KR100333571B1

KR100333571B1 - 검사시스템

Info

Publication number: KR100333571B1
Application number: KR1019970051421A
Authority: KR
Inventors: 오히시아끼라
Original assignee: 사와무라 시코; 오끼 덴끼 고오교 가부시끼가이샤
Priority date: 1996-12-10
Filing date: 1997-10-07
Publication date: 2002-06-20
Also published as: CN1185032A; KR19980063512A; TW340185B; CN1113405C; JPH10170602A; US5926774A

Abstract

반도체 부품과 같은 피검사물이 양호한지 또는 불량인지를 검사하는 본 발명의 검사 시스템은 피검사물을 검사하는 테스터 및 피검사물을 취급하는 핸들러들의 가동율을 향상시키기 위하여 가동 상태 데이터를 수집한다. 핸들러들 (30A, 30B) 및 테스터 (40) 가 접속되는 릴레이 장치 (20) 는 그들로부터 가동 상태 데이터를 수집하고, 피검사물을 계수하고, 데이터 및 계수를 서버 장치 (50A) 및 기억 장치 (50B) 로 송신한다. 수집된 데이터 및 계수에 기초하여, 서버 장치 (50A) 는 단위 피목적물을 검사하기 위해 필요한 핸들러들 (30A, 30B) 및 테스터 (40) 의 가동 시간을 계산한다. 검사가 실행된 다음, 핸들러 (30A) 는 핸들러들 및 테스터의 최적 조합을 찾기 위해 가동 시간을 참조한다.

Description

검사 시스템{TEST SYSTEM}

본 발명은, 테스터 및 복수의 핸들러를 구비하며, 여기서 상기 테스터는 제조된 반도체 부품의 품질을 검사하고, 상기 다수의 핸들러들은 상기 테스터 내부로반도체 부품을 반입하거나 또는 상기 테스터로부터 반출하는 검사시스템에 관한 것으로, 보다 자세하게는 상기 테스터 및 상기 복수의 핸들러들에 대한 가동 상태 데이터를 수집하는 것에 관한 것이다.

통상적으로, 테스터는 제조된 반도체 부품들이 소정의 특성을 만족하는지의 여부를 조사하기 위해 IC 또는 LSI 부품 공장내에 만들어졌다. 이러한 검사 공정에서는, 2 가지 종류의 구성 요소를 구비하는 검사 시스템이 사용되었다: 하나는 소정의 검사 조건 (예를 들어, 입력 전압, 환경 온도, 가동 주파수) 아래에서 반도체 부품의 특성을 측정하는 테스터이고 다른 것은 상기 테스터가 반도체 부품을 검사할 수 있도록 검사 위치로 반도체 부품을 운반하고, 또한 검사 위치로부터 반도체 부품을 운반하는 핸들러이다. 다양한 종류의 반도체 부품을 검사하고 다양한 종류의 검사를 수행하기 위해, 다양한 테스터들 및 핸들러들이 제공된다. 그리고, 검사될 반도체 부품 및 검사에 사용될 검사 항목에 기초하여, 테스터 및 핸들러들의 특정한 조합이 사용된다.

일반적으로, 다양한 반도체 부품용으로 디자인된 테스터는 규모가 크고; 공장내의 고정된 위치에 설치된다. 이와는 달리, 제한된 반도체 부품용으로 디자인된 핸들러는 이동가능하고; 핸들러는 검사될 반도체 부품의 종류 또는 수행될 검사의 종류에 따라 선택된다. 검사 시스템이 가동 상태인 경우, 다수의 적절한 핸들러들이 테스터에 접속되어, 반도체 부품의 특성 및 성능을 측정한다.

또한, 테스터 및 핸들러의 이용을 개선하기 위하여, 상기 시스템은 그들의가동 데이터도 수집한다. 동일한 반도체 부품이 제조된 후, 상기 반도체 부품의 검사에 가장 적절한 테스터 및 핸들러를 선택하기 위하여 수집된 데이타를 사용한다.

그러나, 데이터를 수집하는 작업자의 작업부담을 줄이기 위하여, 종래의 시스템은 검사 시스템의 이용에 가장 큰 영향을 주는 테스테에 대해서만 데이터를 수집했다. 또한, 짧은 시간 동안에 발생하는 가동 변화에 대한 데이터는 수집하지도 않았다. 따라서, 검사 시스템의 최적 가동에 필요한 데이터를 수집하지 못하고, 그 결과 테스터 및 핸들러들이 가동율을 보다 향상시키는 것을 어렵게 했다.

도 1 은 실시예에 사용된 검사 시스템의 블록 다이어그램.

도 2 는 장치들 사이에서 커뮤니케이션을 위한 순서를 도시한 다이어그램.

도 3 은 테스터 및 핸들러의 가동 상태를 도시한 다이어그램.

