KR100425395B1 - 디스크 저장 장치용 슬라이더 - Google Patents

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KR100425395B1
KR100425395B1 KR10-1999-7012362A KR19997012362A KR100425395B1 KR 100425395 B1 KR100425395 B1 KR 100425395B1 KR 19997012362 A KR19997012362 A KR 19997012362A KR 100425395 B1 KR100425395 B1 KR 100425395B1
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조엘 더블유. 횐
제프리 케이. 버코위츠
라메시 선드램
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메리 킨티아 힙웰
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Abstract

디스크 저장 장치(10)는 회전 디스크(12)와 트랜스듀서를 포함한다. 상기 트랜스듀서는 보강재(32)에 의해 지지되는 슬라이더(36)상에 지탱된다. 상기 보강재(32)는 디스크(12) 표면에 걸쳐 무작위로 슬라이더를 이동시키는데 사용되고, 여기에서 정보가 트랜스듀서로 디스크(12) 표면에 판독 또는 기록될 수 있다. 상기 슬라이더(36)는 디스크(12) 표면에 마주하는 공기 베어링 표면을 포함한다. 디스크(12)가 회전할 때, 공기 베어링 표면(36)은 슬라이더가 디스크(12) 표면위로 비행하도록 한다. 패드(118)가 상기 장치(10)의 동작 특성을 개선하도록 공기 베어링 표면상에 제공된다.

Description

디스크 저장 장치용 슬라이더 {SLIDER FOR DISC STORAGE SYSTEM}
디스크 드라이브는 자기적으로 인코딩된 데이터, 최근에는 광학적으로 인코딩된 데이터인 정보를 디스크 표면상에 저장하기 위하여 이용된다. 트랜스듀스 헤드는 디스크가 고속으로 회전할 때 디스크 표면 위의 공기 베어링 상에 위치하는 공기 베어링 슬라이더 위에 위치한다. 다른 기술에서, 슬라이더는 공기 베어링 인터페이스 없이 디스크 표면상에 접촉하는데, 이는 미국특허 5,453,315 및 5,490,027에 개시되어 있다. 다음에 헤드는 디스크 상에 방사방향으로 배치되어 원하는 위치에서 판독 또는 기록을 한다. "접촉" 슬라이더에서는 공기 베어링 설계의 장점이 상실된다.
공기 베어링 설계에서, 공기 베어링은 슬라이더와 디스크 사이에 인터페이스를 제공하는데, 이는 장치 수명 존속 중에 디스크가 손상되는 것을 방지하며, 또한 공기 베어링은 디스크 드라이브 장치가 외부 진동에 의하여 충격을 받을 경우 충격을 감소시킨다. 공기 베어링은 또한 트랜스듀스 엘리먼트와 디스크 표면사이에 적정 간격을 제공하기 위하여 이용된다. 바이어스 힘은 만곡형(flexure) 아마추어에 의하여 디스크 표면방향으로 슬라이더에 인가된다. 이러한 바이어스 힘은 평형에 도달할 때까지 공기 베어링으로부터의 양력(lifting force)에 의해 상호 작용된다. 슬라이더는 디스크의 회전 속도가 슬라이더를 "비행(fly)"시키기에 충분하지 못하면 디스크 표면과 접촉할 것이다. 이러한 접촉은 일반적으로 디스크의 시동 또는 중지 중에 발생한다. 슬라이더가 데이터를 가진 디스크 영역과 접촉하면, 데이터는 손실될 수 있으며 디스크는 영구적으로 손상될 수 있다.
많은 디스크 드라이브 장치에서, 윤활제가 디스크 표면에 공급되어 시작 및 중지 시에 헤드와 디스크 표면의 손상을 감소시키도록 한다. 공기 또는 가스 역시 윤활제 역할을 한다. 그러나, 정적 마찰 및 점착성 변형 힘에 의하여 야기되는 "스틱션(stiction)"이라고 알려진 현상이 발생하여 사용되지 않는 주기 후에 슬라이더가 디스크 표면에 고착되도록 한다. 윤활제는 스틱션 문제를 야기시킨다. 스틱션은 슬라이더가 디스크 표면으로부터 자유로워질 때 헤드 또는 디스크를 손상시킬 수 있다. 또한, 디스크를 회전시키는 스핀들 모터는 스틱션을 극복하기에 충분한 토오크를 제공하여야 한다.
스틱션과 관련된 문제를 극복하기 위한 하나의 기술은 디스크의 적어도 일부에 텍스츄어를 제공하는(texturing) 것이다. 그러나, 이는 디스크의 유효 기록 영역을 감소시킨다. 또한, 슬라이더의 공기 베어링 표면 위에 텍스츄어를 제공하기 위한 여러 가지 시도가 이루어졌다. 미국특허 5,079,657 및 5,162,073은 슬라이더 표면에 리세스를 형성하는 기술을 개시한다. 미국특허 5,418,667에 개시된 다른 기술은 공기 베어링 표면과 디스크 사이에 공기 흐름을 허용하도록 슬라이더에 피치를 제공하는 큰 패드를 제공한다.
본 발명은 정보를 저장하는 디스크 저장 장치에 관한 것이며, 특히 본 발명은 상기와 같은 장치에 사용되는 슬라이더에 관한 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 저장 디스크 장치의 개략도이다.
도 2a는 여러 가지 크기를 가진 랜딩(landing) 패드 높이의 함수로서 스틱션을 나타내는 그래프이다.
도 2b는 윤활제 두께의 함수로서 스틱션을 나타내는 그래프이다.
도 3a-3d는 본 발명의 일 실시예에 따라 랜딩 패드를 형성하는 공정에서 단계를 나타내는 측단면도이다.
도 3e는 도 3a-3d의 단계에 따라 만들어진 랜딩 패드를 포함하는 슬라이더의 하부 평면도이다.
도 3f는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크의 측면도이다.
도 3g는 도 3f의 마스크를 이용하여 형성된 랜딩 패드의 측면도이다.
도 3h는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크의 측면도이다.
도 3i는 도 3h의 마스크를 이용하여 형성된 랜딩 패드의 측면도이다.
도 4a는 본 발명의 다른 실시예에 따른 슬라이더의 하부를 도시한다.
도 4b는 도 4a의 슬라이더의 레일의 측단면도이다.
도 4c는 본 발명의 다른 실시예에 따른 슬라이더의 레일의 측면도이다.
도 5a는 본 발명의 다른 실시예에 따른 슬라이더의 하부 평면도이다.
도 5b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 슬라이더의 하부 평면도이다.
도 6a는 본 발명의 다른 실시예에 따른 슬라이더의 하부 평면도이다.
도 6b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 슬라이더의 하부 평면도이다.
도 6c는 본 발명의 다른 실시예에 따른 슬라이더의 하부 평면도이다.
도 6d는 본 발명의 다른 실시예에 따른 슬라이더의 측면도이다.
도 6f는 본 발명의 다른 실시예에 따른 슬라이더의 측면도이다.
도 7a는 킥 패드를 포함하는 본 발명의 다른 실시예에 따른 슬라이더의 하부 평면도이다.
도 7b는 도 7a의 슬라이더의 측면도이다.
도 8a, 8b 및 8c는 본 발명의 실시예에 따른 패드의 단면도이다.
도 8d는 도 8a-c의 실시예에 따라 형성된 공기 베어링 표면을 가진 슬라이더의 측면도이다.
도 9a는 매체 표면에 대하여 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 슬라이더의 측면도이다.도 9b는 슬라이더에 대한 스틱션 대 복부 틈새의 그래프이다.
도 9c는 본 발명의 다른 실시예에 따른 슬라이더의 하부 평면도이다.
도 10은 본 발명의 다른 실시예에 따른 슬라이더의 하부 평면도이다.
디스크 저장 장치는 회전 디스크 및 트랜스듀서를 포함한다. 트랜스듀서는 아마추어에 의해 지지되는 슬라이더 위에 위치한다. 아마추어는 슬라이더를 디스크 표면 방사방향으로 이동시키기 위하여 이용된다. 슬라이더는 디스크 표면과 접하는 공기 베어링 표면을 포함한다. 디스크가 회전할 때, 공기 베어링 표면은 슬라이더가 디스크 표면 위를 "비행"하도록 한다. 패드는 공기 베어링 표면 위에 제공되어 장치의 동작 특성을 향상시키도록 한다. 예를 들어, 패드는 스틱션을 감소시키거나 또는 비행 특성을 개선시키기 위하여 이용될 수 있다. 또한, 본 발명은 상기와 같은 패드의 조립기술을 포함한다.
도 1은 본 발명에 따른 슬라이더를 포함하는 디스크 드라이브(10)의 평면도이다. 디스크 드라이브(10)는 하우징(16)내의 스핀들(14)에 의하여 형성되는 축을 중심으로 회전 운동하도록 장착된 자기 디스크(12)를 포함한다. 디스크 드라이브(10)는 또한 하우징(16)의 베이스 플레이트(20)에 장착되며 축(22)을 중심으로 디스크(14)에 대하여 피봇적으로 이동할 수 있는 액츄에이터(18)를 포함한다. 커버(24)는 액츄에이터(18)의 일부를 덮는다. 드라이브 제어기(26)는 액츄에이터(18)에 결합된다. 바람직한 실시예에서, 드라이브 제어기(26)는 디스크 드라이브(10)내에 장착되거나 또는 액츄에이터(18)와 적당하게 연결되도록 디스크 드라이브(10)의 외부에 배치된다. 액츄에이터(18)는 액츄에이터 암 어셈블리(28), 강성 지지 부재(30) 및 헤드 짐벌 어셈블리(32)를 포함한다. 헤드 짐벌 어셈블리(32)는 강성 지지 부재(30)에 결합된 만곡형 암 또는 로드 빔(34) 및 짐벌(도시 안됨)에 의하여 로드 빔(34)에 결합된 슬라이더(36)를 포함한다. 슬라이더(36)는 여기에 설명된 실시예에 따라 동작되며 디스크(12)로부터 정보를 판독하고 디스크에 정보를 인코딩하는 트랜스듀서를 지지한다.
