KR100399971B1 - 이미지 센서 및 그 제조방법 - Google Patents

이미지 센서 및 그 제조방법 Download PDF

Info

Publication number
KR100399971B1
KR100399971B1 KR10-2001-0068949A KR20010068949A KR100399971B1 KR 100399971 B1 KR100399971 B1 KR 100399971B1 KR 20010068949 A KR20010068949 A KR 20010068949A KR 100399971 B1 KR100399971 B1 KR 100399971B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
interlayer insulating
film
insulating film
forming
metal wiring
Prior art date
Application number
KR10-2001-0068949A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20030037859A (ko
Inventor
이상주
Original Assignee
주식회사 하이닉스반도체
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 하이닉스반도체 filed Critical 주식회사 하이닉스반도체
Priority to KR10-2001-0068949A priority Critical patent/KR100399971B1/ko
Publication of KR20030037859A publication Critical patent/KR20030037859A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100399971B1 publication Critical patent/KR100399971B1/ko

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/14Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
    • H01L27/144Devices controlled by radiation
    • H01L27/146Imager structures
    • H01L27/14601Structural or functional details thereof
    • H01L27/14625Optical elements or arrangements associated with the device
    • H01L27/14627Microlenses
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/14Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
    • H01L27/144Devices controlled by radiation
    • H01L27/146Imager structures
    • H01L27/14683Processes or apparatus peculiar to the manufacture or treatment of these devices or parts thereof
    • H01L27/14685Process for coatings or optical elements

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)

Abstract

본 발명은 공정이 복잡해지는 것 없이 광감도를 향상시킬 수 있는 이미지 센서의 제조방법을 제공한다. 본 발명에 따른 이미지 센서의 제조방법은 수광소자를 포함하는 화소가 형성되고, 그 상부에 제 1 층간절연막이 형성된 반도체 기판을 준비하는 단계; 제 1 층간절연막 상에 수광소자를 둘러싸도록 금속배선을 형성함과 동시에 금속배선과 소정간격 이격되도록 더미 금속패턴을 형성하는 단계; 금속배선 및 더미 금속패턴의 토폴로지를 유지하여 수광소자 상부에서 소정의 홈이 생성되도록 기판 상에 제 2 층간절연막을 형성하는 단계; 홈에 매립되도록 제 2 층간절연막 상에 SOG막을 형성하는 단계; SOG막을 제 2 층간절연막의 표면이 노출되도록 마스크 없이 전면 식각하여 홈에 매립된 SOG막의 표면에 오목부를 형성하는 단계; 오목부의 형태가 유지되도록 기판 전면 상에 제 3 층간절연막 및 패시배이션막을 순차적으로 형성하는 단계; 패시배이션막 상부에 평탄화막을 형성하여 기판의 표면을 평탄화하는 단계; 및 평탄화막 상부에 볼록형 마이크로 렌즈를 형성하는 단계를 포함한다. 바람직하게, 패시배이션막은 평탄화막보다 큰 굴절율을 갖는 물질로 형성한다.