도 4 는 여러 스테이션을 갖는 테스터의 처리 시간을 도시한 타이밍 차트.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

10A : 입출력 장치10B : 바코드 판독기

20 : 릴레이 장치30A : 제 1 핸들러

30B : 제 2 핸들러40 : 테스터

50A : 서버 장치50B : 기억 장치

60A : 백업 서버 장치60B : 백업 기억 장치

70 : 디스플레이 장치100a - 100n : 모듈

상술된 문제를 해결하기 위하여, 본 발명에 따른 검사 시스템은 피검사물을 검사하는 테스터 및 상기 피검사물을 취급하는 핸들러들로부터 가동 상태 데이터를 수집하여, 상기 테스터가 피검사물을 검사하고, 피검사물을 계수하고, 상기 상태 데이터 및 상기 계수를 저장하고, 또한 단위 피검사물을 검사하는 데 필요한 테스터 및 핸들러들의 가동 시간을 계산한다.

동일한 종류의 피검사물이 검사된 다음에, 상기 시스템은 상기 동일한 종류의 피검사물을 검사할 때 이전에 사용된 테스터 및 핸들러들의 조합에 효율면에서 일치하는 테스터 및 핸들러들의 조합을 검색하고 가장 적절한 조합을 찾는다. 그 결과, 검사 시간이 이전에 경과된 것보다 줄어들고, 테스터 및 핸들러들의 가동 효율을 향상시킨다.

이하, 본 발명에 따른 검사 시스템의 실시예를 설명한다.

도 1 은 본 발명에 따른 검사 시스템의 블록 다이어그램이다. 상기 검사 시스템은 피검사물의 최종 검사 공정에서 사용하기 위하여 IC 또는 LSI 와 같은 반도체 소자를 제조하는 공장내에 설치된다. 그것은 피검사물을 검사하는 다수의 모듈들 및 전체 시스템을 모니터하고 제어하는 모니터 제어 모듈로 기본적으로 구성됨으로써, 전체적으로 네트워크를 형성한다.

다수의 모듈들 (100a - 100n) 각각은 장치 (10A), 바코드 판독기 (10B), 릴레이 장치 (20), 제 1 핸들러 (30A), 제 2 핸들러 (30B) 및 테스터 (40) 를 구비한다. 장치 (10A) 는 IC 또는 LSI 와 같은 피검사물에 대한 검사를 수행하는 데 필요한 데이터 (예를 들어, 피검사물 종류, 로트 번호, 검사 조건) 를 수신하고 릴레이 장치 (20) 로부터 수신된 데이터를 디스플레이한다. 바코드 판독기 (10B) 는 데이터 등록을 보다 용이하게 한다. 릴레이 장치 (20) 는 제 1 핸들러 (30A), 제 2 핸들러 (30B) 및 테스터 (40) 로부터 검사 결과 및 피검사물의 가동 상태에 대한 데이터를 수집한다. 제 1 핸들러 (30A) 및 제 2 핸들러 (30B) 는 테스터 (40) 가 피검사물의 특성을 측정할 수 있도록 피검사물을 반입, 설치, 분리, 반출한다. 테스터 (40) 는 소정의 검사 조건하에서 피검사물의 특성을 측정한다.

모니터 제어 모듈 (200) 은, 전체 시스템에 대한 전체적인 모니터 및 제어를 수행하는 서버 장치 (50A); 장치 (10A) 로부터 입력된 데이터, 릴레이 장치 (20) 로부터 송신된 피검사물에 대한 검사 결과 데이터 및 핸들러 (30A, 30B) 와 테스터 (40) 에 대한 가동 상태 데이터를 저장하는 기억 장치 (50B); 서버 장치 (50A) 에의해 생성된 처리 결과를 프린트하는 프린터 (50C); 고장 허용 (fault tolerance) 을 보장하기 위하여 서버 장치 (50A) 및 기억 장치 (50B) 각각에 대한 예비 장치로써 기능하는 백업 서버 장치 (60A) 및 백업 기억 장치 (60B); 및 서버 장치 (50A) 로부터 송신된 처리 결과들 또는 기억 장치 (50B) 내에 저장된 데이터를 디스플레이하는 디스플레이 장치 (70) 를 구비한다.

도 2 는 모듈내의 장치들 사이의 커뮤니케이션 순서를 도시한다. 모니터 제어 모듈 (200) 과의 커뮤니케이션 및 모듈내의 장치들 사이의 커뮤니케이션에 대하여 모듈들 (100a - 100n) 각각에서 중심적인 역할을 하는 릴레이 장치 (20) 는 제 1 핸들러 (30A), 제 2 핸들러 (30B), 테스터 (40) 및 장치 (10A) 로 또는 로부터의 처리 명령, 처리 결과 및 에러 데이터를 릴레이한다. 또한, 릴레이 장치 (20) 는 피검사물에 대한 검사 결과 데이터, 모듈내에서 장치에 대한 가동 상태 데이터 및 모니터 제어 모듈 (200) 로 또는 로부터의 장치 모니터 및 제어 정보를 송신하거나 또는 수신한다.

제 1 핸들러 (30A) 및 제 2 핸들러 (30B) 각각은 그들 자신을 고유하게 식별하는 그들 자체의 식별 번호를 갖는다. DIP 스위치 또는 제 1 핸들러 (30A) 및 제 2 핸들러 (30B) 의 각각에서 병렬 접속기가 식별 번호를 설정하기 위해 사용된다. 핸들러의 식별 번호가 다른 것과 중복되는 것을 방지하기 위하여, 서버 장치 (50A) 는 핸들러들과 식별 번호들 사이의 대응을 관리한다.

