KR100448678B1 - 클린룸특히그리드형태의실링시스템을위한마운팅시스템 - Google Patents

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만프레트 렌츠 독토르
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마이스너 부르스트 게엠베하 앤드 컴파니
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Abstract

본 발명은 클린룸 루버 천장에 관한 것으로, 이 필터-벤틸레이터-유닛은 각각 적어도 하나의 유지 부재로 이 유지 바의 서로 겹치는 적어도 2개의 측면에 지지되고, 상기 부재가 루버 개구 안으로 들어가고 이 유지 바에 고정된다.

Description

크린 룸 특히 그리드 형태의 실링 시스템을 위한 마운팅 시스템{Mounting System, Especially Grid-Type Ceilig System, For Clean Rooms}
본 발명은 제1항의 전반부에 따른 클린 룸(clean room)용 고정 장치, 특히 그리드 형태의 실링(a grid-type ceiling)을 위한 마운팅 시스템(mounting system)에 관한 것이다.
고정 프레임을 이용하여 마운팅 시스템에 설치 프레임을 이용하여 필터-벤틸레이터 유닛(filter-fan-unit)을 설치하는 것은 공지되어 있다. 상기 시스템은 일반적으로 연결 지점 장치들 및 이들 사이에 연장되는 프로파일 레일(profile rail)로 이루어진 그리드 형태의 실링에 포함되는 필터-벤틸레이터 유닛이 된다. 상기 설치 프레임은 제조 비용이 높고 필터-벤틸레이터 유닛의 복잡한 설치를 필요로 한다. 필터-벤틸레이터-유닛의 아래 면에 하나의 필터가 고정되고, 이것은 설치 시스템의 유지 고정 장치에 직접 설치된다. 클린 룸 내에서 상기 필터의 설치는 클린 룸 안쪽으로부터 가능하지 않거나 또는 상당히 어렵게 이루어 질 수 있고, 상기 클린 룸의 내부는 입구를 수용하는 해당 그리드 내에서 클린 룸의 내부에 인접하여 설치된다. 이 경우에 상기 수용 입구(receiving opening)는 첫 번째 위치에 있는 필터가 수용 입구를 통하여 아래로부터 삽입될 수 있고 두 번째 위치에서 유지 레일 위에서 위로부터 설치될 수 있도록 사각형의 형태(contour)를 가져야 한다. 상기 수용 입구가 정사각형 형태(contour)를 가지는 경우, 상기 필터는 단지 위로부터만 설치될 수 있다. 그러나, 이것은 설치 시스템의 위쪽 영역에 해당하는 여분의 공간이 제공되는 경우에만 가능하다.
본 발명의 목적은 마운팅 시스템의 위에 있는 영역에서 그에 상응하는 높이의 빈 공간이 존재할 필요없이, 필터-벤틸레이터-유닛과 필터가 클린 룸으로부터 간단하게 조립될 수 있도록 하는 마운팅 시스템을 실현하기 위한 발명을 제공하는데 있다.
위와 같은 본 발명은 위와 같은 목적을 이루기 위하여 아래와 같은 특징을 가진다:
필터-벤틸레이터 유닛을 위한 수용 입구(receiving openings)를 제공하는 그리드 구조 내 클린 룸의 실링(ceiling)에 장치되는 유지 레일(support rails);
상기 유지 레일은 필터-벤틸레이터 유닛을 위한 유지 평면(support surfaces)을 가지고, 상기에서 유지 평면의 마주 보는 것(opposing ones)은 수용 입구를 형성하고;
수용 입구 내부로 돌출하도록 상기 유지 평면 위에 설치되는 유지 장치(support members);
각각 필터-벤틸레이터 유닛을 지지하기 위하여 유지 평면의 적어도 두 개의 마주보는 평면(opposing ones) 위에 설치되는 적어도 하나의 유지 장치(support members)을 가지는 수용 입구;
유리하게, 상기 유지 장치는 지주(stays)가 되고;
적절하게, 상기 유지 장치는 적어도 하나의 받침 장치(abutment)를 가지고, 상기 유지 레일은 적어도 하나의 반대 받침 장치를 가진다. 상기 적어도 하나의 받침 장치는 상기 적어도 하나의 반대 받침 장치에 기대어 설치된다(rest).
