KR100292241B1 - 핸들러의냉각챔버에서테스트트레이이송장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 핸들러의 냉각챔버에서 테스트가 완료된 테스트 트레이를 이송시 이송시간을 단축할 수 있는 테스트 트레이 이송장치에 관한 것이다. 본 발명은 프레임(frame)과, 프레임에 고정 장착되는 제1가이드(guide)와, 제1가이드에 소정 거리로 이격된 위치에서 평행하게 프레임에 고정 장착되는 제2가이드와, 테스트 사이트(test site)로부터 공급되는 테스트 트레이를 홀딩(holding)하여 이송시키기 위해 제1가이드와 제2가이드에 각각 슬라이딩 되도록 장착되는 복수의 제1이송부와, 프레임에 고정 장착되어 복수의 제1이송부에 의해 이송된 테스트 트레이를 홀딩하는 복수의 홀딩부와, 제1가이드와 제2가이드에 각각 슬라이딩 되도록 장착되어 복수의 홀딩부에 홀딩된 테스트 트레이를 홀딩하여 이송시켜 배출시키는 복수의 제2이송부로 구성된다.

Description

핸들러의 냉각챔버에서 테스트 트레이 이송장치
본 발명은 핸들러의 냉각챔버에서 테스트 트레이 이송장치에 관한 것으로, 특히 핸들러의 냉각챔버에서 테스트가 완료된 테스트 트레이를 이송시 이송시간을 단축할 수 있는 테스트 트에이 이송장치에 관한 것이다.
대량으로 생산된 반도체 소자는 제품 출하전 성능 테스트를 실시하여 테스트 결과에 따라 등급 별로 분류되며, 이를 위해 핸들러(handler)가 사용된다. 핸들러의 구성을 첨부된 도면을 이용하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1은 종래 핸들러의 구성을 나타낸 단면도이다. 도시된 바와 같이 먼저, 테스트될 반도체 소자들은 픽업장치(1)에 의해 테스트 트레이(2)에 장착된다. 반도체 소자가 장착된 테스트 트레이(2)는 수평 상태로 이동되어 입구(3a)를 통해 가열챔버(3)로 진입된다. 가열챔버(12)로 진입된 테스트 트레이(2)는 가열챔버(3)의 승강기(3b)에 의해 순차적으로 한 스텝(step)씩 하강된다. 가열챔버(3)의 승강기(3b)에 의해 한 스텝씩 하강되는 과정에서 반도체 소자는 테스트 온도 조건에 맞도록 가열된다. 테스트 온도 조건은 반도체 소자가 제품에 적용되어 정상적인 동작시 반도체 소자에서 발생될 수 있는 온도로 설정되며, 테스트 트레이(2)는 가열챔버(3)의 출구(3c)를 통해 배출되는 동안 가열된다.
출구(3c)를 통해 배출된 테스트 트레이(2)는 테스트 사이트(test site)(4)로 이송된다. 테스트 사이트(4)로 이송된 테스트 트레이(2)는 테스트 장치(5)에 도달된다. 테스트 장치(5)는 수직으로 하강하여 테스트 트레이(2)를 소정의 힘으로 눌러 테스트 트레이(2)와 전기적으로 접속한다. 이 때, 테스트 트레이(2)는 고정장치(6)에 의해 고정된 상태에서 테스트 장치(5)와 접속된다. 테스트 트레이(2)가 테스트 장치(5)에 접속되어 테스트되고 테스트 장치(5)에서 그 결과를 피드백(feedback) 받아 반도체 소자의 성능을 판별한다.
성능이 판별된 반도체 소자를 장착한 테스트 트레이(2)는 테스트 사이트(4)를 통과해 냉각챔버(7)의 입구(7a)로 진입한다. 진입된 테스트 트레이(2)는 냉각챔버(7)의 승강기(7b)에 의해 순차적으로 상승한다. 상승 과정에서 테스트 트레이(2)는 상온으로 냉각된다. 반도체 소자가 상온으로 냉각된 상태에서 테스트 트레이(2)는 출구(7c)를 통해 배출되어 픽업장치(1)에 의해 테스트 결과에 따라 등급별로 분류 적재된다.
