KR100419081B1 - 가스방전형 표시장치 및 그 제조방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 목적은 가스방전형 표시패널(gas discharge display panel) 및 가스방전형 표시장치(gas discharge display device)의 바람직한 구조를 제공함으로써 배선 형성을 위한 레이저 가공시간을 단축시키는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 레이저 가공에 의하여 거의 직사각형으로 형성된 복수의 제 1 전극과 제 1 전극상에 형성된 복수의 제 2 전극을 가지는 제 1 기판과, 복수의 제 3 전극을 가지며 제 1 기판과 마주보는 제 2 기판이 제공된 가스방전형 표시패널을 형성한다.

Description

가스방전형 표시장치 및 그 제조방법{GAS DISCHARGE DISPLAY DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURE THE SAME}
본 발명은 가스방전형 표시장치 및 그 제조방법에 관한 것이다.
플라즈마 디스플레이 등과 같은 가스방전형 표시장치는 자기발광에 의하여 표시할 수 있으므로, 시야각(field angle)이 크고 표시가 보기에 용이하고, 두께가 감소될 수 있고, 대화면을 구현할 수 있는 것을 특징으로 한다. 따라서, 이러한 가스방전 표시장치는 정보단말기기의 표시장치 및 고품위 텔레비젼 수상기에 사용되어 왔다. 플라즈마 디스플레이는 크게 직류구동형과 교류구동형으로 분류된다. 이들 중에서, 교류형 플라즈마 디스플레이는 전극을 덮는 유전체층의 메모리 작용으로 고휘도(high luminance)를 나타내며, 이것의 수명은 보호층이 형성됨으로써 실용적인 수준에까지 도달했다. 이로써 플라즈마 디스플레이는 다용도의 비디오 모니터에 실용적으로 적용된다. 도 10은 이해를 돕기 위한 것으로서, 전면 기판(100)(front side substrate)이 배면 기판(200)(back side substrate) 및 방전 공간 영역(300)과 분리되어 있는 것을 특징으로 하는 실용화된 플라즈마 디스플레이 패널의 구조를 나타낸 사시도이다.
전면 기판(100)은 ITO(indium tin oxide), 틴 옥사이드(SnO2) 등과 같은 투명한 전도성 재료로 제조된 표시전극(600)과, 저저항 재료로 제조된 버스전극(700)과, 투명 절연 재료로 제조된 유전체층(800)과, 마그네슘 옥사이드(MgO) 등으로 제조된 보호층(900)을 구비하며, 이들은 모두 전면 유리기판(400)상에 형성되어 있다.
배면 기판(200)은 어드레스 전극(1000)과, 배리어 립(barrier rib)(1100)과, 형광체층(1200)을 구비하며, 이들은 모두 배면 유리 기판(500)상에 형성되어 있다. 또한, 도 10에 도시되지 않았지만 유전체층(1300)이 어드레스 전극(1000)상에 형성되어 있다.
표시전극(600)이 어드레스 전극(1000)과 거의 직각을 이루도록 전면 기판(100)을 배면 기판(200)에 접착시킴으로써, 전면 기판(100) 및 배면 유리 기판(500) 사이에 방전 공간 영역(300)이 형성된다.
본 가스방전형 표시패널 장치에서, 교류 전압이 전면 기판(100)상에 제공된 한 쌍의 표시전극(600) 사이에 인가되고, 전압은 배면 기판(200)에 제공된 어드레스 전극(1000)과 표시전극(600) 사이에 인가되며, 이로써 어드레스 방전이 발생하고, 주(main) 방전이 소정의 방전 셀에서 생성된다. 주 방전은 각 방전 셀위에 각각 코팅된 빨강, 초록 및 파란색 형광체(1200)로부터의 빛의 발광을 포함하는 자외선을 생성한다. 표시는 이들 빛의 발광으로써 이루어진다.
이러한 종래의 가스방전형 표시장치의 예로서는, 예컨대 FLAT PANEL DISPLAY1996(Nikkei Microdevice 편(編),1995)의 p 208~215에 설명되어 있다.
이제, 가스방전형 표시장치 분야의 주요 과제는 가스방전형 표시장치의 제조시간을 단축시키는 것이다. 가스방전형 표시장치의 제조시간을 단축시키기 위하여, 포토리소그래피(photolithography) 공정 대신 레이저 가공을 이용하여 전면 기판(100)에 표시전극(600)과 버스전극(700)을 형성하는 방법이 개발되어 왔다. 레이저 가공은 기판에 배선을 형성하기 위하여, 포토리소그래피 공정에서 사용되는 마스크(mask)와 레지스트(resist)를 필요로 하지 않는다. 따라서, 레이저 가공은 생산시간은 물론 생산비용면에서도 유리한 기술이다.
