KR100429473B1 - 연속 재료의 안내 방법과 열처리 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명의 목적은 연속 재료 처리 장치의 입출구 슬롯의 근방에서, 입출구 슬롯을 통한 열에너지의 유출을 최소화하면서 연속 재료과 기계적 방벽간의 접촉을 가능한한 최대한도로 배제하는 조건을 제공하는데 있다. 본 발명에 따르면, 열처리 장치의 내부 즉 슬롯형 입출구 영역에서 적어도 슬롯의 하한부와 연속 재료 사이에 층류 공기 유동이 발생된다. 공기의 유동은 연속 재료과 층류 유동을 안내하는 수단 사이에 공기 쿠션을 형성하고, 공기 쿠션은 열처리 장치의 입출구의 상하류의 적어도 결정가능한 종방향 영역위에 유지되며, 그후에 입구 슬롯 상류와 출구 슬롯 하류의 공기 쿠션은 분리되어 규제되지 않은 공기로서 열처리 챔버 또는 열처리 챔버의 적절한 장치 내로 흡입된다. 상기 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따르면, 적어도 하나의 구조 유닛이 열처리 장치의 내부에 제공되고, 상기 유닛은 이하의 특징, 즉 연속 재료의 평면(3)에 대향한 구조 유닛의 표면은 비행기 날개의 표면 윤곽 형태의 외향 만곡 윤곽을 가지며; 상기 표면은 재료 반송 평면(3) 상으로 횡방향으로 향해진 노즐 모양 공기 출구 슬릿(6)을 형성하며; 상기 표면은 연속 재료 반송 평면으로부터의 슬롯형 입출구(2) 방향으로의 간격을 소정 간격으로 감소시키며; 상기 표면은 처리 장치(1)의 유입측과 유출측에서 슬롯의 상한부(4)에 의해 한정되는 입출구 슬롯의 폭을 가로질러 그 폭을 지나 연장된다.

Description

연속 재료의 안내 방법과 열처리 장치{A METHOD FOR GUIDING CONTINUOUS MATERIAL, AND THERMAL TREATMENT APPARATUS}

본 발명은 열처리 장치의 입구 슬롯과 출구 슬롯 사이에서 바람직하게는 불투과성 연속 재료, 특히 필름으로 연신가능한 연속 열가소성 재료를 안정적으로 안내하기 위한 방법에 관한 것이다.

본 발명은 또한 열처리 장치의 입출구 슬롯을 형성하기 위해 재료 반송 평면의 상하에 배치되는 수단을 갖는 열처리 장치에 관한 것이다.

연속 재료 예를 들면 필름으로 연신가능한 연속 열가소성 재료를 열처리 장치를 통해 통과시켜야 하는 열처리 공정의 경우에, 유입하는 차가운 공기와 유출하는 가열된 공정 처리 공기로 인해 열처리 장치의 입출구 슬롯에서는 바람직하지 않은 에너지 손실이 발생한다. 이러한 에너지 손실은 입출구 슬롯의 수직 치수와 열처리 장치내로 연속 재료를 도입하거나 열처리 장치 밖으로 연속 재료를 배출하는 속도에 상당히 좌우된다. 에너지 손실은 또한 열처리 장치의 내부와 그 주위 환경간의 지배적인 압력차에 좌우된다. 즉, 열처리 장치 내부에서 발생되는 압력은 주위 압력과 동등하게 되려는 경향이 있으며, 그 결과 입구 슬롯과 출구 슬롯을 통한 뜨거운 공기의 일정한 누출이 발생한다. 이해하겠지만, 에너지 손실은 입출구 슬롯의 크기와 더불어 그리고 재료의 반송 속도의 증가와 더불어 증가한다. 입출구 슬롯의 폭은 연속 재료의 폭과 연속 재료의 목표 폭에 의해 결정되므로, 이들로부터 발생하는 가능 에너지 손실의 상세 사항은 이 시점에서 상세히 다루어지지 않는다. 다수의 그러한 해결책으로부터 알려진 바와 같이 입출구 슬롯의 높이, 즉 수직 치수에 영향을 미치는 것이 가능하다.