제 1 핸들러 (30A) 및/또는 제 2 핸들러 (30B) 가 릴레이 장치 (20) 에 접속되었는지의 여부를 릴레이 장치 (20) 에 용이하고 신뢰할 수 있게 알리기 위하여,릴레이 장치 (20) 와 제 1 핸들러 (30A) 및/또는 제 2 핸들러 (30B) 사이의 인터페이스로써 병렬 인터페이스에 기초한 전류 루프가 사용된다. 비록 약간 복잡하지만, 직렬 커뮤니케이션을 통해 구현된 직렬 인터페이스도 또한 상기 인터페이스로써 사용될 수 있다.

릴레이 장치 (20) 에 제 1 핸들러 (30A) 및 제 2 핸들러 (30B) 의 접속 상태 및, 동시에, 그들의 식별 번호를 인식시키기 위하여, 병렬 접속기들이 핸들러 (30) 들의 식별 번호를 설정하기 위하여 사용되고 병렬 인터페이스가 릴레이 장치 (20) 및 핸들러 (30) 들 사이에 사용되는 것이 바람직하다. 이러한 배치구성으로 인해, 릴레이 장치 (20) 는 릴레이 장치 (20) 및 접속된 핸들러 (30) 들 각각의 사이에 놓인 루프백 (loopback) 을 체크할 수 있고, 보다 자세하게는, 어느 단자가 닫히고 (전류가 흐름) 또는 개방 (전류가 흐르지 않음) 되는지를 체크하고, 따라서 릴레이 장치 (20) 에 식별 번호 뿐만 아니라 핸들러들이 접속되었는지의 여부에 관한 정보를 제공한다. 반대로, 전원이 인가된 접속된 핸들러 (30) 가 릴레이 장치 (20) 로부터 끊어지고 즉, 전원이 오프되고 모든 단자들이 개방되는 경우, 상기 릴레이 장치 (20) 는 핸들러 (30) 가 끊어짐 즉, 전원이 오프되었음을 인식하게 된다.

제 1 핸들러 (30A) 또는 제 2 핸들러 (30B) 가 끊어지는 경우 즉, 전원이 오프되는 경우, 조작자는 가동 상태를 정확하게 파악하기 위하여 입력/출력 장치에 이유 즉, 원인을 입력한다.

릴레이 장치 (20) 는 상술된 바와 같이 획득된 접속 상태 정보 및 식별 번호를 서버 장치 (50A) 로 출력한다; 또한, 제 1 핸들러 (30A), 제 2 핸들러 (30B) 및 테스터 (40) 에 대한 가동 정보를 서버 장치 (50) 로 출력한다.

도 3 은 핸들러들 및 테스터에 대한 가동 상태 데이터를 도시한다. 상기 도면에 도시된 바와 같이, 사건 관리 번호, 사건 발생 타임 스탬프, 피검사물 로트 번호, 테스터/핸들러 식별 번호, 사건 내용 및 사건 코드 번호에 대한 데이터들이 릴레이 장치 (20) 로부터 서버 장치 (50A) 로 실시간으로 전송된다. 상기 데이터에 기초하여, 서버 장치 (50A) 는 각 장치의 작동 상태를 확인하기 위하여 식별 번호를 참조한다. 상기 데이터는 기억 장치 (50B) 내에 저장된다.

도 3 은 핸들러 가동 시간 및 핸들러 비가동 시간을 도시하지 않는다. 그러나, 만일 서버 장치 (50A) 가 제 1 핸들러 (30A) 또는 제 2 핸들러 (30B) 가 접속되지 않는 동안의 시간을 핸들러 비가동 시간으로 할당한다면, 이들 두 시간은 분명하게 구별될 수 있다.

도 4 는 피검사물의 처리 시간을 도시하는 타이밍 차트이다. 릴레이 장치 (20) 는 제 1 핸들러 (30A), 제 2 핸들러 (30B) 및 테스터 (40) 각각이 피검사물을 처리하는 시간에 대한 정보를 수집한다. 보다 자세하게는, 릴레이 장치 (20) 는 제 1 핸들러 (30A), 제 2 핸들러 (30B) 및 테스터 (40) 로부터 가동 시작 트리거 펄스 및 가동 완료 트리거 펄스를 수신한다. 그리고, 제 1 핸들러 (30A) 에 의해 다루어지는 피검사물 (A) 및 제 2 핸들러 (30B) 에 의해 다루어지는 피검사물 (B') 에 대하여, 다음의 3 가지 시간을 계산하기 위하여 트리거 펄스 수신 시간들을 사용한다: 피검사물 (B) 이 테스터 (40) 에 의해 검사되도록 대기하는시간 (t1 - t2), 피검사물 (B) 이 테스터 (40) 에 의해 검사되는 시간 (t2 - t3) 및 피검사물 (B) 이 다른 피검사물 (B') 과 교환되는 교환 시간 (t3 - t4). 그 다음에, 릴레이 장치 (20) 는 계산 결과들을 서버 장치 (50A) 로 전송한다.