테스트가 완료되어 분류 적대될 반도체 소자는 소팅 트레이에 분류 적재된다. 즉, 소팅 트레이는 미리 소정의 위치에 장착된 상태에서 테스트가 완료된 반도체 소자들을 소팅 트레이에 적재한다. 이로 인해 소팅 트레이를 미리 공급한 경우에 분류 적재되는 반도체 소자의 등급이 공급된 소팅 트레이 외에 다른 소팅 트레이를 요구하는 경우 이미 공급된 소팅 트레이를 제거한 후 다시 공급해야 하는 문제점이 발생하게 된다. 이 결과 테스트가 완료된 반도체 소자의 분류 적재시간이 증가되어 핸들러의 테스트 작업의 생산성이 떨어지는 문제점이 발생하게 된다.
본 발명은 핸들러의 냉각챔버에서 테스트가 완료된 테스트 트레이의 이송시간을 단축시킬 수 있는 테스트 트레이 이송장치를 제공함을 목적으로 한다.
본 발명의 다른 목적은 냉각챔버에서 테스트 트레이이 이송시 테스트 트레이에 장착된 반도체 소자의 냉각 또는 디프로스트(defrost) 시간을 확보할 수 있으며 챔버 내부를 순환하는 테스트 트레이의 버퍼로서의 기능을 수행할 수 있는 테스트 트레이 이송장치를 제공함에 있다.
이러한 목적들을 구현하기 위한 본 발명은 프레임(frame)과, 프레임에 고정 장착되는 제1가이드(guide)와, 제1가이드에 소정 거리로 이격된 위치에서 평행하게 프레임에 고정 장착되는 제2가이드와, 테스트 사이트(test site)로부터 공급되는 테스트 트레이를 홀딩(holding)하여 이송시키기 위해 제1가이드와 제2가이드에 각각 슬라이딩 되도록 장착되는 복수의 제1이송부와, 프레임에 고정 장착되어 복수의 제1이송부에 의해 이송된 테스트 트레이를 홀딩하는 복수의 홀딩부와, 제1가이드와 제2가이드에 각각 슬라이딩 되도록 장착되어 복수의 홀딩부에 홀딩된 테스트 트레이를 홀딩하여 이송시켜 배출시키는 복수의 제2이송부로 구성됨을 특징으로 한다.
도 1은 종래 핸들러의 구성을 나타낸 단면도,
도 2는 본 발명에 의한 핸들러의 챔버 구성을 나타낸 사시도,
도 3은 도 2에 도시된 냉각챔버의 테스트 트레이 이송장치의 구성을 나타낸 사시도,
도 4는 도 3에 도시된 이송장치의 측면도이다.
도 5는 도 3에 도시된 제1L이송부의 분리 조립 사시도,
도 6은 도 3에 도시된 제2L이송부의 분리 조립 사시도이다.
＊도면의 주요부분에 대한 부호 설명＊
110: 프레임 120: 제1R이송부
130: 제1L이송부 140: 제1홀딩부
150: 제2홀딩부 160: 제2R이송부
170: 제2L이송부
본 발명을 첨부된 도면을 이용하여 설명하면 다음과 같다.
