KR100348339B1 - 흑연화전기로 - Google Patents

Abstract

탄소 분말 흡입구와 흑연 분말 수집 포트가 노 본체상에 대향하게 배열된다. 하나 이상의 전극쌍이 상기 흡입구와 수집 포트 사이의 중간 위치에서 흑연화 영역에 대해 대향하게 노 본체내에 배열된다.

Description

흑연화 전기로{Graphitizing electric furnace}

본 발명은 흑연화 전기로에 관한 것이다.

종래에는 불활성 분위기하에서 약 3,000℃ 이상의 온도의 열처리를 통해 탄소 분말을 흑연화하는 것에 의해 인조 흑연 분말을 산업적으로 생산해왔다.

이 형태의 흑연 분말 생산에서, 탄소 분말에 전류를 직접적으로 공급하여 발생하는 줄 열(Joule's heat)에 의해 탄소 분말을 흑연화하는 에치슨 노(Acheson furnace) 등의 흑연화 전기로가 사용되어 왔다. 일반적으로, 현존하는 흑연화 전기로는 1회분 단위의 생산(batch type production)으로 흑연 분말을 생산하도록 설계되어 있어 생산성이 낮다. 그러므로, 탄소 분말을 열처리함에 의해 연속적으로 흑연 분말을 생산할 수 있는 흑연화 전기로의 개발이 강력하게 요구되고 있다.

그러나, 현재 제안되어 있는 대부분의 연속적인 흑연화 전기로는 탄소 분말이 한쌍의 흑연 전극 사이의 공간에 채워지고, 탄소 분말이 이동되는 동안 전류가 상기 공간으로 공급되어 줄 열로 탄소 분말을 가열한다. 연속적으로 탄소 분말을 흑연화 하도록 노안의 온도를 3,000℃ 이상으로 유지하기 위한 가열원으로서 실제적으로 사용되는 줄 열에 의해서 흑연 전극 그 자체도 가열되고, 전극이 약 3,000℃ 이상의 고온에 노출되기 때문에 흑연 전극의 마모나 승화가 필연적으로 초래된다. 흑연 전극의 마모는 현재까지 연속적인 흑연화 전기로의 실용화에 큰 장애물이되어 왔으며, 현재도 큰 장애물이다.

이를 해결하기 위하여, 예를 들어 연속적인 흑연화 전기로를 고려하면, 연속적인 흑연화 전기로에서는 파이프형태의 한쌍의 흑연 전극이 노 본체내에서 대향하게 배열되고, 그 흑연 전극쌍이 탄소 분말 흡입구와 흑연 분말 수집 포트의 역할을 한다. 이런 흑연화 전기로에서, 탄소 분말이 노 본체내에 채워지고 전류가 전원으로부터 흑연 전극쌍 사이의 공간으로 공급될 때, 흑연 전극 그 자체는 가열기로서 작용하도록 가열되고, 흑연전극의 중앙 및 내측의 탄소 분말은 줄 열에 의해 가열되어 흑연화된다. 따라서, 흑연 전극 파이프의 한쪽 측면의 흑연 전극을 통해 새로운 탄소 분말이 노 본체내로 체워지는 동시에, 흑연 전극 파이프의 한쪽 측면을 통해 흑연 분말을 수집하므로서 흑연 분말을 연속적으로 생산할 수 있을 것으로 생각되었다. 그러나, 이경우에는 고온의 흑연 분말을 수집하는 흑연 전극 파이프의 한 측면이 항상 고온에 노출되기 때문에 장시간의 사용을 견딜수 없고, 쉽게 승화하게 된다.

상술한 문제와 다른 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명의 목적은 흑연 전극을 사용하지 않고, 흑연 분말을 고온으로 가열함에 의해 연속적인 흑연 분말의 생산을 가능하게 하는 높은 실용성을 가진 흑연화 전기로를 제공하는 것이다.

본 발명에 따른 흑연화 전기로는 노 본체와, 노 본체에서 대향하게 배열된 탄소 분말 흡입구 및 흑연 분말 수집 포트와, 상기 흡입구와 상기 수집 포트 사이의 중간 위치에서 흑연화 영역에 대해 대향하게 노 본체내에 배열된 하나 이상의 전극쌍을 포함한다.