동작 중에, 드라이브 제어기(26)는 액세스될 디스크(12) 부분을 나타내는 위치 정보를 수신한다. 드라이브 제어기(26)는 조작자, 호스트 컴퓨터 또는 다른 적당한 제어기로부터 위치 정보를 수신한다. 위치 정보를 기초로, 드라이브 제어기(26)는 액츄에이터(18)에 위치 신호를 제공한다. 위치 신호는 액츄에이터(18)가 축(22)을 중심으로 선회하도록 한다. 따라서 이에 의하여 액츄에이터(18)는 축(22)을 중심으로 선회한다. 따라서 슬라이더(36)( 및 슬라이더(36)에 장착된 트랜스듀서)는 화살표(38)로 표시된 아치형 경로로 디스크(12)의 표면상에서 방사방향으로 이동된다. 드라이브 제어기(26) 및 액츄에이터(18)는 공지된 폐쇄 루프 네거티브 피드백 방식으로 동작하여 슬라이더(36)에 배치된 트랜스듀서는 디스크(12)의 원하는 위치 상에 배치되도록 한다. 트랜스듀서가 적당하게 배치되면, 드라이브 제어기(26)는 원하는 판독 또는 기록 동작을 수행한다.
기록 밀도는 슬라이더(36)의 비행 높이를 감소시킴으로써 증가될 수 있다. 슬라이더(36)와 디스크(12)를 아주 인접하게 배치함으로써 디스크(12) 상의 정보에 대한 판독 및 기록을 정확하게 한다.
스틱션 및 비행/스틱션은 기록 밀도를 증가시키기 위하여 초저비행 기록 헤드를 사용하는 것을 방해하는 두 가지 주요한 현상이다. 이러한 문제에 대한 해결 방법은 매체 표면상에 일부 울퉁불퉁한 부분 또는 텍스츄어(texture)를 형성하여 헤드-매체 인터페이스에서 접촉 영역을 감소시키는 것이다. 매체 표면상의 이들 울퉁불퉁한 부분은 비록 작은 전용 영역(즉, "랜딩 영역")내에만 형성될 수 있지만, 동작 중에 헤드-매체 접촉 기회를 증가시켜 진정한 초저비행에 대한 한계를 규정한다. 대부분의 경우, 울퉁불퉁한 부분의 형상 때문에, 접촉 특성을 헤르츠 접촉이라고 하며, 여기서 탄성 변형이 국부적으로 발생될 수 있다. 결과적으로, 헤드를 지지하기 위한 매체 표면상의 울퉁불퉁한 부분의 수는 임의로 감소될 수 없으며, 그렇지 않으면 인터페이스는 붕괴되어 과도한 스틱션을 발생시킨다. 또한, 이러한 형태의 접촉은 과도한 량의 액체 윤활제가 인터페이스 내에 존재할 경우 붕괴되는 경향이 있다. 예를 들어, 헤드 디스크 접촉 중에 마모를 방지하기 위하여 매체에 제공된 윤활제는 여러 가지 드라이브 부품으로부터의 탈기(outgassing) 물질과 마찬가지로 헤드에 축적되고 인터페이스로 전달될 수 있어 과도한 비행/스틱션을 야기할 수 있다.
본 발명의 한 특징은 스틱션을 모델링하여 매체 표면과 대향하여 공기 베어링 표면에 원하는 텍스츄어를 제공한다. 접촉 중인 울퉁불퉁한 부분의 팁이 반구형이면, 울퉁불퉁한 부분의 밀도가 너무 작거나 윤활제 두께가 너무 높을 때 헤드 디스크 인터페이스가 안정되지 않을 수 있는 스틱션 모델을 예측한다. 하나의 스틱션 모델은 제이. 귀 및 비.마촌의 J.Appl.Phys. 78,4206(1995)의 논문에 설명되어 있다. 그러나, 울퉁불퉁한 부분의 형상이 종렬 또는 계단이면, 탄성 변형이 국부적으로 발생되지 않는다. 이러한 "넌헤르츠" 접촉은 구형 접촉에 비하여 상당히 강하다. 따라서, 인터페이스에서 접촉 포인트 수는 인터페이스가 붕괴될 가능성을 염려하지 않고 스틱션을 제어하기 위하여 감소될 수 있다. 이러한 접촉 상태 하에서, 비행/스틱션은 발생하지 않을 것이며 스틱션은 거의 용이하게 모델링될 수 있는 접촉 영역(또는 베어링 영역)의 함수가 된다. 스틱션 모델은 텍스츄어의 기하학적 구조의 함수로서 스틱션 레벨을 예측하기 위하여 이용될 수 있다.
텍스츄어는 매체 또는 슬라이더 위에 형성될 수 있다. 그러나, 이러한 종류의 텍스츄어가 매체 표면에 형성되면, 이들 텍스츄어의 밀도는 텍스츄어가 너무 멀리 떨어져 있을 경우 슬라이더는 텍스츄어 사이에 하강하고 평탄한 매체 표면과 직접 접촉하여 스틱션을 발생시킨다는 사실에 따른 최소 요구 조건을 만족해야 한다. 슬라이더와 디스크사이의 접촉이 향상 텍스츄어 상에서 이루어질 수 있도록 하는 본 발명의 한 특징은 슬라이더 상에 이들 텍스츄어를 형성하는 것이다. 후지쯔사의 카사마수 등은 IEEE Trans.Magn. 31, 2961(1995) 논문에서 슬라이더 위에 작은 패드를 가지는 헤드를 이용하여 평탄한 디스크로부터의 스틱션을 낮추는 것을 보고했다.
본 발명은 스틱션을 제어하기 위하여 비행 헤드의 레일 상에 칼럼형 소형 텍스츄어(즉, 랜딩 패드)를 포함한다. 예를 들어, 상기와 같은 패드 4개가 이용될 수 있다. 상기와 같은 랜딩 패드를 가진 슬라이더는 거의 평탄한 디스크 상에 이용될 수 있다. 이들 랜딩 패드의 사이즈 및 높이는 패드가 이륙 중에 스틱션을 상당히 감소시키지만 정상 비행 중에 간섭을 방지하기에 충분한 틈을 제공하도록 제어되어야 한다. 다음 식은 드라이브 설계의 스틱션 요구조건을 기초로 패드의 사이즈와 높이를 계산하기 위하여 이용될 수 있다.
여기서 S는 스틱션이며, μ는 마찰 계수, E는 영율, a는 모든 패드의 전체 표면적, H는 패드 높이, h는 접촉시 헤드-디스크 간격, W는 헤드 예하중(pre-load), A는 공기 베어링 표면적, α는 (12πγ/AH)에 의하여 정의되는 상수이며, 여기서 γ는 표면 장력이고 AH는 하마커 상수이다.
도 2a는 여러 가지 사이즈의 랜딩 패드의 높이 함수로서 나타낸 스틱션의 그래프이다. 이들 커브는 상기 두 식에 의하여 발생된다. 이들 커브를 기초로, 만약 랜딩 패드의 전체 면적을 약 0.002 내지 0.003mm2가 되도록 선택하고 높이를 약 300Å가 되도록 선택할 경우, 스틱션은 2 내지 3그램-힘사이 이며, 이는 현재 디스크 드라이브 설계 요구조건내에 있다.
도 2b는 랜딩 패드 설계 및 레이저 존 텍스츄어 매체 설계를 위한 윤활제 두께의 함수로서 나타낸 스틱션을 도시한다. 윤활제 두께가 증가함에 따라 스틱션이 증가한다. 그러나, 스틱션은 레이저 존 텍스츄어 매체의 경우에 보다 빠르게 증가하며 결국 스틱션은 높은 윤활제 두께에서 발산한다. 이러한 인터페이스 불안정성은 기본적으로 비행/스틱션을 야기시킨다. 한편, 랜딩 패드 텍스츄어의 경우, 스틱션은 윤활제 두께와 확실한 선형 관계를 나타낸다. 여기서는 윤활제 두께가 연속해서 증가해도 발산되지 않는다. 다시 말해, 비행/스틱션 문제는 랜딩 패드 텍스츄어에 대하여는 발생하지 않는다.
여기서 설명하는 모델링 기술은 본 발명의 다른 특징과 함께 이용될 수 있다. 패드의 형상, 밀도 및 배치는 필요에 따라 변형될 수 있다. 또한, 패드는 적합한 기술에 의하여 형성될 수 있다. 상기와 같은 형성 기술은 여기에 기재된 기술에 한정되지 않는다.
본 발명의 한 특징은 랜딩 패드를 형성하는 여러 가지 기술을 포함하는 것이다. 도 3a는 랜딩 패드가 표면(112) 위에 형성될 영역 내에 있는 슬라이더(110)의 일 실시예의 단면도이다. 슬라이더 몸체는 네거티브 포토레지스트에서도 사용될 수 있는 진공에서 코팅되며 레지스트(114)는 도 3b에 도시된 바와 같이 패터닝된다. 다음, 랜딩 패드 물질은 일반적으로 예를 들어 다이아몬드형 카본(DLC)을 증착시키는 이온 빔을 이용하여 이방성으로 증착되어 DLC 층(116)을 형성하도록 한다. 포토레지스트(114) 및 그의 DLC 오버코팅은 탈이온수 린스와 같은 세정 단계 및 건조 단계 전에 수행되는 중탄산나트륨 블라스팅과 같은 적당한 기술을 이용하여 제거되어 도 3d의 단면도에 도시된 패드(118)를 형성한다.
