(14)와 캐리어대기부(9)와의 사이에서 캐리어를 반송하는 케리어리프터(8)이 설치되어 있다. 또, 캐리어대기부(9)에는 웨이퍼인수인도부(5b)에 의해 웨이퍼(W)를 인수인도한 후의 빈 캐리어(1)이나 웨이퍼수취부(14)에서 캐리어(1)내에 웨이퍼(W)를 수용한 캐리어(1)을 소정의 대기위치 혹은 웨이퍼수취부(14)로부터 캐리어대기부(9)에 반송된 웨이퍼(W)를 수납한 캐리어(1)를 반출부(6)의 상측으로 이동하는 캐리어반송로봇트(16)가 설치되어 있다.
한편, 상기 세정·건조처리부(3)에는 웨이퍼(W)에 부착하는 파티클이나 유기물오염을 제거하는 제 1 처리유니트(19)와, 웨이퍼(W)에 부착하는 금속오염을 제거하는 제 2 처리유니트(18)과, 웨이퍼(W)에 부착하는 산화막을 제거하는 제 3 처리유니트(17) 및 척세정유니트(20)이 직선형상으로 배열되어 있다. 또한, 제 3 처리유니트(17)의 상측에는 건조처리유니트(21)이 배치되어 있다. 또, 이 경우, 제 3 처리유니트(17) 또는 건조처리유니트(21)에 본 발명에 관계하는 처리장치가 적용되어 있다. 그리고, 이들 각 유니트(17) ~ (20)과 대향하는 위치로부터 상기 인터페이스부(4)에 연결되어 설치된 반송로(22)에 X, Y방향(수평방향), Z방향(수직방향) 및 회전(θ)가능한 웨이퍼반송척(23)이 배치되어 있다.
이어, 본 발명의 세정처리장치에 대해 설명한다.
도 3은 본 발명의 처리장치의 제 1 실시예를 도시한 개략단면도이다.
상기 처리장치(17)은 약액 예를 들어 불화수소산(HF)의 희석액(DHF)나 린스액 예를 들어 순수등의 세정액을 저장함과 동시에, 세정액 안에 피처리체 예를 들어 반도체웨이퍼(W)(이하 웨이퍼라 한다)을 침적하여 그 표면을 세정하는 처리부 예를 들어 세정조(30)과, 이 세정조(30)과 순수공급원(31)을 접속하기 위해 세정조(30)내에 설치된 세정액공급노즐(32)와 순수공급원(31)과를 접속하는 세정액공급관(33)과, 약액 예를 들어 불화수소산(HF)를 저장하는 약액저장용기(34)와, 주입개폐절환밸브(35)(개폐절환수단)을 매개로 하여 세정액공급관(33)과 약액저장용기(34)와를 접속하는 약액공급관(36)과, 약액공급관(36)에 개설된 약액공급수단으로서의 용적형 펌프의 일예인 왕복구동식 펌프(37)을 구비하고 있다. 또한, 세정액공급관(33)에서 순수공급원(31)의 토출측에는 개폐밸브(31A)가 개설되어 있다.
또, 약액공급관(36)에서의 왕복구동식 펌프(37)의 흡인측 및 토출측에는 각각 역류저지밸브(38a), (38b)가 개설되어 있고, 왕복구동식 펌프(37)의 토출측과 약액저장용기(34)에 순환관로(39)가 접속되고, 이 순환관로(39)에는 펌프토출측으로부터 약액저장용기측을 향해 개폐밸브(40) 및 필터(41)이 개설되어 있다. 이와 같이, 펌프토출측과 약액저장용기측을 순환관로(39)에 접속하고, 이 순환관로(39)에 개폐밸브(40)과 필터(41)을 개설함으로써 약액의 순수로의 주입을 정지하고 있는 대기상태에서, 약액저장용기(34)내에 저장된 약액 예를 들어 HF를 여과(필터링)하면서 순환관로(39)를 거쳐 순환시킬 수 있다. 따라서, 대기중인 약액을 상시 순환함과 동시에 필터링하여 약액주입의 원활화 및 주입량의 정량화를 도모할 수 있다.
또한, 이 경우, 도 3에서 2점쇄선으로 도시하듯이, 필터(41)을 약액공급관(36)에서 펌프(37)의 토출측에 개설하여도 좋다. 이와 같이 구성함으로써 대기중인 약액을 상시 순환함과 동시에 여과하여 약액주입의 원활화 및 주입량의 정량화를 도모할 수 있으며, 게다가 약액의 주입시에 여과하여 약액안에 섞여 들어가는 파티클등을 제거할 수 있다.
또, 약액저장용기(34)의 외측에는 용기(34)내의 약액의 액면을 검출하는 레벨센서(42)가 개설되어 있고, 이 레벨센서(42)에 의해 검출된 신호는 도시하지 않은 제어수단으로 전달되고, 제어수단으로부터의 제어신호에 기초하여 약액공급용 개폐밸브(43)이 개방되고 약액공급원(44)로부터 약액이 용기(34)에 공급되도록 구성되어 있다. 또한, 약액저장용기(34)의 첨부에는 공기배기공이 설치되고 이 공기배기공을 매개로 하여 공기배기부(34a)에 접속되어 있다.
