KR100425682B1 - 공간 광변조 어레이 제조방법 및 이를 이용한 레이저 표시장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 공간 광 변조 어레이 제조방법 및 이를 이용한 레이저 표시장치에 관한 것으로, 종래 공간 광 변조기는 음파를 이용한 광을 변조시킴으로써, 음파를 특정한 영역에만 진행하도록 한정할 수 없어 어레이 구성을 할 수 없는 문제점이 있었다. 이와 같은 문제점을 감안한 본 발명은 일정한 폭을 가지며, 인접한 영역과는 분극의 방향이 180도 차이가 나는 복수의 분극영역으로 분할되는 강유전체 기판과; 상기 복수의 분극영역의 상하측에 대향하도록 접하여, 그 하부의 분극영역에 전기장을 인가할 수 있는 복수의 픽셀전극으로 구성되는 공간 광 변조 어레이에 있어서 분극이 일정방향으로만 형성된 강유전체 기판과 상기 강유전체 기판의 상하측에 상호 대응하는 복수의 전극을 형성하는 단계와; 상기 복수의 전극에 전압을 인가하여 그 전극에 접한 강유전체 기판의 분극을 역전시키는 단계와; 상기 전극을 제거하고 다시 복수의 분극영역의 상하측에 대향하도록 위치하는 복수의 픽셀전극을 형성하는 단계로 이루어지는 제조방법을 통해 어레이 형태로 제조하고, 그 제조된 공간 광 변조 어레이를 레이저 디스플레이에 적용한다. 상기 공간 광변조 어레이를 이용한 레이저 레이저 디스플레이는 기계적인 구동부를 가지지 않아 그 신뢰성을 향상시키는 효과가 있다.

Description

공간 광변조 어레이 제조방법 및 이를 이용한 레이저 표시장치{AN SPATIAL LIGHT MODULATION ARRAY MANUFACTURING METHOD AND LASER DISPLAY USING BY IT}

본 발명은 공간 광변조 어레이 제조방법 및 이를 이용한 레이저 표시장치에 관한 것으로, 특히 전기장에 의한 브래그 격자를 형성하고, 그 브래그 격자에 의한 레이저광의 변조를 통해 영상을 표시할 수 있는 공간 광변조 어레이 제조방법 및 이를 이용한 레이저 표시장치에 관한 것이다.

일반적으로, 광 신호처리는 많은 데이타 양과 실시간 처리가 불가능한 기존의 디지탈 정보처리와는 달리 고속성과 병렬처리 능력, 대용량의 정보처리의 장점을 지니고 있으며, 공간 광 변조이론을 이용하여 이진위상 필터 설계 및 제작, 광 논리게이트, 광 증폭기 등과 영상처리 기법, 광 소자, 광 변조기 등의 연구가 진행되고 있다. 이중 공간 광 변조기는 광메모리, 광인터커넥션, 홀로그램 등의 분야에 사용되며, 이를 이용한 표시장치의 개발 연구가 진행되고 있다.

상기와 같은 공간 광 변조기는 압전체내에 브래그 격자(Bragg Grating)를 형성하여, 그 격자의 주기에 따라 입사되는 광을 회절시켜 경로차이를 발생시키게 되며, 이와 같이 브래그 격자를 사용하는 종래 공간 광 변조기는 음향광학 효과(acoustooptic effect)를 사용하는 것 또는 자기를 이용하는 것이 있으며, 이중 종래 음향광학 효과를 사용하는 공간 광 변조기를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

도1은 종래 음향광학 효과를 사용하는 공간 광 변조기의 모식도로서, 이에도시한 바와 같이 압전체(piezoelectric material) 기판(1)과; 상기 압전체 기판(1)의 일측면에 부착되어 인가되는 전기에너지를 음향에너지로 변환하여 상기 압전체 기판(1)의 대향하는 면으로 음파를 발생시켜, 상기 압전체 기판(1)에 브래그 격자를 발생시키는 트랜스듀서(transducer,2)로 구성된다.

이하, 상기와 같이 구성된 종래 음향광학 효과를 사용하는 공간 광 변조기를 좀 더 상세히 설명한다.

먼저, 압전체 기판(1)의 일면에 트랜스듀서(2)를 부착하고, 그 트랜스듀서(2)에 전압을 인가하면, 그 트랜스듀서(2)는 인가되는 전기에너지를 음향에너지로 변환한다.

