CN1113405C - 检查系统 - Google Patents

Abstract

一种检查系统，其特征在于，连接操作装置30A、30B及检查装置40的中继装置20收集这些装置的运行状态有关的信息，计数被检查物的数量，将该信息和数量送给服务装置50A和存储装置50B。服务装置50A根据所收集的信息和数量算出检查每单位个数被检查物所需操作装置30A、30B、检查装置40的运行时间，下次检查时通过参照该运行时间，检索或模索操作装置与检查装置效率高的组合。

Description

检查系统

本发明涉及检查系统，该系统备有检查所制造的半导体零部件是否良好的检查装置，及将半导体零部件取入取出于检查装置的操作装置，尤其涉及收集与上述检查装置及操作装置的运行状态有关的信息。

在IC或LSI等半导体零部件制造车间，历来要检查所制造的半导体零部件是否满足规定的特性。该检查过程运行一种检查系统，该系统备有检查装置和操作装置。所述检查装置在半导体零部件位于规定检查条件(如，输入电压、环境温度、工作频率等)下，测定该条件下的特性(如，放大率，温度变化，暂态特性等)；所述操作装置将半导体零部件搬入或搬出预定位置，以便检查装置能对半导体零部件进行检查。为了适应各种半导体零部件种类及检查项目，通常准备有多种检查装置及操作装置，并组合使用这些检查装置及操作装置应用于制造的半导体零部件的种类及检查项目。

检查装置，组合上适用于广泛用途，其规模较大，故通常安装在车间内规定位置处在固定状态下使用。相反，操作装置具有搬入及搬出半导体零部件中的功能，是可移动的，原则上根据半导体零部件种类及检查项目等选择使用。因此，有选择地将某些需要且适合的操作装置连接于固定的检查装置，就能测定每种半导体零部件的预定的特性及性能。

与上述技术相比，为使高于现有效率地提高这些检查装置及操作装置的运行效率，可对涉及这些装置的运行效率的数据进行采集，在下次制造同样半导体零部件时，可参照该数据改进检查装置及操作装置的选择，从而能提高检查效率。

但是，从减轻操作者收集数据的作业负担出发，已有技术往往只是收集检查装置运行状态中涉及对检查系统运行效率影响大的信息，而不收集短时间内发生工作变化的有关信息。因此，虽然检查系统整体以最佳运行效率在运行，但却得不到足够的信息，结果难以进一步提高检查装置及操作装置的运行效率。

本发明为了解决上述问题，其目的在于提供一种运行效率更高的检查系统。

本发明的检查系统，分别从检查被检查物的检查装置及操作被检查物使检查装置可对该物进行检查的操作装置，收集与运行状态有关的信息，同时对被检查物数量进行计数，存储这些信息和数量，算出检查装置及操作装置对平均单位个数被检查物进行检查所需运行时间。

按照上述单元，当对同种类被检查物作新的检查时，能检查到与过去检查中检查装置及操作装置组合产生的检查效率相同的组合，还能模索出更优良的组合。其结果，能以比过去检查所需时间更短的时间完成同样被检查物的检查，因此能更有效地运行检查装置及操作装置。

下面结合附图详细说明本发明实施例。

图1为具体实施例检查系统的方框图；

图2为装置间的通信过程图；

图3为检查装置及操作装置(handler)运行状态的数据图；

图4为被检查物处理时间的时序图。

<具体实施例整体结构>

图1为本发明检查系统具体实施例的框图。该检查系统设置在IC或LSI等半导体元器件制造车间中，是一种检查这些被检查物的最终工序中运行的系统。主要由检查被检查物的多个模型(module)和监视控制整个系统的监视控制部构成，整体上形成一个网络。

<模型的结构>

多个模型100a～n具有：输入输出装置10A，用于一面为检查IC或LSI等被检查物而输入必要的数据(如，被检查物的型号，批号，检查条件等)，一面显示从下面叙述的中继装置20接收的信息；为减轻上述输入作业而采用的条形码阅读器10B；中继装置20，用于从下述的操作装置(handler)30A、30B及检查装置(tester)40等装置收集被检查物检查结果及这些装置运行状态有关的信息；第一操作装置30A及第二操作装置30B，用于搬入、设置、卸下、搬出被检查物等使检查装置40能检查被检查物；将规定的检查条件施加给被检查物并测定其特性的检查装置40。

<监视控制部的结构>

监视控制部200备有：总体上监视、控制整个系统的服务(server)装置50A；存储从输入输出装置10A传送的输入数据、从中继装置20传送的被检查物的检查结果、与操作装置30A、30B及检查装置40运行状态有关信息的存储装置50B；打印服务装置50A中处理结果的打印机50C；为实现容错而作为服务装置50A及存储装置50B的预备装置工作的备份服务装置60A备份存储装置60B；显示服务装置50A的处理结果及存储装置50B内存储数据的显示装置70。