상술된 대기 시간, 검사 시간 및 교환 시간에 의해 시스템은 각각의 장치가 턴온되어 있는 시간을 기준으로 제 1 핸들러 (30A), 제 2 핸들러 (30B) 및 테스터 (40) 의 가동 상태를 평가하는 것이 아니라; 대신에, 상기 시스템은 각각의 장치가 실제로 피검사물을 다루고 검사하는 시간을 이용하여 가동 상태를 평가한다. 이러한 방법에 의해 상기 시스템은 제 1 핸들러 (30A), 제 2 핸들러 (30B) 및 테스터 (40) 에 대한 보다 정확한 가동 상태 데이터를 얻게 된다.

릴레이 장치 (20) 는 또한 상기 시간들을 계산하면서 피검사물의 개수를 계수하고, 서버 장치 (50A) 로 그 결과를 전송한다.

상술된 바와 같이, 릴레이 장치 (20) 는 검사 결과, 피검사물의 개수, 제 1 핸들러 (30A) 및 제 2 핸들러 (30B) 의 접속 상태 (가동 상태), 제 1 핸들러 (30A), 제 2 핸들러 (30B) 및 테스터 (40)의 대기 시간, 검사 시간 및 교환 시간과 같은 다양한 유형의 데이터를 서버 장치 (50A) 및 기억 장치 (50B) 로 출력한다. 서버 장치 (50A) 는 기억 장치 (50B) 에 저장된 데이터에 대한 계산을 수행한다.

서버 장치 (50A) 는 각 장치에 대한 월 및 주별 가동 시간 총합을 계산하고, 각 로트에 대한 사건의 내용을 계산하고, 또는 단위 피검사물 각각을 검사하는 데 요구되는 총 시간을 계산한다. 디스플레이 장치 (70) 는 계산결과를 얻고 그것을 디스플레이하기 위해 서버 장치 (50A) 에 액세스한다.

서버 장치 (50A) 는 과거에 검사된 피검사물에 대한 검사 이력 데이터를 기억 장치 (50B) 내부에 저장한다. 상기 이력 데이터는 검사에 사용된 제 1 핸들러 (30A), 제 2 핸들러 (30B) 및 테스터 (40) 의 식별 번호들 뿐만 아니라 각 로트에 대하여 한 단위의 피검사물을 검사하기 위해 제 1 핸들러 (30A), 제 2 핸들러 (30B) 및 테스터 (40) 에 의해 요구되는 가동 시간들을 포함한다. 동일한 종류의 피검사물이 검사되는 경우, 시스템은 상기 피검사물을 검사하기 위하여, 핸들러들 (30A ,30B) 및 테스터 (40) 의 최상의 조합, 또는 핸들러들 (30C, 30D) 및 테스터 (40')(도시되지 않음) 의 최상의 조합을 탐색 위하여 검사 이력 데이터를 참조한다. 이와 같이 하면, 한 단위의 피검사물을 검사하기 위하여 핸들러들 (30) 및 테스터 (40) 에 의해 요구되는 가동 시간을 줄일 수 있고, 따라서 동일한 종류의 검사를 보다 적은 시간으로 완료할 수 있게 된다.

릴레이 장치 (20) 는 피검사물들의 특성을 측정할 뿐만 아니라 양호한 피검사물들 및 불량 피검사물들의 개수도 계수한다. 보다 자세하게는, 그것은 양호한 피검사물, 불량 피검사물, 재검사물의 개수 및 피검사물의 총개수를 계수한다. 릴레이 장치 (20) 는 이들 개수들을 서버 장치 (50A) 및 기억 장치 (50B) 로 출력한다.

불량 피검사물들의 개수에는 불량 피검사물 뿐만 아니라 불량 IC 소켓 또는 탐침과 같은 불량 도구 때문에 핸들러들 (30A, 30B) 및 테스터 (40) 에 대하여 불량인 피검사물들도 포함된다. 그러므로, 불량 피검사물 비율이 소정의 비율보다 높다면, 실제적인 원인을 알기 위하여 재검사가 실행되어야 한다. 재검사여부를 결정하기 위하여, 서버 장치 (50A) 는 릴레이 장치 (20) 로부터 수신된 개수 및 각각의 피검사물 종류에 대한 또는 각각의 피검사물 로트에 대한 소정의 비율을 사용한다. 서버 장치 (50A) 는 릴레이 장치 (20) 로부터 수신된 불량 피검사물 비율과 소정의 비율을 비교하고, 정확하고 신속하게 검사 여부를 결정할 수 있게 한다.

재검사를 해야 하는 경우, 사용자가 입출력 장치 (10A) 내에 검사 조건을 재입력하는 대신에, 상기 시스템은 기억 장치 (50B) 로부터 검사 조건 정보를 판독한다. 따라서, 데이터 재입력의 부담이 없어지고 정확하게 재검사 조건을 설정한다.