이와 같이 발생하는 음향에너지는 상기 트랜스듀서(2)가 부착된 압전체 기판(1)의 일면으로 부터 그 면과 마주하는 압전체 기판(1)의 다른 면의 방향으로 진행하는 음파의 형태로 나타난다.

상기 음파의 진행에 의해 상기 압전체 기판(1)의 내에는 브래그 격자가 형성되며, 이 브래그 격자의 격자 주기는 상기 트랜스듀서(2)에 인가하는 전기에너지에 따라 변화하게 된다.

상기와 같은 상태에서 상기 음파가 진행하는 방향과 수직인 방향으로 상기 압전체 기판(1)에 레이저광을 조사하면, 상기 브래그 격자의 주기에 반비례하는 각도로 광의 회절이 발생한다. 이와 같이 브래그 격자를 통해 회절되는 현상을 특별히 브래그 회절(bragg diffraction)이라고 칭한다.

상기 음향광학 효과를 이용한 공간 광 변조기는 인가하는 전압의 주파수를변경하면, 트랜스듀서(2)에서 발생하는 음파의 주파수가 변경되고 이에 따라 상기 압전체 기판(1) 내에서 발생하는 브래그 격자의 주기가 변경되어 압전체 기판(1) 내에 입사된 광의 회절각이 변하게 된다.

또한, 상기 트랜스듀서(2)에 인가되는 전압의 세기에 따라 음파의 세기가 변화되며, 이때 회절되는 광의 회절효율이 변하게 된다.

상기의 원리를 이용하여 광을 회절시키는 공간 광 변조기는 발생된 음파가 원하는 영역에만 국한되어 진행하도록 할 수 없고, 압전체 기판(1)의 전체 영역에서 일정한 방향으로 진행되도록 함으로써, 공간 광 변조기를 어레이 형태로 형성할 수 없는 단점이 있다.

도2는 종래 레이저 표시장치의 구성도로서, 이에 도시한 바와 같이 적색, 녹색, 청색의 레이저를 각각 인가받아 광량을 변조시켜 출력하는 공간 광 변조기(21~23)와; 상기 공간 광 변조기(21~23) 각각의 출력을 반사시키는 반사경(24~26)과; 상기 반사경(24~26)의 위치를 변경하는 스캐닝부(27)와; 상기 반사경(24~26)에서 반사된 광을 화면에 표시하는 집속렌즈(28)로 구성된다.

이하, 상기와 같은 종래 레이저 표시장치의 동작을 상세히 설명한다.

먼저, 각각 적색, 녹색, 청색을 나타내는 단파장의 레이저를 통해 발진된 광이 상기 설명한 바와 같은 음향광학 효과를 이용한 공간 광 변조기(21~23)를 통해 변조된다.

이때, 변조되는 각 단파장 레이저는 표시하고자하는 화면에 따라 각각 그 강도가 조절되며, 상기 3개의 단파장은 하나의 픽셀을 구성하여 그 변조된 레이저 광의 광량에 따라 원하는 픽셀의 휘도 및 색상을 결정하게 된다.

그 다음, 상기 공간 광 변조기(21~23)를 통해 변조된 광은 공간 광 변조기(21~23)에 각각 대응하는 반사경(24~26)을 통해 반사되어 집속렌즈(28)를 통해 화면상에 표시된다.

이와 같이 표시되는 영상은 상기 반사경(24~26)의 각도를 조절하는 스캐닝부(27)를 통해 화면상에서 스캐닝되어 화면을 표시하게 된다.

이와 같은 레이저 표시장치는 최대 6백인치까지 비디오 영상을 디스플레이 할 수 있으며, 레이저의 고유 특성인 장거리 투사능력과 레이저 빔의 고밀도 특성에 의해 고선명, 고화질의 대화면 출력이 가능해지며, 색구현 영역이 매우 넓은 특징을 지니고 있다.

그러나, 현재 광원의 소형화 및 적절한 광변조기의 개발이 완성되지 못하고 있기 때문에 실용화되지 못하고 있다.

또한, 회절각이 적은 광변조기를 사용하기 때문에 시스템이 커지고 가격 또한 고가인 문제점이 있으며, 상기 반사경(24~26)을 구동하는 스캐닝부(27)의 동작은 기계적인 동작이며, 이 동작의 신뢰성이 높지 못해 아직까지는 해결해야 할 과제들이 많은 실정이다.