이러한 공정은 다른 기술에 비하여 다수의 장점을 제공한다. 예를 들어, 본 실시예를 사용하여 패드(118) 모서리는 자동으로 증착되어 슬라이더 몸체 표면으로 매끄럽게(smoothly) 혼합된다. 이러한 장점은 이방성 증착 공정의 "경계 구역(penumbral)" 투영으로부터 발생된다. 또한, 랜딩 패드 물질은 이전에 증착된 동일 물질로된 보호 층위에 증착될 수 있다. 이는 제조 공정에서 자기 트랜스듀서에 이전에 사용된 감응 물질에 대한 부식 및 정전기 방전(ESD) 위험을 일부 방지한다. 실리콘과 같은 점착층이 요구되지 않는다. 기계적 제거 공정은 랜딩 패드 물질 점착 실패로부터 발생되는 편차를 즉시 그리고 명확하게 검출할 수 있어 신뢰성을 향상시킨다. 이러한 기술은 또한 반응성 이온 에칭 기술보다 비용이 적게 들며 패드는 상대적으로 빠르게 증착될 수 있다. 속도 증가는 공정에서 작업을 최소화하여 제조율을 향상시키고 비용을 감소시킨다. 상기 공정은 또한 슬라이더 바 어래이를 처리하기 위하여 이용되는 현재의 기술과 호환될 수 있는데, 이는 이들이 그의 최종 표면 피니쉬 공정이 중첩되기 때문이다. 이는 각각의 슬라이더 상에 패드를 증착시키는 시도보다 비용이 적게든다. 또한, 상기 공정은 에칭 또는 밀링 공정을 이용하여 기판으로부터 제거하기 곤란하거나 불가능한 물질과 양립할 수 있다. 상기와 같은 물질은 음극 아크 다이아몬드 필름과 같은 경화성 물질을 포함한다. 도 3e는 레일(120)위에 배치된 4개의 패드(118)를 도시하는 슬라이더(110)의 하부 평면도이다. 본 발명의 바람직한 실시예에서 도 3e에 도시된 바와 같이 4 내지 8개의 패드를 이용하여, 패드는 약 100 내지 12,000μm2사이의 면적을 가진다. 패드는 약 2 대 1의 종횡비를 가진 사각 또는 타원형과 같은 어떠한 모양도 가질 수 있다. 원형, 물방울형 등과 같은 그 외의 다른 형상이 이용될 수 있다.
본 발명의 일 특징은 랜딩 패드 위에 원하는 표면을 형성하도록 기판 면에 대한 증착 각도를 조절하는 것이다. 도 3f는 마스크(114)가 2.6μm의 두께 및 5μm의 폭을 가지는 일 실시예를 도시한다. 증착을 위해 이용되는 이온 빔(126)은 2.2μm의 음영이 존재하도록 하는 각도를 가진다. 기판은 증착 중에 회전되어 도 3g에 도시된 바와 같이 볼록 접촉면(122)이 패드(118) 위에 형성되도록 한다. 도 3i는 패드(118) 위의 오목 접촉면(124)을 도시한다. 상기와 같은 오목 접촉면은 4.8μm의 두께 및 5μm의 폭을 가진 도 3h에 도시된 마스크(114)를 이용하여 형성될 수 있다. 이는 기판이 회전할 때 패드(118)의 접촉면이 오목 형상을 가지도록 하는 4μm의 음영을 제공한다. 상기와 같은 오목 또는 볼록 형상은 접촉면의 사이즈를 감소시키기 때문에 특히 바람직하다. 또한, 상기와 같은 형상은 바람직한 유체역학적 성질을 가질 수 있다.
상기 처리 단계는 여기에 개시된 패드중 어느 하나 또는 필요에 따라 여기에서 명확하게 개시되지 않은 다른 패드를 형성하기 위하여 이용될 수 있다. 패드의 특정 형상, 높이, 배치 및 밀도는 원하는 슬라이더 특성을 얻기 위하여 어느 특정 설계에 따를 수 있다.
본 발명은 공기 베어링 표면 위에 패드를 형성하기 위한 신규한 기술을 포함한다. 여기서 사용되는 용어 "패드"는 슬라이더의 공기 베어링 표면에 홈을 형성함으로써 형성되는 구조를 포함한다. 본 발명의 일 특징에서, 상기 패드 또는 홈은 공기 베어링 표면을 따라 소정 위치에 펄스형 연속 레이저와 같은 레이저빔을 이용하여 형성된다. 크기는 레이저 파워, 펄스 주기, 레이저 파장 등을 변경하여 조정될 수 있다. 본 발명에 따르면, 다이아몬드형 탄소를 사용하는 대신에, 접촉면은 슬라이더와 마찬가지로 예를 들어 AlTiC이다. 이는 반복되는 랜딩 및 이륙에 의한 DLC의 마모를 감소시킨다. 또한, 디스크와 헤드사이의 실제 접촉면적은 접촉면이 면접촉이 아닌 선접촉한다는 점에서 "피트형" 범프에 비하여 감소된다. 또한 상기와 같은 레이저의 이용은 슬라이더 위에 크라운(crown)을 형성하기 위하여 레이저를 이용하는 현재의 제조 기술과 쉽게 통합된다.
다이아몬드형 탄소는 본 발명의 실시예에서 패드 형성을 위해 바람직한 것이라고 생각되지는 않는다. 예를 들어, DLC는 시간에 따라 마모되며 추가의 처리 단계를 요구한다.
본 발명의 다른 특징에 따르면, 패드 또는 피트는 AlTiC로 형성된다. 예를들어, 상기 피트는 연장된 에칭 밀링 공정과 같은 에칭 단계 전에 슬라이더 위의 선택된 위치에 포토레지스트를 부착함으로써 형성될 수 있다. 다음에 AlTiC 슬라이더 몸체에서 상승된 부분인 포토레지스트가 제거된다. 예를 들어, 도 3b에서, 이온 밀링이 슬라이더(110)에 대하여 수행되어 슬라이더(110)의 노출 부분을 제거하도록 한다.
이들 기술은 여기에 개시되어 있든 그렇지 않든 소정 형상, 위치, 밀도 또는 그 외의 다른 원하는 특성의 패드를 형성하기 위하여 이용될 수 있다.
도 4a는 본 발명의 다른 실시예에 따른 슬라이더(150)의 하부 평면도이다. 슬라이더(150)는 패드(154)가 배치된 레일(152)을 포함한다. 또한, 본 발명의 일 특징에 따르면, 함몰부 또는 리세스(156)가 레일(152) 위에 형성된다. 도 4b는 도 4a에 도시된 라인 4B­­4B를 따라 얻어진 레일(152)의 단면도이며 리세스(156)의 단면을 도시한다.
도 4a 및 4b에 나타난 본 발명은 함몰부(156)가 추가의 상승을 제공하는 유체역학적 효과를 제공하기 때문에 바람직하다. 또한, 레일(152)의 측면도인 도 4c에 도시된 바와 같이, 레일(152)은 일반적으로 전방 에지와 후방 에지사이에 만곡부을 포함한다. 이러한 만곡부를 크라운이라고 하며 약 20nm일 수 있다. 외부 레일 및 내부 레일을 따라 형성된 만곡부를 챔버라고 하며 약 8nm이다. 패드(154)가 20 내지 30nm의 높이를 가지면, 레일(152)의 크라운은 충분히 방해를 받아서, 슬라이더(152)의 중심 영역(160)과 디스크 표면이 접촉되도록 할 수 있다. 리세스(156)는 상기와 같은 접촉을 방지하도록 추가의 상승을 제공한다.
상기 본 발명의 특징은 특히 추가적인 돌출부를 요구하지 않고 비행 동안 증가된 유체 역학적 효과를 제공하기 때문에 유리하다. 이것은 슬라이더가 공기 베어링 효과를 감소시킴으로써 더 낮은 비행 높이를 달성하도록 한다. 이런 "미세 유체 역학" 효과는 슬라이더가 정지 위치에서 슬라이딩 위치 및 슬라이딩 위치에서 정지 위치로 이동할 때 비행 특성을 개선시킨다. 리세스(156)는 크기, 깊이 및 형태에서 최적화될 수 있다. 도 4a의 리세스(156')는 리세스(156)를 위해 사용될 수 있는 4개의 예시적 모양을 도시한다. 유사하게, 도 4b에 도시된 리세스(156과 156')는 단면 형태의 여러 가지 예이다. 리세스(156)에 대한 공정 사양은 예를 들어 레이놀드식(Reynold's equation)을 사용한 몰딩에 의해 및/또는 실험을 수행함으로써 최적화될 수 있다. 어떤 실시예에서, 레일(152)상의 크라운을 제거하는 것이 가능할 수 있다. 그러나, 본 발명의 다른 특징에서, 부가 패드(162)가 도 4c에 도시된 바와 같이 레일(152)상의 중심선 근처에 부가될 수 있다. 패드(162)가 패드(154)의 높이보다 낮은 높이에 달할 수 있다. 일 실시예에서, 패드(154)의 높이는 매체에 존재하는 가장 큰 울퉁불퉁한 부분보다 약간 더 클 수 있으며, 전형적으로 거칠기(Ra)가 약 1 ㎚가 되는 매우 평탄한 매체의 경우에 약 10 ㎚이다.