그러나, 레이저 가공장치는 사선 방향으로 스캔하지 않는다. 레이저 가공장치는 XY 방향으로 빔(beam) 또는 스테이지(stage)를 스캔해서 기판상에 배선을 사선으로 형성해야 한다. 반면에, 가스방전형 표시장치의 표시전극(600)과 버스전극(700)은 사선 배선을 가진다. 사선 배선은 외부 접속 단자에 접속된다. 사선 배선은 가스방전형 표시패널의 표시 영역 외부에 위치한다. 표시 영역은 실질적인 화소(畵素)로서 동작하는 영역이다.
따라서, 이러한 사선 배선이 레이저 가공장치에 의하여 가공될 때, 레이저 가공장치는 XY 방향으로만 빔 또는 스테이지를 스캔하여 기판상에 사선배선을 형성하므로, 이 사선 배선의 레이저 가공 시간은 직선 배선의 레이저 가공 시간보다 2배 이상의 시간이 필요하다.
본 발명의 목적은 가스방전형 표시패널 및 가스방전형 표시장치의 바람직한구조를 제공함으로써 배선 형성을 위한 레이저 가공시간을 단축시키는 것이다.
상기 전술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 레이저 가공에 의하여 직사각형으로 형성된 복수의 제 1 전극과 제 1 전극상에 형성된 복수의 제 2 전극을 가지는 제 1 기판과, 복수의 제 3 전극을 가지며 제 1 기판과 마주보는 제 2 기판이 제공된 가스방전형 표시패널을 형성한다.
또한, 상기 제 2 전극은 포토리소그래피 공정 또는 레이저 가공에 의하여 형성되며, 상기 제 1 전극은 포토리소그래피 공정 또는 레이저 가공 이후의 레이저 가공에 의하여 형성되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 제 1 전극은 ITO(Indium Tin Oxide) 또는 SnO2같은 투명한 재료로 제조되며, 상기 제 2 전극은 Ag 또는 Cr/Cu/Cr층 같은 재료이며, 상기 재료의 저항값은 투명 재료의 저항값보다 작은 것이 바람직하다.
또한, 본 발명은 레이저 가공에 의하여 거의 직사각형으로 형성된 복수의 제 1 전극과 제 1 전극상에 형성되며 제 1 전극으로부터 외부 접속 단자로 인출하도록 형성된 복수의 제 2 전극을 가지는 제 1 기판과, 복수의 제 3 전극을 가지며 제 1 기판과 마주보는 제 2 기판을 구비하는 가스방전형 표시패널과, 가스방전형 표시패널의 외부 접속 단자와 전기적으로 접속된 구동회로가 제공된 가스방전형 표시장치를 구성한다.
또한, 상기 제 2 전극은 포토리소그래피 공정 또는 레이저 가공에 의하여 형성되며, 상기 제 1 전극은 포토리소그래피 공정 또는 레이저 가공 이후의 레이저가공에 의하여 형성되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 제 1 전극은 ITO 또는 SnO2같은 투명한 재료로 제조되며, 상기 제 2 전극은 Ag 또는 Cr/Cu/Cr층 같은 재료이며, 상기 재료의 저항값은 투명 재료의 저항값보다 작은 것이 바람직하다.
제 1 전극이 직사각형으로 형성되는 경우에, 제 1 전극은 X 방향과 같은 일정한 방향으로 레이저 가공장치의 빔 또는 스테이지를 스캔함으로써 형성될 수 있다. 그러므로, 본 발명의 전체 처리능력은 사선 배선을 가지는 종래 장치보다 향상되었다.
또한, 기판의 전 영역이 아닌 한정된 영역상에서 제 1 전극재료가 막으로 형성되는 경우에, 처리능력을 향상시키고 재료 비용을 감소시키는 것이 바람직하다. 왜냐하면, X 방향과 같은 일정한 방향으로 레이저 가공장치의 빔 또는 스테이지를 스캔함으로써 제 1 전극의 최적 크기의 직사각형을 얻을 수 있기 때문이다.
이 경우에서, 확실한 방전 현상을 얻기 위하여 제 1 전극재료층은 가스방전 영역을 덮도록 형성된 막인 것이 바람직하다.
