KR100426794B1

KR100426794B1 - 실린더 및 위치검출센서

Info

Publication number: KR100426794B1
Application number: KR10-2001-0007540A
Authority: KR
Inventors: 사쿠라이고지; 스즈키야스나가
Original assignee: 에스엠씨 가부시키 가이샤
Priority date: 2000-03-01
Filing date: 2001-02-15
Publication date: 2004-04-14
Also published as: EP1607637B1; EP1132629B8; EP1607637B8; DE60133147T2; EP1607637A1; DE60120009T2; EP1132629A3; TW459107B; KR20010087187A; EP1132629A2; EP1132629B1; DE60120009D1; US6520065B2; CN1311405A; DE60133147D1; CN1201103C; US20010018862A1

Abstract

실린더(10)의 실린더관(14)은 그 수직면(48) 이외에 외주방향을 따라 외주면을 가지며, 외부돌출형의 만곡면(34, 36a, 36b, 38a, 38b, 40), 제 1∼제 3의 모가 깍인 부분(42, 44, 43), 및 만곡면(122, 124)과 모가 깍인 부분(126)으로 형성된 외주면을 갖는 실린더(10)에 장착되는 위치검출센서(100)의 케이싱(102)을 포함함으로써 외표면에 액체가 괴이는 것을 방지하여 위생상의 문제가 해소된다.

Description

실린더 및 위치검출센서{Cylinder and Position Detecting Sensor}

본 발명은 실린더의 외표면에 액체방울이 괴는 것을 방지하여 위생상의 문제를 피할 수 있는 실린더 및 위치검출센서에 관한 것이다.

종래부터 피가공물의 반송 및 위치결정, 또는 여러 종류의 산업기계를 구동시키는 구동수단으로서 유체압실린더가 사용되고 있다. 이 유체압실린더는 예를 들어 소형화, 옵션설정 등의 다기능화에 따른 사용자 각각의 요구에 부응하기 위해 실린더관 및 상기 실린더관에 부설된 스위치를 포함하는 부속품 등이 구비되어 있기 때문에 결과적으로 복잡한 외형을 갖게 된다.

그러나, 상기의 종래기술에 따른 유체압실린더를 식품기계 등에 조립한 경우, 상기 유체압실린더에서는 식품기계에서의 필수조건인 물에 의한 세정작업이나 살균작업 후에 실린더관의 홈 또는 스위치를 장착하기 위한 레일 상의 돌기부 등의 요철부분에 액체방울이 괴기 쉬운 구조로 되어 있다. 이들 요철부분에 액체 등이 굄에 따라 잡균이 번식하게 되고, 식품기계 등의 피가공물인 식품에 잡균이 부착되어 위생상의 문제가 우려되고 있다.

이와 같은 이유에서 부착된 액체가 자연스럽게 방울로 떨어지게 함으로써 실린더관의 외표면에 액체가 괴는 것을 방지할 수 있게 한 위생적인 실린더관에 대한 요구가 커지고 있다.

또 유체압실린더와 마찬가지로 상기 유체압실린더에 부착되어 왕복동작하는 피스톤의 위치를 검출하는 스위치에 대해서도 상기 위생상의 문제가 우려되고 있다.

그러나, 종래기술에 의한 스위치(또는 위치검출센서)는 유체압실린더의 유용성을 위해 스트로크상의 임의의 위치에 설정할 수 있는 것이 바람직하고, 유체압실린더의 소형화에 따라 스위치 자체도 소형화되고 있다. 다른 산업분야에서는 압출재 등의 성형기술이 진보됨에 따라 유체압실린더 본체에 홈을 용이하게 가공할 수 있으며, 스위치의 위치조정기구를 장착하는 방법으로 소형화와 간단한 위치조정을 할 수 있는 나사수단에 의해 유체압실린더 본체에 설치된 레일이나 홈 등에 상기 스위치를 장착하는 방법이 채용되고 있다.

또 실린더관의 외주면에 밴드를 직접 감아 유체압실린더 본체에 스위치를 고정하는 방법 등도 채용되고 있다.

그러나 식품가공기계에 사용되는 유체압실린더에 상기 종래기술에 의한 스위치를 부착하는 경우, 상기 스위치의 복잡한 형상때문에 액체가 잔류하기 때문에 유체압실린더와 마찬 가지로 종래와 같은 위치검출기능을 구비하면서 부착된 액체가 자연스럽게 방울로 떨어질 수 있는 배수성이 높은 스위치가 요구되고 있다.

더구나, 실린더관에 부착되는 일부 스위치에는 피스톤의 위치를 검출할 수 있는 검출위치조정기구가 구비되어 있다. 그러나, 검출위치조정기구가 없는 종래의스위치는 검출위치조정기구의 구비에 따라 스위치 본체가 커지게 되어 소형화 경량화가 어렵게 된다.

본 발명은 수직면 이외에 만곡면(오목한 면)이 형성된 외주와, 외표면에 액체방울이 괴는 것을 방지하여 위생상의 문제를 해결할 수 있도록 모를 깍은 부분을 갖는 실린더관을 포함하는 실린더를 제공하는 것을 목적으로 한다.

또 본 발명은 외부로 오목한 만곡부가 형성된 외주와, 외표면에 액체방울이 괴는 것을 방지하여 위생상의 문제를 해결할 수 있도록 모를 깍은 부분을 갖는 본체를 포함하는 위치검출센서를 제공하는 것을 목적으로 한다.

또 본 발명은 센서본체를 크게하지 않고 소형화 경량화하는 검출위치조정기구를 제공할 수 있는 위치검출센서를 제공하는 것을 목적으로 한다.