Description

이미지 센서 및 그 제조방법{IMAGE SENSOR AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME}
본 발명은 이미지 센서 제조 기술에 관한 것으로, 특히 오목형 마이크로 렌즈를 적용하여 광감도를 향상시킬 수 있는 이미지 센서의 제조방법에 관한 것이다.
이미지 센서는 빛을 감지하는 광감지 부분과 감지된 빛을 전기적 신호로 처리하여 데이터화하는 로직회로 부분으로 구성되어 있다. 또한, 광감도를 높이기 위하여 전체 이미지 센서 소자에서 광감지 부분의 면적이 차지하는 비율(fill factor)을 크게 하려는 노력을 진행하고 있으나, 근본적으로 로직회로 부분을 제거할 수 없기 때문에 제한된 면적하에서 이러한 노력에는 한계가 있다. 따라서, 광감도를 높이기 위하여 광감지 부분 이외의 영역으로 입사하는 빛의 경로를 변경하여 광감지 부분으로 모아주는 집광기술이 등장하였는데, 이 기술이 바로 마이크로 렌즈 형성 기술이다.
도 1은 상술한 마이크로 렌즈 기술을 적용한 종래의 이미지 센서를 나타낸 단면도로서, 도 1을 참조하여 그 제조방법을 설명한다.
먼저, 실리콘과 같은 반도체 기판(10) 상에 소자간의 전기적인 절연을 위하여 필드 절연막(11)을 형성하고, 포토다이오드와 같은 수광소자(12)를 포함하는 화소를 형성한다. 그 다음, 층간절연막(13)을 형성하고, 층간 절연막(13) 상에 금속배선(14)을 형성한다. 그 후, 수분이나 스크래치로부터 소자를 보호하기 위하여 패시배이션막(15)을 형성하고, 패시배이션막(15) 상부에 평탄화막(16)을 형성하여 표면을 평탄화한 다음, 광집속을 위하여 수광소자(12) 상의 평탄화막(16) 상부에 볼록형 마이크로 렌즈(17)를 형성한다.
그러나, 상술한 종래의 이미지 센서에 있어서는, 볼록형 마이크로 렌즈(17)에서 굴절되어 비스듬히 입사하는 빛 중에는, 도 1에 도시된 바와 같이, 수광소자(12)를 벗어나는 빛이 발생하여 광감도가 저하되는 문제가 있었다.
따라서, 이러한 문제를 해결하기 위하여, 미국특허 제 5,593,913호에서 Aoki가 도 2에 도시된 바와 같이, 마이크로 렌즈(17) 하부의 패시배이션막(15)과 평탄화막(16) 사이에 상부층인 평탄화막(16) 보다 큰 굴절율을 갖는 물질로 오목형 마이크로 렌즈(100)를 형성하여 빛의 일탈을 방지하는 기술을 제안하였다.
그러나, 상기 Aoki가 제안한 오목형 마이크로 렌즈 형성 기술은, 빛의 일탈을 방지하여 광감도를 향상시킬 수는 있으나, 평탄화막(16) 보다 큰 굴절율을 갖는 물질로 소정의 막을 형성한 후, 오목부를 형성하기 위하여 별도의 마스크 공정을 부가해야 하므로 공정이 복잡해지는 단점을 갖는다.
본 발명은 상술한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 볼록형 마이크로 렌즈 하부에 새로운 오목형 마이크로 렌즈를 적용하여 광감도를 향상시킬 수 있는 이미지 센서를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 다른 목적은 상기 이미지 센서를 공정이 복잡해지는 것 없이 제조할 수 있는 이미지 센서의 제조방법을 제공하는 것이다.
도 1은 볼록형 마이크로 렌즈가 적용된 종래의 이미지 센서를 나타낸 단면도.
도 2는 오목형 마이크로 렌즈가 적용된 종래의 이미지 센서를 나타낸 단면도.
도 3a 내지 도 3c는 본 발명의 실시예에 따른 이미지 센서의 제조방법을 설명하기 위한 단면도.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 금속배선 및 더미 금속패턴을 나타낸 평면도.
※ 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
30 : 반도체 기판 31 : 필드 절연막
32 : 수광소자 33, 35, 37 : 층간절연막
34 : 금속배선 34A : 더미 금속패턴
36 : SOG막 38 : 패시배이션막
39 : 평탄화막 40 : 볼록형 마이크로 렌즈
200 : 오목부
상기 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 이미지 센서는 수광소자를 포함하는 화소가 형성된 반도체 기판; 기판 상에 형성된 제 1 층간절연막; 제 1 층간절연막 상에 형성된 금속배선 및 더미 금속패턴; 금속배선 및 더미 금속패턴의 토폴로지를 유지하면서 제 1 층간절연막, 금속배선 및 더미 금속패턴 상부에 형성되고, 수광소자 상부에서 소정의 홈을 구비하는 제 2 층간절연막; 홈 내에만 매립되고 그 표면에 오목부가 형성된 SOG막; 오목부 형태를 유지하면서 제 2 층간절연막 및 SOG막 상부에 순차적으로 형성된 제 3 층간절연막 및 패시배이션막; 패시배이션막 상부에 형성된 평탄화막; 및 평탄화막 상부에 형성된 볼록형 마이크로 렌즈를 포함한다.
바람직하게, 금속배선 및 더미 금속패턴은 제 1 층간절연막 상부에서 수광소자를 둘러싸도록 배치되고, 패시배이션막은 평탄화막보다 큰 굴절율을 갖는 물질로 이루어진다.