예를 들면, 열처리 장치 내부의 적절한 압력 제어 또는 규제를 통해서 예컨대 열처리 장치의 주위 영역에 보다 약간 낮은 압력을 통해서 에너지 손실이 정압력차(the static pressure difference)로 인해 회피될 수 있다. 그러나, 여기서의 결점은 온도가 처리 공정 공기의 온도보다 훨씬 낮은 주변 공기가 장치 내부로 흡입된다는데 있다. 또한, 흡입되는 공기의 양은 다음에 처리 장치를 저압 수준으로 유지하기 위해서 제어된 방식으로 처리 장치로부터 제거되어야 한다. 이와 동시에, 열처리 장치 내부의 열처리 공정이 붕괴되지 않도록 유입하는 비교적 차가운 주위 공기의 온도를 소정 온도 수준으로 상승시키기 위해 에너지를 수용하여야 한다. 예를 들어 폴리에스테르 필름의 처리 시에 필요에 따라 약 240℃의 대응하는 높은 온도에서 에너지의 연속적인 공급은 상당한 에너지 소비를 유발시킬 수 있다.

한편, 반송 속도에 의해 비말동반되는 공기량으로 인해 발생하는 동적 에너지 손실은 처리 챔버 내의 저압에 의해 회피될 수 없다. 그러한 목적을 위한 다른 수단이 요구된다.

한가지 선택 사양은 입출구 슬롯을 가능한한 좁게 하는 것을 포함한다. 그러한 목적을 위해서, 예를 들면 방벽이 처리 장치의 전체 폭을 가로질러 연속 재료의 상하에 장착된다. 이들 방벽은 각종 구조의 현수된 판 또는 플랩(flap) 형태일 수 있다. 방벽은 개방 슬롯의 높이를 감소시킨다. 그러나, 이것은 연속 재료가 연속 재료의 반송 평면에서 안정된 상태로 유지될 정도로만 효과적일 뿐이다. 아주 넓은 연속 재료의 경우에 (무거운 연성 재료에서) 늘어짐(sagging)이 발생하거나 또는 충분하게 인장될 수 없는 아주 얇은 재료의 경우에는 펄럭거림(fluttering)이나 부풀어오름(bulging) 현상이 발생한다.

다음에, 그러한 특징은 갖는 연속 재료는 방벽과 접촉하게 된다. 그러한 접촉은 연속 재료의 손상이나 연속 재료의 찢김을 초래한다. 찢어진 연속 재료는 다시 처리 공정의 중단을 유발해서 바람직하지 않은 결과를 야기한다.

에너지 손실을 회피하는 다른 가능한 방법으로는 에어 록(air lock)을 사용하는 것이다. 그러한 목적을 위해서 연속 재료의 상하에서 발생되고 연속 재료 상으로 다소 수직으로 향해지는 공기 흐름이 유입 또는 유출하는 공기량으로부터 입출구 슬롯을 차폐한다. 여기서의 단점은 차폐 역할을 하는 부가량의 공기는 처리 장치 내로 흡인되는 경우에 처리 장치로부터 다시 재거되어야 한다는데 있다.

연속 재료로부터 공기 장막(curtain)을 인가하기 위해 요구되는 노즐의 간격은 상술한 이유로 충분히 커야 한다. 연속 재료와의 접촉은 어떻게 해서든지 회피되어야 한다. 이것은 효과적인 격리를 달성하기 위해서 충분히 높은 공기 속도가 충분한 체적의 공기와 결합되어야 함을 의미한다. 다음에, 난류는 연속 재료의 평면에서 불리한 영향을 미치며, 이러한 영향은 연속 재료의 펄럭거림을 유발할 수 있다. 재료의 불균일한 통과는 특히 민감한 연속 재료의 경우에 처리 공정의 무결성에 치명적인 영향을 미친다.

본 발명의 목적은 가능한 최대한도로 종래 기술의 단점을 회피하는데 있다. 이와 관련해서, 연속 재료용 처리 장치의 입출구 슬롯의 영역에는 입출구 슬롯을 통한 열 에너지(뜨거운 공기)의 유출을 최소화하면서 연속 재료와 기계적인 장벽간의 접촉을 가능한 최대한도로 배제하는 조건들이 생성되어야 한다. 롤러 위에서 연속 재료를 안내하는 기술적인 해결책은 배제되어야 한다.

도 1은 열처리 장치 내부에 청구항 7 내지 청구항 13에 명기된 특징을 갖는 구조 유닛을 도시한 도면.

※ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

1: 열처리 장치 1.1 : 처리 챔버

2 : 출구 슬롯 3 : 재료 반송 평면

4 : 슬롯의 상한부 4a : 자유 단부

5 : 구조 유닛 5.1 : 가압 챔버

5.2 : 저압 챔버 5.2a : 외부 벽

5a : 공기 안내판 5.3a : 공기 안내판

6 : 공기 출구 노즐 7 : 연속 재료

8 : 공기 쿠션 9 : 귀환 개구부

10 : 도관 11 : 팬

12 : 도관 13 : 공기 체적 제어 요소

14 : 수단 15 : 양방향 화살표

16 : 주위

본 발명에 따르면 독립항인 청구항 1과 청구항 7의 특징들에 의해 문제점이 해결된다. 청구항 1의 특징에 따르면, 열처리 장치의 내부 즉 슬롯 형상의 입출구 영역에서, 적어도 슬롯의 하한부와 연속 재료 사이에 층류 공기 유동이 발생하는 것이 본 발명에 필수적이다. 공기의 유동은 연속 재료과 층류 유동을 안내하는 수단 사이에 공기 쿠션(air cushion)을 제공한다, 이 공기 쿠션은 열처리 장치의 적어도 결정가능한 종방향 영역에 걸쳐 유지되며, 그 후에 입구 슬롯 상류와 출구 슬롯 하류의 공기 쿠션은 분산되어 구속받지 않은 공기로서 열처리 챔버 또는 열처리 챔버 내의 적절한 장치 내로 흡입된다.

본 발명의 또 다른 개선된 방법에 있어서는 연속 재료에 대해 소정의 예각으로 또는 연속 재료의 평면에 대해 평행하게 연속 재료에 대항해서 유동하는 공기 쿠션을 형성하는 공기 유동이 제공된다. 더욱이, 본 발명에 따르면 반송 방향에 대해 횡방향으로 그리고 연속 재료의 폭을 가로질러 공기 쿠션이 형성되고, 공기 쿠션을 결정하는 매개변수는 무한정 가변적이며, 공기 쿠션의 두께는 입출구 슬롯의 개구부의 크기를 최소화하는 역할을 한다.

층류 공기 유동은 연속 재료로부터 멀리 떨어진 쪽에서 비행기의 날개 형상부와 유사한 외향 만곡 윤곽을 갖는 형상부을 따라 이 형상부에 대항해서 공기를 취송함으로써 형성된다. 이 형상부는 연속 재료로부터 멀리 떨어진 쪽에서 공기 흐름이 탈출할 수 없도록 공기 흐름을 안내하는 역할을 한다. 따라서, 연속 재료의 하부면과 상기 형상부의 윤곽 사이에는 일종의 코안다(Coanda) 효과가 발생한다. 비교적 높은 공기 속도 때문에 상기 형상부의 표면을 따라 유동하는 공기 제트(비행기 날개에서의 양력에 필적할만 함)는 연속 재료의 반대면에 대해 저압이 형성될 수 있게 해준다. 결과적으로, 연속 재료는 취송 노즐의 방향으로 흡입된다.

청구항 7의 특징에 따르면, 슬롯의 하부 덮개(covering)는 연속 재료의 폭을 가로질러 연장된 사실상 직사각형 형태의 상자 모양 구조 유닛을 포함하고 이하의 특징을 갖는다. 즉,

- 연속 재료의 평면에 대향한 구조 유닛의 표면은 비행기 날개의 표면 윤곽형태의 외향 만곡 윤곽을 가지며,

- 상기 표면은 재료 반송 평면 상으로 횡방향으로 향해진 노즐 모양 공기 출구 슬릿을 형성하며,

- 상기 표면은 연속 재료 반송 평면으로부터 슬롯형 입출구 방향으로의 간격을 소정 간격으로 감소시키며,

- 상기 표면은 처리 장치의 유입측과 유출측에서, 슬롯의 상부 덮개에 의해 한정되는 입출구 슬롯의 폭을 가로질러 그 폭을 지나 연장된다.