또한, 제 1 전극을 가공한 후 제 2 전극 재료를 막으로 형성할 경우, 레이저 가공시 제 1 전극에 부착된 입자(particle)들은 제 2 전극 형성에 영향을 준다. 따라서, 제 1 전극 재료 및 제 2 전극 재료 각각은 막으로 형성하고, 제 2 전극은 포토리소그래피 공정 또는 레이저 가공에 의하여 형성되며, 제 1 전극은 제 2 전극을 형성한 후 레이저 가공에 의하여 형성하는 것이 바람직하다. 그 결과, 제 2 전극의손상을 억제할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예중 하나를 나타낸 도면이며,
도 2는 본 발명의 실시예중 하나를 나타낸 도면이며,
도 3은 본 발명의 실시예중 하나를 나타낸 도면이며,
도 4는 본 발명의 실시예중 하나를 나타낸 도면이며,
도 5는 본 발명의 실시예중 하나를 나타낸 도면이며,
도 6은 본 발명의 실시예중 하나를 나타낸 도면이며,
도 7은 본 발명의 실시예중 하나를 나타낸 도면이며,
도 8은 본 발명의 실시예중 하나를 나타낸 도면이며,
도 9는 본 발명의 실시예중 하나를 나타낸 도면이며,
도 10은 종래의 가스방전형 표시패널을 나타낸 단면도이며,
도 11은 본 발명의 실시예중 하나를 나타낸 도면이며,
도 12는 본 발명의 실시예중 하나를 나타낸 도면이며,
도 13은 본 발명의 실시예중 하나를 나타낸 도면이며,
도 14는 본 발명의 실시예중 하나를 나타낸 도면이며,
도 15는 본 발명의 실시예중 하나를 나타낸 도면이며,
도 16은 본 발명의 실시예중 하나를 나타낸 도면이며,
도 17은 본 발명의 실시예중 하나를 나타낸 도면이며,
도 18은 본 발명의 실시예중 하나를 나타낸 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조로 하여 본 발명의 실시예를 설명한다.
도 1 내지 도 3 및 도 11은 본 발명이 적용된 전면 기판의 구조 및 가공를 나타낸 것이다. (a)는 유리 기판(1)의 평면도이며, (b)는 유리 기판(1)의 단면도이다. 이것은 이하의 도면에서도 동일하다.
본 도면에서, 참조번호 1은 유리기판이며 참조번호 2는 ITO 또는 SnO2와같은 투명 전극인 표시전극이며, 참조번호 3은 Ag 및 Cr/Cu/Cr과 같은 저저항전극인 버스전극이다. 버스전극의 저항값은 표시전극(2)의 저항값보다 작다. 버스전극(3)은 표시전극(2)상에 형성되어 있다.
우선, 도 1에 도시된 바와 같이, ITO 같은 투명 재료가 스퍼터링(sputtering)에 의하여 유리 기판(1)의 소정의 영역위에 막으로 형성된다.
다음에, 도 2에 도시된 바와 같이, YAG 레이저 가공장치 같은 레이저 가공장치는 막으로 형성된 투명 재료를 가공하여 거의 직사각형인 표시전극(2)을 형성한다. 이 경우, 레이저 가공장치에서 X 또는 Y 방향으로만 빔 또는 스테이지를 스캔함으로써, 복수의 직사각형 표시전극(2)을 얻을 수 있다. 표시전극(2)은 서로 평행이 되도록 형성된다.
다음, 도 3 또는 도 11에 도시된 바와 같이, 버스전극(3)의 전극재료가 스퍼터링에 의해 표시전극(2)위에 막으로 형성된다. 이 버스전극(3)은 포토리소그래피공정 또는 에칭 공정에 의하여 형성된다. 이 버스전극(3)은 표시전극(2)으로부터 유리 기판(1)의 주변부로 연장된다. 이 버스전극(3)은 외부 회로와의 전기적 접속부인 외부 접속 단자(3a)를 포함한다. 또한 이 버스전극(3)은 유리 기판(1)의 주변부상의 외부 접속 단자(3a)와 전기적으로 접속되는 인출 배선(3b)을 포함한다. 이 경우에서, 외부 접속 단자(3a)는 유리 기판(1)의 양단부에 교대로 배열된다. 하나의 화소는 한 쌍의 버스전극(3)과 어드레스 전극(도 1에 도시되지 않음)의 교차점으로 구성되어 있다. 한 쌍의 버스전극(3) 중 한 전극이 X 전극이고 나머지 한 전극이 Y 전극일 때, 모든 X 전극 또는 모든 Y 전극은 공통 전극으로서 서로 전기적으로 접속되어 있는 것이 바람직하다.