따라서, 본 발명에서는 흡입구를 통해 탄소 분말이 그 내부에 채워지는 노 본체내에서 전극의 전기적 활성화에 의해서 줄 열에 의해 가열된 전극들 사이에 흑연화 영역을 포함하는 축방향 영역이 생성되고, 이때 노 본체의 벽에 인접한 주변 탄소 분말은 예로서, 자연적인 공기 냉각에 의해 충분히 낮은 온도에서 유지된다. 결과적으로, 단지 흑연화 영역에서만 노 본체내의 탄소 분말이 국부적으로 고온으로 가열되고 흑연화된다. 따라서, 새로운 탄소 분말이 흡입구를 통해 채워지는 동안 수집 포트를 통해 흑연 분말을 수집함으로써 흑연 분말의 연속적인 생산이 실용적으로 획득될 수 있다.

이경우에, 흑연화 영역의 탄소 분말은 전기적 활성화 또는 전류의 공급에 의해 발생된 줄 열에 의한 가열을 통해 흑연화된다. 흡입구로부터 수집 포트로의 흑연 분말 및/또는 탄소의 흐름을 둘러싸는 탄소 분말은 노 본체 내부에 남아 있는다. 즉, 노 본체의 코어의 탄소 분말은 흑연화되는 반면에 노 벽에 인접한 주변의 탄소 분말은 노 본체에 대한 단열체로서의 역할을 한다. 결과적으로, 흑연화 영역은 고온에서 적절하게 유지된다. 원재료로서의 탄소 분말을 제외한 어떠한 다른 물질도 노 본체(1) 내에 존재하지 않기 때문에, 어떠한 불순물도 수집 포트를 통해 수집되는 흑연분말에 도입될 수 없고, 단지 순수한 흑연 분말만이 적절하게 수집될 수 있다. 노 벽과 전극 주변에 인접한 탄소 분말은 저온에서 유지되고 이동하지 않으며, 이것이 노 본체와 전극의 연소 손상을 완화하고 내구성을 향상시키는 것을 가능하게 한다.

더욱이, 본 발명에서는 복수개의 전극쌍이 노 본체 내에서 흑연화 영역에 대해 대향하게 배치될 수 있고, 전류가 시간차를 가지고 순차적으로 각각의 전극쌍에 공급될 수 있다. 이런 시간차를 가지고 순차적으로 각각의 전극쌍이 전기를 띄도록 하는 것은 각각의 전극쌍 사이에서 흐르는 전류가 항상 흑연화 영역을 통과하게하고, 그래서 흑연화 영역은 주변 탄소 분말의 전류 밀도보다 더 높은 전류 밀도를 가지며, 따라서 줄열에 의한 가열값이 증가되고, 이것이 단지 흑연화 영역만을 국부적으로 고온으로 가열하는 것을 매우 용이하게 하고 노 본체의 설계가 크기의 측면에서 소형화된다.

본 발명에서, 노 본체는 원통형의 배럴을 구비할 수 있다. 탄소 분말 흡입구와 흑연 분말 수집 포트는 노 본체의 상면과 저면상의 중앙에 각각 배열될 수 있다. 각각의 전극쌍은 각각의 전극쌍이 배럴의 직경방향으로 대향하게 배열되도록 노 본체의 내벽상에 환형 배열로 배치될 수 있다.

시간차를 두고 각각의 전극쌍을 순차적으로 전기를 띄게 하기 위하여, 전류 제어기가 제공되고, 상기 제어기가 시간차를 두고 각각의 전극쌍에 순차적으로 전원을 연결하는 것이 바람직하다.

더욱이, 노 본체는 수냉식 구조로 설계될 수 있다. 또한 불활성 가스 분위기로 전환되거나 진공 상태로 될 수 있는 중간 챔버를 형성하도록 이중 배플 수단이 각각의 흡입구와 수집 포트에 배열될 수 있다.

도 1은 본 발명에 따른 일실시예의 단면도.

도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ 화살표 방향에서 도시한 도면.

도 3은 본 발명에 따른 다른 실시예의 단면도.

도 4는 도 3의 Ⅳ-Ⅳ 화살표 방향에서 도시한 도면.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

1 : 노 본체 2 : 탄소 분말

3, 6 : 스크류 컨베이어 4 : 흡입구

5 : 흑연 분말 7 : 흑연 분말 수집 포트

8 : 흑연화 영역 9a, 9b : 전극쌍

본 발명의 실시예가 첨부된 도면을 참조로 기술된다.

