KR100288806B1 - 데이터기록디스크드라이브용일체형헤드-전자장치상호접속서스펜션 - Google Patents

Abstract

트랜스듀서(9)와 판독/기록 전자 장치 간에 일반적으로 15Mbytes/sec 이상의 높은 데이터 전송 속도를 갖는 디스크 드라이브용 일체형 트랜스듀서-전자 장치 상호 접속 서스펜션(12)이 제공된다. 서스펜션(12)은 트랜스듀서(9)가 장착된 슬라이더(10)를 지지하고 슬라이더(10)를 디스크 표면에 가깝게 유지한다. 일체형 트랜스듀서-전자 장치 상호 접속 서스펜션은 적층 구조이며 적층 구조의 일부로서 전도성 도선을 구비하고 트랜스두서(9)를 판독/기록 전자 장치와 접속한다. 일체형 서스펜션은 도선의 특성 임피던스가 급격히 변화하는 것을 방지하여 도선 상의 신호 반사를 최소화함으로써 트랜스듀서(9)와 판독/기록 전자 장치 간의 높은 데이터 전송 속도를 수용할 수 있다. 도선의 폭은 도선 접착 영역, 개구부, 및 서스펜션 내의 다른 기계적 장애물로 인한 도선 임피던스의 급격한 변화를 방지하도록 형태를 갖춘다. 도선의 방향 전환은 신호 반사를 방지하기 위해서 점진적으로 이루어진다. 또한, 도선 특성 임피던스의 제어를 향상시키기 위해서 적층 구조 내에 패턴화된 전도성 배면부가 제공된다. 도선이 배면부 개구부 위를 횡단하는 곳에 도선의 측면 모서리로부터의 측면 방향 연장부가 형성되어 임피던스 변화를 보상한다. 또한, 도선과 접착 영역이 신호의 유형에 따라 모여지고 그 그룹 간에는 충분한 거리가 주어져서, 신호의 상호-커플링을 최소화한다.

Description

데이터 기록 디스크 드라이브용 일체형 헤드-전자 장치 상호 접속 서스펜션{INTEGRATED HEAD-ELECTRONICS INTERCONNECTION SUSPENSION FOR A DATA RECORDING DISK DRIVE}

디스크 드라이브는 정보를 포함하는 동심 데이터 트랙을 구비한 한 개 이상의 회전 가능한 디스크, 여러 가지 트랙으로부터 데이터를 판독하거나 데이터를 기록하기 위한 트랜스듀서, 및 트랜스듀서에 접속되어 있으며 트랜스듀서를 원하는 트랙으로 이동시키고 판독 및 기록 동작 중에 트랜스듀서를 트랙 상에 유지하기 위한 트랜스듀서 위치 조절 액추에이터(actuator)를 사용하는 정보 기억 장치이다. 트랜스듀서는 회전 디스크에 의해서 발생한 공기 쿠션에 의해서 디스크의 데이타 표면에 인접하여 지지되는 공기-베어링(air-bearing) 슬라이더와 같은 슬라이더에 부착된다. 트랜스듀서는 또한 접촉-기록형 슬라이더에 부착될 수도 있다.

서스펜션은 슬라이더와 액추에이터 암(actuator arm) 사이의 거리를 안정시키고, 회전 디스크 상의 이동 방향에 대한 슬라이더의 높이(pitch)와 상하 요동(roll motion)의 유연성을 제어하며, 편주 운동(yaw motion)에 대한 저항성을 제공한다. 공기-베어링 슬라이더를 구비한 종래의 디스크 드라이브에서는, 서스펜션은 슬라이더에 대항하는 부하 또는 힘을 제공하고 그 부하 또는 힘은 슬라이더의 공기-베어링 표면과 디스크 표면 간의 공기-베어링의 힘에 의해서 완충된다. 따라서, 공기-베어링 슬라이더는 디스크의 데이터 표면과 극히 근접한 상태로 유지되지만 디스크의 데이터 표면과 접촉하지는 않는다. 서스펜션은 통상적으로 액추에이터 암의 한쪽 끝에 장착된 부하 빔(load beam)과 부하 빔의 다른쪽 끝에 부착되어 있으며 그 짐벌(gimbal) 영역이 슬라이더를 지지하는 만곡부 소자(flexure element)를 포함한다. 부하 빔은 슬라이더를 디스크의 표면으로 편향시키는 탄성 스프링 동작을 제공한다. 이 스프링 동작은 슬라이더가 공기-베어링 표면과 회전 디스크 간의 완충 공기에 의해서 떠받쳐질 때 슬라이더에 유연성을 제공한다. 또한, 짐벌은 슬라이더가 디스크 표면을 따라가는데 필요한 요동 유연성 및 높이 유연성을 제공한다. 이러한 서스펜션은, 예를 들면 양수인에게 양도된 미합중국 특허 제4,167,765호에 개시되어 있다. 이러한 서스펜션과 함께 사용하기 위한 종래 슬라이더의 한 예가 양수인에게 양도된 미합중국 특허 제3,823,416호에 개시되어 있다.

종래의 공기-베어링 슬라이더-서스펜션 어셈블리에서는, 슬라이더가 에폭시 접착(epoxy bonding)에 의해서 서스펜션의 만곡부 소자에 기계적으로 부착되어 있다. 트랜스듀서와 기록/판독 전자 장치 간의 전기적 접속은 서스펜션 부하 빔의 길이를 따라서 만곡부 소자와 슬라이더까지 연장되는 꼬임선(twisted wire)으로 이루어진다. 꼬임선의 종단부는 트랜스듀서 접착 영역 또는 슬라이더 상에 위치한 패드(pad)에 납땜 처리(soldered)되거나 초음파 접착 처리된다. 다른 형태의 서스펜션은 패턴화된(patterned) 전기 도선이 형성된 기저층을 포함하는 복합 구조 또는 적층 구조이며, 이것은 IBM 기술 발표 보고(IBM Techinical Bulletin) 제22권 제4호 (1979년 9월)의 페이지 1602-1603과 일본 공개공보 제53-74414호 (1978년 7월 1일)과 제53-30310호 (1978년 3월 22일)에 개시되어 있다. 일본 공개공보 제53-74414호에 개시된 적층 서스펜션에서는, 슬라이더가 적층 서스펜션에 에폭시-접착되고 트랜스듀서 접착 영역은 서스펜션 상에 형성된 전기 도선에 납땜 처리된다. 양수인에게 양도된 미합중국 특허 제4,761,699호에서는 종래의 슬라이더에 사용하기 위한 적층 서스펜션이 개시되어 있는데, 개시된 내용에서는 솔더 볼(solder ball) 접속을 이용하여 슬라이더를 적층 서스펜션에 기계적으로 접속하고 트랜스듀서를 적층 서스펜션 상의 도선에 전기적으로 접속한다.

양수인에게 양도된 미합중국 특허 제4,996,623호에는, 부압력(negative pressure) 슬라이더와 함께 사용하기 위한 또 다른 형태의 적층 서스펜션이 개시되어 있다. 이러한 형태의 서스펜션을 위해서는, 슬라이더를 가능한 한 작은 부하 힘(loading force)으로 디스크의 데이터 표면에 인접하도록 유지할 것이 요망된다. 상기 서스펜션은 패턴화된 금속층의 양면 상에 접착되고 경첩 영역(hinge region)을 갖는 편평한 탄성 금속판이다. 적층 서스펜션의 경첩 영역에 인접한 부분은 휘어져 있으며, 이에 따라 서스펜션은 트랜스듀서가 디스크 표면과 접촉하는 것을 방지하도록 슬라이더를 지지한다. 따라서, 부압력 슬라이더 및 디스크 표면과 연관된 스틱션(stiction) 문제가 해소된다.