또한 본 발명은 실린더관과 커버부재 사이의 결합부위를 통해 외부로부터 액체 등이 진입하는 것을 방지할 수 있는 실린더를 제공하는 것을 목적으로 한다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 실린더의 사시도,

도 2는 도 1에 도시된 실린더의 정면도,

도 3은 도 2의 Ⅲ-Ⅲ선 종단면도,

도 4는 도 3에 도시된 A부의 확대종단면도,

도 5는 비교예에 따른 실린더의 일부확대 종단면도,

도 6은 본 발명의 실시예에 따른 위치검출센서의 사시도,

도 7은 도 6에 도시된 위치검출센서의 정면도,

도 8은 도 6에 도시된 위치검출센서의 평면도,

도 9는 도 8의 Ⅸ-Ⅸ선 종단면도,

도 10은 도 8의 Ⅹ-Ⅹ선 종단면도,

도 11은 도 1에 도시된 실린더에 도 6에 도시된 위치검출센서가 장착된 상태를 나타낸 사시도,

도 12는 본 발명의 제 2실시예에 따른 위치검출센서를 나타낸 평면도,

도 13은 도 12에 도시된 위치검출센서의 커버가 제거된 상태를 나타낸 평면도,

도 14는 도 12의 ⅩⅣ-ⅩⅣ선 종단면도,

도 15는 도 12의 ⅩⅤ-ⅩⅤ선 종단면도,

도 16은 도 12의 ⅩⅥ-ⅩⅥ선 종단면도,

도 17은 도 12의 위치검출센서가 도 1에 도시된 실린더에 장착된 상태를 나타낸 측면도,

도 18은 본 발명의 제 3실시예에 따른 위치검출센서의 평면도,

도 19는 도 18에 도시된 위치검출센서의 커버를 제거한 상태를 나타낸 평면도,

도 20은 도 18의 ⅩⅩ-ⅩⅩ선 종단면도,

도 21은 도 18의 ⅩⅩⅠ-ⅩⅩⅠ선 종단면도,

도 22는 본 발명의 제 4실시예에 따른 위치검출센서의 평면도,

도 23은 도 22의 ⅩⅩⅢ-ⅩⅩⅢ선 종단면도,

도 24는 도 22의 ⅩⅩⅣ-ⅩⅩⅣ선 종단면도.

도 25는 본 발명의 제 5실시예에 따른 위치검출센서가 장착된 실린더의 사시도,

도 26은 도 25에 도시된 위치검출센서의 사시도,

도 27은 도 26에 도시된 위치검출센서의 평면도,

도 28은 도 27의 ⅩⅩⅧ-ⅩⅩⅧ선 종단면도,

도 29는 위치검출센서가 장착된 실린더의 축방향에 따른 일부생략 종단면도,

도 30은 위치검출센서의 검출위치를 조정하기 위한 동작설명도,

도 31은 위치검출센서를 구성하는 검출소자와 마그네트와의 관계를 나타내는설명도,

도 32는 비교예에 의한 검출소자와 마그네트와의 관계를 나타낸 설명도.

상기의 목적을 달성하기 위해 본 발명은 압력유체 출입포트(12a, 12b)를 통해 실린더챔버(22)에 공급되는 압력유체의 작용하에 상기 실린더챔버(22)를 따라 피스톤(24) 및 피스톤로드(26)가 일체로 변위하는 실린더에 있어서, 수직면(48) 이외에 그 주위방향을 따라 외주면이 형성되어 있고, 외부로 만곡된 상면(34), 상기 상면(34)에서 연속하는 한쌍의 경사면(36a, 36b), 상기 경사면(36a, 36b)에서 연속하는 한쌍의 측면(38a, 38b), 및 상기 한쌍의 측면(38a, 38b)에서 연속하는 저면(40)으로 형성된 실린더관(14)을 포함하며, 상기 상면(34)과 상기 한쌍의 경사면(36a, 36b) 사이, 상기 한쌍의 경사면(36a, 36b)과 상기 한쌍의 측면(38a, 38b) 사이, 및 상기 한쌍의 측면(38a, 38b)과 상기 저면(40) 사이에 각각 모가 깍인 부분(42, 44, 46)이 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 의하면 실린더관의 외표면에 부착된 액체를 실린더관의 만곡면 또는 모가 깍인 부분에 의해 자연스럽게 떨어지기 때문에 상기 실린더관의 외표면에 액체방울이 생기지 않아 위생상의 문제를 해결할 수 있다.

또 본 발명은 압력유체 출입포트(12a, 12b)를 통해 실린더챔버(22)에 공급되는 압력유체의 작용하에 상기 실린더챔버(22)를 따라 피스톤(24) 및 피스톤로드(26)가 일체로 변위하는 실린더에 있어서, 실린더관(14); 상기 실린더관(14)의 단부에 연결되어 실린더챔버(22)를 형성하는 커버부재(18); 및 상기 실린더관(14)과 상기 커버부재(18)와의 결합부위에 장착되는 시일부재(62)를 포함하며, 상기 시일부재(62)에는 상기 실린더관(14)의 내주면(66) 또는 상기 커버부재(18)의 외주면에 형성된 환상 돌기부(64)에 의해 압압되는 스퀴즈가 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 의하면 시일부재가 압압되는 부분에 의해 실린더관과 커버부재의 연결부위를 통해 외부로부터 액체 등이 들어오는 것을 확실하게 방지할 수 있다. 따라서 실린더관 내에 들어온 액체 등에 의해 잡균이 번식하지 않아 위생상의 문제를 해소할 수 있다.

또 본 발명은 실린더관(14) 내의 실린더챔버(22)에 수장된 피스톤(24)의 위치를 검출하는 위치검출센서에 있어서, 피스톤(24)에 장착된 마그네트(60)의 자기장를 검지하는 검출소자(108), 및 상기 검출소자(108)를 감싸는 센서본체를 포함하며, 상기 센서본체의 외주면이 외부로 굴곡진 만곡면(122, 124)과 모가 깍인 부분(126)으로 형성된 것을 특징으로 한다.

본 발명에 의하면 센서본체의 외표면에 부착된 액체가 만곡면 및 모가 깍인 부분을 따라 자연스럽게 떨어지기 때문에 상기 센서본체의 외표면에 액체가 괴는 것을 방지할 수 있어 위생상의 문제를 해결할 수 있다.

(실시예)

본 발명에 의한 실린더 및 위치검출센서에 대해 적절한 실시예를 들어 첨부된 도면을 참조하면서 상세히 설명한다.

실린더(10)는 실질적으로 원통형으로 형성되어 있고, 소정 간격을 두고 있는 한쌍의 압력유체 출입포트(12a, 12b)가 설치된 실린더관(14), 상기 실린더관(14)의 일단부에 고착된 헤드커버(16), 및 상기 실린더관(14)의 타단부의 나사구멍에 부착된 커버부재(18)를 포함한다.

또한 상기 실린더관(14)에는 축방향을 따라 관통하는 4개의 장착용 홀부(20a∼20d)가 형성되고, 상기 장착용 홀부(20a∼20d)의 나사부에 미도시된 나사부재를 나입하거나, 상기 장착용 홀부(20a∼20d)에 미도시된 볼트를 삽입함으로써 상기 실린더(10)를 벽면 등에 간단히 장착할 수 있다.