도 1 및 도 2는 본 발명의 실시예를 도시하는 도면이고, 참조 부호 1은 수냉식 구조로 설계된 노 본체를 나타낸다. 노 본체(1)는 탄소 분말(2)이 예를 들어 스크류 컨베이어(3)를 경유하여 노 내부로 채워지도록 노 본체(1)의 상단 중심에 배치된 탄소 분말 흡입구(4)를 구비한다. 노 본체(1)는 탄소 분말(2)의 흑연화에 의해 열처리로 얻어진 흑연 분말이 스크류 컨베이어(6)를 경유하여 수집될 수 있도록 노 본체(1)의 저면 중심에 배치된 흑연 분말 수집 포트(7)를 구비한다. 노 본체(1)는 아르곤 또는 다른 불활성 가스 분위기로 채워지거나 또는 진공화되어 외부 대기로부터 차단된 상태이다.

도시된 바와 같은 노 본체(1)는 흡입구(4)와 포트(7)가 그 위에 배치되는 축(0)을 구비하고, 상단이 원추형인 원통형 베럴에 의해 구성된다. 노 본체(1)는 평탄한 원반의 형태인 저면을 갖는다.

노 본체(1)의 수냉식 구조는 본 기술 분야에서 종래의 기술을 사용할 수 있다. 보다 명확하게 말하면, 노 본체(1)의 벽은 수냉식 재킷(jacket)으로 형성될 수 있거나, 재킷 또는 통로내에서 냉각수를 순환시키기 위한 복수개의 흐름 통로를 구비할 수 있다.

더욱이, 본 실시예에 따라서, 흡입구(4)와 포트(7) 사이에서 노 본체(1)내의 중간위치에 흑연화 영역(8; 도면에서 직교 평행선으로 음영을 넣은 영역)이 제공된다. 노 본체(1)는 흑연화 영역(8)의 높이와 동일한 높이의 내벽상에 구리 또는 다른 도전성 재료로 제조되어 환형으로 배열된 전극쌍(9a, 9b)을 구비한다. 각각의 전극쌍(9a, 9b)은 흑연화 영역에 대해 대향하는 위치에 배치되고, 전류가 각각의 전극쌍에 시간차를 두고 순차적으로 공급될 수 있도록 전류 제어기(10)를 경유하여 전원(11)에 연결된다.

전극(9a, 9b)에 인접한 노 본체(1)의 내벽면은 반드시 전기적으로 절연되어야만하고, 탄소 분말과 접촉하는 노 본체(1)의 벽면은 세라믹이나 경질의 플라스틱 또는 다른 절연 재료로 제조되어야만 한다. 전원(11)은 AC 또는 DC 전원일 수 있다.

탄소 분말 흡입구(4)를 통해 탄소 분말(2)이 노 본체(1)내에 채워지고, 각각의 전극쌍(9a, 9b)에는 전원(11)에 의해 전류 제어기(10)를 경유하여 시간차를 두고 순차적으로 전류가 공급된다. 특히, 도 2에 도시된 바와 같이, 각각의 전극쌍(9a, 9b) 사이를 흐르는 전류는 주로 낮은 체적 저항을 가진 흑연화 영역(8)을 통과하고, 그래서 흑연화 영역(8)은 주변의 탄소 분말의 전류 밀도 보다 더 높은 전류 밀도를 가지며 따라서, 줄 열에 의해 증가된 가열값을 갖는다. 반면에, 노 본체(1) 자체는 수냉되기 때문에 그 벽 또는 벽에 인접한 부분에서는 온도가 낮다. 결과적으로, 노 본체(1)내의 흑연화 영역(8)에서만 탄소 분말(2)은 국부적으로 고온으로 가열되고, 흑연화된다.

따라서, 흡입구(4)를 통해서 노 본체(1)의 내부로 새로운 탄소 분말(2)이 채워지는 동안 수집 포트(7)를 통해 흑연화 영역(8)에서 흑연화된 흑연 분말(5)을 수집함으로써 연속적으로 흑연 분말(5)을 생산할 수 있다.