<模型的详细结构>

图2为模型内装置间通信过程图。涉及与监视控制部200通信及模型内通信并在各模型100a～n中起中心作用的中继装置20，在第一操作装置30A、第二操作装置30B、检查装置40及输入输出装置10A之间进行中继，通知处理命令、处理结果。故障发生等。中继装置20还用来在与监视控制部200之间接收、发送信息，以便对被检查物的检查结果、模型内装置运行状态有关的信息、这些装置进行监视控制。

<标识号，接口，非运行状态>

操作装置30A、30B分别具有区别于另一操作装置的标识号。该标识号通过使用触点开关(ディッパ·スイツチ)或并行连接器(バラレル·コネクタ)等端子设定在各操作装置30A、30B内。但若任意设定，恐会与另一操作装置识别号相重，故服务装置50A对操作装置与其标号的对应关系进行处理。

为了中继装置20能方便可靠获知操作装置30A、30B是否连接于中继装置20的连接状态，故操作装置30A、30B与中继装置20间的接口按照并行接口用电流环路构成。但这种结构稍微复杂了些，也可以按照串行接口用串行通信来构成上述接口。

从中继装置20能同时获知操作装置30A、30B的连接状况及这些操作装置30A、30B的标识号这一观点出发，应当用并行连接器端子设定操作装置30的标识号，并最好将中继装置20与操作装置30间的接口作成并行接口。具体而言，按照上述结构，由于与被接的操作装置30之间存在回送(loop back)，故通过检测哪个端子是连通(有电流流动)哪个端子是开路(无电流流动)，就能同时获知操作装置30处于连接的事实及其标识号。相反，通过已连接且已接通电源的操作装置30从中继装置20取下，或切断电流，所有端子都开路，故中继装置20也能获知该操作装置30被取下或电源切断的事实。

在操作装置30A、30B未接入，或电源未接通情况下，为了更正确把握运行状态，需从输入输出装置10A输入其理由或原因。

中继装置20将由此获知的操作装置30A、30B的连接状态及其标识号输出给服务装置50A。再有，与操作装置30A、30B、检查装置40运行状态有关的信息也输出给服务装置50A。

图3表示操作装置及检查装置运行状态的数据图。如该图所示，事件的管理号，事件发生的年月日，被检查物的批号，检查装置/操作装置的标识号，事件的内容，该事件代码号等的数据，从中继装置20实时送给服务装置50A。服务装置50A以上述数据为基础参照标识号，就能把握各个装置的运行状态。上述数据存储在存储装置50B中。

在获得操作装置30A、30B未接入信息情况下，虽然图3未图示，但服务装置50A可通过将该未接入的时间设定为操作装置30A、30B未运行的时间，从而可明确区别操作装置30A、30B的运行时间和未运行时间。

<待机，检查，交换的时间>

图4为表示被检查物处理时间的时序图。

中继装置20从操作装置30A、30B及检查装置40收集被检查物的处理时间。具体而言，中继装置20以从操作装置30A、30B及检查装置40取得的表示其动作开始、结束的触发脉冲发生时刻为基础，对第一操作装置30A操作的被检查物A及第二操作装置30B操作的被检查物B(B’)，计算出被检查物B等待检查装置40检测的待机时间(即检查装置40检测另一被检查物A的时间(t1～t2)，检查装置40实际检测被检查物B的检查时间(t2～t3)，由操作装置30B将被检查物B换为另一被检查物B’的交换时间(t3～t4)。然后将算出的结果送给服务装置50A。

按照算出的上述待机时间、检查时间、交换时间，不是仅以这些装置的电源通、断的时间为基础而是可以这些装置实际操作、检查被检查物的时间为基础来评定操作装置30A、30B及检查装置40的运行状态。因此，能够以精细的时间单位精确地把握操作装置30A、30B及检查装置40的运行状态。

中继装置20与算出这些时间的同时，计数被检查物的个数，该计数结果也送入服务器50A。

<数据的统计处理>

如上所述，中继装置20将被检查物的检查结果及个数，操作装置30A、30B的连接状况(运行状态)，操作装置30A、30B及检查装置40的待机时间、检查时间、交换时间等数据输出给服务装置50A及存储装置50B。服务装置50A对存储在存储装置50B中的这些数据进行综合计算。

作为数据综合计算方法有，算出各个装置月、周不同的运行时间，算出每批事件的内容，算出为检查每单位个数被查物所需全部时间等。显示装置70通过访问服务装置50显示上述综合计算结果。

尤其是，服务装置50A将为每批检查每单位个数的被检查物所需操作装置30A、30B及检查装置40的实际运行时间及该操作装置30A、30B和检查装置40的标识号存储在存储装置50B中，作为过去检查的与被检查物有关的检查履历数据。然后，在遇到检查同类型被检查物新的检查时，参照该过去的检查履历数据，检索为检查同类型被检查物时与操作装置30A、30B和检查装置40的最佳组合，或通过检查同类型被检查物检索出可能是最佳的与操作装置30C、30D和检查装置40’(未图示)的组合。由此，可缩短操作装置30及检查装置40为检查每单位个数被检查物所需时间。也即，能以更短时间完成同样的检查。