또 실린더(10)는 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 실린더관(14) 내에 헤드커버(16)와 커버부재(18)에 의해 폐쇄된 실린더챔버(22)를 따라 변위하는 피스톤(24), 일단부가 상기 피스톤(24)에 부착되고 타단부가 외부로 노출된 피스톤로드(26), 및 상기 커버부재(18)의 환상 요부에 장착되고 상기 피스톤로드(26)의 외주면을 둘러싸는 홀부(28)가 형성된 스크레이퍼(30)를 갖는다.

또한 상기 한쌍의 압력유체 출입포트(12a, 12b)는 각각 통로(32a, 32b)를 통해 실린더챔버(22)와 연통되도록 설계되어 있다.

도 2에 도시된 바와 같이, 상기 실린더관(14)의 외주면은 주위방향으로 한쌍의 압력유체 출입포트(12a, 12b)가 형성된 상면(34), 상기 상면(34)에서 연속하여 소정 각도로 경사진 한쌍의 경사면(36a, 36b), 상기 경사면(36a, 36b)에서 연속하고 서로 대향하는 한쌍의 측면(38a, 38b), 및 상기 한쌍의 측면(38a, 38b)에서 각각 연속하는 저면(40)를 포함한다.

상기 상면(34)과 경사면(36a, 36b)과의 경계부분에는 각각 소정의 곡률반경으로 되어 있는 제 1의 모가 깍인 부분(42)이 형성되어 있고, 상기 경사면(36a, 36b)과 측면(38a, 38b)과의 경계부분에는 각각 소정의 곡률반경으로 되어 있는 제 2의 모가 깍인 부분(44)이 형성되어 있으며, 상기 측면(38a, 38b)과 저면(40)과의 경계부분에는 각각 소정의 곡률반경으로 되어 있는 제 3의 모가 깍인 부분(46)이 형성되어 있다.

또 실린더관(14)의 외주면을 구성하는 상면(34), 한쌍의 경사면(36a, 36b), 한쌍의 측면(38a, 38b) 및 저면(40)은 각각 소정의 곡률반경으로 되어 있는 외부쪽으로 굴곡된 만곡면(오목한 면)이 형성되어 있다.

이와 같이 실린더관(14)의 외주면을 모두 외부로 굴곡된 만곡면(오목한 면)과 제 1∼제 3의 모가 깍인 부분(42, 44, 46)으로 형성하고, 상기 실린더관(14)의다른 측면을 수직면(실질적으로 연직면: 48)으로 형성함으로써 실린더관(14)의 외표면에 부착된 액체가 자연스럽게 방울로 떨어지도록 설계되어 있다.

즉, 실린더관(14)의 외주면에 액체가 모이게되는 요부가 형성되어 있지 않기 때문에 액체가 실린더관(14)의 외주면에 고이지 않아 잡균이 번식한다는 등의 위생상의 문제를 해소할 수 있다.

도 3에 도시된 바와 같이, 상기 헤드커버(16)는 실린더관(14)의 홀부 내에 체결되어 실린더챔버(22)를 기밀하게 유지하며, 외부로부터 액체 등이 들어오는 것을 방지하는 금속시일로서의 기능을 하도록 형성되어 있다.

상기 커버부재(18)의 내주면에는 환상홈을 통해 로드패킹(50)가 장착되고, 상기 로드패킹(50)에 의해 피스톤로드(26)의 외주면을 봉지함으로써 실린더챔버(22)가 기밀하고 액밀하게 유지된다. 또 상기 커버부재(18)의 내주면에 형성된 환상 요부에는 원통상의 부싱(52)이 장착되고, 상기 커버부재(18)의 단부에 형성된 환상 요부에는 고무제 재료로 몰드된 금속부재(54)를 갖는 스크레이퍼(30)가 장착되어 있다. 상기 스크레이퍼(30)와 커버부재(18)와의 사이에는 피스톤로드(26)의 외주면에 부착된 윤활유의 오일받이로서의 기능을 하는 환상챔버(56)가 형성되어 있다.

피스톤(24)의 외주면에는 피스톤패킹(58)이 환상홈을 통해 장착되고, 피스톤패킹(58)은 실린더챔버(22)의 내벽면에 미끄럼접촉하여 상기 실린더챔버(22)를 일방의 실린더챔버(22a)와 타방의 실린더챔버(22b)로 분할하며, 또한 피스톤(24)의 외주면에는 피스톤패킹(58)에 근접하는 부위에 링상의 마그네트(60)가 장착되어 있다.

실린더관(14)과 커버부재(18)와의 결합부위의 일단부에는 고무 등의 가요성재료로 형성된 환상의 시일부재(62)가 설치되고, 상기 시일부재(62)는 도 4에 도시된 바와 같이, 커버부재(18)에 형성된 환상 돌기부(64)와 실린더관(14)의 내주면(66)과의 좁은 공간에서 부분적으로 압압되도록 장착되어 있다.

특히 주위방향을 따라 그 두께가 실질적으로 일정하게 형성된 환상의 시일부재(62)에는 커버부재(18)의 외주면에 형성된 환상 돌기부(64)와 실린더관(14)의 내주면(66)과의 사이에서 압압되는 스퀴즈(squeeze)가 미리 설치되어 있다. 따라서 실린더관(14)과 커버부재(18)와의 결합부위에 외부로부터 액체 등이 진입하더라도 상기 시일부재(62)의 압압부분(68)에 의해 확실하게 시일되어 실린더관(14)의 내부로 액체 등이 들어가는 것을 방지할 수 있다.

또한 실린더관(14)의 측면에는 도 1에 도시된 바와 같이, 후술하는 위치검출센서(100)를 장착하기 위한 나사홀(70)이 형성되어 있다.

이어서, 본 발명의 제 1실시예에 의한 위치검출센서(100)를 도 6 내지 도 11에 나타낸다.

위치검출센서(100)는 예를 들어 알루미늄합금, 스테인레스 또는 합성수지 등의 재료로 되어 있고 실질적으로 타원형으로 형성된 케이싱(102)과, 에폭시수지 등의 수지제 재료로 형성되고 상기 케이싱(102)의 요부(104)에 장착된 수지부재(106)를 갖는다(도 9 및 도 10 참조). 상기 수지부재(106)의 내부에는 검출소자(108)가 배설된 기판(110)이 매설되고, 상기 기판(110)에는 케이싱(102)의 외부로 노출된리드선(112)의 일단부가 전기적으로 접속되어 있다. 또한 상기 검출소자(108)는 예를 들어 홀소자 또는 자기저항소자 등의 무접점방식의 소자를 사용하는 것이 바람직하다.

