KR100463305B1 - 센서가 구비된 액체 화학 물질 분배 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 고순도 액체를 취급하는 장치(10) 및 방법에 관한 것이다. 본 장치에는 마우스(34)가 있는 용기(12)가 포함된다. 제1 키이 요소(40)를 포함하는 캡(30)이 상기 마우스(34)에 연결되어 있다. 커넥터(14)가 상기 캡(30)에 연결되어 있다. 상기 커넥터(14)에는 커넥터 헤드(54), 프로브(46) 및 제2 키이 요소(52)가 포함되어 있다. 상기 프로브(46)는 상기 커넥터 헤드(54)로부터 연장되고, 캡(30)의 중심을 통해 상기 용기(12)의 마우스(34) 속으로 삽입될 수 있다. 상기 프로브(46)에는 유로가 있다. 상기 제2 키이 요소(52)는 상기 제1 키이 요소(40)와 맞물리게 구성되어 있다. 상기 장치(10)에는 상기 프로브(46) 및 유로와 연결된 펌프(18)도 포함되어 있다. 상기 장치(10)에는 상기 제1 키이 요소(40) 및 제2 키이 요소(52)가 맞물려 있는지 여부를 감지하는 센서(20)도 포함되어 있다.

Description

센서가 구비된 액체 화학 물질 분배 장치{LIQUID CHEMICAL DISPENSING SYSTEM WITH SENSOR}
어떤 제조 공정에서는 산, 용매, 염기 및 포토레지스트와 같은 액체 화학 물질의 사용을 필요로 한다. 종종, 이들 공정에서는 각 특별한 공정에 대하여 특정의 액체 화학 물질을 필요로 한다. 또한, 각 공정에서는 그 공정의 여러 단계에서 어떤 특정의 액체 화학 물질을 필요로 할 수 있다. 저장 및 분배 장치들은 특정 시간에 액체 화학 물질들을 제조 공정으로 급송하는 데 다른 용기들을 사용할 수 있도록 해준다. 그 결과, 제조업자는, 상기 장치가 정확한 액체 화학 물질을 제조 공정에 급송하도록, 특정 시간에 특정 공정에 사용되는 액체 화학 물질을 바꿀 필요가 있다. 특정 공정에 대하여 적절한 화학 물질을 상기 장치에 비치하는 것이 중요하다. 만약, 특정 공정에 대하여 부정확한 액체 화학 물질이 비치되면, 사람들은 위험에 처할 수 있다. 더욱이, 장치 및 제조 중의 제품들은 심하게 손상될 수 있다.
종래의 장치들은 단지 정확한 용기에만 끼워맞추어지는 독특한 펌프 커넥터를 사용하는 것을 시도하여 왔다. 각 용기는 그 안에 함유된 액체 화학 물질에 기초하는 독특한 구조로 되어 있다. 이는, 어떤 특별한 제조 공정에서 정확한 화학 물질만이 사용될 수 있도록 한 것인데, 왜냐하면 상기 공정에서는 독특한 펌프 연결 및 정확한 액체 화학 물질이 내장된 대응 용기를 이용하도록 하기 때문이다. 그러나, 종래의 장치에서는 펌프 커넥터가 부정확한 화학 물질에 부분적으로 연결될 수 있으므로, 이러한 연결이 적절하지 않을 때에도 펌핑이 일어날 수 있다. 또한, 사람들은 잘못된 화학 물질을 잘못된 공정 또는 잘못된 시간에 배당하는 경향이 있다. 이러한 부정확한 연결은 사람들에게 위험할 수 있고, 제조 장치 및 제조물에 수백만 달러의 손실을 야기할 수 있다. 본 발명은 종래의 장치와 관련된 이러한 문제 및 그 밖의 문제를 해결하고자 하는 것이다.
본 발명은 산, 용매, 염기, 포토레지스트(photoresist), 도펀트(dopant), 비유기물, 유기물, 생물학적 용액(biological solution), 약화학 물질(pharmaceuticals) 및 방사성 화학 물질(radioactive chemicals)을 비롯한 액체 화학 물질을 저장하고 분배하는 분배 장치에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 액체 화학 물질을 용기로부터 적절하고 안전하게 추출할 수 있도록 커넥터 부재를 상기 용기에 적절히 연결시키기 위하여 키이 요소들 및 센서를 사용하는 것에 관한 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 액체 화학 물질 분배 장치를 보여주는 도면.
도 2는 외측 용기 및 캡의 사시도.
도 3과 도 4는 외측 용기, 캡 및 커넥터의 사시도.
도 5는 커넥터의 저면도.
도 6은 커넥터 및 캡의 분해도.
도 7과 도 8은 외측 용기, 캡 및 커넥터의 단면도.
본 발명은 고순도 액체의 취급 장치 및 취급 방법에 관한 것이다. 본 장치에는 마우스(mouth)가 마련된 용기가 포함된다. 제1 키이 요소를 포함하는 캡(cap)이 상기 마우스에 접속된다. 커넥터가 상기 캡에 접속된다. 커넥터에는 커넥터 헤드, 프로브(probe) 및 제2 키이 요소가 포함된다. 상기 프로브는 상기커넥터 헤드로부터 연장되어, 캡의 중심을 통해서 상기 용기의 마우스 속으로 삽입될 수 있다. 상기 프로브에는 유로(流路, flow passage)가 마련된다. 상기 제2 키이 요소는 상기 제1 키이 요소와 맞물되도록 구성된다.
상기 장치에는 상기 프로브 및 유로와 접속된 펌프가 포함된다. 이 펌프는 상기 프로브 및 유로를 통해 유체를 펌핑한다. 다음에, 센서가 상기 제1 키이 요소 및 제2 키이 요소가 맞물려 있는지 여부를 감지한다.
마지막으로, 상기 장치에는 상기 센서 및 펌프와 접속된 컨트롤러가 포함된다. 이 컨트롤러는 상기 센서가 제1 키이 요소 및 제2 키이 요소가 맞물려 있음을 감지하면 펌프를 작동시키고, 센서가 제1 키이 요소 및 제2 키이 요소가 맞물려 있지 않음을 감지하면 펌프의 작동을 해제한다.