상기 받침 장치는 적절하게 위쪽으로 연장되는 유지 장치의 가장 자리(edge)를 가진다.
상기 반대 받침 장치는 유지 평면으로부터 간격을 가진 지주 장치(a stay member)가 될 수 있다.
상기 받침 장치는 적절하게 상기 지주 장치(a stay member)의 아래면에 접한다.
상기 받침 장치는 상기 지주 장치의 아래면 과 유지 평면 사이의 거리와 동일한 높이를 가진다.
상기 지주 장치는 받침(abutment)을 위한 적어도 하나의 고정 장치(securing member)를 가진다.
상기 고정 장치는 적절하게는 상기 지주 장치의 각이 진 가장 자리가 된다.상기 각이 진 가장 자리는 유지 평면으로 향하는 자유로운 끝 부분을 가진다.
유지 장치는 필터-벤틸레이터 유닛을 위한 적어도 하나의 센터링 장치를 가진다.
상기 적어도 하나의 센터링 장치는 유리하게 수용 입구 내에 설치된다.
상기 센터링 장치는 위쪽으로 연장되는 웨브(web)가 될 수 있다.
상기 마운팅 시스템은 유리하게 유지 장치에게 부착된 커버 장치를 포함한다.
프레임을 포함하는 필터가 필터의 프레임이 유지 장치 위에 설치되도록 필터-벤틸레이터 유닛 아래에 설치될 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 고정 장치를 가지는 클린 룸 천장의 마운팅 시스템을 도시한 것이다.
본 발명에 따른 클린 룸에 있어서 필터-벤틸레이터-유닛을 설치하기 위한 마운팅 시스템은 청구항 1의 특징에 의하여 이루어진다.
본 발명에 따른 장치에 있어서, 유지 레일(support rail)에서 필터-벤틸레이터-유닛을 지지하기 위해 유리하게는 지주(a stay) 형태가 되는 유지 장치(support member)가 제공된다. 상기 필터-벤틸레이터-유닛은 클린 룸으로부터 수용 입구(receiving opening)를 통해 삽입된다. 이후 상기 유지 장치는 유지 레일 위에 설치된다. 다음 단계로 상기 상승된 필터-벤틸레이터-유닛은 이것이 직접 또는 간접으로 유지 장치 위에서 지지될 때까지(필터를 경유하여) 다시 내려진다. 상기 유지 장치는 필터-벤틸레이터-유닛이 고정되어 지지되도록 수용 입구의 단면적 내로 돌출된다. 설치 과정에서 필터-벤틸레이터-유닛은 유지 장치가 유지 레일에 설치될 수 있는 범위까지 수용 입구를 관통하여 위쪽으로만 상승되어야 한다. 이러한 방식으로, 마운팅 시스템의 영역에서, 높은 설치 공간이 제공될 필요가 없다. 설치 공간의 높이는 필터-벤틸레이터-유닛의 높이 및 선택적으로 필터-벤틸레이터-유닛과 유지 레일의 사이에 위치한 필터의 높이보다 약간 더 높아야 한다.
본 발명의 목적 및 장점은 첨부된 도면과 관련된 아래의 상세한 설명으로부터 보다 명확하게 나타날 것이며, 상기 도면은 클린 룸 실링(clean room ceiling)을 위한 마운팅 시스템을 개략적으로 도시한 것이다.
본 발명은 첨부된 도면을 이용하는 특정한 실시 형태를 이용하여 보다 상세하게 기술될 것이다. 도면에 개략적으로 도시된 클린 룸 실링(ceiling)은 프레임-형태의 실링 구조, 즉 마운팅 시스템(1)을 가지며, 그 자체가 공지된 방법으로서 도시되지 않은 연결점 장치(connecting point member)와 서로 연결된 수직으로 가로지르는 프로파일된(profiled) 유지 레일(support rail)(2)을 가진다. 상기 프로파일된 유지 레일(2) 및 연결점 장치는 필터-벤틸레이터-유닛(4)을 위한 사각형 또는 정방형의 수용 입구(receiving opening)(3)를 형성하고, 상기 필터-벤틸레이터-유닛(4)은 실링 구조(1) 위에 아래에서 설명되는 방법에 의하여 지지되어 있다.