상기 케이싱(102)에는 도 9에 도시된 바와 같이, 소정의 간격을 두고 있는 한쌍의 장착용 홀부(114a, 114b)가 형성되어 있고, 상기 장착용 홀부(114a, 114b)에는 육각형의 두부를 갖는 나사부재(116)가 삽입된다. 또한 상기 나사부재(116)의 두부와 케이싱(102)과의 사이에는 장착용 홀부(114a, 114b) 내에 액체 등이 들어가는 것을 방지하기 위한 패킹(118)이 개재되어 있다. 또 케이싱(102)의 저면부에는 타원형의 링부재로 되어 있는 가스킷(120)이 주연부를 따라 장착되어 있고, 상기 가스킷(120)에 의해 실린더(10)의 장착면과 케이싱(102)의 저면부와의 사이의 틈새로 액체 등이 들어가는 것을 방지하게 된다.

케이싱(102)은 소정의 곡률반경(예를 들어, 곡률반경 R이 약 200mm)으로 형성된 외부로 만곡된 상면(122), 상기 상면(122)에 연속하는 타원상의 측면(124), 및 상기 상면(122)와 측면(124)과의 경계부분에 형성되고 소정의 곡률반경(예를 들어, 곡귤반경 R이 3.5mm)으로 형성된 모가 깍인 부분(126)을 포함한다.

또한 가스킷(120)이 장착된 케이싱(102)의 저면부(128)는 실린더(10)의 측면(38b)에 따라 소정의 곡률반경(예를 들어, 곡률반경 R이 약 200mm)으로 되어 있는 곡면으로 형성되어 있다. 상기 케이싱(102)의 저면부(128)는 실린더(10)의 측면에 장착될 장착면으로서 기능을 한다.

본 발명의 실시예에 의한 실린더(10) 및 위치검출센서(100)가 기본적으로 이상과 같이 구성되어 있으며, 이하 그 동작 및 작용효과에 대해 설명한다.

우선, 위치검출센서(100)의 장착용 홀부(114a, 114b)에 나사부재(116)를 나입하고, 상기 나사부재(116)의 일단부를 실린더(10)의 나사홀(70)에 나입함에 따라 실린더(10)의 측면(38b)에 위치검출센서(100)가 장착된다(도 11 참조).

이어서, 미도시된 압력유체 공급원으로부터 일방의 유체압력 출입포트(12a)로 압력유체(예를 들어, 공기)가 공급된다. 상기 일방의 압력유체 출입포트(12a)에 공급된 압력유체는 통로(32a)를 따라 일방의 실린더챔버(22a)로 도입되어 피스톤(24)을 타방의 실린더챔버(22b)쪽으로 압압한다.

압력유체의 작용하에 피스톤(24)이 변위종단 위치에 도달하면, 상기 피스톤(24)에 장착된 마그네트(60)의 자기장이 위치검출센서(100)의 검출소자(108)에 의해 검지되고, 상기 위치검출센서(100)는 기판(110)에 접속된 리드선(112)을 통해 미도시된 콘트롤러 등의 외부기기에 검출신호를 출력한다.

또한 미도시된 절환밸브의 절환작용하에 압력유체의 공급을 일방의 압력유체 출입포트(12a)쪽에서 타방의 압력유체 출입포트(12b)로 절환함으로써 피스톤(24)이 상기와 반대 방향으로 변위하여 초기위치로 복귀한다. 이와 같이 하여 실린더관(14) 내의 피스톤(24)을 실린더챔버(22)를 따라 왕복동작시킬 수 있다.

본 실시예에 의한 실린더(10) 및 상기 실린더(10)에 장착된 위치검출센서(100)를 미도시된 식품가공기계 등에 조립하여 세정작업 등을 하는 경우, 실린더관(14)의 전체 외주면을 외부로 굴곡진 만곡면(오목한 면)과 제 1∼제 3의 모가 깍인 부분(42, 44, 46)으로 형성하고, 위치검출센서(100)의 케이싱(102)을소정의 곡률반경으로 형성된 만곡된 상면(122), 상기 상면(122)에서 연속되는 타원형의 측면(124), 및 상기 상면(122)와 측면(124)과의 경계부분에 형성된 소정의 곡률반경을 갖는 모가 깍인 부분(126)으로 구성함으로써 실린더관(14)과 위치검출센서(100)의 외주면에 부착된 액체가 방울로 떨어지기 쉽기 때문에 상기 실린더관(14) 및 위치검출센서(100)의 외주면에 액체가 괴는 것을 방지할 수 있다.

이와 같이 본 실시예에 의한 실린더(10) 및 위치검출센서(100)는 외표면에 액체가 괴지 않고, 부착된 액체가 자연스럽게 떨어지도록 하는 외형으로 구성함으로써 잡균이 번식하는 것을 방지하여 위생상의 문제를 해결할 수 있다.

본 실시예에 의한 실린더(10)에서는 도 4에 도시된 바와 같이, 커버부재(18)의 외주면에 형성된 환상 돌기부(64)와 실린더관(14)의 내주면(66)과의 사이에서 압압되는 스퀴즈가 설치된 시일부재(62)를 사용하고 있다. 이에 대해 도 5에 도시된 바와 같이, 실린더관(72)과 커버부재(74)와의 결합부위에 단면이 원형인 O링(76)이 장착된 비교예에 의한 실린더(78)에서는, 실린더관(72)과 커버부재(74)와의 결합부위를 통해 상기 O링(76)이 장착되는 부위까지 외부로부터 액체 등이 들어가 상기 액체 등에 의한 잡균이 번식한다는 문제가 있다.

환원하면, 도 5의 비교예에 의한 실린더(78)에 설치된 상기 O링(76)은 실린더챔버 내의 공기가 외부로 새어나가는 것을 방지하는 기능을 할 뿐이고, 실린더관(72)과 커버부재(74)와의 결합부위를 통해 들어온 액체가 다시 O링(76)이 장착된 부위까지 진입할 수 있기 때문에 액체에 의한 잡균이 번식하게 된다.

이에 대해 본 실시예에 의한 실린더(10)에서는 상기 시일부재(62)의 압압부분(68)에 의해 확실하게 시일됨에 따라 실린더관(14)과 커버부재(18)와의 결합부위를 통해 외부로부터 실린더관(14)의 내부쪽으로 액체 등이 들어오는 것을 확실히 방지할 수 있다. 그 결과, 실린더관(14)의 내부에 진입한 액체 등에 기인하여 잡균이 번식하는 것을 방지하며, 이에 따라 위생상의 문제를 피할 수 있다.