또한, 도 11은 포토리소그래피 공정을 사용하지 않고 레이저 가공에 의하여 형성된 버스전극(3)을 도시한다. 이 버스전극(3)도 표시전극(2)으로부터 유리 기판(1)의 주변부로 연장된다. 이 버스전극(3)은 외부 회로와의 전기적 접속부인 외부 접속 단자(3a)를 포함한다. 또한, 이 버스전극(3)은 유리 기판(1)의 주변부상의 외부 접속 단자(3a)와 전기적으로 접속되는 인출 배선(3b)을 포함한다. 이 경우, 외부 접속 단자(3a)는 유리 기판(1)의 양단부에 교대로 배열된다. 한 쌍의 버스전극(3) 중 한 전극이 X 전극이고 나머지 한 전극이 Y 전극일 때, 모든 X 전극 또는 모든 Y 전극은 공통 전극으로서 서로 전기적으로 접속되어 있는 것이 바람직하다.
또한, 도 11에 도시된 바와 같이, 포토리소그래피 공정 대신 레이저 가공에 의하여 버스전극(3)이 형성될 수 있다. 도 15에서, 표시전극(2)은 물론,버스전극(3)의 사선배선이 존재하지 않아서 버스전극(3)의 가공시간을 단축시킨다. 버스전극(3)은 직사각형 외부 접속 단자(3a) 및 표시 영역에서의 직사각형 버스전극(3) 및 표시 영역의 버스전극(3)에서 외부 접속 단자(3a)로 연장된 인출 배선(3b)으로 구성되어 있다. 레이저 가공의 가공시간을 단축시키는 것은 가능하다. 레이저 광선을 온 오프함으로써, 이들 전극의 바람직한 형태가 가공될 수 있다.
또한, 유전체층 및 MgO와 같은 보호막이 형성되어 전면 기판을 완성한다. 또한 어드레스 전극 및 배리어 립(barrier rib) 등으로 구성된 배면 기판이 형성된다.
그 다음, 전면 기판 및 배면 기판이 조립된다. 본 조립된 전면 기판 및 배면 기판이 봉합되고, 방전 가스가 최종 조립품내로 주입된다.
도 4 및 도 12는 표시전극(2), 버스전극(3) 및 배리어 립(4)과의 위치 관계를 나타낸 것이다. 배리어 립(4)은 배면 기판상에 형성되어 있다.
이 경우에서, 안정된 방전 현상을 얻기 위하여, 직사각형으로 형성된 표시전극(2)의 가장자리는 최외곽의 배리어 립(4)의 외부로 연장된다. 다시 말하면, 안정된 방전 현상을 얻기 위하여, 표시전극(2)의 가장자리는 방전 영역(1000) 외부에 위치하는 것이 바람직하다. 방전 영역(1000)은 가스방전형 표시장치의 화소로서 작동하는 영역이다.
그러므로, 도 1에 도시된 막으로 형성된 투명 전극 재료의 소정범위는 이 방전 영역(1000)보다 넓은 것이 바람직하다. 그리고, 이 투명 전극 재료는 인접하는인출 배선(3a)과 단락되지(short-circuit) 않는 것이 바람직하다.
또한, 도 13 및 도 14는 유리 기판(1)의 가장자리를 소망의 크기로 절단한 패널을 나타낸 것이다.
상기 설명한 바와 같이 본 발명의 구조에 따르면, 표시전극(2)에 사선 배선이 존재하지 않으므로 가스방전형 표시패널의 가공시간 및 전체 처리능력이 향상된다. 본 발명의 구조에 따르면, 표시전극(2)을 형성하기 위해서는 레이저 가공장치의 X 방향 또는 Y 방향으로만 빔 또는 스테이지를 스캔하는 것으로 충분하다.
그리고, 도 5 내지 도 8과, 도 15 및 도 16도는 본 발명이 적용된 전면 기판을 형성하는 다른 예를 도시한 것이다.
우선, 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, ITO와 같은 투명 전극재료가 스퍼터링에 의하여 유리 기판(1)상의 소정의 범위에 막으로 형성된다.
다음, 버스전극(3)용 재료가 막으로 형성된 ITO 막을 덮도록 스퍼터링에 의하여 막으로 형성된다.