상기 필터-벤틸레이터-유닛(4) 자체는 공지되어 있기 때문에, 이것은 상세히 설명되지 않는다. 상기 필터-벤틸레이터-유닛(4) 아래에는 필터(5)가 공지된 방법으로 정렬되며, 상기 필터(5)를 통하여 유닛(4)으로부터 흡입된 클린 에어(clean air)가 입구에서 클린 룸(6)으로 들어가기 전에 흘러야 한다. 상기 필터(5)도 역시 공지되어 있으므로 본 명세서에서는 상세히 설명되지 않는다.
상기 실링 구조(1)는 클린 룸의 실링으로부터 매달린 상태로(suspend) 될 수 있다. 그러나, 클린 룸(6)의 바닥에서 상기 실링 구조(1)를 지지하는 것이 가능하다. 도면에 도시된 실링 구조(1)의 실시 형태에서 측면의 유지 레일(2) 및/또는 연결점 장치가 위쪽으로 연장된 프로파일된 장치(profiled members)(7)가 설치되며, 상기 장치(7)는 공지된 방법으로 클린 룸(6)의 실링으로부터 실링 구조(1)를 매달기 위하여 도시되지 않은 케이블, 와이어 등에게 연결될 수 있다. 상기 프로화일된 장치(7)는 프로파일된 유지 레일(2) 및/또는 연결점 장치와 일체로 형성되는 것이 유리하다.
상기 프로파일된 유지 레일(2)에는 같은 높이로 있는 유지 평면(support surfaces)(8,9)을 가지는 마주보는 유지 다리(opposed support legs)가 설치된다. 상기 유지 다리는 수용 입구(3)의 한계를 결정한다. 수평으로 연장된 유지 평면(8,9) 위에 각각의 유지 장치(support members)(10,11)가 설치된다. 상기 유지 장치(10, 11)는 수용 입구(3) 내로 유지 평면(8,9)을 지나서 연장된다. 하나의 길이 방향의 가장 자리에서 유지 장치(10, 11)는 위쪽으로 연장되는 하나의 받침 장치(abutment)(12)를 가지면, 상기 받침 장치(12)는 설치 위치에서 각각의 프로파일된 유지 레일(2)의 반대 받침 장치(counter abutment)(13)의 아래쪽 면을 받쳐준다. 적절하게는 버팀 장치가 되는 상기 반대 받침 장치(13)는 유지 평면(8,9) 위로 거리를 두고 설치되고 유지 평면까지 평행하게 연장된다. 반대 받침 장치들은 단지 유지 장치(10,11)를 지지하는 역할을 하기 때문에, 상기 반대 받침 장치들은 유지 평면(8,9)에 비하여 프로파일된 유지 레일(2)의 길이 방향을 횡단하여 보다짧아질 수 있다. 반대 받침 장치(13)의 각이 진 가장 자리(14)는 유지 평면(8,9)쪽을 향하여 각이 지고, 각각의 유지 장치(10,11)를 위하여 고정 장치를 제공한다. 상기 가장 자리(14)의 각이 진 설계로 인하여, 반대 받침 장치(13)의 예기치 아니하는 풀어짐이 방지된다.
상기 유지 장치(10, 11)는 받침 장치(12)와 일정한 거리를 두고 설치되고 그들에게 평행하게 연장되는 센터링 장치(centering member)(15)를 포함한다. 상기 센터링 장치(15)는 설치된 위치에서 필터(5)가 중심에 위치하도록 조정한다. 상기 센터링 장치(15)는 유지 장치(10,11)의 받침 장치(12)와 동일한 높이가 될 수 있다. 설치된 위치에서, 웨브(a web)의 형태로 만들어 질 수 있는 상기 센터링 장치(15)는 실질적으로 유지 장치(10,11)의 자유로운 가장 자리와 실질적으로 동일한 레벨에 설치된다.