층류 공기 유동을 형성하기 위해서 이 공기 유동은 공기 출구 슬롯을 형성하기 위해 제 1 공기 안내 판의 유동면이 제 2 공기 안내판에 의해 중첩되어진다는 점에서 상술한 표면 윤곽을 따라 출구 슬릿을 경유해서 즉 구조 유닛의 내부에서 안내되는 것이 중요하다. 본 발명에 따르면, 이러한 방식으로 제 1 공기 안내판의 표면과 연속 재료 사이에 공기 쿠션이 형성된다. 유동 표면과 연속 재료 사이에는 장애물이 없기 때문에 유동이 분리될 위험이 없다. 공기 출구 슬릿과 제 1 공기 안내판의 위치와 공기 출구 슬릿으로부터 나오는 공기 유동 속도와 균형을 이루어, 연속 재료는 슬롯의 상부 덮개와 구조 유닛의 제 1 공기 안내판 사이의 한정된 공간에서 유리한 방식으로 안내된다. 처리 장치의 입출구 슬롯의 영역에서는 연속 재료의 펄럭거림 운동, 부풀어오름 및 늘어짐이 방지된다. 이제, 본 발명에 따르면 연속 재료가 손상될 위험이 없이 연속 재료의 평면에 아주 근접되게 슬롯의 상부 덮개를 가져오는 것이 유리한 방식으로 가능하다.

청구항 7에 따른 다른 개선된 특징에 있어서 구조 유닛은 가압 챔버와 흡입 챔버로 세분화된다. 분리된 공기 쿠션 영역에서, 흡입 챔버는 외향 벽에 흡입 개구부를 갖는다. 가압 챔버와 흡입 챔버는 도관을 통해 팬에 연결되며, 팬은 가압 챔버 내에서 과잉 압력을 발생시키고 흡입 챔버 내에서 저압을 발생시킨다. 공기 흐름의 제어는 별도의 공기 공급이 제공되는 경우에 팬의 속도를 조정함으로써 수행될 수 있다. 속도 제어가 제공되는 않는 경우에 공기의 체적은 적절한 제어 요소에 의해 팬의 흡입 유동을 교축(throttling)함으로써 조정될 수 있다.

또한, 구조 유닛은 연속 재료의 평면에 대해 적어도 수직으로 변위 가능하도록 설계된다. 그 결과, 첫번째로 공기 쿠션의 두께가 결정될 수 있고, 두번째로 전체 유닛은 고장 시에 연속 재료의 평면으로부터 빠져 나갈 수 있으므로, 연속 재료와 유닛 자체의 손상이 회피될 수 있다. 취송 노즐의 전체 길이는 자유롭게 선택 가능하다. 공기 쿠션의 형성 중에 발생하는 동적 효과를 기초로 해서 구조 유닛은 연속 재료의 평면의 상하에 배치될 수 있다. 그러나, 유닛은 연속 재료의 평면 아래에 배치되는 것이 바람직한데, 이는 유닛은 고장 시에 상당한 외부 에너지 없이 즉 중력에 의해 하방으로 이동될 수 있어야 하기 때문이다.

연속 재료의 평면 위의 영역에서는 힌지식 플랩 형태의 슬롯 덮개가 보조 동력없이(역시 중력에 의해) 정상 작동 시에 안정적인 위치를 차지할 수 있다. 개방을 위해서 각종의 상이한 기계적 장치(케이블 풀(cable pull), 레버 등)들이 사용될 수 있는데, 이들 장치는 필요한 피봇 운동을 발생시킨다. 이와 관련해서, 가동은 수동, 유압, 또는 기계적으로 수행될 수 있다.

피봇 기구 안으로 내장되며, 재료의 방향으로 자유롭게 굴러가는 장치는 플랩이 충격을 받을 시에 플랩이 재료의 방향으로 자유롭게 굽혀질 수 있게 해준다.

저압과 공기 쿠션을 발생시키기 위해 요구되는 공기의 체적은 처리 장치 및 가능한 한 주위의 공기 균형을 붕괴시키지 않도록, 공기가 재료와 굽힘면 사이의 틈새를 떠남과 동시에 처리 장치의 후방부에서의 공기 흐름이 재차 추출될 수 있다. 결과적으로 폐쇄되고 완전히 독립적인 공기 순환이 실현된다.

상기 추출은 처리 장치의 실제 기능을 방해하지 않고 작동이 신뢰성이 있도록 제공된다. 공기는 재료의 평면에 대해 사실상 직각으로 세워진 흡입 장치에 의해 추출된다. 이러한 방식으로, 상기 영역은 시스템의 기능을 완전히 붕괴시키는 존재할지도 모를 연속 물질의 비교적 작은 입자 또는 기타 오염 물질에 의해 폐색되지 않는다.

이후로는 예시적인 실시예를 참조해서 본 발명을 상세히 설명하기로 한다.