또한, 상기 본 발명의 다른 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 이미지 센서의 제조방법은 수광소자를 포함하는 화소가 형성되고, 그 상부에 제 1 층간절연막이 형성된 반도체 기판을 준비하는 단계; 제 1 층간절연막 상에 금속배선을 형성함과 동시에 금속배선과 소정간격 이격되도록 더미 금속패턴을 형성하는 단계; 금속배선 및 더미 금속패턴의 토폴로지를 유지하여 수광소자 상부에서 소정의 홈이 생성되도록 기판 상에 제 2 층간절연막을 형성하는 단계; 홈에 매립되도록 제 2 층간절연막 상에 SOG막을 형성하는 단계; SOG막을 제 2 층간절연막의 표면이 노출되도록 마스크 없이 전면 식각하여 홈에 매립된 SOG막의 표면에 오목부를 형성하는 단계; 오목부의 형태가 유지되도록 기판 전면 상에 제 3 층간절연막 및 패시배이션막을 순차적으로 형성하는 단계; 패시배이션막 상부에 평탄화막을 형성하여 기판의 표면을 평탄화하는 단계; 및 평탄화막 상부에 볼록형 마이크로 렌즈를 형성하는 단계를 포함한다.
바람직하게, 금속배선 및 상기 더미 금속패턴은 제 1 층간절연막 상에서 수광소자를 둘러싸도록 형성하고, SOG막의 전면식각은 에치백 공정을 이용하여 과도식각으로 수행하며, 패시배이션막은 평탄화막보다 큰 굴절율을 갖는 물질로 형성한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다.
도 3a 내지 도 3c는 본 발명의 실시예에 따른 이미지 센서의 제조방법을 설명하기 위한 단면도이고, 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 금속배선과 더미 금속패턴을 나타낸 평면도이다.
도 3a를 참조하면, 실리콘과 같은 반도체 기판(30) 상에 소자간의 전기적인 절연을 위하여 필드 절연막(31)을 형성하고, 포토다이오드와 같은 수광소자(32)를 포함하는 화소를 형성한다. 그 다음, 기판 전면 상에 제 1 층간절연막(33)을 형성하고, 제 1 층간절연막(33) 상에 금속배선(34)을 형성함과 동시에, 도 4에 도시된 바와 같이, 금속배선(34)을 제외한 영역에 금속배선(34)과 소정간격 이격되도록 더미 금속패턴(34A)을 형성한다. 이에 따라, 수광소자(32)가 제 1 층간절연막(33) 상부에서 금속배선(34) 및 더미 금속패턴(34A)에 의해 둘러싸이는 형태가 된다.
도 3b를 참조하면, 도 3a의 구조 상에 금속배선(34) 및 더미 금속패턴(34B; 도 4 참조)의 토폴로지가 유지되도록 제 2 층간절연막(35)을 형성하여, 수광소자(32) 상부의 제 2 층간절연막(35)에 소정의 홈이 생성되도록 한다. 그 다음, 상기 홈에 매립되도록 제 2 층간절연막(35) 상에 SOG막(36)을 도포하고, 큐어링(curing)을 수행하여 SOG막을 플로우(flow)시켜 SOG막(36)의 표면을 평탄화한다. 이때, 도시되지는 않았지만, 표면 평탄화에 의해, SOG막(36)은 금속배선(34B)의 상부보다 상기 홈 상부에서 더 두꺼운 두께를 갖는다. 그 다음, 이 평탄화된 SOG막(36)을 마스크 없이 전면 식각하여 제 2 층간절연막(35)의 표면을 노출시킴과 동시에 상기 홈 내에만 SOG막(36)이 남도록 한다. 이때, 전면식각을 과도식각(over-etching)으로 수행함에 따라, 제 2 층간절연막(35)의 표면 일부가 제거되고, 도 3b에 도시된 바와 같이, SOG막(36)의 표면에는 소정의 오목부(200)가 형성된다. 바람직하게, 전면식각은 에치백(etch-back) 공정으로 수행한다.
그리고 나서, 기판 전면 상에 상기 오목부(200)의 형태가 유지되도록 제 3 층간절연막(37) 및 패시배이션막(38)을 순차적으로 형성한다. 여기서, 패시배이션막(38)은 수분이나 스크래치로부터 소자를 보호하는 보호막으로서 작용할 뿐만 아니라, 이후 상부에 형성되는 평탄화막보다 큰 굴절율을 갖는 물질로 이루어져서,표면에 유지된 오목부(200)에 의해 소정의 오목형 마이크로 렌즈로서 작용함으로써, 이후 형성되는 볼록형 마이크로 렌즈에서 굴절되는 빛을 집광하여 수광소자(32)로 입사되도록 한다.
그 후, 도 3c에 도시된 바와 같이, 패시배이션막(38) 상부에 평탄화막(39)을 형성하여 표면을 평탄화한 다음, 광집속을 위하여 수광소자(32) 상의 평탄화막(39) 상부에 볼록형 마이크로 렌즈(40)을 형성한다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면, SOG막의 식각특성을 이용하여 별도의 마스크 공정 없이 수광소자 상부의 볼록형 마이크로 렌즈 하부에 오목형 마이크로 렌즈를 용이하게 적용함으로써, 공정이 복잡해지는 것 없이 광감도를 향상시킬 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고, 본 발명의 기술적 요지를 벗어나지 않는 범위내에서 다양하게 변형시켜 실시할 수 있다.
전술한 본 발명은 공정을 복잡화하지 않으면서 이미지 센서의 광감도를 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