또, 약액공급관(36)에서의 펌프토출측에는 맥동완충수단 예를 들어 댐퍼(80)이 개설되어 있고, 이 댐퍼(80)에 의해 왕복구동식 펌프(37)로부터 단속(斷續)적으로 토출되는 약액의 유량 파형을 연속(連續)적인 파형으로 수정하고, 약액의 순수로의 주입을 원활히 행할 수 있도록 하고 있다.
한편, 상기 왕복구동식 펌프(37)는 도 4에서 도시하듯이, 상기 약액저장용기(34)측에 접속하는 2개의 흡입포트(45a)와, 세정액공급관(33)측에 접속하는 2개의 토출포트(45b)를 각각 연통하는 2개의 통로(45)를 구비하고 있고, 각 통로(45)를 향해 진퇴이동하는 1쌍의 다이어프램(46a), (46b)를 연결로드(47)에 연결함과 동시에, 각 다이어프램(46a), (46b)의 통로(45)와 반대측의 실(48)내에 구동공기를 공급하기 위한 공기공급포트(48a)를 설치한 왕복구동식의 다이어프램 펌프로 구성되어 있다. 또한, 연결로드(47)은 양 실(48)을 연통하는 관통공(48b)내에 ○링(48c)를 매개로 접하여 자유롭게 이동할 수 있도록 설치되어 있다.
이 경우, 각 공기흡인·토출포트(48a)와 공기공급원(49)를 접속하는 공기공급관(50)에는 관로절환수단 예를 들어 4포트 2위치절환밸브(51)(이하 절환밸브)와 공기압조정용의 레귤레이터(52)가 개설되어 있고, 레귤레이터(52)에 의해 소정의 압력으로 조정된 구동공기를 절환밸브(51)의 절환구동에 의해 각 다이어프램(46a), (46b)에 가압하도록 구성되어 있다. 이와 같이 구성함으로써 절환밸브(51)을 절환동작시키면, 각 다이어프램(46a), (46b)에 서로 공기가 가압되기 때문에, 다이어프램(46a), (46b)의 왕복동작에 의해 약액저장용기(34)내의 약액을 계속적이지만 소정량을 세정액공급관(33)안을 흐르는 순수중에 주입할 수 있다. 또한, 이 경우, 절환밸브(51)은 예를 들어 중앙연산처리장치(CPU)(53)에서 미리 설정된 제어신호 예를 들어 토출량선택신호, 토출동작신호 등을 기억한 시퀀서(sequencer)(54)로부터의 신호를 기초로 하여 절환동작할 수 있도록 구성되어 있다. 또, 공기공급관(50)에서의 절환밸브(51)의 유출·유입측에는 각각 파이버(fiber)센서(90)이 개설되어 있고, 이들 파이버센서(90)에 의해 다이어프램 펌프(37)측으로부터 절환밸브(51)로 유입하는 약액의 역류의 유무가 인지되도록 되어 있다. 파이버센서(90)은 그 내부에 약액이 들어가면 그것을 검출한다.
또, 상기 약액공급관(36)에서의 다이어프램 펌프(37)(왕복구동식 펌프)의 흡입포트(45a)측 및 토출포트(45b)측에는 각각 2개의 역류저지밸브(38a), (38a), (38b), (38b)가 개설되어 있고, 다이어프램(37)의 동작시의 약액의 역류를 확실히 저지할 수 있도록 구성되어 있다. 또, 다이어프램(37)의 토출측의 약액공급관(36)에는 압력검출센서(56)이 개설되어 있다. 이 압력검출센서(56)에 의해 검출된 검출신호는 상기 CPU(53)에 전달되고, CPU(53)에 미리 기억된 정보와 비교연산처리되어 상기 시퀀서(54)에 전달되는 한편, 하드정지신호로서 절환밸브(51)의 구동부에 직접 전달되도록 구성되어 있다.
상기와 같이 구성되는 처리장치에 있어서, 개폐밸브(31A)를 개방함과 동시에 주입개폐절환밸브(35)를 조작하여 순수공급원(31)과 세정조(30)과를 연통상태로 함으로써, 순수공급원(31)로부터 세정액공급관(33) 및 세정액공급노즐(32)를 매개로 하여 순수가 세정조(30)내에 저장됨과 동시에, 오버플로하여 세정조(30)내에 수용되는 복수매의 웨이퍼(W)의 세정을 행할 수 있다.
또, 주입개폐절환밸브(35)를 조작하여 순수공급원(31)로부터의 순수를 유통시킨 상태에서 약액공급관(36)을 개방상태로 하고, 이 상태에서 레귤레이터(52)를 작동함과 동시에 절환밸브(51)을 절환조작함으로써, 미리 시뮬레이터에 의해 설정된 소정압력의 구동공기가 다이어프램 펌프(37)의 각 다이어프램(46a), (46b)에 서로 가압하고, 약액저장용기(34)내로부터 약액 예를 들어 불화수소산(HF)의 소정량이 약액공급관(36)을 매개로 하여 세정액공급관(33)내로 흘러, 순수에 의해 희석되고 소정농도의 약액 즉 희석불화수소산(DHF)이 세정조(30)내에 공급된다. 이로써 미리 시뮬레이터에 의해 설정된 소정농도의 DHF가 세정조(30)내에 저장됨과 동시에 오버플로하여 세정조(30)내에 수용된 웨이퍼(W)의 표면에 부착한 파티클이나 산화막등을 제거할 수 있다.