핸들러들 (30) 및 테스터 (40) 에 대한 상술된 공구들은 오래 사용하면 전기적인 접촉 문제 또는 기계적인 오작동을 일으킬 수 있다. 낡은 공구 때문에 불량으로 결정되는 피검사물의 개수를 줄이기 위하여, 문제가 생기기 전에 오래된 공구를 교환하는 것이 바람직하다. 이러한 목적으로, 핸들러들 (30) 및 테스터 (40) 는 공구 사용 기간 및 공구 사용 횟수를 수집하고, 릴레이 장치 (20) 는 수집된 공구 사용 기간 및 공구 사용 횟수 뿐만 아니라 공구 종류의 데이터도 서버 장치 (50A) 및 기억 장치 (50B) 로 전송한다.

기억 장치 (50B) 는 공구 종류, 공구의 최대 사용 기간 및 최대 사용 횟수에 대한 규격 데이터를 내포하고, 릴레이 장치 (20) 로부터 수집된 데이터를 수신하자마자, 공구 사용 기간 및 사용 횟수 이력 데이터를 갱신한다. 서버 장치 (50A) 는 기억 장치 (50B) 에 양쪽 모두 저장되어 있는, 규격 데이터를 이력 데이터와 비교하고, 각각의 공구가 아직 사용가능한지 여부를 결정한다. 만일 서버 장치 (50A) 가 공구를 더 이상 사용할 수 없음을 결정하면, 상기 조건을 나타내는 정보를 입출력 장치(10A) 및 디스플레이 장치 (70) 로 전송하고 사용자가 상기 조건을 판단할 때까지 처리를 중단한다.

공구가 여전히 사용가능한지 여부를 결정하기 위해 서버 장치 (50A) 는 공구 내구성 규격 데이터를 공구 사용 이력 데이터와 비교함으로써 사용자에게 올바른 판단을 할 수 있게 해준다. 결과적으로, 최대 공구 사용 기간 또는 횟수를 넘긴 공구가 사용되는 것을 방지한다.

핸들러들 (30) 및 테스터 (40) 가 피검사물을 재검사하는 경우, 그들은 다시 공구 사용 기간 및 사용 횟수 데이터를 수집한다. 그러므로, 재검사 동안 수집된 데이터는 또한 공구의 사용가능 여부를 결정하는데 사용될 수도 있고, 올바른 판단을 할 수 있게 한다.

이상의 설명에서 알 수 있는 바와 같이, 본 발명에 따른 검사 시스템은 테스터 및 핸들러들로부터 가동 상태 데이터를 수집하고, 피검사물을 계수하고, 상기 상태 데이터 및 상기 계수를 저장하고, 단위 피검사물을 검사하는 데 필요한 시간을 계산하며, 동일한 종류의 피검사물이 검사된 다음에, 동일한 종류의 피검사물을 검사하는 경우, 이전에 사용된 테스터 및 핸들러들의 가장 적합한 조합을 탐색하여 검사 시간을 종래보다 줄이는 효과가 있다.

Claims

피검사물의 품질을 판단하기 위하여 상기 피검사물을 검사하는 검사 수단;

상기 검사 수단에 상기 피검사물을 공급하고 상기 검사 수단으로부터 상기 피검사물을 제거시키는 취급 수단;

상기 검사 수단에 의해서 판단된 상기 피검사물의 품질수율을 설정하고, 상기 품질수율은 만족할 만한 품질을 갖는 검사된 피검사물의 허용가능한 수율을 나타내는, 설정수단;

상기 검사수단에 의해서 만족할 만한 품질을 갖는다고 실제로 판단된 피검사물의 실제 수율을 산정하는 산정수단; 및

상기 품질수율과 상기 실제수율을 비교하여 피검사물을 재검사해야 하는지의 여부를 결정하는 결정수단을 포함하는 피검사물을 검사하는 데에 사용하는 검사 시스템.
제 1 항에 있어서,

상기 피검사물을 검사하는 상기 검사수단의 조건들을 저장하는 축적 수단을 더 포함하되,

상기 검사 수단은 상기 피검사물을 재검사하기 위하여 상기 축적 수단으로부터 상기 조건들을 판독할 수 있는 것을 특징으로 하는 검사 시스템.
제 1 항에 있어서,

상기 피검사물을 계수하는 계수수단;

상기 검사 수단 및 상기 취급 수단의 가동 상태에 대한 가동 상태 데이터를 수집하고, 상기 가동 상태 데이터는 상기 피검사물이 상기 검사 수단으로 검사를 받기 위해 대기하는 대기시간, 상기 피검사물이 상기 검사 수단으로 검사되는 검사시간 및 상기 피검사물이 상기 취급 수단에 의해 공급되고 제거되는 교환시간을 포함하는 수집 수단; 및

상기 검사 수단과 상기 취급 수단의 최상의 적절한 조합을 제공하기 위하여, 상기 수집수단에 의해서 수집된 상기 가동 상태 데이터에 기초하여, 하나의 피검사물을 검사하는데 필요한 상기 검사 수단 및 상기 취급 수단의 가동 시간을 계산하는 계산 수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 검사 시스템.
상기 피검사물의 품질을 판단하기 위하여 피검사물을 검사하는 검사수단;