Claims (8)

  1. 수광소자를 포함하는 화소가 형성된 반도체 기판;
    상기 기판 상에 형성된 제 1 층간절연막;
    상기 제 1 층간절연막 상에 형성된 금속배선 및 더미 금속패턴;
    상기 금속배선 및 상기 더미 금속패턴의 토폴로지를 유지하면서 상기 제 1 층간절연막, 상기 금속배선 및 더미 금속패턴 상부에 형성되고, 상기 수광소자 상부에서 소정의 홈을 구비하는 제 2 층간절연막;
    상기 홈 내에만 매립되고 그 표면에 오목부가 형성된 SOG막;
    상기 오목부 형태를 유지하면서 상기 제 2 층간절연막 및 상기 SOG막 상부에 순차적으로 형성된 제 3 층간절연막 및 패시배이션막;
    상기 패시배이션막 상부에 형성된 평탄화막; 및
    상기 평탄화막 상부에 형성된 볼록형 마이크로 렌즈를 포함하는 것을 특징으로하는 이미지 센서.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 금속배선 및 상기 더미 금속패턴은 상기 제 1 층간절연막 상부에서 상기 수광소자를 둘러싸도록 배치된 것을 특징으로 하는 이미지 센서.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 패시배이션막은 상기 평탄화막보다 큰 굴절율을 갖는 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 이미지 센서.
  4. 수광소자를 포함하는 화소가 형성되고, 그 상부에 제 1 층간절연막이 형성된 반도체 기판을 준비하는 단계;
    상기 제 1 층간절연막 상에 금속배선을 형성함과 동시에 상기 금속배선과 소정간격 이격되도록 더미 금속패턴을 형성하는 단계;
    상기 금속배선 및 상기 더미 금속패턴의 토폴로지를 유지하여 상기 수광소자 상부에서 소정의 홈이 생성되도록 상기 기판 상에 제 2 층간절연막을 형성하는 단계;
    상기 홈에 매립되도록 상기 제 2 층간절연막 상에 SOG막을 형성하는 단계;
    상기 SOG막을 상기 제 2 층간절연막의 표면이 노출되도록 마스크 없이 전면 식각하여 상기 홈에 매립된 상기 SOG막의 표면에 오목부를 형성하는 단계;
    상기 오목부의 형태가 유지되도록 상기 기판 전면 상에 제 3 층간절연막 및 패시배이션막을 순차적으로 형성하는 단계;
    상기 패시배이션막 상부에 평탄화막을 형성하여 상기 기판의 표면을 평탄화하는 단계; 및
    상기 평탄화막 상부에 볼록형 마이크로 렌즈를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 이미지 센서의 제조방법.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 금속배선 및 상기 더미 금속패턴은 상기 제 1 층간절연막 상에서 상기 수광소자를 둘러싸도록 형성하는 것을 특징으로 하는 이미지 센서의 제조방법.
  6. 제 4 항에 있어서,
    상기 SOG막의 전면식각은 과도식각으로 수행하는 것을 특징으로 하는 이미지 센서의 제조방법.
  7. 제 4 항 또는 제 6 항에 있어서,
    상기 전면식각은 에치백 공정으로 수행하는 것을 특징으로 하는 이미지 센서의 제조방법.
  8. 제 4 항에 있어서,
    상기 패시배이션막은 상기 평탄화막보다 큰 굴절율을 갖는 물질로 형성하는 것을 특징으로 하는 이미지 센서의 제조방법.
KR10-2001-0068949A 2001-11-06 2001-11-06 이미지 센서 및 그 제조방법 KR100399971B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2001-0068949A KR100399971B1 (ko) 2001-11-06 2001-11-06 이미지 센서 및 그 제조방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2001-0068949A KR100399971B1 (ko) 2001-11-06 2001-11-06 이미지 센서 및 그 제조방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20030037859A KR20030037859A (ko) 2003-05-16
KR100399971B1 true KR100399971B1 (ko) 2003-09-29