더욱이, 리세스(156)는 슬라이더와 디스크 사이의 공기 베어링의 신속한 형성이 중요한 로드/언로드 응용을 위해 공기 베어링에 부가 댐핑을 제공하도록 설계될 수 있다. 이런 공기 베어링 댐핑은 공기 베어링을 형성하기 위해 매우 유리하다. 상기 리세스(156)는 또한 슬라이더(150)가 디스크 표면상의 울퉁불퉁한 부분에 접촉하는 경우 부가 댐핑을 제공하는데 사용될 수 있다. 본 발명의 하나의 특징은 리세스를 포함하지만 랜딩 패드를 사용하지 않는 베어링 표면이다. 이것은 특히 제로 스피드/스틱션 문제가 없기 때문에 로드/언로드에 유리하다. 그러므로, 리세스는 부가 댐핑 및 감소된 비행 특성을 제공한다.
본 발명의 다른 특징은 본 발명의 또 다른 특징에 따른 패드, 또는 여기에 언급되지 않은 다른 패드와 사용될 수 있다는 것이다. 더욱이, 상기 리세스는 요구된 공기 베어링 특성을 달성하기 위해 어떤 요구된 모양, 형태, 깊이, 밀도로 이루어질 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에서, 도 5a에 도시된 바와 같이 슬라이더(202)의 레일(200)은 그 위에 형성된 다수의 패드(204)를 포함한다. 이런 본 발명의 구성은 특히 유리하다. 본 발명으로, 여러 작은 패드가 슬라이더의 다수의 공기 베어링 표면상에 형성된다. 이미 언급한 바와 같이, 판독 및 기록 동작 동안 헤드 대 디스크 간격은 기록 밀도에 중요하다. 그러므로, 텍스츄어링된 패드(204)는 슬라이더(202)와 트랜스듀서(210)의 트레일링 에지(208)로부터 일정간격 배치되는 위치에서 정지한다.
상대적인 큰 면적에 걸쳐 다수의 패드(204)를 배치함으로써, 슬라이더(202)와 디스크 표면 사이의 인터페이스는 슬라이더의 크라운 또는 평탄성의 변화에 덜 민감하다. 더욱이, 다수의 패드(204) 사용은 하나의 결함 패드가 치명적인 고장을 일으키지 않을 것이기 때문에 개선된 신뢰성을 제공하므로 유리하다. 또한, 본 발명의 이런 특징은 디스크 표면이 텍스츄어링되고 슬라이더가 평탄해지는 헤드/디스크 인터페이스에서 수행되는 연구에 기초하여 연구될 수 있는 헤드/디스크 인터페이스를 제공한다.
이륙동안, 슬라이더(202)는 앞뒤로 및/또는 옆으로 요동하려는 경향이 있다. 다중 패드(204)의 사용은 요동 이동동안에도 부하가 다수의 패드 상에 분배될 수 있도록 한다. 상기 패드(204)는 또한 제조동안 공기 베어링 표면과 정렬시키기가 상대적으로 쉽다. 더욱이, 완전히 텍스츄어링된 공기 베어링 표면을 제공하기 위한 다수의 패드 사용은 4개의 패드를 사용한 설계와 관련하여 감소된 마찰과 스틱션을 제공한다. 본 발명에 따라 수행되는 실험은 4개의 패드를 사용한 설계가 약 15그램의 운전휴지 스틱션이 산출되는 반면 완전히 텍스츄어링된 구성이 약 5그램의 평균 운전휴지 스틱션을 제공하는 것을 보여준다. 완전히 텍스츄어링된 공기 베어링 표면에 대한 바람직한 실시예에서, 상기 패드는 약 100 내지 1000 Å 사이의 높이, 약 10 내지 100 ㎛2의 면적, 약 100 내지 10,000 ㎛2당 1패드의 밀도를 가진다. 상기 패드는 공기 베어링 표면의 약 10 내지 100% 사이에 걸쳐 분포될 수 있고, 바람직한 실시예에서 전체 텍스츄어링은 레일 중간의 약 2/3의 영역으로 제한된다. 또한, 어떤 설계에서 외부 레일에 대한 슬라이더의 내부 레일 상에 별도로 배치된 패드를 가지도록 하는 것이 바람직하다. 예를 들면, 레일상의 패드들 사이의 관계는 하나의 레일상의 패드가 리딩 에지에 더 가까운 반면 다른 레일상의 패드가 트레일링 에지에 더 가깝게 배치되도록 될 수 있다. 그러나, 이런 파라미터는 특별한 구성과 요구된 공정사양에 기초하여 적당히 조절될 수 있다.
도 5b는 패드(204)에 대한 여러 가지 구성을 갖는 레일(200)을 도시하는 슬라이더(202)의 저면도이다. 도 5b에 도시된 바와 같이, 패드(204)는 원형(204A), 직사각형(204B), 경사진 직사각형(204C), 정사각형(204D) 등으로 이루어질 수 있다. 상기 패드(204)의 모양과 배치는 마스킹 기술을 사용하여 미리 정의되거나 또는 임의로 정해질 수 있다.
도 6a는 다른 실시예에 따른 레일(232)을 가지는 슬라이더(230)의 저면도이다. 레일(232)은 위치와 관련하여 변화하는 높이를 가지는 패드를 지닌다. 본 발명의 이런 보기에서, 패드(234)는 패드(236)과 다른 높이를 가지다. 패드들의 높이 변화는 비행 스틱션과 운전휴지 스틱션을 추가로 감소시키는데 사용될 수 있다. 상기 예에서, 패드(236)는 약 200 Å보다 더 큰 최고 높이를 가지며, 패드(234)는 약 200 Å인 최저 높이를 가진다. 패드(200)의 더 큰 높이는 패드의 마모 및 스틱션에 대한 마진을 개선한다. 더욱이, 더 낮은 높이 패드(234)는 동작동안 슬라이더(230)의 트레이딩 에지(238)와 디스크 사이의 접촉 방지를 보조한다. 또한 도 6a에 도시된 바와 같이 패드의 위치는 무작위화될 수 있다. 이런 무작위화는 패드가 반복된 동작동안 동일한 트랙을 따라 디스크에 접촉할 기회를 감소시킨다. 이것은 디스크 표면상의 불균형한 마모를 감소시킨다.
본 발명의 다른 특징에서, 패드의 면적은 무작위 하게 또는 위치 함수로서 변경될 수 있다. 도 6b는 패드(244와 246)를 갖는 레일(242)을 가지는 슬라이더(240)의 저면도이다. 도 6b에 도시된 바와 같이 슬라이더(240)의 리딩 에지(248)에 근접하는 패드(244)는 패드(246)과 비교하여 더 큰 면적을 제공한다. 이런 구성은 슬라이더(240)의 리딩 에지(248)에 가까운 패드가 트레일링 에지에 더 가까운 패드와 관련하여 증가된 마모와 응력을 경험하려는 경향이 있기 때문에 유리하다. 상기 큰 전방 패드(244)는 개선된 마모 양태를 나타내고 아마 동작동안 덜 파손될 것이다.
도 6c는 레일(252)을 가지는 다른 실시예에 따른 슬라이더(250)의 저면도이다. 레일(252)은 패드(254와 256)를 포함한다. 바람직하게, 크라운 레일(252)의 크라운부 근처에 배치된 다수의 패드(256)가 있다. 패드(256)는 매체에 있는 레일(252)의 크라운부 사이의 접촉을 감소시키도록 요구된 바와 같은 갯수, 밀도, 높이 및 모양 등이 될 수 있다.
도 6d는 저장 디스크(262)와 관련하여 도시된 다른 실시예에 따른 슬라이더(260)의 측면도이다. 도 6d의 실시예에서, 슬라이더(260)의 리딩 에지(266) 근처에 배치된 패드(264)는 트레일링 에지에 더 가깝게 배치된 패드(268)보다 더 큰 높이를 가진다. 패드(264)는 리딩 에지에서 슬라이더(260)의 중간부로 연장된다. 이것은 특히 리딩 에지가 초기 동작동안 슬라이더의 네거티브 피치 때문에 트레일링 에지와 비교하여 증가된 마모를 경험할 수 있는 헤드에 대해 유리하다.
패드(268)는 제2 마스크, 또는 여기에 언급한 다른 기술을 사용하여 형성될 수 있고, 정규 동작동안 매체(262)와의 접촉을 방지하는 높이로 배치된다. 더욱이, 패드(264)는 정규 동작동안 스틱션을 감소시키고 슬라이더(260)가 전방으로 피칭되는 경우 어떤 접촉 또는 마모를 흡수할 수 있다.
도 6f는 다른 실시예에 따른 디스크(262) 위를 비행하는 슬라이더(270)의 측면도이다. 슬라이더(270)는 본 발명에 따른 범프(272)를 포함한다. 도 6f의 실시예에서, 범프(272)는 슬라이더의 리딩 에지(274) 근처에서 가장 크고 트레일링 에지(276)를 향하는 방향으로 점진적으로 더 짧아지는 패드를 가진다. 이것은 상대적으로 연속적인 변화가 될 수 있고 또는 일련의 계단에 의해 될 수 있다. 상기 기하학적 형태는 어떤 바람직한 기술을 통해 얻어질 수 있다. 예를 들면 증착 및 형성 프로세스동안 섀도잉의 사용을 통해 얻어질 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징은 공기 베어링 표면상의 패드 배치가 성능을 최적화하는데 사용될 수 있다는 인식을 포함한다.
예를 들면, 슬라이더의 트레일링 에지에 더 가까운 패드 배치는 슬라이더가 아마 후방으로 덜 기울어져 연마된 매체와의 스틱션에 도달할 공기 베어링 표면의 트레일링 에지에 접촉하기 때문에 접촉 시작/정지(CSS) 성능을 개선시킬 수 있다. 그러나, 슬라이더 비행 능력은 슬라이더의 리딩 에지를 향해 후방 패드를 이동시킴으로써 개선된다. 슬라이더의 리딩 에지 근처에 후방 패드를 배치하는 것은 패드가 높이 변화, 회전 민감도 및 접근 비행 높이 손실로 매체 표면에 접촉할 가능성을 감소시킨다.