이와 같이 하여 약액처리를 행한 후, 주입개폐절환밸브(35)를 조작하여 재차 순수공급원(31)과 세정조(30)을 연통상태로 하는 한편, 약액공급관(36)과의 연통을 막고, 세정조(30)내에 순수를 공급하고 DHF를 순수로 치환하고, 순수내에 웨이퍼(W)를 침적함과 동시에 순수를 오버플로하여 웨이퍼(W)에 부착한 약액 즉 HF를 제거할 수 있다.
도 5는 본 발명의 처리장치의 제 2 실시예를 도시한 개략단면도이다.
상기 제 1 실시예에서는 왕복구동식 펌프에 복동식 다이어프램 펌프(37)을 이용하고 있으나, 용적형 펌프로서의 왕복구동식 펌프는 반드시 복동식 다이어프램일 필요는 없고, 단동식 다이어프램 펌프를 이용해도 좋다. 즉, 도 5에서 도시하듯이, 상기 약액저장용기(34)측에 접속하는 흡입포트(45a)와 세정액공급관(36)측에 접속하는 토출포트(45b)를 연통하는 통로(45)를 향해 진퇴이동하는 다이어프램(46)을 구비하고, 다이어프램(46)의 통로(45)와 반대측의 실(48)내에 구동공기를 공급하기 위한 공기공급포트(48a)를 설치한 단동식 다이어프램(37A)를 이용해도 좋다. 이 경우, 공기공급관(50)에는 2포트 2위치절환밸브(51A)(관로절환수단)이 개설되어 있다.
또한, 제 2 실시예에 있어서, 그 외의 부분은 상기 제 1 실시예와 동일하기 때문에 동일부분에는 동일한 부호를 붙이고 그 설명은 생략한다.
도 6A 및 도 6B는 본 발명의 처리장치의 제 3 실시예를 도시한 개략단면도 및 그 일부의 확대단면도이다.
제 3 실시예는 왕복구동식 펌프의 구동시의 관성류(慣性流)를 적게 하도록 배려한 경우이다. 즉, 도 6A에서 도시하듯이, 왕복구동식 펌프 예를 들어 다이어프램 펌프(37B)의 흡입포트(45a)를 다이어프램(46)의 대향면에 설치함과 동시에, 이 흡입포트(45a)의 외주측에 도 6B에서 도시하듯이 ○링(37b)를 끼워 부착하여, 공기압에 의해 왕복이동하는 펌프축(shaft)(37a)에 의해 다이어프램(46)이 ○링(37b)에 압축접착함으로써 약액의 토출을 종료함과 동시에 통로(45)를 닫도록 구성하고 있다. 또한 이 경우, 다이어프램 펌프(37B)의 본체측에 부착된 조정가능한 스트로크리미터(stroke limiter)(37c)와 펌프축(37a)에 돌출하여 설치된 스토퍼편(37d)와의 계합에 의해 토출량이 조정할 수 있도록 구성되어 있다.
이와 같이, 흡입포트(45a)부에 설치된 O링(37b)에 직접 다이어프램(46)을 압축접촉하여 통로(45)를 닫음으로써 토출측에 배압을 줄 수 있기 때문에, 관성류현상을 억제할 수 있고, 다이어프램(37B)의 토출정도(精度)를 보다 높게 할 수 있다. 여기서, 관성류현상이란, 펌프의 토출유량을 점점 크게 하면 펌프실로부터 토출된 약액자신의 관성력이 커져, 다이어프램(46)이 정지해도 토출의 약액이 정지하지 않는 현상을 말한다.
또, 상기 설명에서는 단동식 다이어프램 펌프에 대해 설명했으나, 제 1 실시예의 왕복식 다이어프램 펌프에도 도 6A의 구성을 적용할 수 있는 것은 물론이다. 또한, 제 3 실시예에서 그 외의 부분은 상기 제 1 및 제 2 실시예와 동일하므로, 동일부분에는 동일부호를 붙이고 그 설명은 생략한다.
도 7은 본 발명의 처리장치의 제 4 실시예를 도시한 개략단면도이다.
제 4 실시예는 용적형 펌프로서의 왕복구동식 펌프에 전동식벨로즈 펌프(37C)를 이용한 경우이다. 즉, 도 7에서 도시하듯이, 벨로즈(57)의 한쪽 끝에 고정설치된 측벽(58a)에 약액저장용기(34)측의 약액공급관(36)에 접속한 흡입포트(59a)와, 세정액공급관(33)측의 약액공급관(36)에 접속하는 토출포트(59b)를 설치하고, 벨로즈(57)의 다른 한쪽 끝에 고정설치된 가동벽(58b)에 볼나사기구(60)의 가동자(61)에 연결하는 조작부재(62)를 연결하고, 볼나사기구(60)의 모터(63)의 정면역회전구동에 의해 나사축(64)를 회전시키고, 가동자(61) 및 조작부재(62)를 매개로 하여 가동벽(58b)을 이동시켜 소정량의 약액을 순수 안에 주입하도록 하고 있다.