종래의 서스펜션 또는 적층형 서스펜션을 사용하는 디스크 드라이브에 있어서의 한가지 문제점은 전기적 도체의 불명확한 특성 임피던스(characteristic impedance)가 트랜스듀서와 판독/기록 전자 장치간의 안정하고 높은 데이터 전송 속도의 데이터 전송을 방해한다는 것이다. 예를 들면, 대략 초당 1500만 바이트 보다 높은 데이터 전송 속도를 갖는 디스크 드라이브에서는, 트랜스듀서와 판독/기록 전자 장치간에 데이터를 매우 높은 주파수로 전송하기 위해서 큰 대역폭이 요구된다. 이 요구 조건은 거의 직사각형의 기록 신호를 전송하는 경우이거나 또는 예를 들면 3.5″ 디스크 드라이브 내의 5 내지 6 cm로 접속 거리가 긴 경우에 특히 중요하다. 꼬인 도체의 특성 임피던스는 전선 지름, 절연 두께, 단위 길이당 꼬임수, 꼬임의 세기(tightness), 및 지면과의 근접도에 부분적으로 의존한다. 더욱이, 도체의 특성 임피던스는 정상 상태에서는 그 형태, 다른 도체와의 거리, 또는 그 경로에 인접한 영역의 변화로 인해 도체의 길이 방향을 따라서 균일하게 유지되지 않는다. 이러한 변화는 경로 내에 있는 기계적인 장애물을 허용할 수 있어야 한다. 예를 들면, 도체는 소정 영역에서 얇아질 수도 있고, 또는 서스펜션 내부의 개구부와 주름, 또는 기계적으로 정렬하기 위해서 사용되는 서스펜션 내부의 구멍을 허용하기 위해서 방향이 바뀔 수도 있다. 도체의 특성 임피던스는 또한 서스펜션 내부의 경첩부에 필요한 개구부(aperture) 바로 위에 위치한 곳에서 변화될 수 있다. 결국, 트랜스듀서 또는 기록/판독 전자 장치 설계의 특정한 유형을 수용하기 위한 도체의 요망되는 특성 임피던스를 얻기 위해서 도체의 형태를 변경할 필요가 있다.

본 발명은 서스펜션의 적층 구조 내에 전도성 도선(trace)으로서 도체를 제공함으로써 상술한 문제점을 해결한다. 도선의 형태는 도선의 특성 임피던스가 갑자기 변화하는 것을 방지하거나 또는 특정한 임피던스값이 필요한 곳에 그 임피던스값을 얻도록 하기 위해서 변화된다. 도선 임피던스를 제어하기 위한 다른 기술은 일체형 헤드-전자 장치 상호접속 서스펜션의 적층 구조 내에 전도성 배면부(back plane)를 제공하기 위한 것이다. 도선의 선정된 부분의 특성 임피던스는 배면부의 도선 하부 부분을 제거함으로써 조절된다.

종래의 서스펜션 또는 적층형 서스펜션을 사용하는 디스크 드라이브의 다른 문제점은 꼬임 도체가 서스펜션-슬라이더 어셈블리의 제조 과정에서 쉽게 결선된다는 것이다. 이 문제점이 발생하는 이유는 도체의 납땜 처리와 꼬임 처리가 통상적으로 서스펜션의 자동 제조 과정에서 기계에 의해 수행되기 때문이다. 본 발명의 일체형 서스펜션은 도체를 서스펜션의 적층 구조의 일부로 포함함으로써 도체의 결선 문제를 해소한다. 따라서, 본 발명은 서스펜션의 제조를 용이하게 하고 생산량을 증가시킴으로써 제조 비용을 절감한다.

〈발명의 요약〉

본 발명은 트랜스듀서와 판독/기록 전자 장치 간에, 예를 들면 대략 초당 1500만 바이트보다 큰 높은 전송 속도를 유지하는 일체형 트랜스듀서-전자 장치 상호 접속 서스펜션을 갖는 데이터 기록 디스크 드라이브이다. 일체형 서스페션은 기저층 또는 기판층과 기저 층 상에 형성된 제1 도전체 층을 갖는 적층 구조이다. 서스펜션은 슬라이더가 부착될 짐벌 영역을 갖는다. 한 개 이상의 트랜스듀서가 슬라이더에 부착되어 디스크 표면으로부터 데이터를 판독하거나 디스크 표면으로 데이타를 기록한다. 제1 도전체 층은 트랜스듀서와 판독/기록 전자 모듈을 상호 접속하는 복수의 전도성 도선을 형성하도록 식각된다. 각각의 도선은 그 각각의 종단부에 트랜스듀서와 전자 모듈 각각으로 전기적으로 접속하기 위한 접착 영역을 갖는다. 전기적 도선은 바람직하게는 구리 또는 금박 구리(gold plated copper)이고, 선택에 따라서는 예를 들면 폴리아미드(polyamide)와 같은 절연 피복층으로 보호될 수 있다. 기저층은 바람직하게는 알루미나(alumina)로 이루어진다. 본 발명의 다른 실시예에서는, 기저층은 제2 도전체 층과 제1 및 제2 도전체 층 간의 절연층이다. 제2 도전체 층은 스테인리스 철이고 제2 절연층은 폴리아미드일 수 있다.

본 발명의 바람직한 실시예에서는, 전기적 도선의 형태는 도선의 특성 임피던스의 급격한 변화를 보상하기 위해서 소정 영역에서 변경된다. 도선의 섹션에서의 특성 임피던스는 다른 인자중에서도 도선 섹션의 크기, 인접한 도선와의 근접도, 및 도선 주위의 재료에 따라 변한다. 전형적인 서스펜션에서는, 도선의 특성 임피던스의 급격한 변화는 통상적으로 도선의 경로 내의 기계적인 장애물을 수용하기 위한 도선 폭의 변화, 더욱 큰 폭의 접착 영역, 또는 도선이 그 방향을 바꾸는 영역에 기인한다. 따라서, 본 발명의 목적은 도선의 특성 임피던스가 가능한 한 점진적으로 변화하도록 하여 도선을 따라서 발생하는 신호의 반사(signal reflection)를 방지하는데 있다. 예를 들면, 서스펜션 내의 경첩부 또는 정렬 구멍을 수용하도록 도선의 폭이 얇아져야 하는 영역에서는, 도선 내에 강한 신호 반사점이 발생하지 않도록 도선 폭이 서서히 변화하여야 한다. 도선 폭이 서서히 변화하면 도선 커패시턴스(capacitance)와 인덕턴스(inductance)가 서서히 변화하게 되고, 이에 따라 도선 특성 임피던스도 서서히 변화하게 된다. 결과적으로 얇아지는 부분에 의한 도선을 따라 발생하는 모든 신호 반사를 피할 수 있는 것이다. 이와 같은 트랜스듀서와 기록/판독 전자 장치 간의 반사가 없는 상호 접속은 높은 데이터 전송율의 디스크 드라이브에 있어서 중요하다. 도선 특성 임피던스를 제어하기 위한 상술한 것과 동일한 기술이 도선이 도선의 폭보다 더 큰 폭을 갖는 접착 영역으로 끝나는 경우에 적용된다. 도선이 접착 영역이 됨에 따라 도선 폭이 급격한 증가하면 도선을 따라 전송되는 전기 신호를 반사시키게 된다. 그러나, 상술한 반사는 접착 영역에 인접한 도선의 폭을 점진적으로 증가시켜서 접착 영역 근방의 영역 내의 도선 특성 임피던스가 점진적으로 변화하도록 함으로써 최소화될 수 있다. 마찬가지로 도선의 급격한 방향 변화가 역시 신호 반사점의 역할을 한다. 이 반사 문제는 도선의 폭을 방향 변환부 전체에 걸쳐서 일정하게 유지하고 내부 도선 모서리의 반지름, 즉 안쪽 반지름이 도선의 폭과 동일하거나 폭보다 크게 선택함으로써 해소되거나 현저히 줄일 수 있다.