제 1 실시예에 의한 위치검출센서(100)에서는 도 9 및 도 10에 도시된 바와 같이, 검출소자(108)를 갖는 기판(110)을 수지재 등으로 몰드한 수지부재(106)가 형성되어 있고, 상기 수지부재(106)는 요부(104) 내의 케이싱(102)과 일체로 결합되어 있다. 따라서 케이싱(102)에 형성된 장착용 홀부(114a, 114b)에 삽입되는 나사부재(116)에 의해 상기 검출소자(108), 기판(110) 및 케이싱(102) 등을 일체로 실린더(10)에 장착할 수 있다.

또 제 1 실시예에 의한 위치검출센서(100)에서는 케이싱(102)의 내부에 액체 등이 들어올 수 있는 틈새가 없기 때문에 온도변화에 의한 호흡작용이 생기지 않아 케이싱(102)의 내부에서 습기 등에 의한 균류나 박테리아 등이 발생하는 것을 방지할 수 있다.

또 제 1 실시예에 의한 위치검출센서(100)에서는 검출위치를 조정하기 위한 기구를 설치할 필요가 없기 때문에 위치검출센서(100)를 소형 경량화할 수 있으며, 케이싱(102)의 표면적을 감소시켜 액체의 잔류총량을 억제할 수 있다는 이점이 있다.

제 1 실시예에 의한 위치검출센서(100)를 사용하지 않는 경우에는 미도시된 시일와셔를 갖는 볼트 등의 폐쇄수단으로 실린더(10)의 측면(38b)에 형성된 나사구멍을 폐쇄할 수 있다.

이어서, 위치검출센서(200)의 제 2 실시예를 도 12 내지 도 17에 나타낸다. 또한 도 6에 도시된 위치검출센서(100)와 동일한 구성요소에는 동일한 참조부호를 붙이고 그 상세한 설명을 생략한다.

제 2 실시예에 의한 위치검출센서(200)는 도 12 및 도 13에 도시된 바와 같이, 실질적으로 평행한 한쌍의 긴 홈(202a, 202b) 및 한쌍의 장착용 홀부(204a, 204b)가 형성된 단면이 직사각형인 케이싱(206), 상기 케이싱(206)의 상부에 장착되는 커버부재(208), 및 상기 케이싱(206)에 커버부재(208)를 고정하는 육각 볼트(210)를 포함한다. 상기 커버부재(208)와 케이싱(206)과의 사이에는 액체 등이 내부로 들어오는 것을 방지하기 위한 가스킷(212)이 개재되어 있다.

상기 케이싱(206)과 커버부재(208)에 의해 폐쇄된 챔버(214)가 형성되고, 상기 챔버(214) 내에는 미도시된 검출소자가 장착된 기판(216)이 설치되어 있다. 상기 기판(216)에는 리드선(112)이 전기적으로 접속되어 있다.

케이싱(206)의 긴 홈(202a, 202b)에는 장착용 나사(218)가 각각 삽입되고, 상기 장착용 나사(218)를 실린더(10)의 일측면에 형성된 나사홀(70)에 삽입함으로써 실린더(10)에 위치검출센서(200)를 장착할 수 있다(도 17 참조). 또한 한쌍의 장착용 나사(218)를 사용함으로써 위치검출센서(200)의 헐거움을 방지하는 기능을 한다.

커버부재(208)의 상면(220) 및 케이싱(206)의 저면(222)은 도 14 및 도 15에 도시된 바와 같이, 소정의 곡률반경(예를 들어, 곡률반경 R이 약 200mm)으로 되어있고, 외부 돌추형 곡면으로 형성되어 있다. 또 상기 커버부재(208)의 상면에서 연속하여 실질적으로 직사각형으로 형성된 주연부(224)에 모가 깍인 부분이 형성되어 있으며, 커버부재(208) 및 케이싱(206)의 사각부도 마찬가지로 모가 깍여 있다.

제 2 실시예에 의한 위치검출센서(200)에서는 도 13에 도시된 바와 같이, 커버부재(208)를 떼어내고 장착용 나사(218)에 체결되는 긴 홈(202a, 202b)을 따라 축방향으로 케이싱(206)을 변위시킴으로써 상기 위치검출센서(200)의 위치를 조정할 수 있다.

또 제 2 실시예에 의한 위치검출센서(200)에서는 실린더(10)의 일측면 또는 장착면에 한쌍의 나사홀을 형성하고, 상기 한쌍의 나사홀에 한쌍의 장착용 나사(218)를 나입함으로써 상기 위치검출센서(200)를 간단하게 장착할 수 있기 때문에 위치조정기능을 유지하면서도 실린더측의 장착면을 간단한 형상으로 할 수있다는 이점이 있다.

또한 이하의 실시예에 의한 위치검출센서의 다른 작용효과는 상술한 위치검출센서(100)와 유사하여 그 상세한 설명은 생략한다.

이어서, 위치검출센서(300)의 제 3 실시예를 도 18 내지 도 21에 나타낸다. 또한 도 12에 도시된 바와 같이, 제 2 실시예에 의한 위치검출센서(200)와 동일한 구성요소에는 동일한 참조부호를 붙히고 그 상세한 설명은 생략한다.

제 3 실시예에 의한 위치검출센서(300)는 중앙부에 축방향을 따라 연재하는 레일(302)이 배설된 단면이 직사각형인 케이싱(304)과, 상기 케이싱(304)의 상부에 장착된 커버부재(306)를 포함한다. 상기 레일(302)에는 축방향을 따라 요부(308)가형성되고, 상기 요부(308)에 삽입되는 원주상의 센서부(310)는 나사부재(312)에 의해 상기 요부(308) 내의 소정 위치에 보류된다. 또한 상기 센서부(310)는 수지제 재료 등으로 몰드된 미도시된 검출소자를 갖는다.

제 2 실시예에 의한 위치검출센서(200)에서는 긴 홈을 따라 케이싱(206)이 이동자재하게 설치되어 있지만, 제 3 실시예에 의한 위치검출센서(300)에서는 장착용 나사(218)에 의해 케이싱(304)을 실린더(10)에 고정하고, 센서부(310)를 레일(302)의 요부에 따라 변위시킴으로써 검출위치를 조정할 수 있다는 특징이 있다.

이 경우, 센서부(310)를 공유함으로써 형상과 규격 등이 다른 여러 실린더(10)에 대응할 수 있는 호환성을 가지며, 유지보수시에 새로운 센서부로 용이하게 교환할 수 있다는 이점이 있다.