이 경우, 약액공급관(36)에서의 벨로즈 펌프(37C)의 흡입포트(59a)측 및 토출포트(59b)측에는 각각 역류저지밸브(65)가 개설되어 있고, 또, 토출측에서의 약액공급관(36)에는 압력검출센서(56)이 개설되어 있다. 이 압력검출센서(56)에 의해 검출된 검출신호는 상기 CPU(53)에 전달되고, CPU(53)에 미리 기억된 정보과 비교연산처리되어 상기 시퀀서(54)에 전달되고 볼나사기구(60)의 모터(63)에 전달되는 한편, 긴급시에 하드웨어 인터록신호(정지신호)로서 볼나사기구(60)의 모터(63)에 직접 전달되도록 구성되어 있다.
또한, 제 4 실시예에서, 그 외의 부분은 상기 제 1 실시예 내지 제 3 실시예와 동일하기 때문에, 동일부분에는 동일부호를 붙이고 그 설명은 생략한다.
상기와 같이 구성된 제 4 실시예의 처리장치에 의하면, CPU(53)으로부터 미리 설정된 제어신호(토출량선택신호, 토출동작신호)를 받은 시퀀서(54)로부터의 조작신호에 의해 모터(63)이 소정의 회전수로 정면역회전함으로써 벨로즈(57)을 왕복이동시키고, 소정량의 약액을 순수중에 주입할 수 있다. 따라서, 상기 제 1 실시예에서 도시한 다이어프램 펌프에 비해 약액의 1회당 주입량 및 주입시간을 많게 할 수 있다.
도 8은 본 발명의 처리장치의 제 5 실시예를 도시한 개략단면도이다.
상기 제 4 실시예에서는 1개의 벨로즈 펌프(37C)를 이용하여 약액저장용기(34)내의 소정량의 약액을 세정액공급관(33)중을 흐르는 순수중에 주입하도록 되어 있으나, 도 8에서 도시하듯이 복수(도면에서는 2개의 경우를 도시한다)의 벨로즈 펌프(37D), (37E)를 서로 병렬로 연통시켜 설치하도록 해도 좋다. 이 경우, 한쪽의 벨로즈 펌프(37D)의 볼나사기구(60)의 나사축(64)의 나사의 경사에 대해 다른 한쪽의 벨로즈 펌프(37E)의 볼나사기구(60)의 나사축(64)의 나사의 경사를 반대로 함으로써, 각 벨로즈 펌프(37D), (37E)의 구동에 위상차를 가지게 할 수 있다. 즉, 한쪽의 벨로즈 펌프(37D)가 약액의 토출공정 시에 다른 한쪽의 벨로즈 펌프(37E)를 흡입공정으로 할 수 있어 양쪽 벨로즈 펌프(37D), (37E)를 상호 구동시킴으로써 연속된 약액의 주입을 행할 수 있다.
또한, 제 5 실시예에 있어서, 그 외의 부분은 상기 제 1 실시예 내지 제 4 실시예와 동일하기 때문에, 동일부분에는 동일한 부호를 붙이고 그 설명은 생략한다.
도 9는 본 발명의 처리장치의 제 6 실시예를 도시한 개략단면도이다.
제 6 실시예는 약액의 소비량을 삭감함과 동시에 약액의 효과적인 이용을 도모할 수 있도록 한 경우이다. 즉, 상기 세정조(30)을 구성하는 외조(30b)의 바닥부에 설치된 배출구와 세정조(30)내에 설치된 세정액공급노즐(32)(세정액공급부)와를 순환관로(70)로 접속함과 동시에, 이 순환관로(70)에 배출구측으로부터 세정액공급노즐(32)측을 향해 순서대로 제 1 개폐밸브(71), 순환펌프(72), 온도조정기구(73), 필터(74) 및 제 2 개폐밸브(75)를 개설하고, 세정조(30)내에 저장된 약액 예를 들어 DHF등을 순환공급하여 웨이퍼(W)의 표면에 부착하는 금속오염물이나 산화막을 제거하도록 하고 있다.
상기 제 6 실시예에 있어서, 그 외의 부분은 상기 제 1 실시예와 동일하기 때문에, 동일부분에는 동일부호를 붙이고 그 설명은 생략한다.
상기와 같이 구성된 처리장치에서, 세정조(30)내에 저장된 약액 예를 들어 DHF를 오버플로하여 세정조(30)내에 수용된 웨이퍼(W)의 표면에 부착한 금속오염물이나 산화막등을 제거한 후, 개폐밸브(31A)를 닫아 순수의 공급을 정지함과 동시에 주입개폐밸브(35)를 닫고, 순환관로(70)의 제 1 및 제 2의 개폐밸브(71), (75)를 개방함과 동시에 순환펌프(72)를 구동함으로써 세정조(30)내에 저장된 DHF를 온도조정기구(73)에 의해 소정온도로 온도조정함과 동시에 필터(74)에 의해 여과하여 순환공급하고, DHF중에 침적된 웨이퍼(W)표면에 부착한 금속오염물 또는 산화막의 제거를 속행한다.