양호한 일실시예에 있어서, 상기 센서에는 홀 효과(Hall effect) 센서 및 자석이 포함된다. 상기 홀 효과 센서는 상기 커넥터에 장착되며, 두 가지의 상태, 즉 홀 효과 센서와 자석이 서로 바로 인접하여 형성되는 한 상태와, 홀 효과 센서와 자석이 서로 간격을 두고 떨어져 형성되는 다른 상태가 있다.
양호한 일실시예에 있어서, 상기 제1 키이 요소는 상기 캡에 있는 노치이고, 상기 제2 키이 요소는 상기 커넥터에 수반되는 돌출부이다. 이 돌출부는, 노치와 돌출부가 맞물리는 경우에 상기 캡과 커넥터가 단일의 미리 정해진 방향으로만 연결될 수 있도록, 상기 캡의 노치와 맞물리게 구성된다.
도 1에는 본 발명에 따른 액체 화학 물질 분배 장치(10)의 양호한 일실시예가 도시되어 있다. 분배 장치(10)에는 내측 용기(11), 외측 용기(12), 커넥터(14), 제어 유닛(16) 및 펌프(18)가 포함되어 있다. 커넥터(14)에는 센서(20) 및 포트 어댑터(port adaptor)(22)가 포함되어 있다. 센서 라인(24)에 의해 센서(20)와 제어 유닛(16)이 연결되어 있다. 어댑터 튜브(26)에 의해 포트 어댑터(22)와 펌프(18)가 연결되어 있다.
분배 장치(10)의 작동시, 내측 용기(11)는 외측 용기(12)에 내장되어 있다. 내측 용기(11)는 가요성 재료로 제작되고, 외측 용기(12)는 경질의 재료로 제작된다. 내측 용기(11)의 내부에는 액체 화학 물질이 수용되어 있다. 예컨대, 내측 용기(11)에는 집적 회로를 제작하는 데 사용되는 포토레지스트와 같은 액체 화학 물질이 포함될 수 있다.
커넥터(14)는 외측 용기(12)에 장착되어 있다. 클립(28)은 커넥터(14)가 외측 용기(12)에 고정되게 해준다. 커넥터(14)를 외측 용기(12)에 더욱 고정하기 위하여 추가 클립을 사용할 수 있다. 어댑터 튜브(26)와 포트 어댑터(22)는 내측 용기(11)의 내부로부터 펌프(18)까지의 유로를 제공한다. 분배 장치(10)가 적절히 조립되면, 펌프(18)는 내측 용기(11) 내의 액체 화학 물질을 포트 어댑터(22) 및 어댑터 튜브(26)를 통해 집적 회로의 제조 공정과 같은 제조 공정으로 펌핑할 수 있다.
펌프(18)의 작동은 제어 유닛(16)에 의해 제어된다. 제어 유닛(16)은 펌프(18)의 시동 및 정지와 관련한 입력 신호를 조작자로부터 수신할 수 있다. 예컨대, 내측 용기(11)의 액체 화학 물질을 제조 공정으로 펌핑하기 시작하고자 하는 조작자는 이러한 정보를 제어 유닛(16)에 입력할 수 있다.
그러나, 제어 유닛(16)은 센서 라인(24)을 통해 센서(20)로부터의 신호들을 수신하도록 구성되어 있기도 하다. 센서(20)는 커넥터(14)가 외측 용기(12)와 적절히 연결되어 있는지를 감지한다. 적절하게 연결된 것으로 감지되면, 센서(20)는 적절한 연결이 이루어졌음을 나타내는 제1 신호를 신호 라인(24) 상의 제어 유닛(16)으로 송신한다. 연결이 적절히 이루어지지 않았음을 감지하면, 센서(20)는 부적절한 연결을 나타내는 제2 신호를 신호 라인(24) 상의 제어 유닛(16)으로 송신한다. 제어 유닛(16)은 센서(20)가 적절한 연결을 나타내는 제1 신호를 송신할 때에만 펌프(18)를 작동시킨다. 제어 유닛(16)이 센서(20)로부터 부적절한 연결을 나타내는 제2 신호를 수신하면, 제어 유닛(16)은 펌프(18)를 작동시키지 않는다.
그 결과, 분배 장치(10)가 적절히 조립되어 있지 않은데, 분배 장치(10)가 적절히 조립되어 있다고 믿고 있는 조작자가 펌프(18)를 시동하는 정보를 입력하는 경우에, 펌프(18)는 작동되지 않을 것이다. 이런 식으로, 분배 장치(10)는 적절하게 조립되지 않은 장치가 우발적으로 작동되는 것을 방지한다.
도 2 내지 도 4는 분배 장치(10)의 구성품들을 조립하는 연속 과정을 보여주고 있다. 도 2에는 외측 용기(12)와 캡(30)이 도시되어 있다. 외측 용기(12)에는 용기 운반 핸들(32)과 용기 마우스(34)가 포함되어 있다. 캡(30)에는 제거 가능한 캡 핸들(36)과 자석(38) 및 캡 키이(40)가 포함되어 있다. 용기 마우스(34)는 수나사형으로 나사 가공되어 있다. 캡(30)은 마우스(34)와 상호 연결되도록 암나사형으로 나사 가공되어 있다. 용기 운반 핸들(32)은 외측 용기(12)의 운반 및 취급을 용이하게 해준다.
캡(30)은 내측 용기(11)에 수용되어 있는 액체 화학 물질이 빠져나갈 수 없게 내측 용기(11)와 그 내부를 효과적으로 밀봉하도록 외측 용기(12)와 나사식으로 연결되어 있다. 캡(30)을 외측 용기(12)와 연결하면 고순도의 유체를 쏟거나 오염시킬 위험 없이 그 유체를 운반하는 이상적인 구조가 제공된다. 제거가능한 캡 핸들(36)이 캡(30)에 형성되어 있고, 이 핸들은 제거될 수 있어서, 캡(30)을 분리하지 않고도 내측 용기(11)로 접근할 수 있다. 캡 키이(40)는 캡(30) 속으로 형성된 홈(groove)이다. 자석(38)과 캡 키이(40)는, 이하에서 상세히 설명하는 것처럼, 커넥터(14)를 외측 용기(12)에 적절히 연결하는 데 중요하다.