도 2는 본 발명에 의한 핸들러의 챔버 구성을 나타낸 사시도이고, 도 3은 도 2에 도시된 냉각챔버의 테스트 트레이 이송장치의 구성을 나타낸 사시도이다. 도시된 바와 같이, 본 발명에 의한 냉각챔버(100c)는 저면을 형성하는 프레임(frame)(110)과, 프레임(110)에 고정 장착되는 제1가이드(guide)(111)와, 제1가이드(111)에 소정 거리로 이격된 위치에서 평행하게 프레임(110)에 고정 장착되는 제2가이드(111)와, 테스트 사이트(test site)(100a)로부터 공급되는 테스트 트레이(101)를 홀딩(holding)하여 이송시키기 위해 제1가이드(111)와 제2가이드(112)에 각각 슬라이딩 되도록 장착되는 복수의 제1이송부(120)(130)와, 프레임(110)에 고정 장착되어 복수의 제1이송부(120)(130)에 의해 이송된 테스트 트레이(111)를 홀딩하는 복수의 홀딩부(140)(150)과, 제1가이드와 제2가이드에 각각 슬라이딩 되도록 장착되어 복수의 홀딩부(140)(150)에 홀딩된 테스트 트레이(101)를 홀딩하여 이송시켜 배출시키는 복수의 제2이송부(160)(170)로 구성된다.
본 발명의 구성을 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 2에서와 같이 핸들러의 챔버(100)는 가열챔버(100a), 테스트 사이트(test site)(100b) 및 냉각챔버(100c)로 구성된다. 가열챔버(100a)는 테스트될 반도체 소자가 장착된 테스트 트레이(101)를 테스트 온도 조건으로 가열하며, 가열된 테스트 트레이(101)는 테스트 사이트(test site)(100b)로 수직 하강되고 이 후 테스트 트레이(101)에 장착된 반도체 소자는 테스트가 실시된다
테스트가 완료된 반도체 소자를 분류 적재하기 전 테스트 조건의 온도로 가열된 반도체 소자를 상온으로 냉각시킨다. 테스트가 완료된 가열된 반도체 소자를 상온으로 냉각시키기 위해 테스트 트레이(101)를 냉각챔버(100c)로 이동시킨다. 테스트 트레이(101)는 냉각챔버(100c)로 세워진 상태에서 냉각챔버(100c)로 이동되며, 이동된 테스트 트레이(101)는 상온으로 냉각된 후 배출된다.
반도체 소자를 상온으로 냉각시킨 후 테스트 트레이(101)를 수평 이송시켜 배출시키기 위한 테스트 트레이 이송장치는 도 3에서와 같은 구성을 갖는다.
도 3은 도 2에 도시된 냉각챔버의 테스트 트레이 이송장치의 구성을 나타낸 사시도이다. 도시된 바와 같이 먼저, 냉각챔버(100c)의 저면을 형성하는 프레임(frame)(110)에 소정 거리로 이격된 상태에서 평행하게 제1가이드(guide)(111)와 제2가이드(112)를 고정 장착한다. 제1가이드(guide)(111)와 제2가이드(112)의 일단에는 복수의 제1이송부(120)(130)가 설치되며, 타단에는 복수의 제2이송부(160)(170)가 설치된다. 복수의 제1이송부(120)(130)와 복수의 제2이송부(160)(170)가 만나는 중간 지점에는 복수의 홀딩부(140)(150)가 냉각챔버(100c)의 상면에 고정 장착된다.
제1가이드(111)와 제2가이드(112)의 일단에 설치되는 복수의 제1이송부(120)(130)는 테스트 사이트(100b)로부터 공급되는 테스트 트레이(101)를 홀딩한다. 테스트 트레이(101)를 홀딩한 복수의 제1이송부(120)(130)는 제1가이드(111)와 제2가이드(112)를 슬라이딩하여 이동한다. 홀딩한 복수의 제1이송부(120)(130)의 이동지점은 복수의 홀딩부(140)(150)가 고정 장착된 위치까지 일치되도록 이동한다.
복수의 홀딩부(140)(150)와 일치되는 지점까지 이동하는 복수의 제1이송부(120)(130)는 제1L(left)이송부(120)와 제1R(right)이송부(130)로 구성된다. 제1L이송부(120)는 제1가이드(111)에 이탈되지 않도록 슬라이딩하여 이동되도록 장착되며, 제1R이송부(130)는 제2가이드(112)에 이탈되지 않도록 슬라이딩하여 이동되도록 장착된다. 제1가이드(111)와 제2가이드(112)에 각각 설치된 제1L이송부(120)와 제1R이송부(130)는 공급된 테스트 트레이(101)를 동시에 홀딩하며, 이 상태에서 제1가이드(111)와 제2가이드(112) 위를 동시에 슬라이딩하여 테스트 트레이를 이송시킨다.