본 발명의 다른 실시예에서는, 서스펜션의 적층 구조는 기저층과 전기적 도선 사이에 위치한, 바람직하게는 구리인 전도성 배면부를 더 구비한다. 배면부와 전기적 도선 사이에는 또한, 바람직하게는 폴리아미드인 절연층이 존재한다. 배면부는 도선의 특성 임피던스를 제어하여 전기 신호의 반사를 최소할 수 있는 수단을 부가적으로 제공한다. 배면부의 개구부 위에 전기적 도선이 위치한 경우, 예를 들면 서스펜션 경첩부를 위해서 개구부가 필요한 곳에서는 개구부가 도선의 특성 커패시턴스를 사실상 감소시키고 이에 따라 도선의 상기 부분의 특성 임피던스를 증가시킨다. 도선 바로 아래의 개구부의 주변 부분이 도선의 갈이 방향 축과 약간 수직하지 않은 각도를 갖도록 개구부를 위치시키거나 개구부의 형태를 결정하거나 그것을 가로질러 도선을 연결함으로써 상술한 신호 반사를 최소화시킬 수 있다. 또는, 개구부 위의 영역 내의 도선 커패시턴스의 급격한 감소는 개구부 바로 위 영역 내의 도선의 폭을 크게 함으로써 보상될 수 있다. 또 다른 실시예에서는, 도선의 측면 모서리로부터의 하나 또는 그 이상의 측면 연장부를 개구부의 양 측면에 생성하여 배면부 내의 개구부로 인한 커패시턴스 감소를 국부적으로 보상할 수 있다. 따라서, 도선의 특성 임피던스가 개구부 위 영역 내에서 일반적으로 일정하게 유지되고 개구부로 인한 도선을 따라 신호가 반사되는 것이 최소화된다.

마찬가지로, 배면부는 더 넓은 접착 영역을 갖는 도선을 따라 발생하는 신호 반사를 최소화하기 위한 부가적인 수단을 제공한다. 이 경우에 배면부는 접착 영역 아래에서 부분적으로 제거된다. 부분적으로 제거된 배면부는 접착 영역의 커패시턴스를 사실상 감소시키고 이에 따라 그 영역의 큰 폭으로 인해서 부가된 커패시턴스를 보상하게 된다. 결과적으로, 도선의 특성 임피던스는 도선 폭이 접착 영역에서 더 넓어짐에 따라 급격하게 변화하지 않는다. 접착 영역으로 인한 도선을 따라서 발생하는 모든 신호 반사는 이에 따라 최소화된다.

본 발명의 다른 목적은 도선이 트랜스듀서 또는 전자 모듈로 접속되는 도선의 종단부에 반사점이 발생되지 않도록 하는 것이다. 한 개 또는 그 이상의 상술한 기술을 사용하여 도선의 형상과 배면부의 패턴이 전자 모듈에 인접한 도선 영역의 특성 임피던스가 전자 모듈의 출력 임피던스와 실질적으로 동일해지도록 선택된다. 따라서, 도선 특성 임피던스의 급격한 변화가 전자 모듈로의 접속부에서 발생하지 않도록 되고 신호의 모든 반사가 최소화된다. 마찬가지로 트랜스듀서 종단부에 인접한 도선 영역의 특성 임피던스가 트랜스듀서의 출력 임피던스와 실질적으로 동일하게 하여 종단부에서의 모든 신호 반사를 최소화한다. 더욱이, 도선의 특성 임피던스가 그 종단부에 인접한 영역에서의 값과 다른 종단부에서의 값이 서로 다른 경우와 도선의 종단 영역의 폭이 서로 다른 경우에 그 양 종단 영역 사이에서 도선의 폭이 점진적으로 변화되도록 하여 도선의 특성 임피던스가 점진적으로 변화되도록 한다. 따라서, 도선의 종단 영역 간의 임피던스 차이로 인한 신호의 모든 반사가 최소화된다.

일체형 서스펜션의 바람직한 실시예에서는, 판독 및 기록 신호 간의 모든 상호 커플링을 최소화함으로써 전기적 도선에 필요한 높은 전송 대역폭이 또한 얻어진다. 서스펜션이 두 개 이상의 트랜스듀서를 지지하는 경우에는 트랜스듀서의 판독 도선을 가능한 한 서로 가깝게 모은다. 기록 도선도 유사하게 모은다. 또한, 트랜스듀서의 판독 도선과 기록 도선 간의 간격은 서스펜션의 폭이 판독 도선과 기록 도선 사이의 상호 커플링을 감소하도록 크게 만들어진다. 마찬가지로, 판독 도선과 기록 도선에 사용하기 위한 접착 영역은 판독 신호와 기록 신호 간의 상호 커플링을 더욱 감소시키기 위해서 각각 그루핑(grouping)되고 간격을 유지하게 된다.

본 발명은 데이터 기록 디스크 드라이브용 슬라이더-서스펜션 어셈블리(slider-suspension assembly)에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 트랜스듀서(transducer)와 판독/기록 전자 장치 간의 데이터 전송 속도가 높은 디스크 드라이브에 사용하기 위한 일체형 헤드-전자 장치 상호접속 서스펜션에 관한 것이다.

본 발명은 첨부된 도면을 참조하여 오직 예시적으로서 설명될 것이다.

도 1은 본 발명에 따른 일체형 헤드-전자 장치 상호 접속 서스펜션과 함께 사용하기 위한 종래의 자기 기록 디스크 드라이브의 개략적인 블록도;

도 2는 덮개가 제거된 도 1의 디스크 드라이브의 상면도;

도 3은 전기 도선, 접착 영역, 및 서스펜션의 짐벌 영역에 부착된 슬라이더에 장착된 트랜스듀서 또는 판독/기록 헤드를 구비한 본 발명에 따른 일체형 헤드-전자 장치 상호 접속 서스펜션의 평면도;

도 4는 도 3에 도시된 접착 영역의 확대도;

도 5는 슬라이더, 트랜스듀서, 도선, 및 접착 영역을 더욱 상세히 도시한 도 3에 도시된 짐벌 영역의 확대도;

도 6A는 기저층과 전도성 도선을 구비한 일체형 헤드-전자 장치 상호 접속 서스펜션의 단면도;

도 6B는 전기 도선 상에 형성된 절연층을 부가적으로 구비한 도 6A에 도시된 일체형 헤드-전자 장치 상호 접속 서스펜션의 단면도;

도 7A는 전기 도선과 기저층 사이에 전도성 배면부와 전기 도선과 배면부 사이에 절연층을 부가적으로 구비한 일체형 헤드-전자 장치 상호 접속 서스펜션의 단면도;

도 7B는 전기 도선과 패턴화된 배면부 위에 절연층을 부가적으로 구비한 도 7A에 도시된 일체형 헤드-전자 장치 상호 접속 서스펜션의 단면도;

도 8A는 기저층이 도전체 층 및 도전체 층과 전기 도선 사이에 절연층을 포함하는 본 발명의 다른 실시예를 도시한 도면;

도 8B는 절연층 및 전기 도선과 기저층 사이에 전도성 배면층을 부가적으로 구비한 도 8A에 도시된 일체형 헤드-전자 장치 상호 접속 서스펜션의 단면도;

도 9 및 10은 도선의 얇은 부분 근처에서 전기 도선의 폭을 점차로 변화시킨 다른 실시예를 도시한 도면;

도 11, 12, 및 13은 접착 영역 근처에서 전기 도선의 폭을 점차로 변화시킨 다른 실시예를 도시한 도면;

도 14 및 15는 휘어진 도선의 평면도;

도 16 및 17은 배면부 내의 개구부의 주변부를 도선에 대하여 위치시켜 도선이 개구부 위에 위치하도록 하는 실시예를 도시한 도면;

도 18은 배면부 내의 개구부 위에 위치한 전기 도선의 확장된 단면의 평면도;

도 19는 배면부 내의 개구부 양 측면 상의 전기 도선의 측면 모서리로부터의 측면 방향 연장부의 실시예를 도시한 도면;

도 20은 배면부가 접착 패드 하부 영역 내에서 일부 제거된 접착 영역의 평면도;

도 21은 도 20에 도시된 제거된 배면부의 실시예로서, 도선 하부 배면부의 폭이 점차로 변화하는 실시예를 도시한 도면;

도 22는 트랜스듀서와 전자 모듈로 접속하기 위해서 그 종단부에 접착 영역을 구비한 도선으로서, 도선 특성 임피던스의 급격한 변화를 피하기 위해서 그 종단 영역 사이에 도선 폭이 점차로 가늘어지는 도선의 평면도;

〈상세한 설명 - 종래 기술〉

본 발명의 일체형 헤드-전자 장치 상호 접속 서스펜션이 도 1에 도시된 바와 같이 자기 디스크 기억 시스템 내에 구현되어 있지만, 본 발명은 자기 테이프 기록 시스템과 같은 다른 자기 기록 시스템과 자기 저항 소자가 비트 셀(bit cell)의 기능을 수행하는 자기 랜덤 액세스 메모리 시스템에도 적용될 수 있다.