또한 커버부재(306)의 상면(220) 및 케이싱(304)의 저면(222)은 제 2 실시예와 마찬가지로 소정의 곡률반경(예를 들어, 곡귤반경 R이 약 200mm)으로 되어 있고, 외부 돌출형으로 형성되어 있다. 또 상기 커버부재(306)의 상면으로부터 연속되는 실질적으로 직사각형으로 형성된 주연부는 모가 깍인 부분(224)이 형성되어 있으며, 커버부재(306) 및 케이싱(304)의 사각부도 마찬가지로 모가 깍여 있다.

이어서, 위치검출센서(400)의 제 4 실시예를 도 22 내지 도 24에 나타낸다. 또한 도 6 및 도 18에 도시된 바와 같이, 제 1 및 제 3 실시예에 의한 위치검출센서(100, 300)와 동일한 구성요소에는 동일한 참조부호를 붙히고 그 상세한 설명은 생략한다.

제 4 실시예에 의한 위치검출센서(400)는 도 23 및 도 24에 도시된 바와 같이, 일체로 형성된 케이싱(402)의 저면부에 축방향을 따라 홈부(404)가 형성되어 있고, 상기 홈부(404) 내에 레일(302) 및 센서부(310)를 장착한다는 특징이 있다.

즉 제 3 실시예에 의한 위치검출센서(300)에서는 실린더체를 케이싱(304)과 커버부재(306)로 분할하여 케이싱(304)에 버커부재(306)를 장착하기 위한 육각볼트(210)와, 실린더(10)의 나사홀에 위치검출센서(300) 자체를 장착하기 위한 장착용 나사(218)가 각각 설치되어 있지만, 제 4 실시예에 의한 위치검출센서(400)에서는 제 1 실시예에 의한 위치검출센서(100)와 마찬가지로 단면이 실질적으로 타원형으로 일체로 형성된 케이싱(402)이 설치되고, 상기 케이싱(402)의 저면부에 형성된 홈부(404)에 제 3 실시예에 의한 위치검출센서(300)에 사용된 레일(302) 및 센서부(310)가 일체로 설치되어 있다는 점이 상이하다.

이 경우, 상기 센서부(310)는 레일(302)의 요부(308)를 따라 변위자재하게 설치되어 있다.

또 위치검출센서(500)의 제 5 실시예를 도 25 내지 도 31에 나타낸다.

이 경우, 상기 피스톤(24)의 외주면에 조립된 마그네트(60)는, 링체의 내주면이 S극(또는 N극)의 자성을 갖고, 링체의 외주면이 N극(또는 S극)의 자성을 갖을 수 있게 피스톤(24)의 반경방향을 따라 자기극을 갖도록 자기화(라디얼 자기화)되어 있다(도 29 및 도 31 참조).

제 5 실시예에 의한 위치검출센서(500)는 도 28에 도시된 바와 같이, 예를 들어 알루미늄합금, 스테인레스 또는 합성수지 등의 재료로 되어 있고 실질적으로원반형으로 형성된 케이싱(502), 에폭시수지 등의 수지제 재료로 형성되고 상기 케이싱(502)의 요부(504)에 장착된 수지부재(506), 및 상기 케이싱(502)의 상면에 장착되어 상기 요부(504)를 폐쇄하는 실질적으로 원반형의 커버부재(507)를 포함한다.

상기 수지부재(506)의 내부에는 검출소자(508)가 배설된 기판이 매설되고, 상기 기판에는 케이싱(502)의 외부로 노출된 리드선(512)의 일단부가 전기적으로 접속되어 있다. 또한 상기 검출소자(508)는 예를 들어 홀소자 또는 자기저항소자 등의 무접점방식의 소자를 사용하는 것이 바람직하다.

상기 케이싱(502) 및 커버부재(507)의 실질적으로 중심부에는 도 28에 도시된 바와 같이, 취부용 홀부(514)가 관통하여 형성되고, 상기 취부용 홀부(514)에는 육각형의 두부를 갖는 나사부재(516)가 삽입된다. 따라서 케이싱(502) 및 커버부재(507)는 실린더(10)의 측면에 나사체결된 상기 나사부재(516)를 해제시킴에 따라 상기 나사부재(516)의 축을 회동중심으로 주위방향을 따라 회동자재하게 설치되어 있다.

또한 상기 나사부재(516)의 두부와 커버부재(507)의 상면과의 사이에는 장착용 홀부(514) 내에 액체 등이 들어가는 것을 방지하기 위한 패킹(518)이 개재되어 있다.

또 케이싱(502)의 저면부에는 주연부를 따라 원형 링부재로 되어 있는 가스킷(520)이 장착되어 있고, 상기 가스킷(520)에 의해 실린더(10)의 장착면과 케이싱(502)의 저면부와의 사이의 틈새로 액체 등이 들어가는 것을 방지하게 된다.

위치검출센서(500)는 도 28에 도시된 바와 같이, 소정의 곡률반경(예를 들어, 곡률반경 R이 약 200mm)으로 형성되고 외부로 만곡된 상면(522), 상기 상면(522)에서 연속하는 원주상의 측면(524), 및 상기 상면(522)과 측면(524)과의 경계부분에 형성되고 소정의 곡률반경(예를 들어, 곡귤반경 R이 1.0mm)을 갖는 면이 깍인 부분(526)을 포함한다.

또한 상기 상면부(522)를 상기 만곡면 대신에 소정의 곡률반경을 갖는 구면으로 형성할 수도 있다.

제 5 실시예에 의한 위치검출센서(500)가 부설된 실린더는 기본적으로 이상과 같이 구성되어 있고, 이하에 그 동작 및 작용효과에 대해 설명한다.

우선, 위치검출센서(500)의 장착용 홀부(514)에 나사부재(516)를 나입하고, 상기 나사부재(516)의 일단부를 실린더(10)의 미도시된 나사홀에 나입함에 따라 실린더(10)의 측면(38b)에 위치검출센서(500)를 장착한다(도 25 참조).

이 경우, 도 29에 도시된 바와 같이, 마그네트(60)의 중심(미도시)을 통과하는 반경외주방향의 연장선 B상에 검출소자(508)가 위치되도록 배설하고, 이 때의 검출소자(508)의 회동위치를 0도로 한다.

이어서, 도 30에 도시된 바와 같이, 위치검출센서(500)의 중심 (O: 나사부재(516)의 축중심)을 회동중심으로 하여 소정 방향으로 회동시키고, 검출센서(508)의 검출위치를 소정 위치로 조정한다. 이 때 위치검출센서(500)를 상기 회동위치 0도에서 180도만큼 주위방향을 따라 회동시켜 회동위치 180도로 함으로써 위치검출센서(500)의 최대 조정량을 위치검출센서(500)의 중심(O)으로부터 검출소자(508)까지의 반경(C)의 2배로 할 수 있다.