도 3은 분배 장치(10)의 구성품들을 조립하는 다른 연속 과정을 보여주고 있다. 도 3에는 외측 용기(12)와 캡(30) 및 커넥터(14)가 도시되어 있다. 외측 용기(12)에는 용기 운반 핸들(32) 및 용기 마우스(34)가 포함되어 있다. 캡(30)에는 [핸들 바아(37)가 구비된] 제거 가능한 캡 핸들(36)과 자석(38)과 캡 키이(40)와 파열가능한 막(42) 및 막 새김선(membrane score)(44)이 포함되어 있다. 커넥터(14)에는 센서(20)와 포트 어댑터(22)와 센서 라인(24)과 어댑터 튜브(26)와 클립(28) 및 프로브(46)가 포함되어 있다. 프로브(46)에는 프로브 팁(50) 부근에 위치된 하측 프로브 포트(48)가 포함되어 있다.
캡(30)은 외측 용기(12)의 마우스(34)에 나사식으로 연결되어 있다. 캡(30)이 마련된 외측 용기(12)를 원하는 위치로 운반한 후에, 핸들 바아(37)를 들어올리면 제거 가능한 캡 핸들(36)이 캡(30)으로부터 분리된다. 캡(30)은 핸들(36)을 캡(30)으로부터 분리하면 프로브 구멍(probe hole)(41)과 배출구(vent hole)(43)가 개방되도록 미리 새김선이 그어져 있다. 파열가능한 막(42)은 프로브 구멍(41)을 통해 노출되어 있다. 파열가능한 막(42)의 표면에는 막 새김선(44)이 마련되어 있다.
커넥터(14)는 캡(30)과 상호 연결되도록 구성되어 있다. 도 3 및 도 4는 분배 장치(10)의 구성품들을 조립하는 다른 연속 과정을 보여주고 있다. 보다 상세히 말하자면, 커넥터(14)가 캡(30) 및 외측 용기(12)와 상호 연결된 상태가 도시되어 있다. 프로브 팁(50)은 프로브 구멍(41)을 통해 삽입되어 막 새김선(44) 부근의 파열가능한 막(42)에 대해 압박된다. 파열가능한 막(42)을 향해 충분한 압력이 커넥터(14)에 가해지면, 프로브 팁(50)은 막 새김선(44)을 따라 파열가능한 막(42)을 파열시켜 프로브(46)가 막(42)을 통해 삽입될 수 있도록 해준다. 다음에, 계속해서 커넥터(14)에 압력을 가하면 커넥터(14)가 캡(30) 바로 부근으로 이동될 수 있도록 해준다. 이어서, 프로브(46)는 내측 용기(11)의 내부와 연통 상태에 있게 된다.
도 1은 캡(30) 및 외측 용기(12)와 완전히 연결되어 있는 커넥터(14)를 보여주고 있다. 프로브(46)와 포트 어댑터(22) 및 어댑터 튜브(26)는 유체가 내측 용기(11)의 내부로부터 하측의 프로브 포트(48)와 프로브(46)와 포트 어댑터(22) 및 어댑터 튜브(26)를 통해 펌프(18)로 펌핑될 수 있도록 해주는 유로를 형성한다.
도 5는 커넥터(14)의 저면도이다. 커넥터(14)에는 센서(20)와 클립(28, 29)과 하측의 프로브 포트(48)와 프로브 팁(50) 및 커넥터 키이(52)가 포함되어 있다. 커넥터 키이(52)는 커넥터(14)에 수반되는 돌출부이다. 커넥터 키이(52)와 캡 키이(40)는 커넥터(14)가 캡(30)과 적절히 연결되기 위해 적절히 정렬되도록 서로 맞물리게 구성되어 있다. 도 4에 도시한 바와 같이, 커넥터 키이(52)와 캡 키이(40)가 상호 연결되도록 적절히 정렬되면, 센서(20)는 자석(38)과 정렬된다. 더욱이, 커넥터(14)가 캡(30)에 적절히 연결되면, 센서(20)도 자석(38) 바로 부근에 있게 된다.
센서(20)는, 센서(20)가 자석(38)에 바로 인접하여 자석과 정렬되면 센서 라인(24) 상의 제어 유닛(16)에 제1 신호를 송신하도록 구성되어 있다. 제1 신호는 커넥터(14)가 캡(30)에 적절히 연결되었음을 나타낸다. 센서(20)는 센서(20)가 자석(38) 부근에 있지 않으면 센서 라인(24) 상의 제어 유닛(16)에 제2 신호를 송신한다. 이 제2 신호는 커넥터(14)가 캡(30)에 적절히 연결되어 있지 않음을 나타낸다.
제어 유닛(16)은 센서 라인(24)을 모니터하여 커넥터(14)가 캡(30)에 적절히 연결되어 있는지 여부를 판정한다. 다음에, 제어 유닛(16)은 펌프(18)의 작동을 제어한다. 제어 유닛(16)은 조작자로부터 펌프(18)의 작동과 관련한 입력 신호를 수신한다. 그러나, 제어 유닛(16)은 커넥터(14)와 캡(30)이 적절히 연결되었음을 나타내는 제1 신호가 센서(20)로부터 수신되지 않으면, 펌프(18)를 작동시키지 않는다. 그 결과, 조작자가 펌프(18)의 작동을 개시하기 위하여 정보를 제어 유닛(16)에 입력하여도, 제어 유닛(16)은 센서(20)로부터 제1 신호가 수신될 때까지 펌프(18)를 작동시키지 않는다. 따라서, 분배 장치(10)는 적절한 연결이 이루어진 경우에만 펌프(18)가 작동될 수 있도록 해준다.
캡(30)은 내측 용기(11)가 처음에 액체 화학 물질로 충전되어 있을 때 외측 용기(12)에 설치된다. 캡(30)에는 내측 용기(11) 내의 특별한 액체 화학 물질과 상응하는 독특한 구조의 캡 키이(40)의 독특한 구조가 마련되어 있다. 따라서, 각 액체 화학 물질은 그 독특한 캡(30)을 가지고, 캡에는 이에 대응하여 독특한 구조의 캡 키이(40)가 마련된다. 예컨대, 액체 포토레지스트가 충전되어 있는 내측 용기(11)에는 3개의 캡 키이(40)가 마련된 캡(30)이 구비될 수 있는데, (도 2에 개략적으로 도시한 바와 같이) 2개의 캡 키이는 서로 180°로 떨어져 있고 그 사이의 대략 중간에 제3의 캡 키이가 위치하고 있다.