제1가이드(111)와 제2가이드(112)를 따라 각각 슬라이딩하여 이동되는 제1L이송부(120)와 제1R이송부(130)가 복수의 홀딩부(140)(150)와 일치되는 지점까지 이동되면, 복수의 홀딩부(140)(150)는 테스트 트레이(1)를 홀딩한다. 복수의 홀딩부(140)(150)에 의해 테스트 트레이(101)가 홀딩된 후 제1L이송부(120)와 제1R이송부(130)는 테스트 트레이(101)를 넘겨준 상태에서 초기 위치로 복귀한다.
초기 위치로 복귀되는 제1L이송부(120)와 제1R이송부(130)는 각각의 홀더(126)(136)에 의해 테스트 트레이(101)를 홀딩하며 이 홀딩 동작은 각각의 제1실린더(127)(137)에 의해 구동되고, 제1가이드(111)와 제2가이드(112)를 이동하기 위해 각각 제2실린더(128)(138)에 의해 구동된다. 각각의 제2실린더(128)(138)에 의해 제1L이송부(120)와 제1R이송부(130)가 초기 위치로 복귀되면, 테스트 트레이(101)는 복수의 홀딩부(14)(150)에 의해 지지된다. 테스트 트레이(101)를 홀딩하여 지지하기 위해 수직으로 세워진 테스트 트레이(101)의 양단을 각각 제1홀딩부(140)와 제2홀딩부(150)로 지지한다.
제1홀딩부(140)와 제2홀딩부(150)는 각각 냉각챔버(100c)의 상면 일측에 제1홀딩부(140)가 고정 장착되며, 제1홀딩부(140)와 소정 거리로 이격된 상태에서 상면 타측에는 제2홀딩부(150)가 장착된다. 냉각챔버(100c)의 상면에 장착되는 제1홀딩부(140)와 제2홀딩부(150)는 복수의 제1이송부(120)(130)에 의해 이송된 테스트 트레이(101)를 동시에 홀딩하여 소정시간 지지한다. 이 소정 시간은 복수의 제1이송부(120)(130)가 초기 위치로 복귀함과 동시에 복수의 제2이송부(160)(170)가 제1홀딩부(140)와 제2홀딩부(150)와 일치되는 위치로 이동되는 시간을 의미한다.
제1홀딩부(140)와 제2홀딩부(150)가 테스트 트레이(101)를 지지하는 동안 복수의 제2이송부(160)(170)가 이동된다. 복수의 제2이송부(160)(170)는 복수의 홀딩부(140)(150)에 의해 지지된 테스트 트레이(101)를 홀딩하기 위한 위치까지 이동한다. 복수의 제2이송부(160)(170)가 테스트 트레이(101)를 홀딩하기 위한 위치로 이송되면, 복수의 제2이송부(160)(170)는 테스트 트레이(101)를 홀딩한다. 복수의 홀딩부(140)(150)는 복수의 제2이송부(160)(170)에 의해 테스트 트레이(101)가 홀딩됨과 동시에 홀딩 상태를 해제한다.
테스트 트레이(101)를 복수의 홀딩부(140)(150)에서 가로채 홀딩하는 복수의 제2이송부(160)(170)는 제1가이드(111)에 이탈되지 않도록 장착되는 제2L이송부(160)와, 제2가이드(112)에 이탈되지 않도록 장착되는 제2R이송부(170)로 구성된다. 제2L이송부(160)는 제1가이드(111)를 따라 슬라이딩하여 이동되며, 제2R이송부(170)는 제2가이드(112)를 따라 슬라이딩하여 이동된다. 제2L이송부(160)와 제2R이송부(170)는 복수의 홀딩부(140)(150)에 의해 지지된 테스트 트레이(101)를 홀딩하여 가로채 이송시켜 배출시킨다.