상기한 바와 같이 종래 공간 광 변조기는 음파를 이용한 광을 변조시킴으로써, 음파를 특정한 영역에만 진행하도록 한정할 수 없어 어레이 구성을 할 수 없는 문제점이 있으며, 그 특성상 회절각이 상대적으로 작아 시스템에 적용할 경우 그특성이 열화되는 문제점이 있었다.

또한, 상기 종래 공간 광 변조기를 이용하는 레이저 표시장치는 적색, 녹색, 청색을 각각 나타내는 레이저광을 공간 광 변조기를 이용하여 변조하고 이를 반사각을 변경할 수 있는 복수의 반사경을 통해 반사시켜 집속렌즈를 통해 화면상에 표시함으로써, 회절각이 적은 음파를 이용한 공간 광 변조기의 회절각이 작은 특성에 기인하여 시스템의 크기가 상대적으로 커지는 문제점과 아울러 상기 반사경의 반사각을 변경하는 장치의 기계적인 신뢰성의 저하로 인해 정확한 화면표시의 신뢰성이 저하되는 문제점이 있었다.

이와 같은 문제점을 감안한 본 발명은 하나의 기판 상에서 각 부분마다 광의 회절특성을 제어할 수 있는 공간 광 변조 어레이 제조방법과, 그 어레이 형태의 공간 광 변조기를 이용하여 기계적인 신뢰성에 관계없이 화면을 표시할 수 있는 레이저 표시장치를 제공함에 그 목적이 있다.

도1은 종래 음향광학 효과를 사용하는 공간 광 변조기의 모식도.

도2는 종래 레이저 표시장치의 구성도.

도3a 내지 도3c는 본 발명에 적용되는 회절원리를 보인 모식 단면도.

도4a 내지 도4c는 본 발명 공간 광 변조 어레이의 제조공정 수순단면도.

도5는 본 발명 공간 광 변조 어레이의 구조 및 광의 회절을 보인 모식도.

도6은 도5에 도시한 각 전극의 상태에 따른 강유전체 기판의 굴절율 분포를 보인 그래프도.

도7은 본 발명 레이저 표시장치의 구성도.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*

31:강유전체 기판 32,P_k-1, P_k, P_k+1:전극

71:광원 72:렌즈

73:공간 광 변조 어레이 74:차단부

75:집속렌즈 76:스캐너

77:스크린

상기와 같은 목적은 일정한 폭을 가지며, 인접한 영역과는 분극의 방향이 180도 차이가 나는 복수의 분극영역으로 분할되는 강유전체 기판과; 상기 복수의 분극영역의 상하측에 대향하도록 접하여, 그 하부의 분극영역에 전기장을 인가할 수 있는 복수의 픽셀전극으로 구성되는 공간 광 변조 어레이를, 자발 분극이 형성된 강유전체 기판을 준비하는 단계와; 상기 강유전체 기판의 상하측에 상호 대응하는 복수의 전극을 형성하는 단계와; 상기 복수의 전극에 전압을 인가하여 그 전극에 접한 강유전체 기판의 분극을 역전시키는 단계와; 상기 전극을 제거하고, 다시 복수의 분극영역의 상하측에 대향하도록 위치하는 복수의 픽셀전극을 형성하는 단계로 이루어지는 제조방법을 통해 제조하고, 그 제조된 공간 광 변조 어레이를 이용하여 기계적인 구동부를 사용하지 않는 레이저 표시장치에 적용함으로써 달성되는 것으로, 이와 같은 본 발명을 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

도3a 내지 도3c는 본 발명에 적용되는 분극의 원리를 보인 단면모식도로서, 이에 도시한 바와 같이 큐리 온도(curie temperature)이하에서 자발분극(spontaneous polarization)을 가지는 강유전체 기판(31)을 준비하고, 그 강유전체 기판(31)의 상하면에 대응하는 전극(32)을 그 전극(32)의 폭과, 각 전극(32)의 이격거리가 동일하도록 반복적으로 형성하는 단계(도3a)와; 상기 전극(32)에 전압을 인가하여 상기 강유전체 기판(31)에 전계를 인가함으로써, 상기 전극(32)이 형성된 위치의 강유전체 기판(31)의 자발 분극을 역전시키는 단계(도3b)와; 상기 전극(32)을 모두 제거하고, 상기 강유전체 기판(31)의 상하측 전면에 전극(33)을 형성하는 단계(도3c)로 구성된다.