이와 같이 하여 약액처리를 행한 후, 제 1 및 제 2 개폐밸브(71), (75)를 닫음과 동시에 개폐밸브(31A)를 개방하고 재차 순수공급원(31)과 세정조(30)을 연통상태로 하는 한편, 주입개폐절환밸브(35)를 닫은 채로, 세정조(30)내에 순수를 공급하여 DHF를 순수로 치환하고, 순수내에 웨이퍼(W)를 침적함과 동시에 순수를 오버플로하여 웨이퍼(W)에 부착한 약액 즉 HF를 제거할 수 있다.
상기와 같이, 세정조(30)에서 순수를 오버플로시켜서 웨이퍼(W)를 세정한 후, 세정조(30)에 연속하여 공급되는 순수중에 소정농도로 희석된 약액 예를 들어 DHF를 오버플로시켜 웨이퍼(W)를 세정하고, 그 후 DHF 의 공급을 정지하고 세정조(30)내에 저장된 DHF를 온도조절함과 동시에 필터링하면서 순환공급하여 세정하고, 재차 세정조(30)에서 순수를 오버플로시켜 웨이퍼(W)에 부착한 HF를 세정한다. 이로써, 순수에서 DHF로 치환될 때 웨이퍼(W)의 표면내의 균일성이 저하하나, 재차 DHF에서 순수로 치환함으로써 균일성이 수복되기 때문에, 높은 엣칭균일성을 얻을 수 있고 세정효율의 향상을 도모할 수 있다. 또, 세정조(30)내에 저장된 약액 예를 들어 DHF를 온도조절함과 동시에 필터링하면서 순환공급함으로써, DHF의 소비량을 저감할 수 있음과 동시에 DHF의 효과적인 이용을 도모할 수 있다.
도 10은 본 발명의 처리장치의 제 7 실시예를 도시한 개략단면도이다.
제 7 실시예는 본 발명의 처리장치를 건조처리유니트(21)에 적용한 경우이다.
이 경우, 상기 처리장치는 약액 예를 들어 IPA(이소프로필알코올)등의 유기용제의 증기와 건조가스용 반송가스 예를 드어 N2가스와의 혼합가스로 이루어지는 건조가스를 세정후의 웨이퍼(W)에 접촉하여 건조하는 처리부 예를 들어 건조용기(100)과, 이 건조용기(100)과 건조가스용 운송가스의 공급원 예를 들어 N2가스공급원(101)과, 건조용기(100)과 N2가스공급원(101)을 접속하는 N2가스공급관(102)에 개설된 건조가스생성부(103)과, 약액 예를 들어 IPA를 저장하는 약액저장용기(34)와, 주입개폐절환밸브(35)를 매개로 하여 건조가스생성부(103)과 약액저장용기(34)를 접속하는 약액공급관(36)을 구비하고 있고, 약액공급관(36)에 상기 제 1 실시예와 동일하게 구성된 왕복구동식 펌프(37)을 개설한 구조로 되어 있다. 또한, N2가스공급관(102)에서의 건조가스생성부(103)의 토출측에는 개폐제어밸브(104) 및 필터(105)가 개설되고, 또 N2가스공급관(102)에서의 N2가스공급원(101)의 토출측에는 순서대로 개폐밸브(106) 및 N2가스용히터(107)이 개설되어 있다.
또한 이 경우, 상기 건조가스생성부(103)은 도 11에서 도시하듯이, 증기매체용 기체로서의 N2가스의 공급관(102)에 접속하는 유입구(111)과 유출구(112)를 가지는 예를 들어 스테인레스강제의 파이프상태의 중세(中細)노즐(110)을 구비하고 있다. 이 중세노즐(110)은 내주면에 N2가스 흐름의 방향을 따라 점차 협소해 지는 수렴노즐부(113)과, 이 수렴노즐부(113)의 협소부(스로트(throat)부)(114)로부터 흐름의 방향을 따라 서서히 넓어지는 나팔노즐부(115)로 이루어지고, 스로트부(114)근방의 유출구측(2차측)에 충격파형성부(116)이 형성되어 있다.
또, 중세노즐(110)의 스로트부(114)근방의 나팔노즐부(115)에는 피증발액으로서의 IPA의 공급구(117)이 개방설치되어 있고, 이 공급구(117)에 약액공급관(36)을 매개로 하여 약액저장용기(34)가 접속되어 있다. 또, 나팔노즐부(115)의 유출구(112)측의 중세노즐(110)내에 제 1 가열체인 내통히터(118)이 삽입되고, 그 외측에는 제 2 가열체인 외통히터(119)가 설치되어, 흐름방향으로 2단계이상의 가열능력을 발휘할 수 있도록 구성되어 있다. 즉, 가열능력이 N2가스의 흐름을 따라 대 가열량에서 소 가열량으로 추이하도록 구성되어 있다. 또한 이 경우, 충격파형성부(116) 및 IPA공급구(117)부근에 히터를 설치해도 좋다.