테스트 트레이(101)를 이송시켜 배출시키기 위해 제2L이송부(160)와 제2R이송부(170)는 각각의 홀더(166)(176)에 의해 테스트 트레이(101)를 홀딩하며 이 홀딩 동작은 각각의 제1실린더(167)(177)에 의해 구동되고, 제1가이드(111)와 제2가이드(112)를 이동하기 위해 각각 제2실린더(168)(178)에 의해 구동된다. 각각의 제2실린더(168)(178)의 구동에 의해 테스트 트레이(101)를 배출시키는 복수의 제2이송부(160)(170) 및 복수의 제1이송부(140)(150)을 첨부된 도면을 이용하여 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다.
도 4는 도 3에 도시된 이송장치의 측면도이다. 도시된 바와 같이, 프레임(110) 상면에 제1가이드(111) 및 제2가이드(112)가 소정 거리로 이격된 상태로 장착되어 있다. 제1가이드(111) 및 제2가이드(112)에는 각각 복수의 제1이송부(120)(130)가 장착된다. 복수의 제1이송부(120)(130) 위에는 복수의 홀딩부(140)(150)가 장착되어 복수의 제1이송부(120)(130)가 복수의 홀딩부(140)(150)의 직하방에 위치하도록 한다. 여기서 복수의 제1이송부(120)(130)와 동일한 구성을 갖는 복수의 제2이송부(160)(170) 또한 복수의 제1이송부(120)(130)와 동일하게 장착되어 복수의 홀딩부(140)(150)의 직하방 위치까지 이동할 수 있다.
복수의 홀딩부(140)(150)를 매개체 테스트 트레이(101)를 이송시키는 복수의 제1이송부(120)(130) 중 제1R이송부(130)를 첨부된 도면을 이용하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 5는 도 3에 도시된 제1R이송부의 분리 조립 사시도이다. 도시된 바와 같이, 제1L이송부(130)는 제1가이드(112) 위를 이탈되지 않도록 슬라이딩되도록 슬라이딩 블럭(block)(131)이 형성된다. 슬라이딩 블럭(131) 위에는 제1이동블럭(132)이 고정 장착되며, 제1이동블럭(132)의 내측에는 이동가이드(133)가 고정 장착된다. 이동가이드(133)에는 제2이동블럭(134)이 결합된다. 제2이동블럭(134)은 이동가이드(133)으로부터 이탈되지 안도록 결합되며, 이 이동 가이드(133)를 따라 이동한다.
이동 가이드(133)를 따라 이동하는 제2이동불럭(134)에는 고정편(135)이 고정 장착되며, 고정편(135)의 일단에는 테스트 트레이(101)를 홀딩하는 홀더(holder)(136)가 고정 장착된다. 홀더(136)는 제1실린더(137)에 의해 진퇴하며, 제1실린더(137)의 하사점 위치에서 테스트 트레이(101)를 홀딩하지 않는 상태가 되며 상사점 위치에서 테스트 트레이(101)를 홀딩하도록 동작한다.
홀더(136)를 구동시키기 위해 제1실린더(137)는 이동블럭(132)에 고정 장착되고 고정편(135)과 결합되도록 설치된다. 즉, 이동블럭(132)에 고정된 상태에서 고정편(135)을 진퇴시킴으로써 고정편(135)에 결합된 홀더(136)를 진퇴시킬 수 있게 된다. 홀더(136)에 의해 테스트 트레이(101)가 홀딩되면 이를 이송시키기 위해 제2실린더(138)가 구동한다. 제2실린더(138)의 하사점 위치에서 제1R이송부(130)는 테스트 사이트(100b)로부터 테스트 트레이(101)를 공급받아 홀딩한 초기 상태가 된다. 반면 제2실린더(138)의 상사점 위치에서 테이스 트레이(101)는 복수의 홀딩부(140)(150)로 이송된다.