다른 종류의 액체 화학 물질이 충전되어 있는 내측 용기(11)에는 다른 독특한 구조의 캡 키이(40)가 마련된다. 예컨대, 액체 염기에는 30°떨어져 위치하는 2개의 캡 키이(40)(도시 생략)가 구비된 캡(30)이 마련될 수 있다. 각각이 특정의 액체 화학 물질에 대응하는 수백개의 조합을 만들어 내는 데 단일 또는 복수 개의 캡 키이(40)가 사용될 수 있음을 알 수 있다. 독특한 조합을 더 만들어 내는 데 다른 형태 및 폭의 캡 키이(40)가 사용될 수도 있다.
분배 장치(10)는 화학 물질을 필요로 하는 각 제조 공정에 대하여 하나의 특별한 액체 화학 물질을 사용한다. 따라서, 각 공정 단계는 독특한 구조의 커넥터 키이(52)가 마련된 커넥터(14)와 관련되어 있다. 각 독특한 구조의 커넥터 키이(52)는 독특한 구조의 캡 키이(40)와 상응하고, 따라서 각 커넥터(14)는 상기 공정의 단계에서 사용되는 특별한 액체 화학 물질과 상응한다. 이런 식으로, 오직 하나의 독특한 캡(30)과 오직 하나의 독특한 구조의 캡 키이(40)만이 하나의 독특한 커넥터(14) 및 하나의 독특한 구조의 커넥터 키이(52)와 적절히 상호 연결된다. 따라서, 하나의 액체 화학 물질만이 제조 공정의 한 단계에서 사용될 수 있다.
예컨대, 집적 회로 제조시 액체 포토레지스트를 사용할 필요가 있는 공정 단계에서는 커넥턱(14)에 3개의 커넥터 키이(52)가 마련되어 있는데, (도 5에 개략적으로 도시한 바와 같이) 2개의 커넥터 키이는 180°간격을 두고 분리되어 있고 그 사이의 거의 중간에 제3의 커넥터 키이가 위치한다. (도 2에 개략적으로 도시한 바와 같이) 2개는 180°간격을 두고 위치하고 그 사이의 거의 중간에 제3의 캡 키이가 위치되어 있는 3개의 캡 키이(40)가 마련된 캡(30)만이 3개의 커넥터 키이(52) 및 커넥터(14)와 적절히 연결된다. 그 결과, 액체 포토레지스트가 충전되어 있는 내측 용기(11)만이 이 공정 단계에서 사용될 수 있다.
다른 구조의 캡 키이(40)와 커넥터 키이(52)가 본 발명을 수행하는 데 사용될 수 있다는 것을 인식하여야 한다. 예컨대, 캡 키이(40) 및 이에 상응하는 커넥터 키이(52)의 수는 변할 수 있다. 마찬가지로, 커넥터 키이(52)는 커넥턱(14) 속으로 형성된 홈일 수 있고, 캡 키이(40)는 캡(30)에 수반되는 돌출부이다. 또한, 넓은 홈, 좁은 홈, 뾰족형 홈(jagged groove) 또는 톱니형 홈 등과 같이 여러 형태가 이용될 수 있다. 각각의 독특한 구조의 캡 키이(40)는 상응하는 독특한 구조의 커넥터 키이(52)를 갖는다.
캡 키이(40)와, 상응하는 커넥터 키이(52)를 다양하게 조합하는 데 있어서 하나의 중요한 제한점은 어떠한 조합의 경우에도 서로 중첩되도록 할 수는 없다는 것이다. 예컨대, 단일의 캡 키이(40)와, 상응하는 구조의 커넥터 키이(52)가 사용되는 경우에, 커넥터 키이(52)의 형태는 이 커넥터 키이(52)가 도 2에 개략적으로 도시한 캡(30)에 있는 것과 같은 3개의 캡 키이(40) 중 하나와 맞물리지 않는 형태이어야 한다는 것이다. 각 독특한 조합의 각 커넥터(14)에 대한 커넥터 키이(52)는 단 하나의 각 독특한 조합의 각 캡(30)에 대한 캡 키이(40)하고만 결합하도록 구성되어야 한다. 마찬가지로, 각 독특한 조합의 각 캡(30)에 대한 캡 키이(40)는 단 하나의 독특한 조합의 각 커넥터(14)에 대한 커넥터 키이(52)하고만 맞물리도록 구성되어야 한다.
도 6은 커넥터(14)와 캡(30)을 분해 사시도 형태로 좀 더 확대하여 보여주고 있다. 커넥터(14)에는 센서(20)와 포트 어댑터(22)와 커넥터 헤드(54)와 클립(28, 29)과 프로브(46)와 프로브 칼라(probe collar)(56)와 O-링(58) 및 수나사형 커넥터 링(60)이 포함되어 있다.
커넥터 헤드(54)는 전체적으로 원통 형상으로, 외측 커넥터 표면(68)이 마련되어 있다. 커넥터 헤드(54)에는 상측 커넥터 공동(72)과 하측 커넥터 공동(74)을 형성하는 커넥터 헤드 바닥(70)이 포함되어 있다. 상기 바닥(70)에는 센서 장착 구멍(76)도 포함되어 있다.
센서(20)는 수나사형으로 나사 가공되어 있고, 센서 장착 구멍(76)은 암나사형으로 나사 가공되어 있어서, 센서(20)는 커넥터 헤드(54)에 나사식으로 결합될 수 있다. 센서(20)는 센서 라인(24)이 상측 커넥터 공동(72)에서 센서(20)에 결합될 수 있게 장착되어 있다. 다음에, 센서(20)의 바닥부는 커넥터 헤드 바닥(70)을 통해 하측 커넥터 공동(74) 속으로 연장된다.
마찬가지로, 포트 어댑터(22)는 커넥터 헤드 바닥(70)을 통해서 연결될 수 있다. 다음에, 포트 어댑터(22)의 바닥부는 커넥터 헤드 바닥(70)을 통해서 하측 커넥터 공동(74)의 프로브(46)에 연결될 수 있다. 포트 어댑터(22)는 어댑터 튜브(26)가 상측 커넥터 공동(72)의 포트 어댑터(22)에 연결될 수 있게 배치되어 있다.