상기 검사 수단에 상기 피검사물을 공급하고 상기 검사 수단으로부터 상기 피검사물을 제거시키는 취급 수단;

상기 피검사물을 검사하는 데 사용되는 부품들에 대한 내구성 규격 데이터를 저장하는 메모리 수단;

상기 부품에 대한 사용 이력 데이터를 획득하는 획득 수단; 및

상기 내구성 규격 데이터와 상기 사용 이력 데이터를 비교함으로써 상기 각각의 부품들을 사용할 수 있는지의 여부를 판단하는 판단 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 피검사물을 검사하는 데에 사용되는 부품으로 피검사물을 검사하는 데에 사용하는 검사 시스템.
제 4 항에 있어서,

상기 피검사물이 재검사될 때, 사용되는 부품에 대한 사용 상태 데이터를 포함하는 사용 이력 데이터를 획득하기 위한 획득수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 시스템.
제 4 항에 있어서,

상기 피검사물을 계수하는 계수수단;

상기 검사 수단 및 상기 취급 수단의 가동 상태에 대한 가동 상태 데이터를 수집하고, 상기 가동 상태 데이터는 상기 피검사물이 상기 검사 수단으로 검사를 받기 위해 대기하는 대기시간, 상기 피검사물이 상기 검사 수단으로 검사되는 검사시간 및 상기 피검사물이 상기 취급 수단에 의해 공급되고 제거되는 교환시간을 포함하는 수집 수단; 및

상기 검사 수단 및 상기 취급 수단의 최상의 적절한 조합을 제공하기 위하여, 상기 수집수단에 의해서 수집된 상기 가동 상태 데이터에 기초하여, 하나의 피검사물을 검사하는데 필요한 상기 검사 수단 및 상기 취급 수단의 가동 시간을 계산하는 계산 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 시스템.
상기 피검사물의 품질을 판단하기 위하여 상기 피검사물을 검사할 수 있는 테스터;

상기 테스터에 상기 피검사물을 공급할 수 있고 상기 테스터로부터 상기 피검사물을 제거시킬 수 있는 핸들러;

릴레이장치가 상기 테스터 및 상기 릴레이장치와 정보를 통신할 수 있도록 상기 테스터 및 상기 핸들러와 접속될 수 있고, 상기 릴레이장치는 상기 테스터에 의해서 만족할 만한 품질을 갖는다고 실제로 판단된 피검사물의 실제 수율을 산정할 수 있는 릴레이장치; 및

서버 장치는 상기 릴레이장치와 정보를 통신할 수 있도록 상기 릴레이장치와 접속할 수 있고, 상기 서버 장치는 상기 테스터에 의해서 판단된 피검사물의 품질수율을 설정할 수 있고, 상기 품질수율은 만족할 만한 품질을 갖는 검사된 피검사물의 허용가능한 수율을 나타내고, 상기 실제수율과 상기 품질수율을 비교하여 피검사물을 재검사해야 하는지의 여부를 결정할 수 있는 서버장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 피검사물을 검사하는 데에 사용하는 검사 시스템.
제 7 항에 있어서,

상기 서버장치가 상기 기억장치와 정보를 통신할 수 있도록 상기 서버장치와 접속할 수 있고, 상기 기억장치는 상기 피검사물을 검사하기 위한 상기 테스터의 조건을 저장할 수 있는 기억장치를 더 포함하되,

상기 테스터는 상기 피검사물을 재검사하기 위하여 상기 기억장치로부터 조건들을 판독할 수 있는 것을 특징으로 하는 검사 시스템.
제 7 항에 있어서,

상기 릴레이 장치는 상기 테스터 및 상기 핸들러에 대한 가동 상태를 더 수집할 수 있고, 상기 가동 상태 데이터는 상기 피검사물이 상기 테스터로 검사를 받기 위해 대기하는 대기시간, 상기 피검사물이 상기 테스터로 검사되는 검사시간 및 상기 피검사물이 상기 핸들러에 의해 공급되고 제거되는 교환시간을 포함하고,

상기 서버장치는 상기 테스터 및 상기 핸들러의 최상의 적절한 조합을 제공하기 위하여, 상기 릴레이장치에 의해서 수집된 상기 가동 상태 데이터에 기초하여, 하나의 피검사물을 검사하는데 필요한 상기 테스터 및 상기 핸들러의 가동 시간을 더 계산할 수 있는 것을 특징으로 하는 검사 시스템.
피검사물을 검사하는 데에 사용되는 부품들로 피검사물을 검사하는 데에 사용하는 검사 시스템으로서,

상기 피검사물의 품질을 판단하기 위하여 피검사물을 검사할 수 있는 테스터;

상기 테스터에 상기 피검사물을 공급할 수 있고 상기 테스터로부터 상기 피검사물을 제거시킬 수 있는 핸들러;

상기 서버장치는 상기 핸들러 및 테스터와 정보를 통신할 수 있도록 상기 핸들러 및 테스터와 접속할 수 있는 서버장치; 및

상기 서버장치가 상기 기억장치와 정보를 통신할 수 있도록 상기 서버장치와 접속될 수 있고, 상기 기억장치는 상기 피검사물을 검사하는 데에 사용되는 부품들에 대한 내구성 규격 데이터를 저장할 수 있는 기억장치를 포함하되,