<被检查物的重新检查>

中继装置20不仅测定被检查物的特性，还对检查过的被检查物合格与否的数进行计数。

具体而言，对合格品数，不合格品数，实施重新检查的数，全部数等进行计数。中继装置20将这些数输出给服务装置50A和存储装置50B。

在上述不合格品数中，不仅包含特性实际上不合格的被检查物的数，而且还包含因操作装置30A、30B或检查装置40中工卡模具(如IC插座或探头等)故障引起检查自身不合格的被检查物的数。因此，万一不合格品数大于预定比率时，有必要重新实施检查。服务装置50A以对从中继装置20获取的上述数及在每种被检查物型号或每批被检查物等方面预先规定的预定比率为基础，确定是否要作上述重新检查。这样，服务装置50A将从中继装置20获取的被检查物的不合格率与预定的比率进行比较，就能迅速准确确定是否要作重新检查。

当需要重新检查时，该被检查物的检查条件不必再从输入输出装置输入，可从存储有上述检查条件的存储装置50B读出这些检查条件，从而能避免烦杂的重新输入手续，并能圆满无误地设定重新检查的条件。

<工卡模具的管理>

上述操作装置30及检查装置40的工卡模具，因连续使用恐有产生电气接触不良，机械动作不良等。为了减少以这种长期磨损为原因位置安装方面被检查物的不合格数，最好在不适用之前更换这种长期用过的工卡模具。为了实现上述目的，操作装置30及检查装置40对工卡模具使用过的时间及次数进行计测。中继装置20向服务装置50A及存储装置50B输出工卡模具的类型、被计测的使用时间、次数等实际数据。

另一方面，存储装置50B预先存储有工卡模具的类型、及相应的使用规定时间、次数等额定数据，并且按照从中继装置20接收到的实际数据改写工卡模具已使用过的时间、次数等履历数据。服务装置50A通过将存储在存储装置50B中的额定数据与履历数据进行比较，判定这些工卡模具是否还能使用。当判定为继续使用这些工卡模具有困难时，服务装置50A将该情况通知输入输出装置10A及显示装置70，而且进行这样的控制，即人的判断未作出期间将不执行处理。

这样，服务装置50A将与工卡模具耐用性相关的额定数据与工卡模具实际使用的履历数据进行比较，以便判定这些工卡模具是否能继续使用，从而能进行正确的判断。其结果能可靠防止继续使用超过规定使用时间、次数等的工卡模具。

操作装置30及检查装置40作重新检查时，对再次使用的工卡模具计测时间、次数。因而，也考虑到重新检查时的工卡模具的使用状况，并能判定可否使用工卡模具，因此，能进一步作出正确判断。

Claims (8)

1.一种检查系统，其特征在于，包含：

检查被检查物对其质量作出判断的检查单元；

将所述被检查物装上或取下于所述检查单元的操作单元；

对所述被检查物计数的计数单元；

收集与检查单元和操作单元运行状态有关的运行状态数据的收集单元，所述运行状态数据包括被检查物等待检查单元检查的等机时间，检查单元检查被检查物的检查时间，和由所述操作单元装上、取下被检查物的交换时间；和

根据存储在存储单元中的运行状态数据、为提供所述检查单元和操作单元的最佳组合而计算所述检查单元和操作单元检查某个被检查物所需运行时间的计算单元。

2.如权利要求1所述的检查系统，其特征在于，所述操作单元运行状态数据包含表示所述操作单元是否连接于所述收集单元的连接状态数据。

3.如权利要求2所述的检查系统，其特征在于，所述操作单元具有标识号，所述操作单元的所述运行状态数据使用所述识别号加以区别。

4.如权利要求2所述的检查系统，其特征在于，指定所述连接状态数据在所述操作单元不连接于所述收集单元的时间为所述操作单元不运行的时间。

5.如权利要求1所述的检查系统，其特征在于，还可进一步具有：

设定与所述检查单元判断所述被检查物是否良好有关的阈值比的设定单元；

计算与所述检查单元实际判断到的所述被检查物是否良好有关的实际比的计算单元；

通过比较所述阈值比与所述实际比，确定所述被检查物是否重新检查的决定单元。

6.如权利要求5所述的检查系统，其特征在于，可进一步包含存储用于对检查单元的被检查物进行检查的条件的累加装置，所述检查单元从所述累加装置读出所述条件对所述被检查物重新检查。

7.如权利要求1所述的检查系统，其特征在于，还可进一步具有：

存储检查所述被检查物使用工卡模具的耐用性额定数据的存储单元；

获取所述工卡模具的使用履历数据的获取单元；

通过比较所述耐用性额定数据和使用履历数据，判定所述工卡模具是否可用的判定单元。

8.如权利要求7所述的检查系统，其特征在于，所述工卡模具的使用履历数据包含重新检查所述被检查物时所使用的工卡模具的使用状态数据。

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