클립(28, 29)은 외측 커넥터 표면(68)에 장착되어 있다. 클립(28)에는 클립 본체(77)와 클립 핀(78)과 클립 헤드(80)와 클립 스프링(82) 및 클립 베이스(84)가 포함되어 있다. 클립 본체(77)는 클립 핀(78) 상에서 회전할 수 있게 외측 커넥터 표면(68)에 장착되어 있다. 클립 헤드(80)는 클립 스프링(82)에 의해 외측 커넥터 표면(68)으로부터 멀어지게 힘을 받는다. 압력이 외측 커넥터 표면(68)을 향해 내측으로 클립 헤드(80)에 가해짐에 따라, 클립 본체(77)가 클립 핀(78) 상에서 회전하여 클립 베이스(84)는 외측 커넥터 표면(68)으로부터 멀리 이동된다. 커넥터 헤드(54)는 클립 베이스(84)가 외측 커넥터 표면(68)을 통해서 하측 커넥터 공동(74) 속으로 연장되게 구성되어 있다. 클립 베이스(84)가 하측 커넥터 공동(74) 속으로 연장될 수 있도록 하는 것은, 이하에서 상술하는 바와 같이 커넥터(14)를 캡(30)에 고정시키는 데 있어서 중요하다.
프로브(46)에는 상측 프로브 포트(86)와 하측 프로브 포트(48) 및 프로브 팁(50)이 포함되어 있다. 프로브(46)는 커넥터 헤드 바닥(70)을 통해 상측 프로프 포트(86)에서 포트 어댑터(22)와 연결되어 있다. 프로브 칼라(56)는 프로브(46) 둘레에서 연장되고 하측 커넥터 공동(74)의 커넥터 헤드 바닥(70)의 저면에 접촉한다. 프로브 칼라(56)에는 외측 칼라 표면(57)이 있다. O-링(58)이 프로브 칼라(56) 바로 아래의 프로브(46) 둘레에서 연장된다.
수나사형 커넥터 링(60)이 프로브(46) 둘레로 연장되며, 이 링(60)에는 내측 링 표면(88)과 상측 링 표면(89) 및 외측 링 표면(90)이 포함되어 있다. 커넥터 키이(52)가 외측 링 표면(90)에 수반된다. 내측 링 표면(88)의 내경은 외측 칼라 표면(57)의 외경보다 커서, 수나사형 커넥터 링(60)은 프로프 칼라(56)에 끼워진다. 다음에, 수나사형 커넥터 링(60)은 나사(92)에 의해서 커넥터 헤드 바닥(70)의 저면측에 장착된다. 나사(92)는 상측 커넥터 공동(72)으로부터 커넥터 헤드 바닥(70)을 통해 삽입되어, 수나사형 커넥터 링(60)의 상측 링 표면(89)을 하측 커넥터 공동(74)의 커넥터 헤드 바닥(70)의 저면에 대해 유지할 수 있다.
캡(30)에는 제거 가능한 캡 핸들(36)과 캡 베이스(62)와 암나사형 캡 링(64) 및 자석(38)이 포함되어 있다.
캡 베이스(62)에는 제거 가능한 캡 핸들(36)과 상측 베이스 표면(93)과 외측 베이스 표면(94)과 베이스 스코어(95A, 95B) 및 베이스 홈(96)이 포함되어 있다. 베이스 새김선(95A, 95B)은 상측 베이스 표면(93)에 원형으로 형성되어 있다. 제거 가능한 캡 핸들(36)을 제거하면, 베이스 새김선(95A, 95B) 내측의 상측 베이스 표면(93) 일부는 핸들(36)과 함께 제거된다. 다음에, 베이스 새김선(95A) 내측의 상측 베이스 표면(93)을 제거함으로써 형성된 프로브 구멍(41)을 통해 파열가능한 막(42)이 노출된다. 베이스 새김선(95B) 내측의 상측 베이스 표면(93)의 일부가 제거되어 있는 곳에 배출구(43)가 형성되어 있다.
암나사형 캡 링(64)에는 캡 키이(40)와 링 플랜지(98)와 하측 링 표면(100)과 외측 링 표면(102)과 상측 링 표면(104)과 내측 링 표면(106)과 자석 장착 오목부(108) 및 자석 캡(110)이 포함되어 있다. 링 플랜지(98)는 캡 베이스(62)의 외측 베이스 표면(94)에 형성된 홈(96)과 맞물리도록 구성되어 있다. 암나사형 캡 링(64) 및 캡 베이스(62)는 홈(96) 및 노치(98)를 이용하여 상호 연결되어 캡(30)을 형성한다.
암나사형 캡 링(64)은 자석 장착 오목부(108)를 형성하도록 구성되어 있다. 자석(38)은 자석 장착 오목부(108) 내에 끼워지고, 자석 캡(110)은 자석(38) 위에 끼워져 자석을 캡(30)에 고정된 채 유지한다. 자석 캡(110)은 초음파 용접(ultrasonic welding)을 이용하여 자석(38) 위에 더 고정될 수 있다. 캡키이(40)는 상측 링 표면(104)에 형성되어 있다.
분배 장치(10)의 작동시에, 커넥터(14)는 캡(30)과 상호 연결된다. 제거 가능한 캡 핸들(36)은 제거되고, 프로브(46)는 파열 가능한 막(42)을 통해서 삽입된다. 다음에, 캡(30)의 상측 링 표면(104)은 커넥터(14)의 커넥터 헤드 바닥(70)의 저면을 향해 이동된다. 커넥터 헤드(54)는 암나사형 캡 링(64)이 헤드(54)의 하측 커넥터 공동(74) 속으로 끼워지도록 구성되어 있다.
암나사형 캡 링(64)의 내측 링 표면(106)의 내경은 수나사형 커넥터 링(60)의 외측 링 표면(90)의 직경보다 약간 크다. 커넥터 키이(52)는 내측 링 표면(106)의 직경 이상으로 연장된다. 그 결과, 커넥터 키이(52)는, 커넥터(14)와 캡(30)이 상호 체결되었을 때 수나사형 커넥터 링(60)이 암나사형 캡 링(64)의 내부에 끼워지는 것을 방지한다. 그러나, 커넥터 키이(52)는 캡 키이(40)와 정렬될 수 있다. 커넥터 키이(52)와 캡 키이(40)는, 커넥터가 내측 용기(11)의 화학 물질과의 적합성이 있으면 맞물리도록 구성되어 있다. 따라서, 커넥터 키이(52)와 캡 키이(40)가 정렬되는 경우, 암나사형 캡 링(64)은 수나사형 커넥터 링(60) 위로 끼워진다.