상기 서버는 상기 부품에 대한 사용 이력 데이터와 내구성 규격을 비교하여 각각의 상기 부품을 사용할 수 있는지의 여부를 판단할 수 있는 것을 특징으로 하는 검사 시스템.
제 10 항에 있어서,

상기 서버장치는 상기 피검사물이 재검사될 때, 상기 부품들에 대한 사용 상태 데이터를 포함하는 사용 이력 데이터를 획득할 수 있는 것을 특징으로 하는 검사 시스템.
제 10 항에 있어서,

상기 릴레이 장치는 상기 테스터 및 상기 핸들러에 대한 가동 상태를 더 수집할 수 있고, 상기 가동 상태 데이터는 상기 피검사물이 상기 테스터로 검사를 받기 위해 대기하는 대기시간, 상기 피검사물이 상기 테스터로 검사되는 검사시간 및 상기 피검사물이 상기 핸들러에 의해 공급되고 제거되는 교환시간을 포함하고,

상기 서버장치는 상기 테스터 및 상기 핸들러의 최상의 적절한 조합을 제공하기 위하여, 상기 릴레이장치에 의해서 수집된 상기 가동 상태 데이터에 기초하여, 하나의 피검사물을 검사하는데 필요한 상기 테스터 및 상기 핸들러의 가동 시간을 더 계산할 수 있는 것을 특징으로 하는 검사 시스템.
특정검사조건하에서 상기 피검사물의 특징을 측정하는 검사수단;

상기 검사수단에 상기 피검사물을 공급하고 상기 검사수단으로부터 상기 피검사물을 제거하는 취급수단;

상기 취급수단 및 상기 검사수단이 각각의 상기 피검사물 상에서 각각 가동할 때, 각각의 상기 피검사물을 위한 상기 검사수단으로부터 검사결과에 관한 데이타를 수집하고, 상기 취급수단 및 상기 검사수단으로부터 각각의 상기 피검사물에 대하여 상기 취급수단 및 상기 검사수단의 가동상태에 관한 해당데이타를 각각 수집하는 릴레이장치;

상기 검사시스템을 모니터하고 제어하는 서버장치; 및

상기 피검사물의 각각에 대한 상기 검사결과에 관한 상기 데이터, 및 상기 릴레이장치에 의해서 수집된 각각의 상기 피검사물에 대한 상기 검사수단 및 상기 취급수단의 상기 가동상태에 관한 해당데이타를 수집하는 기억장치를 포함하는 피검사물을 검사하는 데에 사용하는 검사시스템.
제 13 항에 있어서,

상기 검사수단은 검사를 수행하는 데에 필요한 데이터를 수신할 수 있고, 상기 릴레이장치로부터 수신된 데이터를 더 디스플레이할 수 있는 것을 특징으로 하는 검사시스템.
제 13 항에 있어서,

상기 취급수단은 상기 검사수단 상에 상기 피검사물을 탑재할 수 있고, 상기 검사수단으로부터 상기 피검사물을 더 내려놓을 수 있는 것을 특징으로 하는 검사시스템.
제 13 항에 있어서,

상기 취급수단은 복수의 핸들러를 포함하고, 각각의 상기 복수의 핸들러는 각각의 식별번호를 가지고, 각각은 상기 복수의 핸들러의 상기 각각을 고유하게 식별하기 위하여 각각의 식별번호를 출력할 수 있고,

상기 서버장치는 상기 각각의 상기 복수의 핸들러 및 상기 각각의 식별번호 사이의 대응을 관리할 수 있는 것을 특징으로 하는 검사시스템.
제 16 항에 있어서,

상기 릴레이장치는 상기 복수의 핸들러로부터 상기 식별번호를 수신할 수 있고, 상기 복수의 핸들러 중에서 어느 것을 가동할 수 있는지를 체크할 수 있고, 상기 서버장치에 상태정보 및 수신된 식별번호를 출력할 수 있는 것을 특징으로 하는 검사시스템.
제 16 항에 있어서,

상기 릴레이장치는, 상기 서버장치에 실시간으로, 한 개이상의 이벤트관리번호, 이벤트발생타임-스탬프, 피검사물로트번호, 테스터/핸들러 식별번호, 이벤트콘텐츠 및 이벤트코드번호를 전송할 수 있는 것을 특징으로 하는 검사시스템.
제 16 항에 있어서,

상기 릴레이장치는, 각각의 상기 복수의 핸들러 및 상기 검사수단이 상기 피검사물을 처리하는 시간주기에 대한 정보를 수집할 수 있는 것을 특징으로 하는 검사시스템.
제 16 항에 있어서,

상기 복수의 핸들러와 상기 테스터에 의해서 요구되어지는 가동시간 및 상기 복수의 핸들러와 상기 검사수단의 식별번호를 포함하는 과거에 검사된 상기 피검사물에 대한 검사이력을 상기 기억장치 내에 저장할 수 있는 것을 특징으로 하는 검사시스템.
제 20 항에 있어서,