또, 중세노즐(110)의 유입구(111)측과 유출구(112)측에는 분기로(120)이 접속되고 이 분기로(120)에 압력조정밸브(121)이 개설되어 있어, 이 압력조정밸브(121)의 조절에 의해 중세노즐(110)에 공급되는 N2가스의 공급압력의 변동에 대응할 수 있도록 구성되어 있다. 즉, 중세노즐(110)의 오리피스의 지름은 가변하는 것이 아니라 고정되어 있기 때문에, 중세노즐 1차측(유입구측)압력에 상한치를 설치한 경우, 중세노즐(110)을 통과하는 N2가스의 유량에도 자연히 상한치가 설정되게 된다. 그러나, 공정조건보다 더 큰 N2가스유량이 요구된 경우, 이와 같은 분기로(120)을 설치하여 중세노즐(110) 하류측(유출구측)에 N2가스를 도입함으로써 광범위한 유량을 공급할 수 있다. 이 경우, 분기로(120)중에 개설된 압력조정밸브(121)에 의해 N2가스의 보충유량을 조정할 수 있다. 또, 압력조정밸브(121)의 조절에 의해 충격파의 발생조건을 적당히 설정할 수 있다.
또, 상기 IPA의 공급구(117)에 접속하는 약액공급관(36)에는 냉각수단(122)가 설치되어 있다. 이 냉각수단(122)는 예를 들어 약액공급관(36)을 포위하는 재킷에 냉매를 순환공급하는 등 하여 약액공급관(36)내를 흐르는 IPA를 비등점이하로 냉각할 수 있도록 구성되어 있다. 이와 같이, 냉각수단(122)에 의해 IPA의 온도를 비등점온도이하로 냉각함으로써, 예를 들어 미소량의 IPA를 공급하는 경우에 상기 가열수단 즉 내통히터(118) 및 외통히터(119)로부터의 열영향에 의해 IPA가 증발하는 것을 방지할 수 있고, IPA를 액체상태인 채로 확실히 중세노즐(110)의 공급구(117)로부터 공급할 수 있다.
상기와 같이 구성함으로써, 증기매체용 기체인 N2가스가 중세노즐(110)의 유입구로부터 유출구를 향해 흐르면, N2가스는 수렴노즐부(113)에 의해 가속되어 스로트부(114)에 음속으로 도달한 후, 나팔노즐부(115)에 들어가고 나서도 큰 압력차에 의해 더욱 팽창증속되어 초음속의 흐름이 되고, 음속이상의 유속으로 분출하고 충격파가 발생한다. 이와 같은 상태하에서 공급구(117)로부터 IPA를 공급하면, 돌발적인 충격파가 발생하고, 이 충격파의 에너지를 이용하여 IPA가스가 안개화된다. 이 안개상태로 된 IPA를 내통히터(118)과 외통히터(119)에 의해 가열함으로써 IPA가스(증기)가 생성된다. 이 때, 내통히터(118)과 외통히터(119)의 가열능력이 N2가스의 흐름방향에 적어도 2단계이상을 가지고, 또한 가열능력을 N2가스의 흐름방향을 따라 밀(가열량 대)로부터 조(가열량 소)로 추이시킴으로써, 내통히터(118) 및 외통히터(119)의 온도밸런스를 시정할 수 있어 히터(55), (56)의 수명증대를 도모할 수 있다.
상기와 같이 구성된 처리장치에 의하면, 개폐밸브(106)을 개방함과 동시에 주입개폐절환밸브(35)를 개방한 상태에서, 상술한 바와 같이 왕복구동식 펌프(37)을 구동하여 소정량의 약액 예를 들어 IPA를 건조가스생성부(103)내에 주입하고 N2가스와 IPA를 혼합함과 동시에 가열하여 소정농도의 건조가스를 생성할 수 있다. 그리고, 생성된 건조가스를 건조용기(100)내에 수용된 웨이퍼(W)에 대해 공급하여 웨이퍼(W)에 접촉함으로써, 건조가스의 증기가 응측 또는 흡착되어 웨이퍼(W)의 수분제거 및 건조를 행한다.
또한, 제 7 실시예에 있어서, 왕복구동식 펌프(37)로서 제 1 실시예 내지 제 5 실시예 중의 어느 한 펌프를 이용할 수 있다. 또, 제 7 실시예에 있어서, 그 외의 부분은 상기 제 1 실시예와 동일하기 때문에 동일부분에는 동일부호를 붙이고 그 설명은 생략한다.
상기 제 1 실시예 내지 제 6 실시예에서는 본 발명의 처리장치가 제 3 처리유니트(17)에 적용된 경우에 대해 설명하였으나, 제 1 또는 제 2 처리유니트(19), (18)에도 적용할 수 있는 것은 물론이다.