커넥터 키이(52)와 캡 키이(40)가 정렬되지 않으면 상측 링 표면(104)은 커넥터 헤드 바닥(70)의 저면까지 도달되지 않게 되는데, 이는 커넥터(14)와 캡(30)이 부적절하게 연결된 것이다. 커넥터가 내측 용기(11)의 화학 물질과의 적합성이 없으면, 커넥터 키이(52)와 캡 키이(40)를 정렬시킬 수는 없다. 이처럼 부적절하게 연결된 상태에서 펌프(18)를 작동시키면 조작자가 다칠 수 있고 장비가 손상될 수 있거나 결함 있는 제품이 생산될 수 있다. 분배 장치(10)는 이와 같이 부적절하게 연결된 상태에서, 펌프(18)가 제 기능을 발휘하지 못하도록 한다.
센서(20)는 홀 효과 센서와 같은 자기 센서이다. 센서(20)가 자석(38)에 의해 만들어지는 것과 같은 자장(磁場) 내에 있으면, 센서는 제1 신호를 발생한다. 센서(20)는 자석(38) 부근에 있으면 제1 신호를 발생한다. 센서(20)가 자장 내에 있지 않으면, 센서는 제2 신호를 발생한다. 센서(20)는 자석(38)으로부터 멀리 떨어져 있으면 제2 신호를 발생한다. 커넥터(14)와 캡(30)이 부적절하게 연결되어 있으면, 커넥터 키이(52)와 캡 키이(40)는 정렬되지 않고, 상측 링 표면(104)은 커넥터 헤드 바닥(70)의 저면으로부터 떨어져 있게 되어, 센서(20)는 자석(38)으로부터 멀리 이격된다. 이런 식으로, 커넥터(14)와 캡(30)이 부적절하게 연결되면, 센서(20)는 제2 신호를 발생한다. 전술한 바와 같이, 제어 유닛(16)은 이 신호를 수신하여 펌프(18)가 작동되지 못하게 한다.
커넥터(14)와 캡(30)이 적절하게 연결되면, 커넥터 키이(52)와 캡 키이(40)는 정렬되고, 상측 링 표면(104)은 커넥터 헤드 바닥(70)의 저면 바로 부근에 있게 되어, 센서(20)는 자석(38)에 바로 인접하게 된다. 이런 식으로, 커넥터(14)와 캡(30)이 적절하게 연결되면, 센서(20)는 제1 신호를 발생한다. 제어 유닛(16)은 이 신호를 수신하여 펌프(18)가 작동되게 한다.
당업자라면 인식할 수 있는 바와 같이, 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 센서(20)와 자석(38)의 구성을 다양하게 조합하여 사용할 수 있다. 예를 들면, 센서(20)는 마이크로스위치와 같이 기계적으로 작동되는 소형 스위치일 수 있다. 이 마이크로스위치에는 기계식 액츄에이터가 구비되어 있는데, 이 액츄에이터는 액츄에이터가 작동 개시될 때마다 스위치의 상태를 변화시킨다. 다음에, 자석(38)은 단순히, 커넥터 키이(52)와 캡 키이(40)가 정렬되어 있고 상측 링 표면(104)이 커넥터 헤드 바닥(70)에 바로 인접해 있는 경우에 스위치의 액츄에이터를 작동 개시시키는 표면일 수 있다. 커넥터 키이(52)와 캡 키이(40)가 정렬되어 있지 않고 상측 링 표면(104)이 커넥터 헤드 바닥(70)으로부터 분리되어 있는 경우에, 센서(20)의 액츄에이터는 작동 개시되지 않고 그 상태는 변화되지 않은 채 남아 있다. 따라서, 이러한 택일적 구성은 펌프(18)를 작동 및 작동 불능시키는 제어 유닛(16)에 양자 택일적인 상태를 제공한다.
여러 다른 구성의 센서(20) 및 자석(38)이 본 발명의 목적을 달성하는 데 사용될 수 있다. 예컨대, 광학적 마크(optical mark)를 감지할 수 있는 광센서가 사용될 수 있다. 경질의 재료에 의해 작동 개시되는 기계식 스위치가 사용될 수 있다. 유도성 또는 용량성 근접 센서(inductive or capacitive proximity sensor) 또는 적외선 센서가 사용될 수 있다. 재료의 형태 또는 재료가 없음을 감지하는 어떤 센서도 사용될 수 있다. 본질적으로, 커넥터(14)와 캡(30)이 적절히 연결되었는지를 감지할 수 있는 어떠한 구성도 이용될 수 있다.
마찬가지로, 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 캡 키이(40)와 커넥터 키이(52)의 구성을 다양하게 조합하여 사용할 수 있음을 인식하여야 한다. 예컨대, 커넥터 키이(52)는 커넥터(14) 속으로 형성된 홈일 수 있고, 캡 키이(40)는캡(30)에 수반되는 돌출부일 수 있다. 마찬가지로, 뾰족형 또는 톱니형의 구조가 이용될 수 있다. 각각의 독특한 구조의 캡 키이(40)는 상응하는 독특한 구조의 커넥터 키이(52)를 갖는다.
도 7 및 도 8은 커넥터(14), 캡(30) 및 외측 용기(12)를 포함하는 분배 장치(10)의 구성품들을 조립하는 과정을 단면도 형태로 보여주고 있다. 도 7은 제거가능한 핸들(36)을 제거하기 전의 캡(30)을 보여주고 있다. 도 8에는 캡(30)과 용기(12)에 완전히 조립되어 있는 커넥터(14)가 도시되어 있다.
도 7에 있어서, 캡(30)은 외측 용기(12)에 나사식으로 장착되어 있다. 용기의 마우스(34)에는 캡(30)의 암나사부와 상호 연결되는 수나사부가 있다. 캡(30)에는 캡 시일(113)도 포함되어 있다. 캡 시일(113)의 직경은 마우스(34)의 직경과 비슷하다. 이런 식으로, 캡(30)이 용기 마우스(34) 위의 외측 용기(12)에 나사식으로 장착되면, 캡 시일(113)에 의해 캡(30)과 외측 용기(12) 사이가 밀봉된다.