또한 본 발명은 CSS와 비행 능력 성능 사이의 상충관계(tradeoff)를 극복하는 기술을 제공한다. 본 발명의 다른 실시예에 따른 슬라이더(300)의 도 7a는 저면도이고 도 7b는 측면도이다. 슬라이더(300)는 레일(302)과 패드(304)를 포함한다. 더욱이, 슬라이더(300)는 패드(304) 뒤에 배치되고, 슬라이더(300)의 트레일링 에지(308)에 더 가깝게 배치된 킥 패드(306)를 포함한다. 킥 패드(306)는 슬라이더(300)의 트레일링 에지가 매체 표면에 접촉하도록 하는 방식으로 동작동안 슬라이더(300)가 기울지 않도록 한다. 이는 동작 동안에 높은 스틱션 지향을 피할 것이다. 더욱이, 킥 패드(306)는 패드(304)가 슬라이더(300)의 리딩 에지에 더 가깝게 배치될 수 있도록 하여 슬라이더(300)의 비행 능력을 개선시킨다. 바람직하게, 킥 패드(306)는 패드(306)가 정규 비행동안 매체 표면에 접촉하지 않도록 패드(304)의 높이보다 작은 높이를 가진다. 상기 패드(304와 306)의 설계는 바람직하게 이들이 제조 프로세스에서 쉽게 통합되고 특별한 슬라이더, 매체, 윤활, 속도 등에 대해 요구되는 비행 및 시작/정지 특성을 달성하도록 크기, 형태 및 배치를 가지게 된다. 상기 킥 패드(306)는 요구된 바와 같이 적당한 크기, 모양 또는 밀도로 이루어질 수 있다.
본 발명에 따른 슬라이더상의 패드 사용의 한가지 특징은 상기 표면이 시간에 걸쳐 마모됨에 따라 상기 패드가 평탄해진다는 것이다. 이것은 매우 평탄한 매체 표면에 대한 패드의 양립성(compatibility)을 감소시키는 경향이 있다. 상기 평탄한 패드는 동적 마찰을 증가시킬 수 있다.
본 발명의 한가지 특징은 패드의 텍스츄어링을 포함하며, 그 결과 접촉 면적을 추가로 감소시키고 마찰을 감소시키는 패드상의 거친 표면을 제공한다. 상기 텍스츄어링은 어떤 기술에 따라 실행될 수 있다. 그러나, 다이아몬드형 탄소 패드에 통합될 수 있는 어떤 기술은 다이아몬드형 탄소 약간 아래에 실리콘 이산화물과 같은 작은 입자를 유입하는 것이다. 예를 들면, 최소 입자는 DLC 하부의 3 내지 20 ㎚가 될 수 있다. 전체 두께는 일실시예에서 30 내지 50 ㎚이다. 상기 텍스츄어는 DLC 패드상의, 접착층상의 공기 베어링 표면에(예를 들어, 패드를 형성하는 마스크를 사용하여) 직접 인가되거나 또는 입자와 DLC의 다중층이 될 수 있다. 이런 입자는 0.1 마이크로 인치 내지 10 마이크로 인치의 높이를 제공할 수 있다.
도 8a는 패드(322)를 갖는 공기 베어링 표면의 레일(320)에 대한 측면도이다. 패드(322)는 DLC 층(326)으로 코팅되는 실리콘 이산화물과 같은 입자(324)를 포함한다. 도 8a에 도시된 바와 같이, 상기 입자(324)는 DLC 층(326)의 표면에 대한 텍스츄어링을 제공한다.
도 8b는 패드(330)가 그 위에 입자(324)와 DLC 층(326)을 가지는 중간층(332)상에 형성되는 다른 실시예에 따른 레일(328)의 공기 베어링 표면(328)에 대한 단면도이다. 예를 들면, 중간층(332)은 그 위에 증착된 입자(324)를 갖는 DLC 층 또는 접착층을 포함할 수 있다.
도 8c는 레일의 공기 베어링 표면(340)상에 증착된 다른 실시예에 따른 패드(338)의 단면도이다. 패드(338)는 어떤 요구된 수의 입자(342)와 DLC 층(344)의 다중층을 사용하여 형성된다. 이것은 헤드(338)가 계속된 사용으로 마모됨에 따라 노출될 수 있는 텍스츄어링의 다중층을 제공한다.
상기 입자는 요구된 텍스츄어링을 제공하기 위해 공기 베어링 표면 또는 랜딩 패드 상에 증착될 수 있다. 상기 DLC, 또는 다른 층은 상기 텍스츄어를 기판내에 밀봉하도록 부가되다. 이런 층은 또한 바람직하게 양호한 마찰학적 재료를 제공한다. 긴 구조물은 다중층을 사용하여 얻어질 수 있다. 도 8d는 다수의 작은 입자가 제조동안 재료층내에 주입되는 본 발명의 특징에 따른 텍스츄어링 기술을 사용하여 형성되는 공기 베어링 표면(352)을 포함하는 슬라이더(350)의 측면도이다.
여기에 언급된 바와 같이, 본 발명에 따른 슬라이더상의 패드는 슬라이더가 매체에 더 가깝게 비행하도록 하여 더 높은 면적 당 기록 밀도를 제공한다. 더욱이, 매체상의 존 텍스츄어의 필요성이 제거된다. 도 9a는 본 발명의 일실시예에 따른 슬라이더의 레일(370)에 대한 측면도이다. 레일(370)은 레일의 중간부(372)가 말단부(376)와 비교하여 매체(374)에 더 가까운 크라운을 포함한다. 이런 4개의 패드 설계(각 레일상의 2개의 패드)는 일부 실시예에서 크라운부(372)와 매체(374) 사이의 인터페이스 때문에 높은 스틱션에 민감할 수 있다. 도 9a에 도시된 바와 같이, 레일(370)의 공기 베어링 표면과 매체(374)의 표면 사이의 최소 분리 거리는 패드(378)의 높이에 의해서라기 보다 크라운부(372)에서의 틈에 의해 정의된다. 크라운이 중요할 수 있기 때문에, 본질적으로 50% 슬라이더 설계에서 크라운부(372) 사이의 틈은 패드(378)의 높이보다 상당히 더 작을 수 있다. 그러므로, 큰 메니스커스가 크라운부(372)와 매체(374) 사이에 형성되고 상대적으로 큰 스틱션을 초래한다. 예를 들면, 도 9b는 4개의 패드(378)를 가지는 50% 슬라이더 설계에 대한 스틱션 대 볼록부 틈(예를 들면, 크라운 틈)의 예이이다. 도 9b로부터의 데이터는 중간 분자량을 가지는 15 Å 윤활막을 갖는 4개의 패드를 가지는 슬라이더에 대한 3개의 제2 운전정지 스틱션이다. 플롯팅된 5개의 다른 헤드에 대한 볼록부 높이의 변화가 크라운의 변화에 의해 초래되는 반면, 패드 높이는 약 1.3 내지 1.4 마이크로인치로 개략적으로 일정하다. 도 9b에 도시된 바와 같이, 스틱션과 볼록부 틈 사이에는 강한 상호관계가 있다. 특히, 낮은 볼록부 틈(예를 들면, 상당히 크라운된) 슬라이더는 매우 높은 스틱션을 나타내지만, 더 큰 틈을 갖는 헤드는 상당히 작은 스틱션을 제공한다. 패드(378)의 높이, 및 특히 후방 패드의 높이가 헤드가 매체(374) 위를 비행할 때 트랜스듀서를 가지는 슬라이더의 트레일링 에지가 디스크 표면에 매우 가깝게 배치되어야 하는 필요성에 의해 제한되기 때문에, 이런 스틱션은 크라운된 레일을 가지는 4개의 패드 설계에서의 중요한 문제를 표현한다.
도 9c는 다른 실시예에 따른 슬라이더(390)의 저면도이다. 슬라이더(390)는 리딩 에지(394)로부터 트레일링 에지(396)로 연장하는 레일(392)을 포함한다. 슬라이더(390)는 외부 에지 패드(398)와 중간 패드(400)를 포함한다. 중간 패드(400)의 부가는 도 9a에 도시된 4개의 패드 설계와 비교하여 4 배만큼 감소될 인접한 패드 사이의 효과적인 크라운을 가져온다. 결국, 도 9b에 도시된 틈 문제는 완화된다.
본 발명의 다른 특징에서, 크라운과 관련된 문제는 슬라이더를 크라운화되지 않게 하고 단지 4개의 패드를 사용함으로써 제거될 수 있다. 상기 4개의 패드는 크라운이 이륙을 필요치 않도록 휴지기에 있을 때 매체로부터 슬라이더 공기 베어링 표면을 이격시킨다. 이런 제로 크라운 설계로, 공기 베어링 표면과 매체 표면 사이의 간격은 패드 높이에 의해 결정되고 도 9a와 도 9b에서 설명된 스틱션 문제가 제거된다. 다른 실시예에서, 요구된 스틱션 감소를 제공할 정도로 틈(clearance)이 충분히 크도록 약간의 크라운이 제공된다. 예를 들면, 도 9b에 주어진 데이터를 사용하여, 크라운이 0.2 마이크로인치 이하라면, 디스크 대 공기 베어링 표면 간격은 주로 패드 높이에 의해 결정될 것이다.