상기 필터(5)는 각각의 유지 장치(10, 11) 위에 주변 프레임(surrounding frame)(16)을 이용하여 고정된다. 상기 필터(5)의 단면적은 각각의 수용 입구(3)의 단면적 보다 더 작다. 유지 장치(10,11)는 수용 입구(3)의 자유로운 단면적의 내부로 유지 평면(8,9)을 지나서 돌출하기 때문에, 상기 필터(5)는 유지 장치(10,11) 위에 신뢰성을 가지도록 지지될 수 있다. 상기 유지 장치(10,11)의 센터링 장치(15)는 수용 입구(3)의 내부에서 각각의 필터(5)가 중심에 위치하도록 조정한다. 필터-벤틸레이터-유닛(4)은 각각의 수용 입구(3)보다 더 작은 단면적을 가진다. 상기 필터-벤틸레이터-유닛(4)은 유지 장치(10,11) 위에서 필터(5)를 경유하여 지지된다. 위쪽으로 연장하는 자유로운 받침 장치(12)를 가진 유지장치(10,11)는 프로파일된 유지 레일(2)의 반대 받침 장치(13)의 아래 면에 설치되고, 유지 장치(10,11)는 필터(5) 및 필터-벤틸레이터-유닛(4)의 무게로 인하여 경사질 수 없다. 이러한 방식으로, 상기 유닛(4) 및 필터(5)는 설치의 경우 신뢰성이 있도록 고정된다. 더욱이, 아래쪽으로 향해진 받침 장치(13)의 가장 자리(14)의 여분의 끝 부분은 유지 장치(10,11)가 프로파일된 유지 레일(2)을 횡단하여 이동될 수 있는 것을 방지한다.
상기 유지 장치(10, 11)는 각각의 프로파일된 유지 레일(2)의 적어도 일정 길이 부분에 걸쳐 연장된다. 이러한 것은 유지 장치(10,11)가 프로파일된 유지 레일(2)의 단지 일정 길이 부분에 걸쳐 연장되는 경우 필터-벤틸레이터-유닛(4) 및 필터(5)의 유지 장치(a support)로서 충분하다. 유리한 점으로서, 수용 입구(3)의 네 개의 모든 가장자리가 유지 장치로서 설치되어 필터(5)를 가진 필터-벤틸레이터-유닛(4)의 최적의 유지 장치가 보장되도록 한다. 원칙적으로, 단지 해당 유지 장치(10,11)를 가진 수용 입구(3)의 두 개의 마주보는 가장 자리, 즉 마주보는 유지 레일(2)을 설치하는 것만으로도 충분하다. 장치들이 기울어지는 것을 방지하기 위하여, 유지 장치(10,11)는 이 경우에 각각의 보다 더 긴 길이를 가져야 한다.
유지 장치(10,11)는 또한 수용 입구의 코너(coner)에 정렬되는 각이 진 장치의 형태로 될 수 있다. 상기와 같은 경우, 필터(5)를 경유하는 유닛(4)의 유지는 각각의 수용 입구(3)의 코너에 설치된다. 또한, 해당하는 연장된 유지 장치를 함께 이용하여 상기 각이 진 유지 장치(10, 11)를 사용하는 것이 가능하다.
클린 룸 실링을 설치하는 경우, 실링 구조(1)가 먼저 설치되고, 그리고 해당하는 수용 입구(3)를 이용하여 그리드-형태(grid-type)의 실링을 설치한다. 이후, 필터(5)를 가진 필터-벤틸레이터-유닛(4)이 위쪽 방향으로 수용 입구(3)를 통하여 필터-벤틸레이터-유닛(4)을 삽입하는 것에 의하여 클린 룸(6)의 내부로부터 설치될 수 있다. 다음 단계로, 유지 장치(10, 11)가 프로파일된 유지 레일(2)의 유지 평면(8,9) 위에 설치되고, 상기 설치는 도면에 도시된 것처럼 위쪽으로 향해진 받침 장치(12)가 반대 받침 장치(13)의 아래 면에 고정되도록 한다. 상기 반대 받침 장치(13)의 각이 진 가장 자리(14)의 아래쪽으로 연장되는 자유로운 끝 부분은 유지 장치(10,11)가 약간 경사지도록 하는 것에 의하여 쉽게 설치된 위치로 이끌어지도록 하기 위하여 상대적으로 짧아진다. 이후, 필터(5)가 유지 평면(8,9)을 지나 안쪽으로(수용 입구(3)에 대하여 상대적으로) 돌출하는 유지 장치(10,11) 위에 프레임(16)을 고정시킬 때까지 유닛(4) 및 필터(5)가 아래쪽으로 낮추어진다.