계속해서, 미도시된 압력유체 공급원으로부터 일방의 압력유체 출입포트(12a)로 압력유체(예를 들어, 공기)를 공급함에 따라 상기 일방의 압력유체 출입포트(12a)에 공급된 압력유체는 통로(32a)를 따라 일방의 실린더챔버(22a)으로 도입되어 피스톤(24)을 타방의 실린더챔버(22b)쪽으로 압압한다.

압력유체의 작용하에 피스톤(24)이 변위종단 위치에 도달할 때, 상기 피스톤(24)에 장착된 마그네트(60)의 자기장이 위치검출센서(500)의 검출소자(508)에 의해 검지되어 상기 위치검출센서(500)는 기판에 접속된 리드선(512)을 통해 미도시된 콘트롤러 등의 외부기기로 검출신호를 출력한다.

제 5 실시예에 의한 위치검출센서(500)에서는 그 중심(O)을 회동중심으로 하여 검출소자(508)를 주위방향을 따라 회동자재하게 설치함으로써 검출소자(508)의 슬라이드 양에 따라 케이싱(502)을 크게할 필요가 없기 때문에 검출위치조정기구를 설치하더라도 소형 경량화할 수 있다.

또 제 5 실시예에 의한 위치검출센서(500)에서는 도 31에 도시된 바와 같이, 마그네트(60)의 자성을 피스톤(24)의 반경방향(피스톤로드(26)의 축과 직교하는 방향)을 따라 자기화하고, 도 31에 도시된 바와 같이 검출소자(508)의 감지가 용이한방향을 라디얼방향으로 설정함으로써 상기 검출소자(508)의 회동각도가 변화하더라도 마그네트(60)로부터 발생하는 자기장을 확실하게 검지할 수 있다는 효과가 있다.

도 32에, 피스톤로드(26)의 축방향을 따라 마그네트(600)의 자극을 자기화하여 검출소자(602)를 피스톤로드(26)의 축과 실질적으로 평행(즉, 화살표 D방향)하게 변위시킬 수 있도록 한 비교예가 도시되어 있다.

상기 비교예에서는 자력이 너무 강하면(또는 검출소자(602)의 검지감도가 너무 큰 경우), 검출소자(602)가 다수 발생하는 각 자력의 피크값을 각각 검출하기 위하여 상기 검출소자(602)가 오작동하여 여러회 온상태가 된다는 문제점이 있다.

이에 대해, 제 5 실시예에 의한 위치검출센서(500)에서는 도 31에 도시된 바와 같이, 그 중심(O)을 회동중심으로 하여 검출소자(508)를 주위방향을 따라 회동자재하게 설치하고, 마그네트(60)의 자극을 라디얼방향으로 자기화하여 라디얼방향을 따라 자기장을 발생시킴으로써 자력의 피크를 실질적으로 한 피크로서 검지할 수 있고, 자력의 강도, 검출소자(508)의 검지감도에 영향을 받지 않는다는 이점이 있다. 환원하면, 제 5 실시예에 의한 위치검출센서(500)에서는 자력과 검지감도를 폭 넓게 설정할 수 있다.

또한 피스톤로드(26)의 축방향과 실질적으로 평행하게 자극이 자기화된 마그네트(600)의 자력을 제 5 실시예에 의한 위치검출센서(500)에 의해 검지한 경우, 위치검출센서(500)의 회동위치에 의해 자력을 검지하기 곤란한 경우가 있다. 특히, 검출소자(508)의 회동위치가 0도 또는 180도인 경우에는 자력을 검지할 수 있지만,예를 들어 검출소자(508)의 회동위치가 약 90도인 경우에는 자력을 검지하기 곤란하다.

제 5 실시예에 의한 위치검출센서(500)에서는 도 28에 도시된 바와 같이, 검출소자(508)가 배설된 기판을 수지재 등으로 몰드한 수지부재(506)가 형성되고, 상기 수지부재(506)를 케이싱(502)과 커버부재(507)로 일체로 피복되도록 설치되어 있다.

따라서 제 5 실시예의 의한 위치검출센서(500)에서는 케이싱(502)의 내부에 액체 등이 들어갈 수 있는 틈새가 형성되지 않기 때문에 온도변화에 의한 호흡작용이 없어 케이싱(502)의 내부에서 습기 등에 기인하여 균류나 박테리아 등이 발생하는 것을 우려할 필요가 없다.

또 케이싱(502) 및 커버부재(507)에 형성된 장착용 홀부(514)에 삽입되는 나사부재(516)에 의해 상기 검출소자(508), 미도시된 기판, 커버부재(507) 및 케이싱(502) 등을 일체로 실린더(10)에 장착할 수 있다는 이점이 있다.

제 5 실시예에 의한 위치검출센서(500)에서는 케이싱(502) 및 커버부재(507)의 표면적을 감소시켜 액체의 잔류총량을 억제할 수 있다는 이점이 있다.

제 5 실시예에 의한 위치검출센서(500)를 사용하지 않는 경우에는 미도시된 시일와셔를 갖는 볼트 등의 폐쇄수단에 의해 실린더(10)의 측면(38b)에 형성된 나사구멍을 폐쇄할 수 있다.

또한 본 발명의 제 1 내지 제 5 실시예에 의한 위치검출센서(100, 200, 300, 400 및 500)가 실린더(10)에 장착된 경우를 예시하여 설명하였지만, 이에 한정되는것은 아니며, 미도시된 선형액추에이터 등의 여러 유체압기기, 전동액추에이터 등에도 적용할 수 있다.

실린더 및 위치검출센서의 외표면에 부착된 액체가 상기 실린더 및 위치검출센서에 형성된 만곡면 및 모가 깍인 부분을 따라 자연스럽게 떨어지기 때문에 상기 실린더 및 위치검출센서의 외표면에 액체가 괴는 것을 방지할 수 있어 위생상의 문제를 해결할 수 있다.