용기 마우스(34)는 마우스 렛지(mouth ledge)(114)를 포함하도록 구성되어 있다. 리테이너(116)는 마우스(34) 내의 마우스 렛지(114)에 안착하도록 구성되어 있다. 리테이너(116)에는 리테이너 렛지(118)가 포함되어 있다. 끼움부(fitment)(120)가 리테이너(116) 안쪽에 끼워져 리테이너 렛지(118)에 안착되도록 구성되어 있다. 끼움부(120)는 그 상측 단부에 끼움부 마우스(122)를 형성하고, 내측 용기(11)는 끼움부의 하측 단부에서 끼움부(120)에 끼워진다.
캡(30)을 외측 용기(12)에 조임에 따라, 파열가능한 막(42)은 끼움부 마우스(122) 위로 압박되어 내측 용기(11)의 내부를 밀봉한다. 제거 가능한 캡 핸들(36)이 캡(30)에서 분리되면, 파열가능한 막(42)은 프로브 구멍(41)을 통해 노출된다. 다음에, 프로브 팁(50)이 프로브 구멍(41)을 통해 밀어 넣어져 파열가능한 막(42)에 대해 압박될 수 있다. 막 새김선(44)은 파열가능한 막(42)이 끼움부 마우스(122) 속으로 개봉될 수 있도록 해주고, 프로브(46)는 내측 용기(11)의 내부로 이동될 수 있다.
도 8은 커넥터(14), 캡(30) 및 외측 용기(12)의 단면도로서, 여기에서는 커넥터(14)가 캡(30)과 외측 용기(12)에 적절히 연결되어 있다. 클립(28, 29)은 커넥터(14)와 캡(30) 사이의 연결을 고정해 준다.
클립(28)에 대하여 도시한 바와 같이, 클립 본체(77)는 클립 핀(78) 상에서 회전 가능하게 외측 커넥터 표면(68)에 장착되어 있다. 클립 헤드(80)는 클립 스프링(82)에 의해 외측 커넥터 표면(68)으로부터 멀어지게 힘을 받는다. 압력이 외측 커넥터 표면(68)을 향해 내측으로 클립 헤드(80)에 가해짐에 따라, 클립 본체(77)가 클립 핀(78) 상에서 회전하여 클립 베이스(84)는 외측 커넥터 표면(68)으로부터 멀리 이동된다. 커넥터 헤드(54)는 클립 베이스(84)가 외측 커넥터 표면(68)을 통하여 하측 커넥터 공동(74)으로 연장되게 구성되어 있다. 암나사형 캡 링(64)의 외측 링 표면(102)의 직경은 링 렛지(112)를 형성하는 캡 베이스(62)의 외측 캡 표면(94)의 직경보다 크다. 클립 스프링(82)은 클립 베이스(84)를 링 렛지(112) 아래의 외측 베이스 표면(94)에 대하여 압박한다. 따라서, 커넥터(14)와 캡(30)이 적절히 상호 연결되어 있으면, 클립 베이스(84)와 링 렛지(112)는 커넥터(14)를 캡(30)에 고정시킨다. 클립 헤드(80)에 가해지는 내향 압력은 클립 베이스(84)를 링 렛지(112)로부터 해제시키고, 커넥터(14)와 캡(30)이 분리될 수 있도록 해준다. 클립(29)이 유사하게 기능한다.
커넥터(14)가 캡(30)에 적절히 연결되면, 프로브(46)는 끼움부(120)를 통해서 내측 용기(11) 내부에 배치된다. O-링(58)은 끼움부(120)가 있다면 이를 내측 벽에 대해 압박함으로써 내측 용기(11)의 내부를 밀봉한다. 그 결과, 펌프(18)가 액체 화학 물질을 내측 용기(11)로부터 프로브(46)를 통해 펌핑할 때, 내측 용기(11)의 내부는 적절히 밀봉되어 있다.
제거 가능한 캡 핸들(36)을 캡(30)에서 분리하면, 배출구(43)가 형성된다. 배출구(43)는, 공기가 내측 용기(11) 및 외측 용기(12) 사이의 공간으로부터 리테이너 배출구(124) 및 배출구(41)를 통해 통과할 수 있도록 리테이터 배출구(124)와 연통한다. 이런 식으로, 내측 용기(11)는 액체 화학 물질이 내측 용기(11) 속으로 넣어지는 경우 팽창될 수 있고, 액체 화학 물질이 내측 용기(11)로부터 펌핑되는 경우 수축될 수 있다.
본 발명을 양호한 실시예를 참고로 설명하였지만, 당업자라면 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않으면서 그 형태 및 세부적 사항을 변화시킬 수 있다는 것을 이해할 것이다.

Claims (16)

  1. 마우스가 마련된 용기와;
    상기 마우스와 연결되고, 제1 키이 요소를 포함하는 캡과;
    커넥터 헤드와, 이 커넥터 헤드로부터 연장되어 상기 캡의 중심을 통해 상기 마우스 속으로 삽입될 수 있고 내부에 유로가 마련된 프로브와, 상기 제1 키이 요소와 맞물리게 구성되는 제2 키이 요소를 포함하며, 상기 캡과 연결되는 커넥터와;
    상기 프로브 및 유로와 연결되어 프로브 및 유로를 통해 유체를 펌핑하는 펌프 수단과;
    상기 제1 키이 요소와 제2 키이 요소가 맞물려 있는지 여부를 감지하는 센서 수단과;
    상기 센서 수단 및 펌프 수단에 연결되어, 상기 센서 수단이 상기 제1 키이 요소 및 제2 키이 요소가 맞물려 있음을 감지하면 상기 펌프 수단을 작동시키고, 상기 센서 수단이 상기 제1 키이 요소 및 제2 키이 요소가 맞물려 있지 않음을 감지하면 상기 펌프 수단을 작동 해제시키는 컨트롤러 수단
    을 포함하는 것인 고순도 액체 취급 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 센서 수단은 상기 커넥터에 장착되는 검출기와 상기 캡에 장착되는 검출기 영향 요소(detector affecting element)를 포함하는 것인 고순도 액체 취급 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 검출기는 홀 효과 센서이고, 상기 검출기 영향 요소는 자석이며, 상기 커넥터에 장착되는 상기 홀 효과 센서는, 이 홀 효과 센서 및 자석이 서로 바로 인접함으로써 형성되는 하나의 상태와, 상기 홀 효과 센서 및 자석이 서로 간격을 두고 떨어져 있음으로써 형성되는 다른 상태의 2가지 상태가 있는 것인 고순도 액체 취급 장치.