이와 같은 방법으로, 각각의 유닛(4) 및 필터(5)가 아래쪽으로부터 모든 각각의 수용 입구(3)의 안쪽에 설치될 수 있다. 유지 장치(10,11)의 전체 길이 또는 일정 길이 부분에 걸쳐서 연장될 수 있는 센터링 장치(15)는 클린 룸 실링의 간단하고 신속한 조립이 보장될 수 있도록 하기 위하여 유닛(4)과 필터(5)가 중심에 오도록 조정하는 역할을 한다. 유지 장치(10, 11)를 프로파일된 유지 레일(2)에 연결하기 위한 나사, 접착제, 또는 다른 이와 같은 연결 수단의 사용은 필요한 경우 유지 장치(10,11)가 간단하게 교환되거나 대체될 수 있도록 하기 위하여 요구되지는 않는다. 필요한 경우 창작적인 클린 룸 실링이 또한 간단하게 분해될 수 있다.
도면의 좌측 면에 있는 필터(5)를 위한 프레임(16)은 밀봉(18)을 위한 프로파일된 수용 장치(17)를 상부 가장 자리에 포함할 수 있다. 유닛(4)은 그 위에 고정된다. 상기 프레임(16)은 유지 장치(10, 11) 위에 직접적으로 그것의 아래쪽 가장 자리를 이용하여 고정된다.
도면의 우측 부분에 도시된 필터(5)는 밀봉(20)을 위하여 프로파일된 수용 장치(19)를 이용하여 프레임의 아래쪽 가장 자리에 설치된다.
커버 장치(22)가 클린 룸과 관련된 실링 구조를 덮는 유지 장치(10,11)에게 연결될 수 있다. 도면에서 예시적인 형태로 도시된 것처럼, 유지 장치(11)의 아래면이 슬리브-형태(a sleeve-shaped)가 되고 연속적으로 연결된(threaded) 구멍(24)을 가진 아래쪽으로 연장시키는 스페이서(23)에게 제공된다. 상기 스페이서(23)는 실링 구조(1)의 표면 영역 주위에 설치된다. 프로파일된 유지 레일(2)의 외부 영역에 있는 유지 장치(11)는 해당 스페이스(23)의 연결 구멍(threaded bore)(24) 내부로 위쪽으로부터 연결될 수 있는(threaded) 연결 볼트(25)를 위한 입구를 통하여 설치된다. 필터(5)의 프레임(16)이 연결 볼트(25)에 의하여 방해받지 않고 그 위에 설치되도록 연결 볼트(threaded bolt)(25)의 머리는 적절하게 원추형이 된다(countersink). 연결 볼트(25)를 이용하여, 스페이서(23)는 유지 장치의 아래 면에 고정된다. 스페이서(23)의 연결 구멍(24) 내부로, 커버 장치(22)가 스페이서(23)의 아래 면에 고정되도록 연결 볼트(26)가 연결된다(threaded). 상기 커버 장치(22)는 유리하게 원주 방향으로 위쪽으로 연장되는 가장 자리(27)를 가지는 관통된 시트 메탈의 형태가 된다. 스페이서(23)는 각각의 관통된 시트메탈(22) 내부에서 가장 자리(27)의 주변에 설치된다. 연결 볼트(26)의 영역 내에 스페이서(23)의 연결 구멍(24)이 적당한 방법으로 밀봉된다.
전술한 그리드-형태 실링 구조(1)에 있어서, 필터-벤틸레이터-유닛(4)은 클린 룸(6)의 내부로부터 필터(5)와 함께 설치될 수 있다. 유지 장치(10,11)는 모든 수용 입구(3)에 있어서 필터-벤틸레이터-유닛(4)이 아래쪽으로부터 설치될 수 있는 것을 보장한다. 값싼 방법으로 클린 룸 밀봉이 생산되고 설치도록 하기 위하여 유지 장치(10,11)는 간단하고, 값싼 구성 요소를 제공한다. 각각의 필터-벤틸레이터-유닛(4)은 서로 독립적으로 설치될 수 있다. 설치와 분해 과정에서, 필터(5)를 가진 필터-벤틸레이터-유닛(4)은 단지 어떤 범위로만 상승되어야 하고 평평한 유지 장치(10,11)는 위에서 기술한 방법에 따라 각각 유지 레일(2) 위에 설치되고 제거될 수 있다. 이와 같은 방법으로, 그리드-형태의 실링 구조(1)의 위쪽 영역에서 단지 최소한의 구성 높이만이 요구된다.
본 발명은 당연히 명세서 및 도면의 특정한 개시에 제한되지 않고, 첨부된 청구항의 범위 내에서 임의의 변형을 포함한다.