테스트 트레이(101)를 복수의 홀딩부(140)(150)로 이송시키는 제2실린더(138)는 프레임(110)에 고정 장착된 상태에서 이동블럭(132)에 고정 결합되어 설치된다. 이동블럭(132)에 결합되는 제2실린더(138)는 브라켓(139)으로 결합되며, 이 브라켓(139)으로 밀거나 당겨 제1R이송부(130)를 이동시키게 된다. 제1R이송부(130)와 동일한 동작을 실시하는 나머지 제1L이송부(120), 제2L이송부(160) 및 제2R이송부(170)도 제1R이송부(130)와 동일하게 구성되어 동작된다.
복수의 제1이송부(120)(130)에 의해 이송된 테스트 트레이(101)를 복수의 제2이송부(160)(170)로 이송시키기 위한 중간 매개체로 동작하는 복수의 홀딩부(140)(150) 중 제2홀딩부(150)를 첨부된 도면을 이용하여 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다.
도 6은 도 3에 도시된 제4이송부의 분리 조립 사시도이다. 도시된 바와 같이 제2홀딩부(150)는 고정부재(151)에 의해 지지된다. 고정부재(151)는 냉각챔버(100c)의 상면에 고정되며, 고정부재(151)를 지지체로 하여 홀더(152)가 유지된다. 고정부재(151)에 지지되는 홀더(152)는 고정부재(151)에 관통되어 고정된 상태에서 홀더(152)와 결합되어 실린더(153)에 의해 지지된 상태에서 진퇴된다. 즉, 홀더(152)는 실린더(153)의 하사점 위치에서 이송된 테스트 트레이(101)를 홀딩하지 않는 상태로 있으며, 반대로 상사점 위치에서 테스트 트레이(101)를 홀딩하게 된다.
실린더(153)에 의해 진퇴 운동하는 홀더(152)의 평행을 유지되어야 한다. 이를 위해 고정부재(151)를 관통하여 이동가능하도록 결합된 상태에서 홀더(152)의 양단에 복수의 지지부재(154)(155)가 고정 결합된다. 이 복수의 지지부재(154)(155)와 실린더(152)가 관통되도록 고정부재(151)에는 다수의 관통홈(151a)(151b)(151c)이 형성된다.
이와 같이 냉각챔버(100c)에서 테스트 트레이(101) 이송시 단계별로 이송시킴으로써 테스트 트레이(101)의 이송시간을 줄일 수 있어 반도체 소자의 테스트 시간을 단축하게 된다. 즉, 복수의 제1이송부(120)(130)에서 테스트 트레이(101)를 홀딩한 상태에서 복수의 제2이송부(160)(170)에 의해 복수의 홀딩부(140)(150)에 홀딩된 테스트 트레이(101)를 배출시킬 수 있으며, 복수의 홀딩부(140)(150)에 의해 스텝별로 테스트 트레이(101)를 이송시킴에 따라 테스트 트레이(101)가 챔버(100)를 순환시 버퍼기능을 수행할 수 있으며, 반도체 소자의 냉각 또는 디프로스트(defrost) 시간을 확보할 수 있게 된다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명은 테스트 트레이를 수직으로 이송시 중간 매개체인 복수의 홀딩부를 이용함으로써 테스트 트레이의 이송시간을 단축시키고, 테스트 트레이에 장착된 반도체 소자의 냉각 또는 디프로스트(defrost) 시간을 확보할 수 있으며 챔버 내부를 순환하는 테스트 트레이의 버퍼로서의 기능을 수행할 수 있는 효과를 제공한다.

