KR100292440B1 - 진공기밀용기의제조방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (3)
- 제1기판을 다면따기 할수 있는 제1다면따기 기판의 제1기판의 배기구멍이 되는 위치에 각각 관통구멍을 형성하는 공정,배기구멍이 형성된 상기 제1다면따기 기판에 제2기판을 다면따기 할수 있는 제2다면따기 기판을 면으로 부착시키는 공정,면으로 부착된 상기 제1다면따기 기판과 상기 제2다면따기 기판을 봉착시키는 공정,봉착된 상기 제1다면따기 기판과 상기 제2다면따기 기판을 제1기판 및 제2기판에 각각 형성된 인출전극이 다른쪽 기판에 의해 덮어지지 않도록 각각 소정 위치에서 절단하여 봉착된 제1기판과 제2기판으로 되는 진공기밀용기를 복수로 동시에 얻는 공정, 및상기 배기구멍을 이용하여 절리된 복수의 진공기밀용기를 개별적으로 배기·밀봉하는 공정으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 진공기밀용기의 제조방법.
- 제1기판을 다면따기할 수 있는 제1다면따기 기판의 제1기판의 배기구멍이 되는 위치에 각각 관통구멍을 형성하는 공정,배기구멍이 형성된 상기 제1다면따기 기판에 제2기판을 다면따기할 수 있는 제2다면따기 기판을 면으로 부착시킴과 동시에 상기 제1다면따기 기판에 형성된 상기 배기구멍을 덮도록 복수의 게터박스를 면으로 부착시키는 공정,면으로 부착된 상기 제1다면따기 기판과 상기 제2다면따기 기판을 봉착시킴과 동시에 면으로 부착된 상기 게터박스와 제1다면따기 기판을 봉착시키는 공정,상기 제1다면따기 기판에 봉착된 복수의 게터박스를 이용하여 제1기판과 제2기판으로 형성된 공간내를 배기·밀봉하는 공정, 및배기·밀봉한 상기 제1다면따기 기판과 상기 제2다면따기 기판을 상기 제1기판과 상기 제2기판에 각각 형성된 인출전극이 다른쪽 기판에 의해 덮이지 않도록 각각 소정위치에서 절단하여 배기·밀봉된 제1기판과 제2기판으로 이루어지는 진공기밀용기를 복수로 동시에 얻는 공정으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 진공기밀용기의 제조방법.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 제1기판에 전계방출 음극이 형성되어 있고, 상기 제2기판에 형광체가 피착된 양극이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 진공기밀용기의 제조방법.
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