이 경우에, 흑연화 영역(8)내의 탄소 분말(2)은 전류를 공급하여 발생되는 줄 열에 의한 가열을 통해서 흑연화되고, 흡입구(4)로부터 수집 포트(7)로의 탄소 (2) 및/또는 흑연 분말(5)의 흐름 주위의 탄소 분말(2)은 노 본체(1) 내측에 잔존하게 된다. 즉, 노 본체의 코어에서 탄소분말은 흑연화되는 반면에, 노 벽에 인접한 주변 탄소 분말은 노 본체(1)에 대한 단열체로서 작용한다. 결과적으로, 흑연화 영역(8)은 고온으로 적절하게 유지되고, 노 본체(1)의 내벽은 저온으로 유지된다. 원료로 사용되는 탄소 분말 외에는 어떠한 물질도 노 본체(1)내부에 존재하기 않기 때문에 수집 포트(7)를 통해 수집되는 흑연 분말(5)에 어떠한 불순물도 도입될 수 없고, 단지 순수한 흑연 분말(5)만이 흑연분말이 낮은 온도를 갖는 위치에 수집될 수 있다. 또한, 노 본체(1)와 전극쌍(9a, 9b)의 연소 손실이 경감되어, 노 본체(1)와 전극쌍(9a, 9b)의 내구성이 향상된다.

본 실시예에 따라서, 전극이 설치되는 높이에서 노의 벽부분은 냉각과 노의 벽면에 인접한 탄소분말의 절연효과에 따라, 주울열에 의해 국부적으로 가열되는 노의 중심부인 흑연화 영역에 비해 낮은 온도로 유지되게 되므로, 종래의 전기로에 비해 노의 내벽과 전극이 낮은 온도로 유지될 수 있다. 그 결과, 탄소 분말(2)은 구리 또는 유사한 재료로 제조된 전극쌍(9a, 9b)을 사용하여 고온으로 양호하게 가열될 수 있다. 따라서, 흑연 전극의 마모를 염려할 필요가 없고, 노 본체(1)와 전극쌍(9a, 9b)의 연소 손실이 경감되어 노 본체(1)와 전극(9a, 9b)의 내구성이 향상된다. 이것이 탄소 분말(2)을 열처리하므로서 흑연 분말(5)을 연속적으로 생산하는 흑연화 전기로의 실현을 가능하게 한다.

수집 포트(7)를 통해 수집되는 흑연 분말(5) 내부로 어떠한 불순물도 도입될 수 없고, 단지 순수한 흑연 분말(5)만이 수집되므로 생산된 흑연 분말(5)의 품질의 안정성을 광범위하게 향상시키는 것이 가능하다.

도 3 및 도 4에 본 발명의 다른 실시예가 도시된다. 이 실시예에서는 노 본체(1)에 수냉식 구조가 채택되지 않고, 노 본체(1)의 내벽은 단지 자연적인 공냉식의 냉각 효과만으로도 온도가 감소될 수 있다.

특히, 도 3은 노 본체(1)의 내부 공간을 질소, 아르곤 또는 다른 불활성 가스 분위기로 유지하기 위한 특수한 수단을 도시한다. 노 본체(1)는 그 저면에 배기 및 불활성 가스 파이프(1a, 1b)를 구비하고 이들은 진공 펌프(도시되지 않음)와 가스 공급원(도시되지 않음)에 각각 연결된다. 배출 파이프(1a)를 통한 배기와 불활성 가스 파이프(1b)를 통한 불활성 가스의 도입으로 노 본체(1)의 내부 공간을 불활성 가스 분위기로 변환할 수 있다.

더욱이, 볼 밸브(12, 13)가 흡입구(4)를 통해 탄소 분말(2)을 채우기 위한 스크류 컨베이어(3)의 상류에 이중 배플 수단(dual baffle means)으로서 배열된다. 중간 챔버(14)가 볼 밸브(12, 13)에 의해 형성되는 공간내에 배열되고, 상기 중간 챔버는 내부 분위기를 질소, 아르곤 또는 다른 불활성 가스 분위기로 변환하기 위해 배출 및 불활성 가스 파이프(14a, 14b)를 구비한다.

보다 명확하게 말하면, 탄소 분말(2)이 흡입구(4)를 통해 노 본체(1)내로 채워질 때, 먼저 상부 및 하부 볼 밸브(13, 12)가 각각 개방 및 폐쇄된 중간챔버(14)내로 탄소 분말(2)이 채워진다. 그후, 상부 볼 밸브(13)가 폐쇄된다. 챔버(14)는 파이프(14a)를 통해 진공 상태가 되고, 질소 또는 아르곤 가스 등의 불활성 가스가 파이프(14b)를 통해 챔버(14)를 불활성 가스 분위기로 전환하기 위해 도입된다. 그 후, 하부 볼 밸브(12)가 챔버(14)로부터 스크류 컨베이어(3)의 입구측으로 탄소분말(2)을 도입하도록 개방된다. 따라서, 탄소 분말(2)은 외부 대기와 혼합되지 않고 노 본체(1)내로 채워질 수 있다.