이하, 상기와 같은 본 발명의 원리를 좀더 상세히 설명한다.

먼저, 일반적으로 강유전체는 큐리온도(Curie temperature) 이하에서는 자발적인 분극을 가지고 있다.

이와 같은 자발적인 분극은 전기장에 의해 역전 가능하며, 도3b에서와 같이 주기적인 전극(32) 패턴을 형성하고, 그 전극(32)에 전압을 인가하면, 그 전극(32)의 영역에 대응하는 강유전체 기판(31) 영역에서는 상기 자발분극과 반대되는 역전된 분극이 발생한다.

상기의 방법으로 강유전체 기판(31) 내에서 분극의 방향이 서로다른 영역을 주기적으로 형성할 수 있다.

이와 같은 상태에서 상기 분극방향과 수직인 영역으로 광을 조사하면 굴절율의 변화가 없기 때문에 광은 직진하여 그대로 투과된다.

그러나, 상기 전극(32)을 제거하고, 상기 강유전체 기판(31)의 상하측 전면에 전극(33)을 형성하고, 그 전극(33)에 전압을 인가하여 강유전체 기판(31)에 전기장을 가해주면 전기장에 비례하여 강유전체 기판(31)의 각 영역의 굴절율을 선형적으로 변화하게 된다.

즉, 자발 분극이 형성된 영역과 자발분극이 역전된 영역에서 선형 전기광학 효과는 반대방향으로 일어나게 된다.

다시 말해서 전기장의 인가에 의해 주기적인 굴절율의 분포를 가지는 격자를 형성할 수 있게 된다.

이와 같이 상기 전극(33)에 전압이 인가되어, 강유전체 기판(31)에 전기장이 인가되는 상태에서 그 전기장에 수직인 방향으로 광을 입사시키면 격자의 주기에 반비례하는 각도로 광이 회절하고, 다시 전기장을 제거하면 광이 회절없이 직진하여 그대로 투과된다.

이와 같은 원리를 이용한 본 발명 공간 광 변조 어레이의 구조 및 그 제조방법을 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

도4a 내지 도4c는 본 발명 공간 광 변조 어레이의 제조공정 수순단면도로서, 이에 도시한 바와 같이 일정한 방향으로 자발 분극이 형성된 강유전체 기판(31)의 상하부의 대응하는 위치에 그 폭과 상호 이격거리가 동일하게 되도록 복수의 전극(32)을 형성하는 단계(도4a)와; 상기 전극(32)에 전압을 인가하여 상기 전극(32)이 위치하는 부분의 강유전체 기판(31)의 분극방향을 역전시키는 단계(도4b)와; 상기 전극(32)을 제거하고, 상기 강유전체 기판(31)의 상하부의 대향하는 위치에 각각 독립적인 전압의 인가가 가능한 전극(P_k-1, P_k, P_k+1)을 형성하는 단계(도4c)로 구성된다.

이하, 상기와 같은 본 발명 공간 광 변조 어레이의 제조공정을 좀 더 상세히 설명한다.

먼저, 큐리 온도이하에서 하측에서 상부측으로의 자발분극을 가지는 강유전체 기판(31)을 준비한다.

그 다음, 상기 강유전체 기판(31)의 상부와 하부에 금속을 증착하고, 그 증착된 금속을 패터닝하여 그 강유전체 기판(31)의 상부와 하부에서 각각 대향하는 복수의 전극(32)을 형성한다.

이때 복수의 전극(32) 각각은 그 폭과 길이가 동일하며, 각 전극(32)의 폭과 전극(32) 간의 이격거리가 동일하게 되도록 형성한다.

그 다음, 도4b에 도시한 바와 같이 상기 복수의 전극(32)에 전압을 인가한다. 이때의 전압의 인가방향은 상기 강유전체 기판(31)에서 분극방향과 반대의 방향으로 그 강유전체 기판(31)에 전기장이 형성되도록 강유전체 기판(31)의 상부측에 양의 전압을 인가하고, 하부측을 접지시킨다.

상기 전극(32)에 인가되는 전압에 의해 그 전극(32)이 위치하는 영역에 대향하는 강유전체 기판(31)영역에는 전기장이 형성되며, 이 전기장의 영향으로 상기 자발분극은 그 분극의 방향이 역전된다.