Claims (15)

  1. 클린 룸에 있는 필터-벤틸레이터 유닛을 설치하기 위한 마운팅 시스템에 있어서,
    상기 필터-벤틸레이터 유닛을 위한 수용 입구(openings)를 제공하는 그리드 구조 내에 클린 룸의 실링(ceiling)에 장치되고, 상기 수용 입구는 상기 실링에 평행하도록 연장되며, 상기 필터-벤틸레이터 유닛을 위한 수평 유지 평면을 가지며, 상기 수평 유지 평면의 반대편 평면이 상기 수용 입구를 형성하는 유지 레일; 및
    상기 수용 입구 내로 돌출되도록 하기 위하여 상기 유지 평면 위에 설치되는 수평으로 연장되는 유지 장치를 포함하고,
    상기에서 수용 입구는 필터-벤틸레이터 유닛을 유지하기 위하여 각각 상기 유지 평면의 적어도 두 개의 반대 평면(opposing surfaces) 위에 설치되는 적어도 하나의 상기 유지 장치를 가지는 것을 특징으로 하는 마운팅 시스템.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 유지 장치는 지주(a stay)가 되는 것을 특징으로 하는 마운팅 시스템.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 유지 장치는 적어도 하나의 받침 장치를 가지고, 상기 유지 레일은 적어도 하나의 반대 받침 장치를 가지며, 그리고 상기 적어도 하나의 받침 장치는 상기 적어도 하나의 반대 받침 장치에 기대어 설치되는(rest) 것을 특징으로 하는 마운팅 시스템.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 유지 장치의 받침 장치는 상기 유지 장치의 위쪽 방향으로 연장되는 가장자리가 되는 것을 특징으로 하는 마운팅 시스템.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 반대 받침 장치는 상기 유지 평면으로부터 분리된 지주(a stay)인 것을 특징으로 하는 마운팅 시스템.
  6. 클린 룸에 있는 필터-벤틸레이터 유닛을 설치하기 위한 마운팅 시스템에 있어서,
    상기 필터 벤틸레이터 유닛을 위한 수용 입구를 제공하는 그리드 구조 내 클린 룸의 실링에 설치되고, 상기 필터-벤틸레이터 유닛을 위한 유지 평면을 가지며, 상기 유지 평면의 반대편 평면이 상기 수용 공간을 형성하는 유지 레일; 및
    상기 수용 공간 내부로 돌출되도록 하기 위하여 상기 유지 평면 위에 설치되는 유지 장치를 포함하고,
    상기에서 수용 입구는 필터-벤틸레이터 유닛을 설치하기 위하여 각각 상기 유지 평면의 적어도 두 개의 반대 평면 위에 설치되는 적어도 하나의 유지 장치를가지고, 상기 유지 장치는 지주(stays)가 되며, 상기 유지 장치는 적어도 하나의 받침 장치를 가지며, 상기 유지 레일은 적어도 하나의 반대 받침 장치를 가지며, 상기 적어도 하나의 받침 장치는 적어도 하나의 반대 받침 장치에 기대어 설치되고, 상기 유지 장치의 받침 장치는 상기 유지 장치의 위쪽으로 연장되는 가장 자리가 되며, 상기 반대 받침 장치는 상기 유지 평면으로부터 분리된 지주 장치(a stay member)가 되며, 상기 유지 장치의 받침 장치는 상기 지주 장치의 아래 측면에 인접하도록 된 것을 특징으로 하는 마운팅 시스템.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 받침 장치는 상기 아래 측면과 상기 유지 평면 사이의 거리와 동일한 것을 특징으로 하는 마운팅 시스템.
  8. 청구항 6에 있어서,
    상기 지주 장치는 상기 받침 장치를 위한 적어도 하나의 고정 장치(one securing member)를 가지는 것을 특징으로 하는 마운팅 시스템.
  9. 청구항 8에 있어서,
    상기 고정 장치는 상기 지주 장치의 기울어진 가장 자리가 되고, 상기 기울어진 가장 자리는 자유로운 끝 부분(a free end)이 상기 유지 평면을 향하도록 된 것을 특징으로 하는 마운팅 시스템.
  10. 청구항 1에 있어서,
    상기 유지 장치는 필터-벤틸레이터 유닛을 위한 적어도 하나의 센터링 장치를 가지는 것을 특징으로 하는 마운팅 시스템.