Claims

압력유체출입포트(12a, 12b)를 통해 실린더챔버(22)에 공급되는 압력유체의 작용하에 상기 실린더챔버(22)를 따라 피스톤(24) 및 피스톤로드(26)가 일체로 변위하는 실린더에 있어서,

실린더관(14)과,

상기 실린더관(14)의 단부에 연결되는 것에 의하여, 실린더챔버(22)를 형성하는 커버부재와,

상기 실린더관(14)과 상기 커버부재와의 결합부위에 장착되는 시일부재(62)를 구비하고, 상기 시일부재(62)에는 상기 실린더관(14)의 내주면(66)과 상기 커버부재의 외주면에 형성된 환상 돌기부(64)에 의해 압압되는 스퀴즈가 설치되고,

수직면(48)을 제외한 상기 실린더관(14)의 주위방향을 따라서 형성된 외주면은, 외부를 향해서 오목형상인 만곡면으로 이루어지는 상면(34)과, 상기 상면(34)에 연속하는 한 쌍의 경사면(36a, 36b)과, 상기 경사면(36a, 36b)에 연속하는 한 쌍의 측면(38a, 38b)과, 상기 측면(38a, 38b)에 연속하는 저면을 포함하며,

상기 상면(34)과 한 쌍의 경사면(36a, 36b)과의 사이, 상기 경사면(36a, 36b)과 측면(38a, 38b)과의 사이, 및 한 쌍의 측면(38a, 38b)과, 저면(40)과의 사이에는 각각 모가 깎인 부분(42, 44, 46)이 형성되고,

상기 상면(34), 한 쌍의 경사면(36a, 36b), 한 쌍의 측면(38a, 38b), 및 저면(40)은 각각 소정의 곡률반경으로 이루어지는 외부를 향해서 오목형상의 만곡면에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 실린더.
삭제
실린더관(14) 내의 실린더챔버(22)에 수장된 피스톤(24)의 위치를 검출하는 위치검출센서에 있어서,

피스톤(24)에 장착된 마그네트(60)의 자기장을 검지하는 검출소자(108), 및 상기 검출소자(108)를 감싸는 센서본체를 포함하고,

상기 센서본체는 실린더(10)의 장착면에 실질적으로 직교하는 방향으로 장착용 홀부(114a, 114b)가 관통 형성되어 있는 케이싱(102), 및 상기 케이싱(102)의 요부(104) 내에 일체로 장착되어 상기 검출소자(108)가 몰드되어 있는 수지부재(106)를 포함하며.

상기 센서본체의 외주면이 외부로 굴곡진 만곡면(122, 124)과 모가 깍인 부분(126)으로 형성된 것을 특징으로 하는 위치검출센서.
삭제
제 3항에 있어서, 상기 실린더(10)의 상기 센서본체의 장착면에 액체의 진입을 방지하기 위해 장착된 시일수단(120)이 또한 포함되는 것을 특징으로 하는 위치검출센서.
제 3항에 있어서, 상기 센서본체를 상기 실린더(10)의 측면에 장착하기 위한 장착용 홀부(114, 114b)에 나입되는 나사부재(116)를 또한 포함하며, 상기 나사부재(116)의 두부에는 상기 장착용 홀부(114a, 114b)로 액체가 들어오는 것을 방지하기 위한 시일부재(118)가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 위치검출센서.
제 3항에 있어서, 상기 센서본체는 케이싱(206)과, 상기 케이싱(206)에 착탈자재하게 장착된 커버부재(208)를 가지며, 상기 케이싱(206)에는 실린더(10)의 측면으로 나입되는 나사부재(218)에 의해 체결되는 긴 홈(202a, 202b)이 형성되어 있고, 상기 케이싱(206)은 상기 긴 홈(202a, 202b)을 따라 변위자재하게 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 위치검출센서.
제 3항에 있어서, 상기 센서본체는 케이싱(304)과, 상기 케이싱(304)에 착탈자재하게 장착된 커버부재(306)를 가지며, 상기 케이싱(304)과 상기 커버부재(306)에 의해 폐쇄되는 챔버 내에는 레일부재(302)가 고정되고, 검출소자를 포함하는 센서부(310)가 상기 레일부재(302)의 축방향으로 연재하는 요부(308)를 따라 변위자재하게 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 위치검출센서.
제 3항에 있어서, 상기 센서본체는 실린더(10)의 장착면에 실질적으로 직교하는 방향으로 장착용 홀부가 관통하여 형성된 케이싱(402),

상기 케이싱(402)의 홈부(404)에 장착된 레일부재(302); 및

검출소자가 상기 레일부재(302)의 축방향으로 연재하는 요부(308)를 따라 변위자재하게 설치된 센서부(310)를 포함하는 것을 특징으로 하는 위치검출센서.
실린더관 내의 실린더챔버에 장착된 피스톤의 위치를 검출하는 위치검출센서에 있어서,

피스톤(24)에 장착된 마그네트(60)의 자기장을 검출하는 검출소자(508);

상기 검출소자(508)를 둘러싸는 센서본체; 및

상기 센서본체의 중심을 회동중심으로 하여 상기 검출소자(508)의 검출위치를 조정하는 검출위치조정기구를 포함하며,

상기 마그네트(60)는 상기 링부재를 라디얼방향으로 자기화함으로써 상기 링부재의 외주면과 내주면에 자극을 형성하도록 상기 피스톤(24)에 조립된 링부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 위치검출센서.
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제 10항에 있어서, 상기 센서본체는 실질적으로 원반형으로 형성된 케이싱(502), 상기 케이싱(502)에 형성된 요부(504)를 폐쇄하는 실질적으로 원반형의 커버부재(507), 및 상기 케이싱(502)과 상기 커버부재(507)에 형성된 장착용 홀부(514)에 삽입되는 나사부재(516)를 포함하며,

상기 케이싱(502)과 상기 커버부재(507)는 상기 나사부재(516)의 축방향을따라 일체로 회동자재하는 것을 특징으로 하는 위치검출센서.
제 12항에 있어서, 상기 검출소자(508)와 기판은 상기 케이싱(502)에 형성된 환상 요부(504) 내에 수지재로 몰드된 수지부재(506)처럼 장착되고, 상기 검출소자(508)는 상기 케이싱(502)과 일체로 원주방향을 따라 회동자재한 것을 특징으로 하는 위치검출센서.
제 10항에 있어서, 상기 센서본체는 외부로 굴곡된 만곡면(522, 524) 또는 구면으로 형성된 외주면과, 모가 깍인 부분(526)을 갖는 것을 특징으로 하는 위치검출센서.
제 12항에 있어서, 상기 커버부재(507)와 상기 나사부재(516)의 두부 사이에 개재되어 상기 장착용 홀부(514) 내로 액체 등이 들어가는 것을 방지하는 시일부재(518)를 또한 포함하는 것을 특징으로 하는 위치검출센서.
제 12항에 있어서, 상기 케이싱(502)의 저면에 장착되어 상기 실린더(10)의 장착면의 액밀성을 유지하는 시일부재(520)를 또한 포함하는 것을 특징으로 하는 위치검출센서.