도 1에는 일체형 헤드-전자 장치 상호 접속 서스펜션을 사용하는 형태의 종래의 디스크 드라이브의 개략적인 단면도가 도시되어 있다. 디스크 드라이브는 기부(1) 및 덮개(2)를 포함하며 기부(1)에는 디스크 드라이브 모터(4)와 액추에이터(5)가 고정되어 있다. 기부(1)와 덮개(2)는 디스크 드라이브를 위한 실질적으로 봉입된 외장 역할을 한다. 전형적으로는 디스크 드라이브의 내부와 외부 간의 압력을 균일하게 하기 위한 개스켓(gasket)(3)이 기부(1)와 덮개(2)의 사이에 위치한다. 자기 기록 디스크(6)는 회전축(7)에 의해 드라이브 모터(4)로 접속되며 드라이브 모터(4)에 의해서 회전되기 위해서 회전축(7)에 부착된다. 자기 기록 디스크(6)는 데이터가 기록되고 판독되기 위한 데이터 표면(8)을 구비한다. 판독/기록 헤드 또는 트랜스듀서(9)는 슬라이더(10)와 같은 운반체의 후단부(trailing end) 상에 형성된다. 슬라이더(10)는 공기-베어링 형(air-bearing type)이거나 또는 접촉 기록 형(contact recording type)일 수 있다. 트랜스듀서(9)는 유도성의 판독 및 기록 트랜스듀서이거나 또는 자기저항성 (MR) 판독 트랜스듀서가 구비된 유도성 기록 트랜스듀서일 수 있다. 슬라이더(10)는 단단한 지지 암(11) 및 유연한 서스펜션(12)에 의해서 액추에이터(5)에 접속된다. 서스펜션(12)은 슬라이더(10)를 기록 디스크(6)의 데이터 표면(8)으로 미는 편향력을 제공한다. 디스크 드라이브의 동작중에는 드라이브 모터(4)가 디스크(6)를 일정한 속도로 회전시키고, 통상적으로 선형 또는 회전 보이스 코일 모터(voice coil motor) (VCM)인 액추에이터(5)는 판독/기록 헤드가 디스크(6) 상의 서로 다른 데이터 트랙을 액세스할 수 있도록 일반적으로 슬라이더(10)를 데이터 표면(8)을 방사상으로 가로질러 이동시킨다.

도 2는 덮개(2)가 제거된 디스크 드라이브 내부의 상면도로서, 슬라이더(10)에 힘을 가하여 디스크(6)로 밀어내도록 하는 서스펜션(12)을 더욱 상세히 도시한 것이다. 서스펜션은 양수인에게 허여된 미합중국 특허 제4,167,765호에 개시된 공지의 와트라우스(Watrous) 서스펜션과 같은 종래 형태의 서스펜션일 수 있다. 이러한 형태의 서스펜션은 또한 슬라이더를 짐벌되어(gimbaled) 부착되도록 하여 슬라이더가 공기 베어링을 타면서 상하 전후로 운동하도록 한다. 트랜스듀서(9)에 의해서 디스크(6)로부터 검출된 데이터는 암(11) 상에 위치한 전자 모듈(15) 내의 신호 증폭 및 처리 회로에 의해서 판독 데이터 신호로 처리된다. 이 전자 모듈은 암의 측면 상에 위치할 수도 있다. 트랜스듀서(9)로부터의 신호는 전도체(17)를 거쳐 전자 모듈(15)로 이동하고, 전자 모듈은 전도체(19)를 통해 신호를 출력하거나 입력받는다. 도 2에 도시된 종래의 실시예에서는 트랜스듀서(9)와 전자 모듈(15) 간의 전도체(17)는 꼬임선으로 이루어져 있고 각각의 꼬임선은 절연 피복을 갖는다. 통상적으로 절연 도체(17)는 그 제1 종단부에서 트랜스듀서(9)의 (도시되지 않은) 전기 접착 영역으로 납땜되거나 또는 초음파 접착된다. 그 다음에 도체를 꼬아서 그 제2 종단부를 전자 모듈(15)의 도선과 납땜한다. 서스펜션의 다른 구현은 양수인에게 허여된 미합중국 특허 제4,996,623에 개시된 것과 같은 적층형일 수 있다. 이 형태의 서스펜션에서는 도체(17)과 도체(16) 모두가 서스펜션의 적층 구조의 일부인 도전체 층으로부터 형성될 수 있다. 그러나 양수인에게 허여된 미합중국 특허 제4,996,623호는 적층 구조 내에 넓은 주파수 대역폭 상호접속 도체를 제공하기 위한 어떠한 수단도 제시하고 있지 않다.

전형적인 자기 디스크 기억 시스템의 상술한 내용과 첨부된 도 1 및 도 2는 설명의 목적만을 위한 것이다. 디스크 기억 시스템이 많은 수의 디스크와 액추에이터를 포함할 수 있고 각각의 액추에이터는 수개의 슬라이더를 지지하며 각각의 슬라이더는 한 개 이상의 트랜스듀서를 갖는다. 또한, 전형적인 디스크 기억 시스템은 복수의 적층 서스펜션을 구비하고 각각의 서스펜션은 본 발명의 실시예를 한 개 또는 그 이상 포함한다.

도 3을 참조하면, 본 발명의 일체형 헤드-전자 장치 상호 접속 서스펜션은 서스펜션부(21)와 말단부(22)를 포함하는 단일체이다. 서스펜션부(21)는 한쪽 끝에 슬라이더(27)가 부착되는 짐벌 영역(25)을 구비하고 다른쪽 끝에 (도시되지 않은) 액추에이터의 단단한 지지 암으로 부착되기 위한 장착 기부(mounting base: 26)를 구비하고 있다. 서스펜션부(21)는 장착 기부(26)의 근처에 개구부(29)를 더 포함한다. 개구부(29)는 서스펜션으로 휘도록 하는 경첩부를 형성하도록 될 수 있다. 말단부(22)는 장착 기부(26)로부터 (도시되지 않은) 액추에이터로 연장된다. 트랜스듀서 또는 판독/기록 헤드(28)는 기록 디스크(6)의 데이터 표면(8)으로부터 데이터를 판독하거나 데이터를 기록하기 위해 슬라이더(27)에 부착된다. 복수의 전도성 도선(24)이 트랜스듀서(28)를 일체형 헤드-전자 장치 상호 접속 서스펜션의 액추에이터 종단부 근처에 위치한 (도시되지 않은) 전자 모듈과 접속시키는 일체형 헤드-전자 장치 상호 접속 서스펜션 상에 형성된다. 전도성 도선(24)은 서스펜션부(21)와 말단부(22)의 거의 전 길이에 걸쳐 있다. 각각의 전기적 도선(24)은 한쪽 끝에 트랜스듀서(28)로 접속하기 위한 접착 영역(31)을 구비하고 다른 쪽 끝에 전자 모듈로 접속하기 위한 접착 영역(32)를 구비한다. 접착 영역(31, 32)의 폭은 일반적으로 도선(24)의 폭보다 넓어서 접착 영역으로 배선하거나 패키지 핀 접속하는 것을 용이하게 한다. 도 4는 접착 영역(31) 또는 접착 영역(32)과 도선(42)의 일부를 확대한 도면이다. 도 5에는 짐벌 영역(25)이 한 개의 슬라이더(27)가 부착된 것으로 도시되어 있지만 한 개 이상의 슬라이더를 구비할 수 있다. 각각이 디스크로부터 데이터를 판독하거나 데이타를 기록할 수 있는 두 개의 트랜스듀서(28)가 슬라이더(27)에 부착되어 있다. 도시된 실시예에는 두 개의 판독/기록 트랜스듀서(28)와 한 개의 슬라이더(27)가 도시되어 있지만 슬라이더, 트랜스듀서, 및 다른 유형의 트랜스듀서가 다르게 조합되어 사용될 수 있다. 트랜스듀서(28)는 짐벌 영역(25) 내에 위치한 접착 영역(31)으로 전기적으로 접속된다.