다음, 도 7에 도시된 바와 같이, 버스전극(3)용으로 막으로 형성된 재료가 포토리소그래피 공정 및 에칭 공정에 의하여 버스전극(3)으로 형성된다. 이 버스전극(3)은 표시전극(2)으로부터 유리 기판(1)의 주변부로 연장된다. 그리고 버스전극(3)은 외부 회로와의 전기적 접속부용인 외부 접속 단자(3a)를 포함한다. 또한, 버스전극(3)은 외부 연결 단자(3a)로의 전기적 접속을 위한 인출 배선(3b)을 포함한다. 외부 연결 단자(3a)는 유리 기판(1)의 양 단부에 교대로 배열되어 있다.
마지막으로, 도 8에 도시된 바와 같이, ITO와 같은, 막으로 형성된 투명 전극 재료가 YAG 레이저 장치와 같은 레이저 장치에 의하여 가공되어 직사각형의 표시전극(2)을 형성한다. 이 경우에서, 복수의 표시전극(2)은 일정 방향에서 빔 또는 스테이지를 스캔함으로써만 형성된다. 버스전극의 각 X 전극 또는 각 Y 전극은 플라즈마 표시패널의 공통 전극인 것이 바람직하다.
상기 설명한 바와 같이 본 발명의 구조에 따르면, 표시전극(2)에 사선 배선이 존재하지 않으므로 가스방전형 표시패널의 가공시간 및 전체 처리능력이 향상된다. 본 발명의 구조에 따르면, 표시전극(2)을 형성하기 위해서는 레이저 가공장치의 X 방향 또는 Y 방향으로만 빔 또는 스테이지를 스캔하는 것으로 충분하다.
또한 도 15에 도시된 바와 같이, 버스전극(3)은 포토리소그래피 공정 대신 레이저 가공에 의하여 형성될 수 있다. 버스전극(3)은 표시전극(2)으로부터 유리 기판(1)의 주변부로 연장된다. 이 버스전극(3)은 외부 회로와의 전기적 접속부인 외부 접속 단자(3a)와, 유리 기판(1)의 주변부상에서 외부 접속 단자(3a)와 전기적으로 접속되는 인출 배선(3b)을 포함한다. 이 경우, 외부 접속 단자(3a)는 유리 기판(1)의 양 단부에 교대로 배열되어 있다. 한 쌍의 버스전극(3) 중 한 전극이 X 전극이고 나머지 한 전극이 Y 전극일 때, 모든 X 전극 및 모든 Y 전극은 공통 전극으로서 서로 전기적으로 접속되어 있는 것이 바람직하다.
도 15에서, 표시전극(2)은 물론, 버스전극(3)의 사선 배선이 존재하지 않으므로 버스전극(3)의 가공시간을 단축시킨다. 버스전극(3)은 직사각형 외부 접속 단자(3a) 및 표시 영역에서의 직사각형 버스 전극(3) 및 표시 영역의 버스전극(3)에서 외부 접속 단자(3a)로 연장된 인출 배선(3b)으로 구성되어 있다. 레이저 가공의가공시간을 단축시키 것은 가능하다. 레이저 광선을 온 오프함으로써 이들 전극의 바람직한 형태가 가공될 수 있다.
마지막으로 도 16에 도시된 바와 같이, ITO와 같은, 막으로 형성된 투명 전극 재료가 YAG 레이저 장치와 같은 레이저 장치에 의하여 가공되어 직사각형의 표시전극(2)을 형성한다. 이 경우에서, 복수의 표시전극(2)은 일정 방향에서 빔 또는 스테이지를 스캔함으로써만 형성된다. 버스전극의 각 X 전극 또는 각 Y 전극은 플라즈마 표시패널의 공통 전극인 것이 바람직하다.
이후, 유전체층과 MgO와 같은 보호막이 형성된 후, 전면 기판(1)이 완성된다.
상기 설명한 바와 같이, 우선 버스전극(3)용 전극 재료 및 표시전극(2)용 전극재료가 모두 막으로 형성되면, 표시전극(2)의 레이저 가공시에 발생하는 입자들이 표시전극(2) 및 버스전극(3) 사이로 인입되지 않는다. 따라서, 배선 손상은 본 발명의 상기 실시예에서 보다 더 감소될 수 있다.