  4. 제2항에 있어서, 상기 검출기는 액츄에이터가 구비된 마이크로스위치 센서이고, 상기 검출기 영향 요소는 경질의 표면이며, 상기 커넥터에 장착되는 상기 마이크로스위치 센서는, 상기 경질의 표면과 마이크로스위치 센서가 서로 접촉하는 경우 상기 액츄에이터가 상기 경질의 표면과 접촉할 때마다 상태가 전환되는 2가지 상태가 있는 것인 고순도 액체 취급 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 센서 수단은 상기 캡에 장착되는 검출기와, 상기 커넥터에 장착되는 검출기 영향 요소를 포함하는 것인 고순도 액체 취급 장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 검출기는 홀 효과 센서이고 상기 검출기 영향 요소는 자석이며, 상기 캡에 장착되는 상기 홀 효과 센서는, 이 홀 효과 센서 및 자석이 서로 바로 인접함으로써 형성되는 하나의 상태와, 상기 홀 효과 센서 및 자석이 간격을 두고 떨어져 있음으로써 형성되는 다른 상태의 2가지 상태가 있는 것인 고순도 액체 취급 장치.
  7. 제1항에 있어서, 상기 제1 키이 요소는 상기 캡에 있는 노치이고, 상기 제2 키이 요소는 상기 커넥터에 수반되는 돌출부이며, 이 돌출부는 노치와 돌출부가 맞물리는 경우 상기 캡과 커넥터가 미리 정해진 단 하나의 배향으로만 연결될 수 있도록 상기 캡의 노치와 맞물리게 구성되는 것인 고순도 액체 취급 장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 센서 수단은 상기 커넥터에 장착되는 검출기와, 상기 캡에 장착되는 검출기 영향 요소를 포함하고, 상기 커넥터에 장착되는 검출기는, 상기 노치와 돌출부가 맞물리고 상기 캡과 커넥터가 미리 정해진 배향으로 연결될 때의 제1 상태와, 상기 노치와 돌출부가 맞물리지 않고 상기 캡과 커넥터가 미리 정해진 배향으로 연결되지 않을 때의 제2 상태의 2가지 상태가 있는 것인 고순도 액체 취급 장치.
  9. 제1항에 있어서, 상기 제1 키이 요소는 상기 캡에 수반되는 돌출부이고, 상기 제2 키이 요소는 상기 커넥터에 있는 노치이며, 상기 돌출부는, 상기 노치와 돌출부가 맞물리는 경우 상기 캡과 커넥터가 미리 정해진 단 하나의 배향으로만 연결될 수 있도록 상기 커넥터의 노치와 맞물리게 구성되는 것인 고순도 액체 취급 장치.
  10. 용기의 내부와 연통하는 마우스가 마련된 용기를 제공하는 단계와;
    제1 키이 요소가 마련된 캡을 상기 마우스 위로 부착하는 단계와;
    상기 용기 내부에서 끝나는 유로를 정하는 프로브를 포함하고, 상기 제1 키이 요소와 맞물리게 구성되는 제2 키이 요소가 구비된 커넥터를 상기 캡에 연결하는 단계와;
    상기 캡의 제1 키이 요소와 상기 커넥터의 제2 키이 요소가 적절히 맞물려 있는지를 감지하는 감지 단계와;
    상기 제1 키이 요소와 제2 키이 요소가 적절히 맞물린 경우에 펌프 수단에 제1 신호를 제공하고, 상기 제1 키이 요소와 제2 키이 요소가 적절히 맞물리지 않은 경우에 상기 펌프 수단에 제2 신호를 보내는 단계와;
    상기 제1 신호가 수신되면 상기 용기로부터 상기 프로브를 통해서 액체를 분배하고, 상기 제2 신호가 수신되면 상기 용기로부터의 액체 분배를 방지하는 단계
    를 포함하는 것인 고순도 액체 취급 방법.
  11. 제10항에 있어서, 상기 감지 단계는 상기 커넥터에 장착되는 센서와, 상기 캡에 장착되는 센서 영향 요소를 제공하는 것을 포함하는 것인 고순도 액체 취급 방법.
  12. 제11항에 있어서, 상기 센서는 홀 효과 센서이고, 상기 센서 영향 요소는 자석이며, 상기 커넥터에 장착되는 홀 효과 센서는, 상기 자석과 홀 효과 센서가 서로 바로 인접함으로써 형성되는 하나의 상태와, 상기 자석과 홀 효과 센서가 서로 간격을 두고 떨어져 있음으로써 형성되는 다른 상태의 2가지 상태가 있는 것인 고순도 액체 취급 방법.
  13. 제11항에 있어서, 상기 센서는 상기 커넥터에 장착되는 액츄에이터가 마련된 마이크로스위치 센서이고, 상기 센서 영향 요소는 상기 캡의 경질의 표면이며, 상기 마이크로스위치 센서는, 상기 경질의 표면과 마이크로스위치 센서가 서로 접촉하는 경우 상기 액츄에이터가 상기 경질의 표면과 접촉할 때마다 상기 마이크로스위치 센서의 상태가 전환되는 2가지 상태가 있는 것인 고순도 액체 취급 방법.
  14. 제10항에 있어서, 상기 감지 단계는 상기 캡에 장착되는 센서와, 상기 커넥터에 장착되는 센서 영향 요소를 제공하는 것을 포함하는 것인 고순도 액체 취급 방법.
  15. 제10항에 있어서, 상기 제1 키이 요소는 상기 캡에 있는 노치이고, 상기 제2 키이 요소는 상기 커넥터에 수반되는 돌출부이며, 이 돌출부는, 상기 노치와 돌출부가 맞물리는 경우에 상기 캡과 커넥터가 미리 정해진 단 하나의 배향으로만 연결될 수 있도록 상기 캡의 노치와 맞물리게 구성되는 것인 고순도 액체 취급 방법.
  16. 제10항에 있어서, 상기 제1 키이 요소는 상기 캡에 있는 노치이고, 상기 제2 키이 요소는 상기 커넥터에 수반되는 돌출부이며, 이 돌출부는, 상기 노치와 돌출부가 결합되는 경우에 상기 캡과 커넥터가 미리 정해진 단 하나의 배향으로만 연결될 수 있도록 상기 캡의 노치와 맞물리게 구성되는 것인 고순도 액체 취급 방법.
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