도 1은 상세히 도시되지 않은 열처리 장치(1)의 출구 영역을 도시하고 있다. 참조 번호 "1.1"은 열처리 장치(1)의 내부 공간을 가리키며, 참조 번호 "16"은 열처리 장치(1)의 출구측 주위 영역을 가리킨다.

출구 슬롯(2)은 재료 반송 평면(3)의 폭을 가로질러 처리 장치(1)에 형성된다. 여기서, 재료 반송 평면(3)은 피봇가능한 플랩 형태의 슬롯의 상한부(4)의 자유 단부(4a)와, 반송 평면(3)에 대략 평행하게 이어지는 구조 유닛(5)의 제 1 공기 안내판(5a)의 한 구간 사이의 대략 중앙에 놓여지며, 상기 구간은 슬롯의 하한부를 형성한다.

구조 유닛(5)은 슬롯(4)의 상한부(4)처럼, 제조될 연속 재료(7)의 폭을 가로질러 연장되는 상자 형태로 구성된다. 재료 반송 평면(3)에 대향해서 놓여진 구조 유닛의 면은 제 1 공기 안내 판(5a)을 형성하고, 이 제 1 공기 안내 판은 본 발명에 따르면 비행기 날개 표면 형태의 외향 만곡 윤곽과, 제 1 공기 안내판(5a)의 자유 단부에 중첩되고 이 자유 단부로부터 이격되어 일종의 출구 노즐(6)을 형성하는 제 2 공기 안내 판(5b)을 갖는다. 제 1 공기 안내판(5a)의 외부 윤곽은 이 안내판의 표면과 재료 반송 평면(3) 사이의 간격을 감소시켜, 재료 반송 평면(3)에서 안내되는 연속 재료(7)와 공기 안내판(5a) 사이에 층류 공기 쿠션(8)을 형성하게 하며, 상기 층류 공기 쿠션은 연속 재료가 처리 장치(1)의 내부 공간(1.1)을 떠날 때 연속 재료(7)를 지지한다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 구조 유닛(5)은 가압 챔버(5.1)와 저압 챔버(5.2)로 세분화된다. 공기 출구 노즐(6)은 가압 챔버(5.1)의 일부이다. 열처리 장치(1)의 외측에서는 저압 챔버(5.2)가 수직으로 이어지는 외벽(5.2a)에 수개의 귀환 개구부(9)를 가지며, 이 개구부를 경유해서 분리된 공기 쿠션(8)의 공기는 도관(10)을 경유해서 저압 챔버(5.2)에 연결된 팬(11)의 흡입 작용에 흡입된다.

출구측에서 팬(11)은 도관(12)을 통해 연통 상태에 있으며, 이 도관 내에서 공기 체적 제어 요소(13)는 선택적으로 가압 챔버(5.1)와 통합될 수 있다. 결과적으로, 열처리 장치(1)의 내부(1.1)와는 독립된 폐쇄된 공기 순환이 공기 출구 노즐(6)을 갖는 가압 챔버(5.1)와 귀환 개구부(9), 팬(11) 및 관련 도관(10,12)을 갖는 흡입 챔버(5.2) 사이에 생성되며, 이러한 폐쇄된 공기 순환은 열에너지 장치의 에너지 균형에 악영향을 미치지 않는다.

적절한 규제 수단(14)을 사용해서 구조 유닛(5)은 재료 반송 평면(3)의 양방향 화살표(15) 방향으로 조정가능하며, 이로써 공기 쿠션(8)의 최적의 형성이 영향을 받는다. 대안으로, 열처리 장치(1) 자체의 하부 부분은 양방향 화살표 방향으로 수직으로 변위될 수 있다.

상술한 본원 발명의 방법 및 장치에 따르면, 연속 재료용 처리 장치의 입출구 슬롯의 영역에는 입출구 슬롯을 통한 열 에너지의 유출을 최소화하면서 연속 재료과 기계적인 장벽간의 접촉을 가능한 최대한도로 배제하는 조건들이 생성되는 효과가 있다.