일체형 헤드-전자 장치 상호 접속 서스펜션은 기저층과 기저층 상에 복수의 전도성 도선을 형성하기 위한 제1 도전체 층을 구비한 적층 구조이다. 도 6A는 기저층(35) 상에 형성된 전기 도선(36)과 (37)을 구비한 본 발명의 서스펜션에 대한 단면도이다. 기저층(35)은 알루미나와 같은 탄성의 비전도성 재료로 만들어져 있으며 그로부터 일체형 헤드-전자 장치 상호 접속 서스펜션이 제작된다. 도전체 층(34)은 바람직하게는 구리 또는 금박 구리로 이루어지고, 예를 들면 데포지션 공정에 의해서 기저층(35) 상에 만들어진다. 이어서 도전체 층(34)은 전도성 도선(36, 37)을 형성하도록 식각된다. 도 6B는 도선(36, 37) 상에 데포지션된 절연층(38)을 부가적으로 구비한 도 6A에 도시된 일체형 헤드-전자 장치 상호 접속 서스펜션의 단면도를 도시한 것이다. 절연층(38)은 폴리우레탄(poly-urethane)층 또는 알루미나와 같은 유전체 재료층이고 전기적 도선 위에 형성되며 도선이 손상되거나 부식되는 것을 막거나 또는 적층 구조를 더욱 단단하게 하기 위한 것이다.

도 7A는 일체형 헤드-전자 장치 상호 접속 서스펜션의 적층 구조에 관한 다른 실시예를 도시한 것이다. 본 실시예에서 적층구조는 제2 도전체 층(40)과 제2 절연층(41)을 포함한다. 도전체 층(40)은 바람직하게는 구리로 이루어져 있으며 임의의 일반적으로 공지된 적층 또는 데포지션 공정에 의해 기부(35) 상에 형성될 수 있다. 절연층(41)은 바람직하게는 알루미나, 질화 실리콘, 또는 폴리아미드와 같은 유전체 재료로서 전기적 도선(36, 37)과 제2 도전체 층(40) 간을 절연하기 위한 것이다. 제2 도전체 층(40)은 배면부를 형성하며 도선(36, 37)의 특성 임피던스를 더욱 잘 제어하도록 패턴화될 수 있다. 도 7B는 배면부가 패턴화되고 도선(36, 37) 위로 절연 덮개층이 부가된 도 7A에 도시된 일체형 서스펜션의 단면도이다. 도 6B에 도시된 적층 구조와 마찬가지로 부가된 절연 덮개층(38)은 도선(36, 37)이 손상되거나 부식되는 것을 막기 위해서 부가되었으며 적층 구조를 더욱 단단하게 하기 위한 것이다.

도 8A는 본 발명의 일체형 헤드-전자 장치 상호 접속 서스펜션의 적층 구조에 관한 다른 실시예를 도시한 것이다. 이 경우에 기저층은 제2 도전체 층(45) 및 도전체 층(45)과 전기적 도선(36, 37) 사이에 형성된 제1 절연층(46)로 구성된다. 도전체 층(45)은 바람직하게는 스테인리스 철이고 절연층(46)은 폴리아미드와 같은 유전체 재료일 수 있다. 도 8B는 일체형 헤드-전자 장치 상호 접속 서스펜션의 다른 실시예를 도시한 것이다. 상기 서스펜션은 도 8A의 적층 구조와 동일한 구조에 제1 절연층(46)과 도선(36, 37) 사이에 배면부를 형성하는 도전체 층(47)이 부가된 것이다. 부가된 배면부(47)는 바람직하게는 구리이거나 도 7B에서와 같이 패턴화될 수 있고, 도 7A에 도시된 배면부와 마찬가지로 전기적 도선(36, 37)의 임피던스를 제어하기 위한 부가적인 수단의 역할을 한다. 또한, 절연층(48)은 바람직하게는 폴리아미드이며, 전기적 도선(36, 37)과 배면부(47)의 사이에 형성되어 도선(36, 37)과 배면부를 서로 절연하는 역할을 한다.

도체로서의 각각의 도선은 단위 길이당 특성 임피던스가 다른 인자중에서도 도선의 크기, 다른 도선과의 거리, 및 도선 주위의 재료에 의존한다. 당업계에 공지된 바와 같이 도선의 단위 길이당 특성 임피던스는 식 Z_0 = Root L/C으로 계산되고, 본 식에서 L과 C는 각각 도선의 단위 길이당 인덕턴스와 커패시턴스이다. L과 C 양 값은 종래의 인덕턴스 및 커패시턴스 측정 장치에 의해서 측정될 수 있다.

도 9를 참조하면, 전도성 도선(55) 내의 폭이 좁은 부분(57)의 평면도가 도시되어 있다. 본 발명과 유사한 유형의 서스펜션 상의 전도성 도선은 개구부(29)와 같은 그 경로 내의 기계적 장애물을 피하도록 서스펜션의 소정 영역 내에서 폭이 좁아지기도 한다. 이러한 폭이 좁은 도선 부분은 특성 임피던스가 급격히 변하여 도선을 따라 전달되는 전기적 신호를 반사시키는 반사점 역할을 하게 된다. 본 발명에서는 폭이 좁은 부분으로 인한 신호 반사가 도선(55)의 폭을 정상 폭(56)에서 제한된 좁은 폭(58)으로 점차로 감소되도록 함으로써 최소화된다. 도선 폭이 조금씩 변하기 때문에 도선의 폭이 좁아짐에 따라 도선 커패시턴스는 점진적으로 감소하고 인덕턴스는 점진적으로 증가하게 된다. 그 결과, 도선(55)의 특성 임피던스는 폭이 좁은 부분(57)에서 급격하게 증가하지 않고, 따라서 제한된 부분으로 인한 전기적 신호의 반사가 없어지거나 적어도 최소화된다. 도 10은 만곡부(63)를 이용하여 도선(60)의 폭(61)이 폭이 좁은 부분(59)의 폭(62)이 되도록 점점 가늘어도록 된 다른 구성을 도시한 것이다.

도 11은 트랜스듀서 또는 전자 모듈로 접속하기 위해서 접착 영역(65)으로 종결되는 전도성 도선(66)을 도시한 것이다. 접착 영역의 폭이 넓기 때문에 접착 영역은 도선(66)을 따라 전달되는 전기적 신호에 대한 반사점 기능을 한다. 본 발명에서는 접착 영역(65)으로 되는 영역 내의 도선의 폭을 점진적으로 증가시킴으로써 상기 신호 반사를 최소화할 수 있다. 폭이 점진적으로 변하는 부분(67)은 도선 폭이 접착 영역(65) 근방에서 점진적으로 넓어짐에 따라 도선(66)의 특성 임피던스가 더욱 부드럽게 변화하도록 한다. 따라서, 접착 영역으로 인한 도선을 따라 신호가 반사되는 것은 피하거나 최소화할 수 있다. 도 12는 마찬가지로 점진적으로 폭이 넓어지는 도선(75)을 도시한 것이다. 그러나, 이 경우에는 도선(75)이 도 11에 도시된 바와 같이 접착 영역 측면의 한쪽 끝이 아닌 접착 영역 측면의 중앙에서 접착 영역(76)과 접한다. 도선은 양 측면 상에서 점진적으로 넓어져서 접착 영역의 폭이 된다. 도 13은 만곡부(72)를 이용하여 접착 영역(71) 근방의 한쌍의 도선(70)의 폭을 점진적으로 증가시키기 위한 다른 구성을 도시한 것이다.