본 발명의 또 다른 특징에서, 슬라이더의 여러 부분이 이륙동안 디스크 표면과 접촉하게 된다. 이륙의 초기 단계동안, 상기 슬라이더의 중간부(예를 들면, 볼록부)가 매체에 접촉한다. 속도가 증가함에 따라, 상기 슬라이더의 리딩 에지는 슬라이더가 앞으로 기울기 때문에 매체에 접촉한다. 최종적으로, 이륙후, 공기 베어링의 형성은 슬라이더가 반대 방향으로 기울어지게 하여 트레일링 에지와 접촉하게 된다. 그러므로, 슬라이더의 다른 부분들이 다른 이륙 주기동안 매체 표면과 접촉하게 된다. 하나의 실험에서, 접촉 시작/정지 시험은 상당히 연마된 매체 표면상에 DLC 패드를 가지는 여기에 언급한 실시예들에 다른 공기 베어링 표면에서 수행된다. 공기 베어링의 리딩 에지에 배치된 패드가 리딩 에지에 의해 이륙동안 경험되는 높은 접착력 때문에 파손된다는 것이 발견되었다. 그러나, 슬라이더의 중간부와 트레일링 에지 근처에 배치된 패드는 파손되지 않았고 실질적으로 마모되지 않았다.
도 10은 다른 실시예에 따른 슬라이더(420)의 저면도이다. 슬라이더(420)는 그 위에 지탱된 중심섬(426)을 가지는 리딩 에지(422)와 트레일링 에지(424)를 포함한다. 레일(428)은 슬라이더(420)의 어떤 측면을 따라 연장한다. 도 10에 도시된 바와 같이, 슬라이더(420)의 레일은 일반적으로 3개의 섹션: 리딩 섹션(430), 중간 섹션(432) 및 트레일링 섹션(434)으로 분할된다. 리딩 섹션(430)은 부가적 세기를 제공하고 파손의 가능성을 감소시키도록 상대적으로 큰 직경을 가지는 패드(436)를 지닌다. 유사하게, 트레일링 섹션(434)은 또한 부가적 세기를 제공하고 파손의 가능성을 감소시키도록 큰 크기의 패드(438)를 지닌다. 중간 섹션(432)은 더 작은 단면적을 제공하여 스틱션을 감소시키고 비행 능력을 개선하도록 최적화 될 수 있는 더 작은 패드(440)를 지닌다.
도 10에 도시된 패드(436, 438, 440)는 단일 마스킹 동작을 사용하여 제조될 수 있다. 그러나, 패드의 구별이 요구된다면, 다중 마스크가 제공될 수 있다. 예를 들면, 상기 리딩 에지 패드는 이들이 슬라이더 기판이 실질적으로 스틱션을 증가시킬 매체와 접촉하지 못하도록 하기 위해 더 많은 마모를 견딜 수 있도록 더 높게 제조될 수 있다.
비록 본 발명이 바람직한 실시예를 참조하여 기술되었지만, 당업자는 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 변형이 이루어진다는 것을 인식할 것이다. 일반적으로, 상기 패드는 측면 레일, 중심 레일, 중심섬 등과 공기 베어링 표면의 어떤 돌출부를 따라 배치될 수 있다. 일반적으로, 본 발명은 여기에 언급된 패드의 여러 가지 크기, 형태, 높이, 배치, 구성, 밀도 등 모두를 포함한다. 이런 패드는 여기에 언급한 어떤 프로세스에 따라 제조될 수 있고 또는 요구된 바와 같은 다른 프로세스를 사용하여 제조될 수 있다. 유사하게, 여기에서의 특정 프로세스는 여기에 특별히 언급되어진 패드들의 제조에 제한되지 않는다. 본 발명은 유도성, 자기 저항성 및 광학 엘리먼트를 포함하는 어떤 타입의 트랜스듀싱 엘리먼트와 사용될 수 있다. 일반적으로, 상기 설계에서 상기 패드는 CSS 동안 디스크 표면에만 접촉하고 정규 비행동안 디스크 표면에 접촉하지 않는다.

Claims (71)

  1. 디스크 드라이브 저장 장치에 있어서,
    디스크 표면을 가지는 회전 디스크;
    상기 디스크 표면상의 판독 및 기록하기 위한 트랜스듀싱 헤드;
    상기 트랜스듀싱 헤드에 결합된 트랜스듀싱 회로;
    상부에 형성된 레일과 공기 베어링 표면을 가지는 슬라이더로서, 상기 디스크 표면 근처에서 트랜스듀싱 헤드를 지지하는 슬라이더; 및
    접촉 시작/정지(CSS) 동안 디스크 표면에 접촉하는 영역 및, CSS 동안 원하는 최대 스틱션을 제공하기 위해 모델을 기초로 그리고 디스크 표면에 존재하는 윤활유의 두께의 함수로서 선택된 높이를 가지며 상기 레일 상에 유지되는 다수의 패드를 포함하며;
    상기 슬라이더는 공기 베어링 표면상의 레일을 포함하며, 상기 각각의 레일의 선단 엣지는 단일 패드를 포함하고, 상기 각각의 레일의 후단 엣지는 단일 패드를 포함하며, 상기 각각의 레일의 중간 부분은 다수의 패드를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브 저장 장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 디스크 표면상에 유지된 윤활제를 포함하며, 윤활제의 두께 및 슬라이더와 디스크 표면 사이의 스틱션 사이에는 선형적인 상호관계가 있는 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브 저장 장치.
  3. 디스크 드라이브 저장 장치의 슬라이더를 제조하는 방법에 있어서,
    공기 베어링 표면을 가지는 슬라이더를 획득하는 단계;
    상기 공기 베어링 표면상에 상기 공기 베어링 표면의 일부를 노출시키는 개구부를 가지는 마스크를 증착하는 단계;
    상기 마스크의 개구부 내에 랜딩 패드 재료층을 증착하는 단계로서, 상기 랜딩 패드 재료는 경사지게 증착되는 단계; 및
    상기 공기 베어링 표면으로부터 상기 마스크를 제거하여 상기 공기 베어링 표면상의 랜딩 패드 재료로부터 랜딩 패드를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 슬라이더 제조 방법.
  4. 디스크 드라이브 저장 장치의 슬라이더를 제조하는 방법에 있어서,
    공기 베어링 표면을 가지는 슬라이더를 획득하는 단계;
    상기 공기 베어링 표면의 일부를 노출시키는 개구부를 가지는 마스크를 공기 베어링 표면에 증착하는 단계;
    상기 공기 베어링 표면에 패드를 형성하기 위해 상기 마스크의 개구부를 통해 상기 공기 베어링 표면을 제거하는 단계; 및
    상기 베어링 표면으로부터 상기 마스크를 제거하여 그 위에 형성된 패드로 상기 공기 베어링 표면을 노출시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 슬라이더 제조 방법.
  5. 디스크 드라이브 저장 장치에 있어서,
    디스크 표면을 가지는 회전 디스크;
    상기 디스크 표면상의 기록 및 판독을 위한 트랜스듀싱 헤드;
    상기 트랜스듀싱 헤드에 결합된 트랜스듀싱 회로;
    상기 디스크 표면 근처에서 트랜스듀싱 헤드를 지지하고, 공기 베어링 표면을 가지는 슬라이더;
    동작동안 공기 베어링 표면에서 유체 역학적 효과를 초래하는 공기 베어링 표면에 형성된 다수의 미세 구멍; 및
    상기 공기 베어링 표면에서 상기 디스크 표면 방향으로 연장되며, 상기 공기 베어링 표면상의 적어도 하나의 패드를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브 저장 장치.
  6. 디스크 드라이브 저장 장치에 있어서,
    디스크 표면을 가지는 회전 디스크;
    상기 디스크 표면상의 기록 및 판독을 위한 트랜스듀싱 헤드;
    상기 트랜스듀싱 헤드에 결합된 트랜스듀싱 회로; 및
    상기 트랜스듀싱 헤드를 상기 디스크 표면 근처로 운반하기에 적합한 공기 베어링 표면을 가지는 슬라이더를 포함하는데, 상기 슬라이더는 공기 베어링 표면에서 디스크 표면을 향해 연장하는 다수의 패드를 포함하며, 상기 패드는 상기 슬라이더의 전체 공기 베어링 표면상에 배치되는 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브 저장 장치.
  7. 디스크 드라이브 저장 장치에 있어서,
    디스크 표면을 가지는 회전 디스크;
    상기 디스크 표면상의 기록 및 판독을 위한 트랜스듀싱 헤드;
    상기 트랜스듀싱 헤드에 결합된 트랜스듀싱 회로;
    상기 공기 베어링 표면에 인접하게 트랜스듀싱 헤드를 배치하기 위한 슬라이더로서, 슬라이딩 방향으로 연장되는 적어도 하나의 레일과 공기 베어링 표면을 형성하기 위해 디스크 표면에 마주하는 공기 베어링 표면을 갖는 슬라이더;
    상기 슬라이더의 리딩 에지에 더 가까운 공기 베어링 표면의 레일 상에 배치된 리딩 에지 패드; 및
    상기 슬라이더의 트레일링 에지에 근접한 공기 베어링 표면의 레일 상에 배치된 트레일링 에지 패드를 포함하며;
    상기 리딩 에지와 트레일링 에지 패드는 서로 다른 높이를 가지는 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브 저장 장치.