Claims (13)

1. 슬롯형 입구와 슬롯형 출구가 제공된 열처리 챔버 내부에서 열처리를 받게 되는 바람직하게는 불투과성 연속 재료 특히 필름으로 연신가능한 연속적인 열가소성 재료를 안정적으로 안내하기 위한 방법에 있어서,

   한정된 수평 평면에서 슬롯형 입출구의 상하류의 적어도 결정가능한 종방향 영역 위에 연속 재료를 유지하는 힘을 열처리 챔버의 내부 즉 슬롯형 입출구의 영역에 있는 연속 재료 상으로 가하는 것을 특징으로 하는 연속 재료의 안내 방법.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 힘은 층류 공기 유동에 의해 생성되고, 상기 공기 유동은 공기 쿠션을 형성하며, 상기 공기 쿠션은 슬롯형 입구의 상류와 슬롯형 출구의 하류에서 분리되어 규제되지 않은 공기로서 열처리 챔버 내로 흡입되는 것을 특징으로 하는 연속 재료의 안내 방법.
3. 제 2 항에 있어서,

   상기 공기 유동은 연속 재료의 평면에 대해 소정의 예각으로 또는 연속 재료의 평면에 대해 평행하게 연속 재료에 대항해서 유동하는 것을 특징으로 하는 연속 재료의 안내 방법.
4. 제 2 항에 있어서,

   상기 공기 쿠션은 연속 재료의 반송 방향에 대해 횡방향으로, 연속 재료의 폭을 가로질러 형성되는 것을 특징으로 하는 연속 재료의 안내 방법.
5. 제 2 항에 있어서,

   상기 공기 쿠션을 결정하는 매개변수는 무한정 가변적인 것을 특징으로 하는 연속 재료의 안내 방법.
6. 제 2 항에 있어서,

   상기 공기 쿠션의 두께는 입출구 슬롯의 개방을 최소화할 목적으로 변경 가능한 것을 특징으로 하는 연속 재료의 안내 방법.
7. 처리 챔버는 연속 재료용의 슬롯형 입구와 연속 재료용의 슬롯형 출구를 갖고, 슬롯형 입구와 출구의 각각은 재료 반송 평면 위에 배치되고 재료 반송 평면에 대해 조정가능한 슬롯과 재료 반송 평면 아래에 배치되고 재료 반송 평면에 대해 조정가능한 슬롯 덮개로 이루어진, 바람직하게는 불투과성 연속 재료 특히 필름으로 연신가능한 연속적인 열가소성 재료를 위한 열처리 챔버에 있어서,

   슬롯의 적어도 하부 덮개는 연속 재료(7)의 폭을 가로질러 연장되는 상자 모양 구조 유닛(5)을 포함하고,

   - 연속 재료의 평면(3)에 대향한 구조 유닛의 표면은 비행기 날개의 표면 윤곽 형태의 외향 만곡 윤곽을 가지며,

   - 상기 표면은 재료 반송 평면(3) 상으로 횡방향으로 향해진 노즐 모양 공기 출구 슬릿(6)을 형성하며,

   - 상기 표면은 연속 재료 반송 평면으로부터의 슬롯형 입출구(2) 방향으로의 간격을 소정 간격으로 감소시키며,

   - 상기 표면은 처리 장치(1)의 유입측과 유출측에서, 슬롯의 상한부(4)에 의해 한정되는 입출구 슬롯의 폭을 가로질러 그 폭을 지나 연장되는 것을 특징으로 하는 열처리 챔버.
8. 제 7 항에 있어서,

   상기 공기 출구 슬릿(6)은 구조 유닛(5)의 상호 중첩하는 공기 안내판(5a, 5b)에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 열처리 챔버.
9. 제 7 항에 있어서,

   상기 구조 유닛(5)은 가압 챔버(5.1)와 흡입 챔버(5.2)로 세분화되는 것을 특징으로 하는 열처리 챔버.
10. 제 9 항에 있어서,

    상기 흡입 챔버(5.2)는 적어도 분리되는 공기 쿠션(8)의 근방에 흡입 개구부(9)를 갖는 것을 특징으로 하는 열처리 챔버.
11. 제 9 항에 있어서,

    흡입 챔버(5.2)와 가압 챔버(5.1)는 도관(10;12)을 거쳐, 과잉 압력 및 저압을 생성시키는 수단(11)에 작동 연결되는 것을 특징으로 하는 열처리 챔버.
12. 제 11 항에 있어서,

    공기 체적 제어 요소(13)가 가압 도관(12) 내로 합체되는 것을 특징으로 하는 열처리 챔버.
13. 제 7 항에 있어서,

    구조 유닛(5)은 적어도 수직 조정 작동을 수행하기 위한 규제 수단(14)을 갖는 것을 특징으로 하는 열처리 챔버.