그 다음, 도4c에 도시한 바와 같이 상기 전극(32)을 선택적으로 제거한 후, 다시 강유전체 기판(31)의 상하부에 금속을 증착하고, 패터닝하여 전극(P_k-1, P_k, P_k+1)을 형성한다.

그 다음, 상기 강유전체 기판(31)에서 광이 입사되고 송출되는 면을 경면 연마하고, 그 연마된 면에 유전막을 증착하여 무반사층(34)을 형성한다.

이와 같은 전극(P_k-1, P_k, P_k+1)의 형성에 의해 각 전극영역(P_k-1, P_k, P_k+1)의 하부측에 위치하는 격자영역에는 동일한 전기장을 인가하여 선택적으로 광의 회절정도를 결정할 수 있게 되며, 이에 따라 원하는 파장의 광을 송출함이 가능해 진다.

도5는 상기의 과정을 통해 제조된 본 발명 공간 광 변조 어레이의 구조 및 동작을 보인 사시도로서, 이에 도시한 바와 같이 다수의 격자영역으로 분할되며, 그 분할된 각 격자의 분극의 방향이 상호 180도 차이가 나도록 교번하여 위치하는 강유전체 기판(31)과; 상호 동일 폭, 동일 길이를 가지도록 상기 강유전체 기판(31)의 상하측에 대향하는 위치에 위치하며, 전압의 인가에 따라 접하는 격자의 분극방향을 변경하는 복수의 전극(P_k-1, P_k, P_k+1)으로 구성된다.

상기와 같은 구조에서는 전극(P_k-1, P_k+1)에는 전압이 인가되어 그 하부의 격자의 분극방향을 조절하여 굴절율을 제어함으로써, 입사되는 레이저광이 회절하게 되며, 전극(P_k)에는 전압이 인가되지 않아 굴절율의 변화가 없게 되고, 이에 따라 조사된 레이저는 직진하여 상기 강유전체 기판(31)을 투과하게 된다.

도6은 도5와 같이 전극(P_k-1, P_k, P_k+1)에 전압을 인가한 후, 송출되는 광의 굴절율 분포를 보인 그래프 도로서, 이에 도시한 바와 같이 전극(P_k-1, P_k+1)의 하부측 강유전체 기판(31)을 투과한 광은 주기적인 굴절율로 인하여 회절되며, 전압이 인가되지 않는 전극(P_k)의 하부측 강유전체 기판(31)을 지나는 광은 굴절율의 변화없이 그대로 송출된다.

도7은 상기 도5에 도시한 본 발명 공간 광 변조 어레이를 이용한 레이저 표시장치의 구성도로서, 이에 도시한 바와 같이 광원(71)에서 발진된 광을 1차원의 슬릿형 빔으로 변환하는 렌즈(72)와; 상기 렌즈(72)를 통해 인가되는 슬릿형 빔을 입사받아 각 전극에 인가되는 전압에 따라 픽셀별로 회절 또는 직진 시키는 공간 광 변조 어레이(73)와; 상기 공간 광 변조 어레이(73)를 투과한 광중 일부를 선택적으로 투과시키는 차단부(74)와; 상기 차단부(74)를 통해 선택되어진 광을 집광하는 집속렌즈(75)와; 집광된 광을 스크린(77)에 주사하여 2차원의 화면을 표시하는 스캐너(76)로 구성된다.

이하, 상기와 같이 구성된 본 발명 레이저 표시장치의 동작을 좀 더 상세히 설명한다.

먼저, 광원(71)에서 발진된 레이저 빔은 렌즈(72)를 투과하면서 1차원의 슬릿(SLIT)형 빔의 형태가 된다.

이와 같이 슬릿형의 빔을 만들어 주는 이유는 상기 도5에 도시한 본 발명의 공간 광 변조 어레이의 특성상 인가되는 전기장에 수직이 되도록 광이 입사될 때 선형 전기광학 효과의 크기가 가장 크게 되기 때문이다.

그 다음, 상기 슬릿형의 빔을 입사받은 공간 광 변조 어레이(73)는 각 픽셀별로 독립적으로 인가되는 전압에 의해 그 슬릿형 빔의 굴절율을 제어하여 송출한다.

그 다음, 상기 공간 광 변조 어레이(73)를 통해 변조된 광은 특정한 위치에 개구부를 가지는 차단부(74)를 통해 선택적으로 투과된다. 즉 회절된 광이 상기 차단부(74)에 형성된 개구부를 통해서만 투과되며 나머지 영역에서는 차단된다.