또, 본 발명의 처리장치 및 세정처리방법을 반도체웨이퍼의 세정처리시스템에 적용한 경우에 대해 이상에서 설명하였으나, 본 발명은 반도체웨이퍼 이외의 LCD용유리기판 등에도 적용할 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에서는 약액공급수단으로서 왕복구동식 펌프를 이용함으로써 공급관중을 흐르는 순수나 건조가스용 반송가스의 유량 또는 압력의 변동에 영향받는 일 없이 소정량의 약액을 순수중 또는 건조가스생성부에 주입하여 소정농도의 약액을 얻고, 이것을 세정 또는 건조에 제공할 수 있는 효과가 있다. 따라서, 세정 또는 건조효율의 향상을 도모할 수 있음과 동시에 수율의 향상을 도모할 수 있다.
도 1은 본 발명의 처리장치를 이용한 세정처리시스템의 개략평면도이다.
도 2는 상기 세정처리시스템의 일부의 개략측면도이다.
도 3은 본 발명의 처리장치의 제 1 실시예를 도시한 개략단면도이다.
도 4는 제 1 실시예의 일부를 도시한 개략단면도이다.
도 5는 본 발명의 처리장치의 제 2 실시예의 주요부를 도시한 개략단면도이다.
도 6A 및 도 6B는 본 발명의 처리장치의 제 3 실시예의 개략단면도 및 주요부확대단면도이다.
도 7은 본 발명의 처리장치의 제 4 실시예의 주요부를 도시한 개략단면도이다.
도 8은 본 발명의 처리장치의 제 5 실시예의 주요부를 도시한 개략단면도이다.
도 9는 본 발명의 처리장치의 제 6 실시예를 도시한 개략단면도이다.
도 10은 본 발명의 처리장치의 제 7 실시예를 도시한 개략단면도이다.
도 11은 제 7 실시예에서의 건조가스생성부를 도시한 단면도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
1 : 캐리어 2 : 반송부
3 : 세정·건조처리부 4 : 인터페이스부
4a : 제 1 실 4b : 제 2 실
4c : 구획벽 5 : 반입부
5a : 인수부 5b : 인도부
6 : 반출부 7 : 상부 반송기구
8 : 케리어리프터 9 : 캐리어대기부
10 : 웨이퍼취출아암 11 : 노치정렬기
12 : 제 1 자세변환장치 13 : 제 2 자세변환장치
14 : 웨이퍼수취부 15 : 웨이퍼수납아암
16 : 캐리어반송로봇트
17, 21 : 제 3 처리유니트 (건조처리유니트)
18 : 제 2 처리유니트 19 : 제 1 처리유니트
20 : 척세정유니트 22 : 반송로
30 : 세정조 30a : 내조(內槽)
30b : 외조(外槽) 31 : 순수공급원
31A : 개폐밸브 32 : 세정액공급노즐
33 : 세정액공급관 34 : 약액저장용기
34a : 공기배기부 35 : 주입개폐 절환밸브
36 : 약액공급관 37 : 왕복구동식펌프
37A : 단동식 다이어프램 37B : 다이어프램펌프
37C : 전동식 벨로즈펌프 37D, 37E : 벨로즈펌프
37a : 펌프축 37b : ○링
37c : 스트로크(stroke) 리미터 38a, 38b : 역류저지밸브
39 : 순환관로 40 : 개폐밸브
41 : 필터 42 : 레벨센서
43 : 약액공급용 개폐밸브 44 : 약액공급원
45 : 통로 45a, 59a : 흡입포트
45b, 59b : 토출포트 46, 46a, 46b : 다이어프램
47 : 연결로드 48 : 실(室)
48a : 공기공급포트 48b : 관통공
48c : ○링 49 : 공기공급원
50 : 공기공급관 51 : 절환밸브
51A : 관로절환수단 52 : 공기압조정용 레귤레이터
53 : CPU(중앙연산장치) 54 : 시퀀서(sequencer)
56 : 압력검출센서 57 : 벨로즈
58a : 측벽 58b : 가동벽
60 : 볼나사기구 61 : 가동자
62 : 조작부재 63 : 모터
64 : 나사축 65 : 역류저지밸브
70 : 순환관로 71 : 제 1 개폐밸브
72 : 순환펌프 73 : 온도조정기구
74 : 필터 75 : 제 2 개폐밸브
80 : 댐퍼 90 : 파이버(fiber)센서
100 : 건조용기 101 : N2가스공급원
102 : N2가스공급관 103 : 건조가스생성부
104 : 개폐제어밸브 105 : 필터
106 : 개폐밸브 107 : N2가스용히터
110 : 중세(中細) 111 : 유입구
112 : 유출구 113 : 수렴노즐부
114 : 스로트(throat)부 115 : 나팔노즐
116 : 충격파형성부 117 : IPA공급구
118 : 내통히터 119 : 외통히터
120 : 분기로 121 : 압력조정밸브
122 : 냉각수단 W : 웨이퍼

Claims (14)

  1. 피처리체의 표면을 세정하기 위한 세정액을 저장하는 처리부와,
    순수공급원과,
    상기 순수공급원과 처리부를 접속하는 순수공급관과,
    약액을 저장하는 약액저장용기와,
    상기 약액저장용기와 순수공급관을 접속하는 약액공급관과,
    상기 약액공급관에 설치된 개폐절환수단과,
    상기 약액공급관에 설치되고, 내부에 왕복동식의 다이어프램을 갖는 공기압식 왕복구동펌프와,
    구동공기를 공급하기 위한 구동공기원과,
    상기 구동공기원을 공기압식 왕복구동펌프에 접속하고, 해당 펌프에 구동공기를 공급함으로써 상기 다이어프램을 동작시키기 위한 구동공기 공급관과,
    상기 구동공기 공급관에 설치된 공기압 레귤레이터와,
    상기 구동공기 공급관에 설치되고, 상기 구동공기가 펌프에 공급되는 위치와, 상기 펌프내의 구동공기의 배출을 허용하는 위치와의 사이에서 절환 가능하게 된 관로절환밸브와,
    제어유니트를 구비한 처리장치에 있어서,
    상기 제어유니트가,
    연산처리장치와,
    상기 연산처리장치에서 약액토출량 선택신호 및 약액토출 동작신호를 받는 것과 동시에, 상기 관로절환밸브에 지령신호를 보내고, 상기 펌프에 소정압력의 구동공기가 공급되도록 관로절환밸브의 절환속도를 제어하고, 이것에 의해 소정량의 약액이 상기 펌프에 의해 공급되도록 하는 시퀀스를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 처리장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 펌프의 토출측과 상기 약액저장용기를 접속하는 순환로가 설치되고, 이 순환로에 개폐밸브 및 필터가 설치되고 있는 것을 특징으로 하는 처리장치.