  8. 디스크 드라이브 저장 장치에 있어서,
    디스크 표면을 가지는 회전 디스크;
    상기 디스크 표면상의 기록 및 판독을 위한 트랜스듀싱 헤드;
    상기 트랜스듀싱 헤드에 결합된 트랜스듀싱 회로;
    상기 공기 베어링 표면에 인접하게 트랜스듀싱 헤드를 배치하기 위한 슬라이더로서, 공기 베어링을 형성하기 위해 디스크 표면에 마주하는 공기 베어링 표면을 가지는 슬라이더;
    상기 슬라이더의 리딩 에지에 더 가깝게 상기 공기 베어링 표면상에 배치된 리딩 에지 패드;
    상기 슬라이더의 트레일링 에지에 가까운 공기 베어링 표면상에 배치된 트레일링 에지 패드; 및
    상기 리딩 에지 패드와 트레일링 에지 패드 사이의 공기 베어링 표면에 배치된 중간 섹션 패드를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브 저장 장치.
  9. 디스크 드라이브 저장 장치에 있어서,
    디스크 표면을 가지는 회전 디스크;
    상기 디스크 표면상의 기록 및 판독을 위한 트랜스듀싱 헤드;
    상기 트랜스듀싱 헤드에 결합된 트랜스듀싱 회로;
    상기 디스크 표면 근처에서 트랜스듀싱 헤드와 슬라이딩 방향으로 연장되는 레일을 지지하기 위한 공기 베어링 표면을 가지는 슬라이더;
    상기 슬라이더의 CSS 동안의 사용을 위해 공기 베어링 표면에서 먼 방향으로 연장하는 공기 베어링 표면의 레일상의 적어도 하나의 랜딩 패드; 및
    상기 슬라이더의 트레일링 에지와 랜딩 패드 사이에 배치된 킥 패드로서, 상기 랜딩 패드의 높이보다 작은 높이를 가지고 상기 슬라이더의 피치 각도를 제한하는 높이와 위치를 가지는 킥 패드를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브 저장 장치.
  10. 디스크 드라이브 저장 장치에 있어서,
    디스크 표면을 가지는 회전 디스크;
    상기 디스크 표면상의 기록 및 판독을 위한 트랜스듀싱 헤드;
    상기 트랜스듀싱 헤드에 결합된 트랜스듀싱 회로; 및
    상기 디스크 표면에 인접하게 상기 트랜스듀싱 헤드를 배치하기 위한 슬라이더를 포함하며, 상기 슬라이더는 그 위에 형성된 텍스츄어링부를 가지는 공기 베어링 표면을 포함하며;
    상기 텍스츄어링부는 그 안에 밀봉된 다수의 입자를 포함하여 상기 텍스츄어링을 형성하는 다이아몬드형 탄소(DLC)를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브 저장 장치.
  11. 제 10항에 있어서, 상기 텍스츄어링부는 랜딩 패드를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브 저장 장치.
  12. 디스크 드라이브 저장 장치에 있어서,
    디스크 표면을 가지는 회전 디스크;
    상기 디스크 표면상의 기록 및 판독을 위한 트랜스듀싱 헤드;
    상기 트랜스듀싱 헤드에 결합된 트랜스듀싱 회로;
    상기 디스크 표면 근처에서 트랜스듀싱 헤드를 지지하기 위한 슬라이더로서, 그 위에 형성된 공기 베어링 표면을 가지는 슬라이더;
    CSS 동안 디스크 표면에 접촉하기 위한 제1 접촉 영역을 가지는 상기 슬라이더 상에 지탱되는 제1 랜딩 패드; 및
    상기 공기 베어링 표면상에 지탱되고 상기 슬라이더의 제1 랜딩 패드와 리딩 에지 사이에 배치되는 제2 랜딩 패드를 포함하며, 상기 제 2 랜딩 패드는 CSS 동안에 상기 제 1 랜딩 패드의 영역보다 더 큰 디스크 표면에 접촉하기 위한 제 2 접촉영역을 가지며, 상기 제 2 접촉영역은 충분히 커서 증가된 힘을 제 2 랜딩 패드에 제공하며, 상기 제 2 랜딩 패드의 가능성을 감소시키는 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브 저장 장치.
  13. 제 3항에 있어서, 상기 랜딩 패드는 이방성 증착되는 것을 특징으로 하는 슬라이더 제조 방법.
  14. 제 13항에 있어서, 상기 이방성 증착은 상기 공기 베어링 표면에 대한 매끄러운 전이를 형성하는 것을 특징으로 하는 슬라이더 제조 방법.
  15. 제 14항에 있어서, 상기 랜딩 패드 재료는 DLC를 포함하는 것을 특징으로 하는 슬라이더 제조 방법.
  16. 제 13항에 있어서, 상기 공기 베어링 표면은 상기 랜딩 패드 재료가 증착될 때 회전되는 것을 특징으로 하는 슬라이더 제조 방법.
  17. 제 16항에 있어서, 상기 랜딩 패드는 볼록 표면을 가지는 것을 특징으로 하는 슬라이더 제조 방법.
  18. 제 16항에 있어서, 상기 랜딩 패드는 오목 표면을 가지는 것을 특징으로 하는 슬라이더 제조 방법.
  19. 제 3항에 있어서, 상기 랜딩 패드는 사각형 모양을 가지는 것을 특징으로 하는 슬라이더 제조 방법.
  20. 제 3항에 있어서, 상기 랜딩 패드는 타원 모양을 가지는 것을 특징으로 하는 슬라이더 제조 방법.
  21. 제 3항에 있어서, 상기 랜딩 패드는 원형 모양을 가지는 것을 특징으로 하는 슬라이더 제조 방법.
  22. 제 3항에 있어서, 상기 랜딩 패드는 눈물방울 모양을 가지는 것을 특징으로 하는 슬라이더 제조 방법.
  23. 제 5항에 있어서, 상기 유체 역학 효과는 부가 리프팅을 포함하는 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브 저장 장치.
  24. 제 5항에 있어서, 상기 유체 역학 효과는 부가 댐핑을 포함하는 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브 저장 장치.
  25. 디스크 드라이브 저장 장치에 있어서,
    디스크 표면을 가지는 회전 디스크;
    상기 디스크 표면상의 기록 및 판독을 위한 트랜스듀싱 헤드;
    상기 트랜스듀싱 헤드에 결합된 트랜스듀싱 회로;
    공기 베어링 표면을 가지는 슬라이더로서, 상기 디스크 표면에 인접한 상기 트랜스듀싱 헤드를 지지하는 슬라이더;
    동작 동안에 상기 공기 베어링 표면상에 유체 역학 효과를 야기하는 상기 공기 베어링 표면 내에 형성된 다수의 미세 구멍; 및
    상기 공기 베어링 표면에서 상기 디스크 표면 방향으로 연장되며, 상기 공기 베어링 표면상의 적어도 하나의 패드를 포함하며,
    상기 미세 구멍은 상기 요구된 유체 역학 효과를 달성하도록 요구된 주변 모양 및 요구된 깊이 윤곽을 가지는 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브 저장 장치.
  26. 제 25항에 있어서, 상기 주변 모양은 상기 요구된 유체 역학 효과를 달성하도록 원형인 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브 저장 장치.
  27. 제 25항에 있어서, 상기 주변 모양은 상기 요구된 유체 역학 효과를 달성하도록 정사각형인 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브 저장 장치.
  28. 제 25항에 있어서, 상기 주변 모양은 상기 요구된 유체 역학 효과를 달성하도록 타원인 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브 저장 장치.
  29. 제 25항에 있어서, 상기 깊이 윤곽은 상기 요구된 유체 역학 효과를 달성하도록 편평한 하부를 가지는 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브 저장 장치.
  30. 제 29항에 있어서, 상기 깊이 윤곽은 상기 요구된 유체 역학 효과를 달성하도록 경사진 측면을 가지는 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브 저장 장치.
  31. 제 25항에 있어서, 상기 깊이 윤곽은 상기 요구된 유체 역학 효과를 달성하도록 경사진 측면을 가지는 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브 저장 장치.
  32. 제 25항에 있어서, 상기 깊이 윤곽은 상기 요구된 유체 역학 효과를 달성하도록 V모양인 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브 저장 장치.
  33. 디스크 드라이브 저장 장치에 있어서,
    디스크 표면을 가지는 회전 디스크;
    상기 디스크 표면상의 기록 및 판독을 위한 트랜스듀싱 헤드;
    상기 트랜스듀싱 헤드에 결합된 트랜스듀싱 회로;
    공기 베어링 표면을 가지는 슬라이더로서, 상기 디스크 표면에 인접한 상기 트랜스듀싱 헤드를 지지하는 슬라이더;
    동작 동안에 상기 공기 베어링 표면상에 유체 역학 효과를 야기시키는 상기 공기 베어링 표면 내에 형성된 다수의 미세 구멍;
    상기 공기 베어링 표면에서 상기 디스크 표면 방향으로 연장되며, 상기 공기 베어링 표면상의 적어도 하나의 패드;
    상기 리딩 에지에 인접한 상기 공기 베어링 표면상에 배치된 제1 패드;
    상기 트레일링 에지에 인접한 상기 공기 베어링 표면상에 배치된 제2 패드; 및
    상기 디스크 표면과 크라운 사이의 접촉을 제거하기 위해 상기 제1 및 제2 패드 사이에 배치된 중간 패드를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브 저장 장치.
  34. 제 33항에 있어서, 상기 제1, 제2 및 중간 패드는 개별적인 높이를 가지고 상기 중간 패드의 높이는 제1 및 제2 패드의 높이보다 작은 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브 저장 장치.