  11. 청구항 10에 있어서,
    상기 적어도 하나의 센터링 장치는 상기 수용 입구 내에 설치되는 것을 특징으로 하는 마운팅 시스템.
  12. 클린룸에 있는 필터-벤틸레이터 유닛을 설치하기 위한 마운팅 시스템에 있어서,
    상기 필터-벤틸레이터 유닛을 위한 수용 입구(openings)를 제공하는 그리드 구조 내에 클린 룸의 실링(ceiling)에 장치되고, 상기 수용 입구는 상기 실링에 평행하도록 연장되며, 그리고 상기 필터-벤틸레이터 유닛을 위한 수평 유지 평면을 가지며, 상기 수평 유지 평면의 반대편 평면이 상기 수용 입구를 형성하는 유지 레일; 및
    상기 수용 입구 내로 돌출되도록 하기 위하여 상기 유지 평면 위에 설치되어 수평으로 연장되는 유지 장치를 포함하고,
    상기에서 수용 입구는 필터-벤틸레이터 유닛을 유지하기 위하여 각각 상기 유지 평면의 적어도 두 개의 반대 평면 위에 설치되는 적어도 하나의 상기 유지 장치를 가지고, 상기 유지 장치는 필터-벤틸레이터 유닛을 위한 적어도 하나의 센터링 장치를 가지고, 상기 센터링 장치는 위쪽으로 향하여 연장되는 웹이 되는 것을 특징으로 하는 마운팅 시스템.
  13. 클린룸에 있는 필터-벤틸레이터 유닛을 설치하기 위한 마운팅 시스템에 있어서,
    상기 필터-벤틸레이터 유닛을 위한 수용 입구(openings)를 제공하는 그리드 구조 내에 클린 룸의 실링에 장치되고, 상기 수용 입구는 상기 실링에 평행하도록 연장되며, 그리고 상기 필터-벤틸레이터 유닛을 위한 수평 유지 평면을 가지며, 상기 수평 유지 평면의 반대편 평면이 상기 수용 입구를 형성하는 유지 레일; 및
    상기 수용 입구 내로 돌출되도록 하기 위하여 상기 유지 평면 위에 설치되는 수평으로 연장되는 유지 장치를 포함하고,
    상기에서 수용 입구는 필터-벤틸레이터 유닛을 유지하기 위하여 각각 상기 유지 평면의 적어도 두 개의 반대 평면 위에 설치되는 적어도 하나의 상기 유지 장치를 가지고, 상기 유지 장치에 부착되는 커버 장치를 추가로 포함하는 마운팅 시스템.
  14. 청구항 1에 있어서,
    프레임을 포함하는 필터가 필터-벤틸레이터 유닛 아래쪽에 설치되고, 상기 프레임은 상기 유지 장치 위에 고정되는 것을 특징으로 하는 마운팅 시스템.
  15. 클린 룸에 있는 필터-벤틸레이터 유닛을 설치하기 위한 마운팅 시스템에 있어서,
    상기 필터 벤틸레이터 유닛을 위한 수용 입구를 제공하는 그리드 구조 내에 클린 룸의 실링에 설치되고, 상기 필터-벤틸레이터 유닛을 위한 유지 평면을 가지며, 상기 유지 평면의 반대편 평면이 상기 수용 입구를 형성하는 유지 레일; 및
    상기 수용 입구 내부로 돌출되도록 하기 위하여 상기 유지 평면 위에 설치되는 유지 장치를 포함하고,
    상기에서 수용 입구는 필터-벤틸레이터 유닛을 설치하기 위하여 각각 상기 유지 평면의 적어도 두 개의 반대 평면 위에 설치되는 적어도 하나의 유지 장치를 가지고, 상기 유지 장치는 지주(stays)가 되며, 상기 유지 장치는 적어도 하나의 받침 장치를 가지며, 상기 유지 레일은 적어도 하나의 반대 받침 장치를 가지며, 상기 적어도 하나의 받침 장치는 상기 적어도 하나의 반대 받침 장치에 고정되고, 상기 반대 받침 장치는 상기 유지 평면으로부터 분리된 지주 장치가 되고, 상기 유지 장치의 받침 장치는 상기 지주 장치의 아래 면과 인접하는 것을 특징으로 마운팅 시스템.
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