  3. 피처리체의 표면을 세정하기 위한 세정액을 저장하는 처리부와,
    순수공급원과,
    상기 순수공급원과 처리부를 접속하는 순수공급관과,
    약액을 저장하는 약액저장용기와,
    상기 약액저장용기와 순수공급관을 접속하는 약액공급관과,
    상기 약액공급관에 설치된 개폐절환수단과,
    상기 약액공급관에 설치된 공기압식 왕복구동펌프와,
    상기 펌프의 토출측에 있어서의 약액공급관에 설치되고, 약액압력신호를 송출하는 압력검출센서와,
    구동공기를 공급하기 위한 구동공기원과,
    상기 구동공기원을 공기압식 왕복구동펌프에 접속하고, 해당 펌프에 구동공기를 공급하는 구동공기 공급관과,
    상기 구동공기 공급관에 설치된 공기압 레귤레이터와,
    상기 구동공기 공급관에 설치되고, 상기 구동공기가 펌프에 공급되는 위치와, 상기 펌프내의 구동공기의 배출을 허용하는 위치와의 사이에서 절환 가능하게된 관로절환밸브와,
    약액토출량 선택신호 및 약액토출 동작신호를 출력하기 위해, 상기 압력검출센서로부터의 약액압력신호를 받고, 이 약액압력신호를 내부에 기억된 소정의 제어 정보와 비교하는 제어유니트를 구비한 처리장치에 있어서,
    상기 제어유니트가 상기 관로절환밸브의 전환동작을 제어하기 위해, 약액토출량 선택신호 및 약액토출 동작신호를 받는 시퀀스를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 처리장치.
  4. 피처리체에 건조가스를 접촉시켜서 건조하는 처리부와,
    건조가스용 반송가스의 공급원과,
    상기 처리부와 상기 건조가스용 반송가스의 공급원을 접속하는 공급관과,
    약액을 저장하는 약액저장용기와,
    상기 공급관에 설치된 건조가스 생성부와,
    건조가스 생성부와 약액저장부를 접속하는 약액공급관과,
    상기 약액공급관에 설치된 약액공급펌프를 구비한 것을 특징으로 하는 처리장치.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 펌프가 왕복구동식펌프인 것을 특징으로 하는 처리장치.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 왕복구동식펌프가 다이어프램펌프인 것을 특징으로 하는 처리장치.
  7. 청구항 5에 있어서,
    상기 왕복구동식펌프가 벨로스펌프인 것을 특징으로 하는 처리장치.
  8. 청구항 4에 있어서,
    상기 펌프가 서로 연통하는 복수의 왕복구동식펌프에서 이루고, 이들의 펌프를 위상차를 갖고 구동하는 장치를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 처리장치.
  9. 청구항 4에 있어서,
    상기 펌프가 공기압식 왕복구동펌프이고, 이 펌프가 공기압 조정수단과 관로개폐전환수단을 통해 구동공기공급원에 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 처리장치.
  10. 청구항 9에 있어서,
    상기 관로개폐절환수단이 절환속도 제어수단을 갖고 있는 것을 특징으로 하는 처리장치.
  11. 청구항 4에 있어서,
    상기 약액공급관은 상기 펌프의 토출측에 필터를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 처리장치.
  12. 청구항 4에 있어서,
    상기 펌프의 토출측과 상기 약액저장용기를 접속하는 순환로가 설치되고, 이 순환로에 개폐밸브 및 필터가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 처리장치.
  13. 청구항 4에 있어서,
    상기 펌프의 토출측에 압력검출수단이 설치되고, 이 압력검출수단의 검출신호에 따라 상기 펌프의 토출량을 제어하는 제어수단이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 처리장치.
  14. 청구항 4에 있어서,
    상기 펌프의 토출측에 맥동 완충 수단을 갖는 것을 특징으로 하는 처리장치.
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