도 9 및 도 17에 도시된 바와 같이, 표시전극(2) 및 버스전극(3) 모두를 외부 접속 단자(3b)로써 유리 기판(1)의 주변부로 연장되도록 형성할 수 있다. 이 구조는 레이저 제조장치에서 X 또는 Y 방향에서만 빔 또는 스테이지를 스캔한다. 따라서, 이 전극의 가공시간은 본 발명의 상기 실시예에서 보다 단축될 수 있다. 도 9에 도시된 표시전극(2) 및 버스전극(3)은 모두 각각 직사각형이다.
또한, 도 18은 유리 기판(1)의 가장자리를 소망의 크기로 절단한 패널을 나타낸 것이다.
버스전극(3)상에 표시전극(2)을 형성하여도 상기 실시예와 동일한 효과를 얻을 수 있다는 것은 자명하다.
본 발명의 기술을 배면 기판의 어드레스 전극과 같은 다른 전극에 적용하여도 상기 실시예와 동일한 효과를 얻을 수 있다는 것은 자명하다.
그리고, "직사각형"이란 표현은 상기 설명한 실시예에서의 그 형태만을 의마하는 것은 아니다. 이 직사각형은 직사각형의 단변(short side) 또는/및 장변(long side)이 곡선 형태이고, 직사각형의 각은 만곡(彎曲,rounded)되는 형상을 포함한다. 다시 말하면, 직사각형은 레이저 가공장치에서 X 또는 Y 방향과 같은 실질적으로 일정한 방향에서 빔 또는 스테이지를 스캔함으로써 형성되는 형태이다.
본 발명에 의하여, 가스방전형 표시패널의 전극을 가공하는 레이저 가공 시간을 단축시킬 수 있다.

Claims (16)

  1. 삭제
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 복수의 제 1 전극과, 상기 제 1 전극상에 형성된 복수의 제 2 전극을 가지는 제 1 기판과, 상기 제 1 기판과 대향하도록 배치된 제 2 기판을 구비한 가스방전형 표시장치로서,
    상기 제 1 전극은, 일방향으로 연신(延伸)한 직사각형 형상을 하고 있고,
    상기 제 2 전극은, 상기 일방향으로 연신한 부분과, 상기 제 1 전극의 단부로부터 비어져 나온 기판상의 영역에서 상기 일방향에 대하여 사선으로 연신한 부분을 가지며,
    상기 제1 전극은 레이저가공된 전극이고, 상기 제2 전극은 포토리소그라피가공된 전극인 것을 특징으로 하는 가스방전형 표시장치.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 제 2 전극의 일방향으로 연신한 부분은, 상기 일방향에 대해 사선으로 연신한 부분을 통해 외부단자에 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 가스방전형 표시장치.
  12. 삭제
  13. 제 10 항 또는 제 11 항에 있어서,
    상기 제 1 전극이 거의 일정한 간격으로 복수 형성되어 있고,
    인접하는 제 1 전극의 상기 사선으로 연신한 방향은, 상기 일방향에 대해 좌우반대인 것을 특징으로 하는 가스방전형 표시장치.
  14. 제 10 항에 있어서,
    상기 제 1 전극이 ITO 또는 산화주석으로 구성되어 있고,
    상기 제 2 전극이 Ag 또는 Cr/Cu/Cr으로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 가스방전형 표시장치.
  15. 복수의 제 1 전극과, 상기 제 1 전극상에 형성된 복수의 제 2 전극을 가지는 제 1 기판과, 상기 제 1 기판과 대향하도록 배치된 제 2 기판을 구비한 가스방전형 표시장치의 제조방법으로서,
    상기 제 1 전극을 구성하는 재료층을 그 주변에 여백을 가지도록 하여 상기 제1의 기판상에 형성하는 공정과,
    상기 제 1 전극을 구성하는 재료층이 형성된 상기 제 1 기판상에 상기 여백을 포함하도록 하여 상기 제 2 전극을 구성하는 재료층을 형성하는 공정과,
    포토리소그라피 기술에 의해 상기 제 1 전극을 구성하는 재료층상에서 상기 여백에 사선방향으로 인출되어 있는 형상으로 형성함으로써 상기 제 2 전극을 형성하는 공정과,
    상기 제 1 전극을 구성하는 재료층을 복수의 직사각형이 배열된 형상으로 레이저가공함으로써 상기 제 1 전극을 형성하는 공정을 가지는 것을 특징으로 하는 가스방전형 표시장치의 제조방법.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 제 1 전극의 재료가 ITO 또는 산화주석이고,
    상기 제 2 전극의 재료가 Ag 또는 Cr/Cu/Cr인 것을 특징으로 하는 가스방전형 표시장치의 제조방법.
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