Claims (4)

  1. 핸들러의 냉각챔버에 있어서,
    프레임(frame);
    상기 프레임에 고정 장착되는 제1가이드(guide);
    상기 제1가이드에 소정 거리로 이격된 위치에서 평행하게 상기 프레임에 고정 장착되는 제2가이드;
    테스트 사이트(test site)로부터 공급되는 테스트 트레이를 홀딩(holding)하여 이송시키기 위해 상기 제1가이드와 제2가이드에 각각 슬라이딩 되도록 장착되는 복수의 제1이송부;
    상기 프레임에 고정 장착되어 상기 복수의 제1이송부에 의해 이송된 테스트 트레이를 홀딩하는 복수의 홀딩부;
    상기 제1가이드와 제2가이드에 각각 슬라이딩 되도록 장착되어 상기 복수의 홀딩부에 홀딩된 테스트 트레이를 홀딩하여 이송시켜 배출시키는 복수의 제2이송부로 구성됨을 특징으로 하는 핸들러의 냉각챔버에서 테스트 트레이 이송장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    복수의 제1이송부는 제1L이송부와 제1R이송부로 구성되며, 상기 제1L이송부와 제1R이송부는 각각 제1가이드와 제2가이드 위를 이탈되지 않도록 슬라이딩되는 슬라이딩 블럭(block)와, 상기 슬라이딩 블럭 위에 고정 장착되어 이동되는 제1이동블럭와, 상기 제1이동블럭에 고정 장착되는 이동가이드와, 상기 이동가이드에 이탈되지 않도록 결합되어 이동가이드를 따라 이동되는 제2이동블럭과, 상기 이동블럭에 고정 장착되는 고정편과, 상기 고정편의 일단에 고정 장착되어 테스트 트레이를 홀딩하는 홀더와, 상기 이동블럭에 고정 장착되고 상기 고정편과 결합되어 상기 홀더가 진퇴 운동하여 테스트 트레이를 홀딩하도록 하는 제1실린더와, 상기 프레임에 고정 장착되고 상기 이동블럭에 고정 결합되어 상기 홀더가 상기 제1가이드를 따라 이동하도록 상기 이동블럭을 슬라이딩시키는 제2실린더로 구성됨을 특징으로 하는 핸들러의 냉각챔버에서 테스트 트레이 이송장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수의 홀딩(holding)부는 냉각챔버의 상면 일측에 고정 장착되어 이송된 테스트 트레이를 홀딩하는 제1홀딩부와 상기 제1홀딩부와 소정 거리로 이격된 상태에서 냉각챔버의 상면 타측에 고정 장착되어 이송된 테스트 트레이를 홀딩하는 제2홀딩부로 구성되며, 상기 제 1 홀딩부와 제2홀딩부는 각각 냉각챔버의 상면에 고정되는 고정부재와, 상기 복수의 제1이송부에 의해 이송된 테스트 트레이를 홀딩하는 홀더(holder)와, 상기 고정부재에 관통되어 고정된 상태에서 상기 홀더와 결합되어 홀더를 진퇴시키는 실린더로 구성됨을 특징으로 하는 핸들러의 냉각챔버에서 테스트 트레이 이송장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수의 제2이송부는 제2L이송부와 제2R이송부로 구성되며, 상기 제2L이송부와 제2R이송부는 각각 상기 제1가이드와 제2가이드 위를 이탈되지 않도록 슬라이딩되는 슬라이딩 블럭(block)와, 상기 슬라이딩 블럭 위에 고정 장착되어 이동되는 제1이동블럭와, 상기 제1이동블럭에 고정 장착되는 이동가이드와, 상기 이동가이드에 이탈되지 않도록 결합되어 이동가이드를 따라 이동되는 제2이동블럭과, 상기 이동블럭에 고정 장착되는 고정편과, 상기 고정편의 일단에 고정 장착되어 테스트 트레이를 홀딩하는 홀더과, 상기 이동블럭에 고정 장착되고 상기 고정편과 결합되어 상기 홀더가 진퇴 운동하여 테스트 트레이를 홀딩하도록 하는 제1실린더와, 상기 프레임에 고정 장착되고 상기 이동블럭에 고정 결합되어 상기 홀더가 상기 제1가이드를 따라 이동하도록 상기 이동블럭을 슬라이딩시키는 제2실린더로 구성됨을 특징으로 하는 핸들러의 냉각챔버에서 테스트 트레이 이송장치.
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