도 14는 제1 도전체 층의 평면 내에 선회부(81)를 갖는 전도성 도선(80)의 평면도이다. 90도 선회부만 도시되어 있지만 본 발명의 실시예는 모든 각도의 선회부에 적용된다. 선회부는 안쪽 반지름(83)을 가지며 도선(80)은 폭(82)이 있다. 상술한 도선에서의 형태가 불연속적인 것과 마찬가지로 도선 방향의 급격한 변화는 도선을 따라 전달되는 전기적 신호에 대한 반사점을 생성시킨다. 따라서, 선회부는 도선을 따르는 전기적 신호의 임의의 반사를 최소화하기 위해서 방향 전환이 점진적으로 일어나야 한다. 이것은 도 14에 도시된 바와 같이 선회부(81)의 안쪽 반지름(83)을 도선(80)의 폭(82)과 동일하거나 보다 크게 선택함으로써 이룰 수 있다. 또한, 도선(80)의 폭(82)은 도 15에 도시된 바와 같이 선회부(81) 전체에서 일반적으로 일정하도록 유지되어야 한다.

도 16은 배면부(86) 내의 개구부(87) 위를 횡단하는 전도성 도선(85)을 도시한 것이다. 이러한 개구부(87)는, 예를 들면 경첩부를 형성하기 위해 서스펜션(12) 내에 개구부를 형성하는 경우에 필수적일 수 있다. 도선(85) 아래에 개구부(87)가 있으면 도선이 개구부의 주위를 지나가면서 도선의 특성 임피던스가 갑자기 커지게 되고, 도선(85)을 따라 이동하는 신호에 대한 반사점을 야기하게 된다. 본 발명에서는 개구부(87)를 그 주변부(88)가 도선의 길이 방향 축에 대하여 직각이 아닌 각도로 위치하도록 함으로써 상기 신호 반사를 최소화시킨다. 그 결과, 개구부 위의 도선의 특성 임피던스가 더욱 점진적으로 변화하게 되고 개구부(87)로 인한 도선(85)을 흐르는 임의의 신호 반사가 최소화된다. 도 17은 개구부(87)의 주변부(88)를 도선(85)에 대하여 상대적으로 위치시키기 위한 다른 구성을 도시한 것이다.

도 18에는 배면 개구부 위에 위치한 도선을 따라 발생하는 신호 반사를 최소화하기 위한 다른 실시예가 도시되어 있다. 본 실시예에서는 도선(90)이 배면부(93)의 개구부(92) 위의 영역(91)에서 의도적으로 폭이 넓어진다. 도선의 폭이 넓어진 영역(91)은 넓어진 영역으로 인한 부가된 커패시턴스와 감소된 인덕턴스가 개구부(92)로 인한 도선 캐패시턴스의 손실과 도선 인덕턴스의 이득을 각각 상쇄하기에 필요한 만큼 크게 만들어져야 한다. 그 결과, 도선(90)의 특성 임피던스는 개구부(92) 위에서 일반적으로 일정하게 유지되고 개구부로 인한 도선을 따라 발생하는 임의의 신호 반사가 최소화된다. 도 18에는 또한 폭이 넓어진 영역(91)으로 인한 신호 반사점을 방지하기 위해 점점 가늘어지는 부분(94)에 의해 도선(90)의 폭이 점진적으로 변화되는 것이 도시되어 있다.

도 19는 도선이 배면부(97) 내의 개구부(98) 위에 위치한 곳에서 도선(96)의 특성 임피던스가 갑자기 증가하는 것을 보상하기 위한 다른 구성을 도시한 것이다. 본 구성은 특히 얇아진 부분(100)으로 도시된 도선의 경로 내의 기계적인 장애물을 피하도록 도선(96)의 폭이 개구부(98) 위의 영역에서 더욱 감소되어야 하는 경우에 특히 효과적이다. 본 발명에서는 개구부(98)와 얇아진 부분(100)으로 인해 증가된 도선의 특성 임피던스가 한 개 또는 그 이상의 도선(96)으로부터 측면 방향의 연장부(99)에 의해서 보상될 수 있다. 측면 방향 연장부(99)는 도선(96)의 어느 한쪽 모서리와 개구부(98)의 어느 한쪽 모서리 상에 형성된다. 측면 방향 연장부(99)의 총 크기는 연장부의 부가된 커패시턴스가 개구부(98)와 얇아진 부분(100)으로 인한 커패시턴스 손실과 거의 동일하도록 선정된다. 그 결과로서 도선(96)의 특성 임피던스는 개구부(98) 위의 영역에서 일반적으로 일정하게 유지되고 개구부(98) 또는 얇아진 부분(100)으로 인한 전기적 신호의 임의의 반사가 최소화될 것이다. 도 19에 도시된 실시예는 도선(98)의 양측면 상에 한쌍의 측면 방향 연장부(99)를 포함하고, 연장부(99)는 도선의 특성 임피던스가 더욱 점진적으로 변하도록 하기 위한 점차로 가늘어지는 측면(95)을 더 구비한다.

도 20은 도선과 전기적으로 접속된 접착 영역(106)으로 종결된 전기적 도선(105)의 평면도이다. 도선(105)과 접착 영역(106) 모두는 배면부(107)의 위에 위치한다. 도 11 내지 13에 도시된 접착 영역과 마찬가지로 접착 영역(106)의 넓은 폭은 도선(105)을 따라 흐르는 전기적 신호를 반사시킨다. 그러나, 배면부가 있으면 상기 신호 반사는 접착 영역(106) 아래의 배면부를 부분적으로 제거하여 배면부 내에 개구부(108)를 형성함으로써 최소화될 수 있다. 또한, 접착 영역(106) 바로 아래의 배면부의 도선 유사 부분(109)은 그대로 남겨두어 접착 영역(106) 근방의 도선의 특성 임피던스가 더욱 점진적으로 변하도록 한다. 도선 유사 부분(109)의 폭은 일반적으로 도선(105)의 폭과 동일하고 도선의 진행 방향으로 연장된다. 도 21은 도 20에서와 동일한 도선(105)과 접착 영역(106)을 도시한 것이지만, 도선 유사 부분(109)은 점차로 가늘어지는 부분(110)을 포함하여 도선 유사 부분(109)에 대하여 부분적으로 제거된 배면부와 점진적인 폭의 변화가 결합된 결과를 얻게 된다.

더욱이, 본 발명의 실시예에서는 도선의 형태와 배면부가 제공되는 경우에는 배면부의 패턴이 상술한 한 개 또는 그 이상의 기술을 사용하여 구성되어 도선의 양 끝에 요망되는 특성 임피던스를 얻게 된다. 특히, 전자 모듈에 인접한 영역 내의 도선의 특성 임피던스는 전자 모듈의 출력 저항과 실질적으로 동일하게 만들어진다. 그 결과로서 도선의 전자 모듈 종단부에서의 급격한 임피던스 변화로 인한 도선을 따라 흐르는 전기적 신호의 임의의 반사를 피할 수 있거나 적어도 최소화시킬 수 있다. 전자 모듈의 출력 임피던스는 종래의 임피던스 측정 장치로 얻어지거나 또는 전자 모듈의 회로 설계로부터 유도될 수 있다. 마찬가지로, 트랜스듀서 인접 영역 내의 도선의 특성 임피던스를 트랜스듀서의 출력 임피던스와 실질적으로 동일하게 만들어 도선의 그 종단부에서의 임의의 신호 반사를 최소화할 수 있다.