다른 한편에서, 수집 포트(7)를 통해 흑연 분말(5)을 수집하기 위하여 스크류 컨베이어의 하류측(6)에 이중 배플 수단으로서 볼 밸브(15, 16)가 배열된다. 볼 밸브(15, 16)에 의해 형성되는 공간내에 중간 챔버(17)가 배열되고, 상기 중간 챔버는 내부 분위기를 불활성 가스 분위기로 변환하기 위한 배기 및 불활성 가스 파이프(17a, 17b)를 구비한다.

보다 명확하게 말하면, 흑연 분말(5)이 수집 포트(7)를 통해 수집될 때, 챔버(17)는 볼 밸브(15, 16)가 폐쇄된 상태로 파이프(17a)를 통해 진공 상태가 된다. 질소, 아르곤 또는 다른 불활성 가스가 중간 챔버 내측의 공간을 불활성 가스 분위기로 변환하기 위해 파이프(17b)를 통해 도입된다. 그후, 상부 볼 밸브(15)가 개방되어 흑연 분말(5)을 챔버(17)로 이동시키고, 이어 상부 볼 밸브(15)가 폐쇄된다. 그후, 하부 볼 밸브(16)가 개방된다. 따라서, 흑연 분말(5)은 노 본체(1)내에 외부 공기가 침투되는 일 없이 수집될 수 있다.

도면에서, 참조부호 18은 노 본체(1)의 상면에 연결되고 탄소 분말(2)이 고온으로 가열되면서 발생된 메탄, 일산화탄소 일산화물 또는 이산화탄소 등의 내부 가스를 인출하기 위해 사용되는 가스 배기 파이프를 나타낸다.

상술한 배열의 흑연화 전기로에서, 탄소 분말(2)은 흡입구(4)를 통해 노 본체(1)내에 채워지고, 전원(11)은 각각의 전극쌍(9a, 9b)에 시간차를 두고 전류 제어기(10)를 경유하여 순차적으로 연결된다. 그후, 흑연화 영역(8)은 주변 탄소 분말(2)보다 더 높은 전류 밀도를 갖고, 따라서 줄 열에 의한 증가된 가열값을 갖는다. 이에 반하여, 노 본체(1)의 벽 부근의 온도는 자연적인 공냉에 의해 충분히 낮은 값으로 유지된다. 결과적으로, 노 본체(1) 내의 탄소 분말(2)은 단지 흑연화 영역(8)에서만 고온으로 가열되어 흑연화된다. 그후, 도 1 및 도 2에 도시된 실시예와 유사한 효과가 얻어진다.

도 1 내지 도 4에 도시된 어떠한 실시예에서도, 복수개의 전극쌍(9a, 9b)이 노 본체(1)내에 흑연화 영역(8)에 대하여 대향하게 배치되고, 각각의 전극쌍(9a,9b)에는 시간차를 두고 순차적으로 전류가 공급된다. 이점에 있어서, 흑연화 영역(8)은 주변 탄소 분말 보다 높은 전류 밀도를 가지고, 따라서, 줄 열에 의한 가된 가열 값을 가지며, 그래서, 단지 흑연화 영역(8)만이 국부적으로 고온으로 가열될 수 있고, 노 본체(1)는 소형으로 제조될 수 있다. 복수의 전극쌍(9a, 9b)을 사용하는 것이 필수적인 것은 아니며, 예를 들어, 상대적으로 길게 측방향으로 연장된 단일 전극쌍(9a, 9b)이 노 본체(1)내에 배치될 수도 있고, 상기 전극쌍은 흑연화 영역(8)에 대해 대향한 직사각형 단면을 가질 수도 있다. 이런 한쌍의 전극쌍(9a, 9b) 배열로도, 노벽으로부터의 냉각 효과와 흑연화된 분말의 낮은 체적 저항 때문에, 흑연화 영역(8)만을 고온으로 가열하는 것을 가능하게 한다.

보다 명확하게 말하면, 탄소 분말(2)이 채워진 노 본체(1)가 질소, 아르곤 또는 다른 불활성 가스로 채워질 때는, 단지 자연적인 공기 냉각만으로도 노 본체(1)의 내벽과 내벽에 인접한 부위의 온도가 충분히 감소될 정도로 노 본체의 내벽으로의 열 전달 계수가 증가된다. 반면에, 탄소 분말(2)의 입자 사이의 열 전달 계수는 낮고, 그래서 흑연화 영역(8)을 둘러싼 탄소 분말의 단열 효과 때문에 노 본체의 코어에서만 국부적으로 고온 흑연화 영역(8)이 형성될 수 있다. 이런 냉각 및 단열 효과를 최대로 달성함으로써 단지 한쌍의 전극쌍(9a, 9b)으로도 탄소 분말(2)의 연속적인 흑연화를 가능하게 한다.