Family

ID=29568227

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR10-2001-0068949A KR100399971B1 (ko) 2001-11-06 2001-11-06 이미지 센서 및 그 제조방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100399971B1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101023071B1 (ko) * 2008-09-05 2011-03-24 주식회사 동부하이텍 이미지 센서 및 그 제조 방법

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007149842A (ja) * 2005-11-25 2007-06-14 Sanyo Electric Co Ltd 半導体装置
KR100766244B1 (ko) * 2005-12-28 2007-10-10 동부일렉트로닉스 주식회사 이미지 센서

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0799296A (ja) * 1993-09-28 1995-04-11 Sharp Corp 固体撮像装置およびその製造方法
JPH1187673A (ja) * 1997-09-11 1999-03-30 Sony Corp 固体撮像素子
JPH1187674A (ja) * 1997-07-11 1999-03-30 Sony Corp 固体撮像素子、固体撮像素子の製造方法および撮像装置
JPH1187672A (ja) * 1997-09-11 1999-03-30 Sony Corp 固体撮像素子の層内集光レンズの形成方法
JPH11274443A (ja) * 1998-03-19 1999-10-08 Canon Inc 固体撮像装置及びその製造方法
US6030852A (en) * 1995-05-22 2000-02-29 Matsushita Electronics Corporation Solid-state imaging device and method of manufacturing the same

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0799296A (ja) * 1993-09-28 1995-04-11 Sharp Corp 固体撮像装置およびその製造方法
US6030852A (en) * 1995-05-22 2000-02-29 Matsushita Electronics Corporation Solid-state imaging device and method of manufacturing the same
JPH1187674A (ja) * 1997-07-11 1999-03-30 Sony Corp 固体撮像素子、固体撮像素子の製造方法および撮像装置
JPH1187673A (ja) * 1997-09-11 1999-03-30 Sony Corp 固体撮像素子
JPH1187672A (ja) * 1997-09-11 1999-03-30 Sony Corp 固体撮像素子の層内集光レンズの形成方法
JPH11274443A (ja) * 1998-03-19 1999-10-08 Canon Inc 固体撮像装置及びその製造方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101023071B1 (ko) * 2008-09-05 2011-03-24 주식회사 동부하이텍 이미지 센서 및 그 제조 방법

Also Published As

Publication number Publication date
KR20030037859A (ko) 2003-05-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100477789B1 (ko) 이미지센서의 제조 방법
US7709969B2 (en) Solid-state imaging device and method of manufacturing solid-state imaging device
US6624404B2 (en) CMOS Image sensor having enhanced photosensitivity and method for fabricating the same
JP5783741B2 (ja) 固体撮像装置、及び固体撮像装置の製造方法
JP3809708B2 (ja) 固体撮像素子並びにその製造方法
KR100937657B1 (ko) 이미지 센서 및 그 제조 방법
JPH11121725A (ja) 固体撮像素子とその製造方法
JP4153426B2 (ja) 集積イメージセンサを製造するための方法
KR100399971B1 (ko) 이미지 센서 및 그 제조방법
KR100748313B1 (ko) 이미지센서의 제조방법
KR100896878B1 (ko) 이미지 센서 및 그 제조방법
JP3467434B2 (ja) 固体撮像素子およびその製造方法
KR20020042098A (ko) 이미지센서 및 그 제조 방법
KR100449951B1 (ko) 이미지센서 및 그 제조 방법
KR20010005046A (ko) 광감도 개선을 위한 이미지센서 제조방법
KR20020058265A (ko) 반도체소자의 형성방법
KR100817710B1 (ko) 입사광의 파장에 따라 마이크로렌즈의 곡률반경을 달리한시모스 이미지센서 및 그 제조방법
KR100790211B1 (ko) 이미지 센서 및 그 제조방법
KR20030038838A (ko) 이미지 센서 및 그 제조방법
TWI599028B (zh) 影像感測器及其製作方法
KR100410590B1 (ko) 이미지센서 및 이미지센서 제조방법
KR20050059738A (ko) 씨모스 이미지 센서 제조방법
KR100399939B1 (ko) 이미지 센서 및 그 제조방법
US20070075382A1 (en) Integrated circuit and method for manufacturing the same
KR100683395B1 (ko) 광감도 개선을 위한 이미지센서 제조방법

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20110830

Year of fee payment: 9

LAPS Lapse due to unpaid annual fee