또한, 도선의 한쪽 끝에 인접한 영역의 특성 임피던스가 다른 쪽 끝에서의 특성 임피던스와 다르고 그 종단 영역에서의 도선 폭이 서로 다른 경우에는 도선의 폭을 그 종단 영역 사이에서 점차로 가늘어지록 하여 도선 특성 임피던스가 급격히 변화하는 것을 막는다. 도 22는 (도시되지 않은) 트랜스듀서로 접속하기 위한 접착 영역(31)과 (도시되지 않은) 전자 모듈로 접속하기 위한 접착 영역(32)을 구비한 도선(24)을 도시한 것이다. 도선 한쪽 끝 부분(112)의 폭은 다른 쪽 끝의 도선 부분(113)의 폭과 다르다. 도선의 폭(24)은 양 끝 사이의 도선 임피던스가 급격히 변함으로써 발생하는 임의의 신호 반사를 피하도록 그 양 종단부 사이의 영역(114)에서 점차로 가늘어진다.

끝으로, 본 발명의 실시예에서는 전기적 도선과 그에 연관된 접착 영역이 전달하는 신호의 유형에 따라 각각 그루핑되어 신호 사이의 임의의 상호 커플링을 최소화한다. 도 3 및 도 6A는 이러한 그룹을 갖는 일체형 서스펜션의 실시예를 도시한 것이다. 본 실시예에서는 트랜스듀서의 판독 도선(36)은 일반적으로 도선의 전 길이를 따라 서로 가까이 위치한다. 트랜스듀서의 기록 도선(37)도 마찬가지로 서로 가까이 위치한다. 또한, 판독 도선(36)은 서스펜션이 수용할 수 있는 폭만큼 기록 도선(37)으로부터 거리를 두게 된다. 마찬가지로, 판독 도선(36)의 접착 영역과 기록 도선(37)의 접착 영역은 각각 함께 그루핑되고 판독 도선 접착 영역은 서스펜션 상의 공간이 허용할 수 있는 거리만큼 서로 떨어지게 된다. 이러한 신호 유형에 의한 도선 및 그 접착 영역의 그룹와 간격은 도선을 따라 이동하는 판독 및 기록 신호 간의 임의의 상호 커플링을 최소화할 것이다. 그 결과로서 본 발명에 개시된 본 기술과 다른 기술이 구현된 일체형 헤드-전자 장치 상호 접속 서스펜션은 높은 데이터율의 디스크 드라이브에 중요한 높은 데이터 전달 대역폭을 얻을 수 있다.

Claims (20)

1. 데이터 표면을 구비한 디스크와, 상기 디스크의 데이터 표면에 인접하게 유지되는 슬라이더에 부착되어 있으며 상기 디스크에 데이터를 기록하고 상기 디스크로부터 데이터를 판독하기 위한 트랜스듀서와, 상기 디스크를 가로질러 상기 슬라이더를 이동시키기 위한 액추에이터 및, 상기 트랜스듀서에 전기적으로 접속된 전자 모듈을 구비하는 유형의 데이터 기록 디스크 드라이브용 서스펜션에 있어서,

   개구부를 갖는 전도성의 패턴화된 배면부(back plane)와,

   상기 배면부 상에 형성된 전기 절연층 및,

   상기 트랜스듀서와 상기 전자 모듈을 상호 접속하는 다수의 전도성 도선(trace)--상기 도선들 중 적어도 하나는 그 장축이 상기 개구부의 주변과 직각이 아닌 각도를 형성하면서 상기 개구부를 가로질러 연장함--으로서 형성되어 있는 도전층

   을 포함하는 적층 구조로 된 서스펜션.
2. 제1항에 있어서, 상기 도선 중 하나는 양단부가 있는 좁아진 부분을 포함하고,

   상기 좁아진 부분의 각 단부는 전이 영역이 있으며,

   상기 전이 영역의 폭은 도선의 폭으로부터 상기 좁아진 부분의 폭으로 점차적으로 변화하는 것인 서스펜션.
3. 제1항에 있어서, 상기 도선 중 하나는 전기적 접속을 용이하게 하기 위하여 상기 도선의 폭보다 더 넓은 폭을 갖는 접착 영역을 포함하고,

   상기 접착 영역은 전이 영역을 갖고,

   상기 전이 영역의 폭은 상기 도선의 폭으로부터 상기 접착 영역의 폭까지 점차적으로 변화하는 서스펜션.
4. 제1항에 있어서, 상기 도선 중 하나는 도전체 층의 평면에서 선회부(turn)를 포함하고,

   상기 선회부는 내측 반경과 일반적으로 일정한 폭을 가지며,

   상기 선회부의 내측 반경은 상기 도선의 일반적으로 일정한 폭보다 큰 값을 갖는 것인 서스펜션.
5. 제1항에 있어서, 제2 트랜스듀서를 더 포함하며,

   상기 트랜스듀서 각각은 상기 데이터 표면으로부터 데이터를 판독하기 위한 적어도 하나의 판독용 도선과, 상기 데이터 표면에 데이터를 기록하기 위한 적어도 하나의 기록용 도선을 구비하고,

   상기 판독용 도선 및 기록용 도선은 서스펜션의 길이를 따라 연장하고,

   상기 판독용 도선은 함께 그룹을 이루며 상기 기록용 도선은 함께 그룹을 이루고,

   상기 판독용 도선의 그룹은 상기 서스펜션의 폭이 수용할 수 있는 한 상기 기록용 도선 그룹으로부터 떨어져 위치하는 것인 서스펜션.
6. 제5항에 있어서, 상기 판독용 도선 및 기록용 도선은 전기적 접속을 위해 각 단부에서 접착 영역을 갖고,

   상기 판독용 도선의 접착 영역은 함께 그룹을 이루며, 상기 기록용 도선의 접착 영역은 함께 그룹을 이루고,

   상기 판독용 도선의 접착 영역의 그룹은 상기 서스펜션 폭이 수용할 수 있는 한 상기 기록용 도선의 접착 영역으로부터 떨어져 위치하는 것인 서스펜션.
7. 제1항에 있어서, 기저층과 상기 기저층 상에 형성된 제2 전기 절연층을 더 포함하며,

   상기 배면부는 상기 제2 절연층 상에 형성되는 것인 서스펜션.
8. 제7항에 있어서, 상기 기저층은 유전재로 된 제1층이고,

   상기 서스펜션은 상기 도선을 보호하기 위해 상기 도선 상에 증착된 유전재로 된 제2층을 더 포함하는 서스펜션.
9. 제1항에 있어서, 상기 도선의 폭은 상기 개구부 위의 영역에서 더 넓은 서스펜션.
10. 제9항에 있어서, 상기 폭이 더 넓은 영역은 상기 영역의 각 단부 근처에 전이부를 포함하고,

    각 전이부의 폭은 상기 도선의 폭으로부터 상기 폭이 넓은 영역의 폭까지 점차적으로 변화하는 것인 서스펜션.
11. 제1항에 있어서, 상기 도선은 데이터가 상기 트랜스듀서와 전자 모듈 사이에서 전송될 때 상기 개구부에 걸쳐진 영역 내에서 상기 도선의 특성 임피던스 감소를 보상하기 위해 상기 개구부 근처에서 상기 도선의 측면 모서리로부터의 측방향 연장부를 포함하는 것인 서스펜션.
12. 제1항에 있어서, 상기 도선 중의 하나는 전기적 접속을 용이하게 하기 위해서 상기 도선의 폭보다 넓은 폭을 갖는 접착 영역을 포함하고,

    상기 배면부는 데이터가 상기 트랜스듀서와 상기 전자 모듈 사이에서 전송될 때 상기 접착 영역에서 상기 도선의 특성 임피던스 감소를 보상하기 위해서 상기 접착 영역 아래에서 부분적으로 제거되는 것인 서스펜션.
13. 제12항에 있어서, 상기 접착 영역 근처의 영역에서 상기 도선의 특성 임피던스 변화를 보상하기 위해서 상기 접착 영역 아래에 상기 배면부의 도선 유사 부분을 더 포함하고,