본 발명에 따른 흑연화 전기로는 상술한 실시예에 한정되지 않고, 본 발명의 사상과 범위를 벗어나지 않고 다양한 변경과 수정이 가능함을 이해해야만 한다. 예로서, 탄소 분말 흡입구 및 흑연 분말 수집 포트는 수직방향 외에 어떠한 방향에서도 대향하게 배치될 수 있다. 노 본체의 베럴을 도면에 도시된 형상 외의 형상, 예를 들어, 다각형 또는 구 형상으로 설계될 수 있다. 전극은 각각의 전극쌍이 다른 평면에 배치된 흑연화 전극에 대한 삼차원적으로 대향하게 배치될 수 있다. 더욱이, 노 본체의 내부 공간은 불활성 가스 분위기로 변환되는 대신 진공 상태로 될 수 있다. 이 경우에, 탄소 분말 흡입구와 흑연 분말 수집 포트 상의 각각의 이중 배플 수단에 의해 형성되는 중간 챔버도 또한 탄소 분말을 채우고, 흑연 분말을 수집하기 위해 진공 상태로 될 수 있다.

본 발명에 따른 흑연화 전기로에서는 단지 흑연화 영역에서만 노 본체내의 탄소 분말이 국부적으로 고온으로 가열되고 흑연화된다. 따라서, 새로운 탄소 분말이 흡입구를 통해 채워지는 동안 수집 포트를 통해 흑연 분말을 수집함에 의해 흑연 분말의 연속적인 생산이 실용적으로 획득될 수 있다.

Claims (9)

1. 흑연화 전기로에 있어서,

   노 본체와,

   노 본체상에 대향하게 배열된 탄소 분말 흡입구 및 흑연 분말 수집 포트와,

   상기 흡입구 및 상기 수집 포트 사이의 중간 위치에서 흑연화 영역에 대하여 노 본체내에 대향하게 배열된 하나 이상의 전극쌍을 포함하는 흑연화 전기로.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 노 본체는 원통형 배럴을 구비하고,

   상기 탄소 분말 흡입구는 노 본체의 상면 중앙에 배열되고,

   상기 흑연 분말 수집 포트는 노 본체의 저면 중앙에 배열되며,

   상기 각 전극쌍들은 각 전극쌍이 노 본체의 배럴에 직경 방향으로 대향하여 배열되도록 노 본체의 내벽상에 환형으로 배열되어 있는 흑연화 전기로.
3. 제 2 항에 있어서, 전류 제어기를 추가로 포함하고,

   상기 전류 제어기는 각 전극쌍을 시간차를 두고 차례로 전원에 접속하는 흑연화 전기로.
4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 노 본체는 수냉식 구조로 설계된 흑연화 전기로.
5. 제 3 항에 있어서, 상기 노 본체는 수냉식 구조로 설계된 흑연화 전기로.
6. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 각 탄소 분말 흡입구 및 흑연 분말 수집 포트상에 이중 배플 수단을 추가로 포함하여, 불활성 가스 분위기로 변환되거나 진공상태로 될 수 있는 중간 챔버를 형성하는 흑연화 전기로.
7. 제 3 항에 있어서, 각 탄소 분말 흡입구 및 흑연 분말 수집 포트상에 이중 배플 수단을 추가로 포함하여, 불활성 가스 분위기로 변환되거나 진공 상태로 될 수 있는 중간 챔버를 형성하는 흑연화 전기로.
8. 제 4 항에 있어서, 각 탄소 분말 흡입구 및 흑연 분말 수집 포트상에 이중 배플 수단을 추가로 포함하여, 불활성 가스 분위기로 변환되거나 진공 상태로 될 수 있는 중간 챔버를 형성하는 흑연화 전기로.
9. 제 5 항에 있어서, 각 탄소 분말 흡입구 및 흑연 분말 수집 포트상에 이중 배플 수단을 추가로 포함하여, 불활성 가스 분위기로 변환되거나 진공 상태로 될 수 있는 중간 챔버를 형성하는 흑연화 전기로.