그 다음, 상기 차단부(74)를 통해 선택적으로 투과된 광을 인가받은 집속렌즈(75)는 인가되는 광을 한 픽셀의 크기로 집속한다.

그 다음, 상기 집속렌즈(75)를 통해 집속된 광은 갈바노 미러(galvano mirror)와 같은 스캐너(76)를 통해 스크린(77)에 주사되어 화면을 표시하게 된다.

상기의 공간 광 변조 어레이(73)는 전기장에 의한 굴절율의 변화를 나타내기 때문에 응답속도가 수 나노초 정도이며, 이러한 빠른 응답속도에 의해 표시되는 화면이 원활하게 표시될 수 있다. 또한 기계적인 구동부가 없어 기계적인 신뢰성 저하가 일어나지 않아 그 동작의 신뢰성이 향상되며, 공간 광 변조 어레이의 회절각이 종래에 비해 상대적으로 커짐으로써, 레이저 디스플레이의 크기를 줄일 수 있게 된다.

상기한 바와 같이 본 발명 공간 광 변조 어레이 제조방법은 단순한 공정을 통해 공간 광 변조기를 구현함으로써 대량생산이 가능하도록 하며, 이에 따라 단가를 낮출 수 있는 효과와 아울러 수개의 격자로 이루어지는 픽셀마다 구분하여 전기장을 형성할 수 있도록 함으로써 공간 광 변조기를 어레이 형태로 제작함이 가능한 효과가 있고, 종래 음파를 이용한 공간 광 변조기에 비하여 전기장에 의한 변조를 실시함으로써 응답속도가 향상되는 효과와 아울러 회절각의 범위를 보다 크게 할 수 있는 효과가 있다.

또한, 본 발명 공간 광 변조 어레이를 이용한 레이저 표시장치는 기계적인 구동부를 가지지 않아 그 신뢰성을 향상시키는 효과가 있으며, 회절각이 큰 공간 광 변조 어레이를 사용함으로써 시스템의 크기를 줄일 수 있는 효과가 있다.

Claims (10)

1. 삭제
2. 삭제
3. 삭제
4. 상하측으로 자발 분극이 형성된 강유전체 기판을 준비하는 단계와; 상기 강유전체 기판의 상하측에 상호 대응하는 복수의 전극을 형성하되, 상기 복수의 전극 각각은 그 폭이 동일하고 복수의 전극 각각의 이격거리가 상기 전극의 폭과 동일하도록 형성하는 단계와; 상기 복수의 전극에 전압을 인가하여 그 전극에 접한 상기 강유전체 기판의 분극을 역전시키는 단계와; 상기 전극을 제거하고, 다시 복수의 분극영역의 상하측에 대향하도록 위치하는 복수의 픽셀전극을 형성하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 공간 광 변조 어레이 제조방법.
5. 삭제
6. 삭제
7. 제 4항에 있어서, 복수의 전극 각각에 전압을 인가하여 분극을 역전시키는 방법은 상기 자발분극의 방향과 그 전압에 의해 발생되는 전기장의 방향이 대치되도록 전압을 인가하는 것을 특징으로 하는 공간 광 변조 어레이 제조방법.
8. 광원에서 발진된 레이저 빔을 인가받아 1차원의 슬릿(slit)형 빔으로 변환하는 렌즈와; 상기 슬릿형 레이저 빔을 픽셀전극에 인가되는 전압에 따라 회절정도를 결정하여 회절시켜 송출하는 공간 광 변조 어레이와; 상기 공간 광 변조 어레이를 통해 회절되지 않은 레이저빔을 차단하고, 개구부를 통해 상기 공간 광 변조 어레이를 통해 회절된 레이저 빔을 선택적으로 투과시키는 차단부와; 상기 차단부에서 선택적으로 투과된 레이저 빔을 집광하는 집속렌즈와; 상기 집속렌즈에서 집광된 레이저빔을 스크린상에 주사하는 스캐너로 구성하여 된 것을 특징으로 하는 공간 광 변조 어레이를 이용한 레이저 표시장치.
9. 삭제
10. 제 8항에 있어서, 상기 스캐너는 갈바노 미러(galvano mirror)인 것을 특징으로 하는 공간 광 변조 어레이를 이용한 레이저 표시장치.