    상기 도선 유사 부분은 폭이 상기 도선의 폭과 실질적으로 동일하며, 배면부의 잔여 부분으로부터, 상기 도선의 바로 아래에서 일반적으로 상기 도선의 종축 방향으로 연장되는 것인 서스펜션.
14. 제13항에 있어서, 상기 접착 영역 아래의 도선 유사 부분은 상기 도선 유사 부분과 상기 배면부의 잔여 부분 사이에 전이부를 더 포함하고,

    상기 배면부의 잔여 부분에 인접한 영역에서의 상기 전이부의 폭은 상기 도선 유사 부분의 폭보다 넓고 상기 도선 유사 부분의 폭으로 점차적으로 가늘어지는 것인 서스펜션.
15. 제1항에 있어서, 상기 전자 모듈은 출력 임피던스를 갖고,

    상기 도선의 상기 전자 모듈 단부 근처의 영역에서 상기 도선들 중 하나의 특성 임피던스는 데이터가 상기 트랜스듀서와 상기 전자 모듈 사이에서 전송될 때 상기 전자 모듈의 출력 임피던스와 실질적으로 같은 것인 서스펜션.
16. 제1항에 있어서, 상기 트랜스듀서는 출력 임피던스를 갖고,

    상기 도선의 트랜스듀서 단부 근처 영역에서 상기 도선들 중 하나의 특성 임피던스는 데이터가 상기 트랜스듀서와 상기 전자 모듈 사이에서 전송될 때 상기 트랜스듀서의 출력 임피던스와 실질적으로 동일한 것인 서스펜션.
17. 제1항에 있어서, 상기 도선의 상기 전자 모듈 단부 근처 영역에서 상기 도선들 중 하나의 특성 임피던스는 데이터가 상기 트랜스듀서와 상기 전자 모듈 사이에서 전송될 때 상기 도선의 상기 트랜스듀서 단부 근처의 영역에서의 도선의 특성 임피던스와 상이하고,

    상기 전자 모듈 단부 근처의 영역에서 상기 도선의 폭은 상기 트랜스듀서 단부 근처의 영역에서의 도선의 폭과 상이하고,

    상기 도선은 상기 단부 영역들 사이에 전이 영역을 포함하며, 상기 전이 영역의 폭은 상기 단부 영역들의 폭 사이에서 점차적으로 변화하는 것인 서스펜션.
18. 데이터 표면이 있는 디스크와, 출력 임피던스를 가지며 상기 디스크의 데이터 표면에 인접하게 유지되는 슬라이더에 부착되어 상기 디스크에 데이터를 기록하거나 상기 디스크로부터 데이터를 판독하기 위한 트랜스듀서와, 상기 슬라이더를 상기 디스크를 가로질러 이동시키기 위한 액추에이터 및, 상기 트랜스듀서의 임피던스와 상이한 임피던스를 갖는 전자 모듈을 구비하는 유형의 데이터 기록 디스크 드라이브용 서스펜션에 있어서,

    기저층 및,

    상기 트랜스듀서와 상기 전자 모듈을 상호 접속하는 다수의 전도성 도선--상기 도선은 각각 그 단부 각각의 근처에서 상기 트랜스듀서와 상기 전자 모듈을 전기적으로 접속하기 위해 상기 도선의 폭보다 더 넓은 폭을 가지는 접착 영역을 구비함--으로서 상기 기저층 상에 형성된 도전체 층

    을 포함하는 적층 구조이며,

    상기 접착 영역은 각각 접착 영역 근처의 도선의 폭으로부터 접착 영역의 폭으로 점차적으로 변화하는 폭을 가지는 전이 영역을 포함하고,

    이에 의해, 상기 도선의 상기 전자 모듈 단부 근처 영역에서 상기 도선의 특성 임피던스는 상기 전자 모듈의 상기 출력 임피던스와 실질적으로 동일하고,

    상기 도선의 상기 트랜스듀서 단부 근처 영역에서 상기 도선의 특성 임피던스는 상기 트랜스듀서의 상기 출력 임피던스와 실질적으로 동일하고,

    상기 도선의 폭은 상기 트랜스듀서 및 모듈 단부 영역 사이에서 점차적으로 좁아짐으로써 상기 도선의 길이를 따라 상기 도선 특성 임피던스가 급격하게 변화하는 것을 방지하는 것인 서스펜션.
19. 데이터 표면이 있는 회전 디스크와, 상기 디스크가 회전하는 동안 상기 데이터 표면으로부터 데이터를 판독하거나 상기 데이터 표면에 데이터를 기록하도록 트랜스듀서를 상기 디스크에 대하여 일반적으로 반경 방향으로 이동시키기 위한 액추에이터 및, 상기 데이터 표면으로부터 판독되거나 상기 데이터 표면에 기록되는 데이터를 처리하기 위한 전자 모듈을 구비하는 유형의 데이터 기록 디스크 드라이브용 트랜스듀서-슬라이더-서스펜션-암 어셈블리에 있어서,

    상기 디스크가 회전할 때 상기 데이터 표면과 관련하여 동작하도록 유지되는 슬라이더와,

    상기 슬라이더에 부착되어 있으며 상기 데이터 표면으로부터 데이터를 판독하거나 상기 데이터 표면에 데이터를 기록하기 위한 트랜스듀서와,

    제1 단부는 상기 슬라이더에 부착되는 두 개의 단부를 구비하며, (a) 개구부를 갖는 전도성의 패터닝된 배면부와, (b) 상기 배면부 상에 형성된 전기 절연층 및, (c) 상기 트랜스듀서와 상기 전자 모듈을 상호 접속하는 다수의 전도성 도선--상기 도선들 중 적어도 하나는 그 장축이 상기 개구부의 외주부와 직각이 아닌 각도를 형성하면서 개구부를 가로질러 연장함--으로서 상기 절연층 상에 형성된 도전체 층을 포함하는 적층 서스펜션, 및

    제1 단부는 상기 서스펜션의 제2 단부에 부착되고 제2 단부는 상기 액추에이터에 부착되는 두 개의 단부를 갖는 일반적으로 단단한 지지 암

    을 포함하는 트랜스듀서-슬라이더-서스펜션-암 어셈블리.
20. 동심형 데이터 트랙으로 된 데이터 표면이 있는 회전 디스크와,

    상기 디스크에 부착되어 있으며, 일반적으로 상기 디스크와 직교하는 축을 중심으로 상기 디스크를 회전시키기 위한 수단과,

    상기 디스크가 회전할 때 상기 데이터 표면과 관련하여 동작하도록 유지되는 슬라이더와,

    상기 슬라이더에 부착되어 있으며 상기 데이터 표면으로부터 데이터를 판독하거나 상기 데이터 표면에 데이터를 기록하기 위한 트랜스듀서와,

    상기 트랜스듀서가 상기 데이터 트랙을 액세스할 수 있도록 상기 슬라이더를 상기 디스크에 대하여 일반적으로 반경 방향으로 이동시키기 위한 액추에이터와,

    상기 데이터 표면으로부터 판독되거나 상기 데이터 표면에 기록할 데이터를 처리하기 위한 전자 모듈과,

    제1 단부가 상기 슬라이더에 부착되어 있는 두 개의 단부를 구비하며, (a) 개구부가 있는 전도성의 패터닝된 배면부와, (b) 상기 배면부 상에 형성된 전기 절연층 및, (c) 상기 트랜스듀서와 상기 전자 모듈을 상호 접속하는 다수의 전도성 도선--상기 도선들 중 적어도 하나는 그 장축이 상기 개구부의 외주부와 직각이 아닌 각도를 형성하면서 상기 개구부를 가로질러 연장함--으로서 상기 절연층 상에 형성된 도전체 층을 포함하는 적층 서스펜션 및,

    제1 단부는 상기 서스펜션의 제2 단부에 부착되고 제2 단부는 상기 액추에이터에 부착되는 두 개의 단부를 구비하는 일반적으로 단단한 지지 암

    을 포함하는 데이터 기록 디스크 드라이브.

Images