상기 기억장치는 과거에 검사된 상기 피검사물에 대한 상기 검사이력에 기초하여 상기 피검사물을 위한 상기 복수의 핸들러 및 상기 검사수단의 최적의 조합을 더 결정할 수 있는 것을 특징으로 하는 검사시스템.
제 13 항에 있어서,

상기 서버장치는 과거에 검사된 상기 피검사물에 대한 검사이력을 상기 기억장치 내에 저장할 수 있는 것을 특징으로 하는 검사시스템.
제 13 항에 있어서,

특정 피검사물이 상기 검사 수단으로 검사를 받기 위해 대기하는 대기시간, 상기 특정 피검사물이 상기 검사 수단으로 검사되는 검사시간 및 상기 특정 피검사물이 상기 취급 수단에 의해 다른 특정 피검사물과 교환되는 교환시간을 더 계산할 수 있는 것을 특징으로 하는 검사시스템.
제 13 항에 있어서,

상기 취급수단 및 상기 검사수단은 도구사용 길이데이타 및 도구사용 계수데이타를 수집할 수 있고,

상기 릴레이장치는 도구-형 데이터, 상기 도구사용 길이데이타 및 상기 도구사용 계수데이타를 상기 서버장치에 전송할 수 있고,

상기 기억장치는, 각각의 상기 도구형에 대한 계수와 최대사용길이, 사용길이 및 계수 이력데이타를 포함하는 도구형에 대한 규격데이타를 저장할 수 있고, 상기 릴레이장치에 의해서 전송된 도구사용계수데이타 및 도구사용길이 데이터에 기초하여 상기 사용길이 및 계수 이력데이타를 갱신할 수 있고,

상기 서버장치는 상기 사용길이 및 계수 이력데이타와 상기 규격데이타를 비교하여 각각의 도구를 아직 사용할 수 있는지의 여부를 결정할 수 있는 것을 특징으로 하는 상기 피검사물을 검사하는 도구를 더 사용하는 검사시스템.
제 24 항에 있어서,

디스플레이장치를 더 포함하되,

상기 서버장치는 도구를 사용할 수 없다는 것을 지시하는 정보를 상기 디스플레이장치에 전송할 수 있고, 처리를 더 중지할 수 있는 것을 특징으로 하는 검사시스템.
특정검사조건하에서 상기 피검사물의 특징을 측정하는 검사수단;

상기 검사수단에 상기 피검사물을 공급할 수 있고 상기 검사수단으로부터 상기 피검사물을 제거시킬 수 있는 취급수단;

상기 검사수단으로부터 검사결과에 관한 데이터를 수집하고, 상기 취급수단 및 상기 검사수단으로부터 상기 취급수단 및 상기 검사수단의 가동상태에 관한 데이타를 각각 수집하는 릴레이장치;

상기 검사시스템을 모니터하고 제어하는 서버장치;

상기 검사결과에 대한 데이터 및 상기 릴레이장치에 의해서 수집된 상기 취급수단 및 상기 검사수단의 가동상태에 대한 데이타를 저장하는 기억장치;

상기 검사시스템을 모니터 및 제어하고, 상기 서버장치를 위한 백업으로서 가동하는 백업서버장치; 및

상기 릴레이장치에 의해서 수집된 상기 피검사물의 상기 가동상태에 대한 상기 데이터 및 상기 검사결과에 대한 상기 데이터를 저장하고, 상기 기억장치를 위한 백업으로서 가동하는 백업기억장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 피검사물을 검사하는 데에 사용하는 검사시스템.
특정검사조건하에서 상기 피검사물의 특징을 측정하는 검사수단;

상기 검사수단에 상기 피검사물을 공급할 수 있고 상기 검사수단으로부터 상기 피검사물을 제거시킬 수 있는 취급수단;

상기 검사수단으로부터 검사결과에 대한 데이터를 수집하고, 상기 취급수단 및 상기 검사수단으로부터 상기 취급수단 및 상기 검사수단의 가동상태에 대한 데이타를 각각 수집하는 릴레이장치;

상기 검사시스템을 모니터하고 제어하기 위한 서버장치; 및

상기 검사결과에 대한 데이터 및 상기 릴레이장치에 의해서 수집된 상기 취급수단 및 상기 검사수단의 가동상태에 대한 데이타를 저장하는 기억장치를 포함하되,

상기 릴레이장치는 피검사물의 총수, 특정 검사조건을 만족하는 우량 피검사물 개수 및 상기 특정 검사조건을 만족하지 않는 불량 피검사물의 개수를 더 계수할 수 있는 것을 특징으로 하는 피검사물을 검사하는데에 사용하기 위한 검사시스템.
제 27 항에 있어서,

상기 서버장치는, 전체 피검사물의 개수, 상기 릴레이장치에 의해서 계수된 불량 피검사물의 개수와 우량 피검사물의 개수 및 전체 피검사물에 대한 불량피검사물의 미리 정의된 비율에 기초하여 상기 피검사물을 재검사해야 하는지의 여부를 결정할 수 있는 것을 특징으로 하는 검사시스템.