  35. 디스크 드라이브 저장 장치에 있어서,
    디스크 표면을 가지는 회전 디스크;
    상기 디스크 표면상의 기록 및 판독을 위한 트랜스듀싱 헤드;
    상기 트랜스듀싱 헤드에 결합된 트랜스듀싱 회로;
    공기 베어링 표면을 가지는 슬라이더로서, 상기 디스크 표면에 인접한 상기 트랜스듀싱 헤드를 지지하는 슬라이더;
    동작 동안에 상기 공기 베어링 표면상에 유체 역학 효과를 야기시키는 상기 공기 베어링 표면 내에 형성된 다수의 미세 구멍;
    상기 공기 베어링 표면에서 상기 디스크 표면 방향으로 연장되며, 상기 공기 베어링 표면상의 적어도 하나의 패드;
    상기 리딩 에지에 인접한 레일 상에 배치된 제1 패드; 및
    상기 트레일링 에지에 인접한 레일 상에 배치된 제2 패드를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브 저장 장치.
  36. 제 35항에 있어서, 상기 레일은 각각 크라운을 가지며, 디스크 표면과 크라운 사이의 접촉을 제거하기 위해 상기 한 쌍의 제 1 패드와 한 쌍의 제 2 패드 사이에 배치된 한 쌍의 중간 패드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브 저장 장치.
  37. 제 1항에 있어서, 상기 패드는 볼록 표면을 가지는 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브 저장 장치.
  38. 제 1항에 있어서, 상기 패드는 오목 표면을 가지는 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브 저장 장치.
  39. 제 1항에 있어서, 상기 패드는 정사각형 모양을 가지는 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브 저장 장치.
  40. 제 1항에 있어서, 상기 패드는 타원 모양을 가지는 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브 저장 장치.
  41. 제 1항에 있어서, 상기 패드는 원형 모양을 가지는 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브 저장 장치.
  42. 제 1항에 있어서, 상기 패드는 눈물방울 모양을 가지는 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브 저장 장치.
  43. 제 1항에 있어서, 각각의 레일은 리딩 에지, 트레일링 에지 및 그들 사이에 크라운을 가지며,
    상기 리딩 에지에 인접한 레일 상에 배치된 제 1 패드;
    상기 트레일링 에지에 인접한 레일 상에 배치된 제 2 패드; 및
    디스크 표면과 상기 크라운 사이의 접촉을 제거하기 위해 제 1 및 제 2 패드 사이에 배치된 중간 패드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브 저장 장치.
  44. 제 43항에 있어서, 상기 제 1, 제 2 및 중간 패드는 개별적인 높이를 가지고 상기 중간 패드의 높이는 제1 및 제2 패드의 높이보다 작은 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브 저장 장치.
  45. 제 1항에 있어서, 상기 슬라이더는 리딩 에지와 트레일링 에지를 가지는 2개의 레일을 포함하며,
    상기 리딩 에지에 인접한 레일 상에 배치된 한 쌍의 제1 패드; 및
    상기 트레일링 에지에 인접한 레일 상에 배치된 한 쌍의 제2 패드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브 저장 장치.
  46. 제 45항에 있어서, 상기 레일은 각각 크라운을 가지며, 디스크 표면과 상기 크라운 사이의 접촉을 제거하기 위해 상기 한 쌍의 제 1 패드와 한 쌍의 제 2 패드 사이에 배치된 한 쌍의 중간 패드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브 저장 장치.
  47. 제 6항에 있어서, 상기 슬라이더는 리딩 에지와 트레일링 에지를 가지며, 상기 패드는 상기 트레일링 에지 근처에 배치되지 않는 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브 저장 장치.
  48. 제 6항에 있어서, 상기 패드는 슬라이더 표면 평탄성에 대한 드라이브의 민감도를 감소시키는 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브 저장 장치.
  49. 제 6항에 있어서, 상기 슬라이더는 하중(load)을 가지며 상기 패드는 상기 공기 베어링 표면의 상당한 부분 상에 상기 하중을 분배하는 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브 저장 장치.
  50. 제 6항에 있어서, 상기 슬라이더는 상기 공기 베어링 표면을 한정하는 내부 레일과 외부 레일을 포함하며, 상기 패드는 상기 외부 레일 이외에 내부 레일 상에 별도로 배치되는 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브 저장 장치.
  51. 제 50항에 있어서, 상기 내부 및 외부 레일은 리딩 에지와 트레일링 에지를 각각 가지며, 상기 내부 레일상의 패드는 상기 외부 레일상의 패드보다 리딩 에지에 더 가깝게 배치되는 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브 저장 장치.
  52. 제 50항에 있어서, 상기 내부 및 외부 레일은 리딩 에지와 트레일링 에지를 가지며, 상기 내부 레일상의 패드는 상기 외부 레일상의 패드보다 트레일링 에지에 더 가깝게 배치되는 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브 저장 장치.
  53. 제 6항에 있어서, 상기 패드의 위치는 미리 정의되는 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브 저장 장치.
  54. 제 6항에 있어서, 상기 패드의 위치는 무작위인 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브 저장 장치.
  55. 제 6항에 있어서, 상기 패드는 서로 다른 높이를 가지는 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브 저장 장치.
  56. 제 6항에 있어서, 상기 패드는 서로 다른 표면적을 가지는 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브 저장 장치.
  57. 제 6항에 있어서, 상대적으로 더 큰 표면적을 가지는 패드는 리딩 에지에 인접하게 배치되고 상대적으로 더 작은 표면적을 가지는 패드는 트레일링 에지에 인접하게 배치되는 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브 저장 장치.
  58. 제 6항에 있어서, 상기 슬라이더는 상기 공기 베어링 표면을 한정하는 레일을 포함하고, 각각의 레일의 리딩 에지는 하나의 패드를 포함하며, 각각의 레일의 트레일링 에지는 하나의 패드를 포함하며, 각각의 레일의 중간부는 많은 패드를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브 저장 장치.
  59. 제 7항에 있어서, 상기 리딩 에지 패드의 높이는 상기 트레일링 에지 패드의 높이보다 더 큰 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브 저장 장치.
  60. 디스크 드라이브 저장 장치에 있어서,
    디스크 표면을 가지는 회전 디스크 ;
    상기 디스크 표면상의 기록 및 판독을 위한 트랜스듀싱 헤드;
    상기 트랜스듀싱 헤드에 결합된 트랜스듀싱 회로;
    상기 디스크 표면에 인접하게 상기 트랜스듀싱 헤드를 배치하기 위한 슬라이더로서, 슬라이딩 방향으로 연장되는 적어도 하나의 레일과 공기 베어링을 형성하기 위해 상기 디스크 표면에 마주하는 공기 베어링 표면을 가지는 슬라이더;
    상기 슬라이더의 리딩 에지에 더 가깝게 상기 공기 베어링 표면의 레일상에 배치된 리딩 에지 패드;
    상기 슬라이더의 트레일링 에지에 가까운 공기 베어링 표면의 레일 상에 배치된 트레일링 에지 패드; 및
    상기 리딩 에지 패드와 상기 트레일링 에지 패드 사이의 상기 공기 베어링 표면상에 배치되며, 각각 소정의 높이를 갖는 다수의 중간 패드를 포함하며,
    상기 리딩 에지 패드와 상기 트레일링 에지 패드는 서로 다른 높이를 가지며, 상기 중간 패드의 높이는 상기 리딩 에지 패드의 높이와 상기 트레일링 에지 패드의 높이 사이임을 특징으로 하는 디스크 드라이브 저장 장치.
  61. 제 60항에 있어서, 상기 모든 패드의 높이는 리딩 에지에서 트레일링 에지로 점진적으로 더 짧아지는 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브 저장 장치.
  62. 디스크 드라이브 저장 장치에 있어서,
    디스크 표면을 가지는 회전 디스크 ;
    상기 디스크 표면상의 기록 및 판독을 위한 트랜스듀싱 헤드;
    상기 트랜스듀싱 헤드에 결합된 트랜스듀싱 회로;
    상기 디스크 표면에 인접하게 상기 트랜스듀싱 헤드를 배치하기 위한 슬라이더로서, 공기 베어링을 형성하기 위해 상기 디스크 표면에 마주하는 공기 베어링 표면을 가지는 슬라이더;
    상기 슬라이더의 리딩 에지에 더 가까운 상기 공기 베어링 표면상에 배치된 리딩 에지 패드;
    상기 슬라이더의 트레일링 에지에 가까운 공기 베어링 표면상에 배치된 트레일링 에지 패드; 및
    상기 리딩 에지 패드와 상기 트레일링 에지 패드 사이의 상기 공기 베어링 표면상에 배치된 중간섹션 패드를 포함하며, 그리고
    상기 리딩 에지 패드, 상기 트레일링 에지 패드 및 상기 중간섹션 패드는 소정의 높이를 가지며, 상기 중간섹션 패드의 높이는 상기 리딩 에지 패드의 높이와 상기 트레일링 에지 패드의 높이 사이임을 특징으로 하는 디스크 드라이브 저장 장치.
  63. 제 62항에 있어서, 다수의 중간부 패드가 상기 공기 베어링 표면상에 배치되는 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브 저장 장치.
  64. 제 3항에 있어서, 상기 모든 패드의 높이는 상기 리딩 에지에서 트레일링 에지로 점진적으로 더 짧아지는 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브 저장 장치.
  65. 제 9항에 있어서, 상기 랜딩 패드는 상기 슬라이더의 리딩 에지에 인접하게 배치되는 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브 저장 장치.
  66. 제 65항에 있어서, 상기 트레일링 에지에 인접한 공기 베어링 표면 상부 및 상기 랜딩패드와 킥 패드 사이에 배치된 트레일링 에지를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브 저장 장치.
  67. 제 10항에 있어서, 상기 텍스츄어링부는 다층화되고 작은 밀봉된 입자층상에 DLC층을 부가함으로써 형성되는 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브 저장 장치.
  68. 제 67항에 있어서, 상기 다층화된 텍스츄어링부는 다수의 DLC층과 다수의 작은 밀봉된 입자층을 포함하는 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브 저장 장치.
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