KR100267892B1 - 감압 밸브 - Google Patents

Abstract

본 발명의 감압 밸브는, 밸브 하우징 (1) ; 그 밸브 하우징 (1) 내에 형성된 유체의 통로내에 배치된 밸브시트 (5) ; 그 밸브시트 (5) 와 대향하는 밸브부재 (6) ; 그 밸브부재 (6) 를 밸브시트 (5) 로 부터 멀리 바이어스하기 위한 바이어싱 수단 (13) ; 밸브부재 (6)내에 고정된 제 1 영구자석(16) ; 및 그 제 1 영구자석 (16) 에 저항하는 제 2 영구자석 (17) 을 포함함으로써, 제 1 영구자석 (6) 과 제 2영구자석 (17)사이의 반발작용에 의해 밸브부재 (6) 가 밸브시트 (5) 쪽으로 바이어스된다. 밸브부재 (6)는 코일 스프링의 공진이 발생할 수 있는 종래의 감압 밸브에 이용된 코일스프링이 얼이 반발작용에 의해 바이어스될 수 있다. 코일 스프링이 통로(22)내에 배치되지 않으며, 코일 스프링용 공간이 불필요하다. 그리고 유체와 접촉하는 밸브의 부품들의 영역의 표면적을 감소시킬 수 있다.

Description

감압 밸브

제 1 도는 종래 감압 밸브의 예를 나타내는 단면도.

제 2(a)도는 제 1도에 도시된 밸브가 밀폐된 상태의 부분단면도.

제 2(b)도는 밸브가 개방된 상태의 부분단면도.

제 3도는 본 발명의 제 1실시예에 따른 감압 밸브의 단면도로서, 제 1 영구자석 (16) 이 밸브부재 (6) 내에 고정되어 있고, 제 2 영구자석(16)이 고정부재 (18)에 부착되어 있는 상태의 도면.

제 4 도는 본 발명의 제 2실시예에 따른 감압 밸브의 단면도로서, 제 1 영구자석 (19)이 밸브부재 (21)내에 고정되어 있고, 제 2영구자석(17)이 고정부재(18)에 부착되어 있으며, 제 3영구자석 (20)이 안내벽(22b)내에 고정되어 있는 상태의 도면.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 밸브 하우징 2,22 : 1차 챔버

3 : 2차 챔버 5 : 밸브시트

6,21 : 밸브부재 7 : 밸브부

8,13 : 코일 스프링 9,10 : 통로

11 : 밸브커버 12 : 조절 디스크

15 : 조절 스크루 16,19 : 제1영구자석

17 : 제2영구자석 18 : 고정부재

20 : 제3영구자석 22b : 안내벽

본 발명은 유체의 유동회로내에 배치되어 유체의 압력을 감소시키고 조절하는 감압 밸브에 관한 것이다.

일반적으로, 유체의 유동회로내에 그 압력을 감소시키고 조절하도록 감압 밸브를 배치하는 것이 알려져있다. 제1도는 그러한 감압 밸브의 예를 나타내는 단면도이다. 제2(a)도는 제1도에 도시된밸브가 밀폐된 상태의 부분 단면도이다. 제2(b)도는 밸브가 개방된 상태의 부분 단면도이다. 제1도에 도시된 바와같이, 1차 챔버(2) 는 밸브 하우징의 중앙부에 원통형 형상의 공간으로 형성되어 있다. 2차 챔버 (3)는 하우징 (1)의 상부에 디스크 형상의 공간으로 형성되어 있다. 1차 챔버(2)의 상부와 2차 챔버 (3)의 하부는 하우징 (1)의 상부에 있는 밸브구멍 (4) 을 통해 서로 소통한다. 1 차 챔버 (2) 를 향하는 밸브구멍 (4) 의 개방부의 가장자리상에는 밸브시트 (5) 가 링형상의 돌출부로 형성되어 있다. 밸브부재 (6)는 안내벽 (2b)을 따라 이 안내벽 (2b)과 접촉하면서 1차 챔버 (2) 내에서 미끄럼이동할 수 있도록 1 차 챔버 (2) 내에 배치된다. 제 2(a)도 및 제 2(b)도에 도시된 바와같이, 밸브부재 (6)의 단부 (6a)에는 밸브부 (7) 가 형성되어 있고, 이 밸브부 (7) 는 밸브시트 (5) 와 대향한다. 밸브부 (7) 반대측상의 밸브부재 (6)의 단부 (6a)와 1차 챔버의 저면 (2a)사이에는 비교적 직경이 작은 코일 스프링 (8)이 배치되어 있다. 밸브부 (7) 를 포함하는 밸브부재 (6) 는 코일 스프링 (8) 에 의해 밸브시트 (5)쪽으로 바이어스된다. 밸브 하우징 (1) 의 하부에 형성된 유체 유입용의 통로 (9)는 1차 챔버 (2)와 소통한다. 2차 챔버 (3)의 저면으로부터 하우징 (1)내에 형성된 유체 배출용 통로 (10)는 2차 챔버 (3) 와 소통한다.

밸브 하우징 (1)의 상부에는 밸브커버 (11)가 장착되어 있다. 밸브커버 (11)는 그의 하부에 비교적 직경이 큰 확대부를 갖는 중공 원통체이다. 조절 디스크 (12)는 제 1도에서 수직방향으로 미끄럼이동할 수 있도륵 밸브커버 (11)내에 배치된다. 조절 디스크 (12)는 그의 하부에 비교적 직경이 큰 확대부를 갖는다. 로드 (12a)는 조절 디스크(12)의 저면에 고정되어 수직방향으로 돌출한다. 이 로드(12a)는 밸브구멍 (4)을 통해 돌출하여 밸브부 (7) 에 연결된다. 비교적 직경이 큰 코일 스프링 (13)의 하단부는 조절 디스크 (12)와 접촉한다. 커버(11) 내에서 코일 스프링 (13) 상에는 스프링 시트 (14) 가 장착되어 있다. 이 스프링 시트 (14)는 코일 스프링 (13)의 상단부와 접촉하는 확대부를 갖는다. 조절 스크루 (15)는 스프링 시트 (14)의 상부와 접촉하고, 조절스크루(15)의 핸들(15a)은 커버(11)위에 장착되어 있다. 스프링시트(14)의 위치는 핸들(15a) 및 조절 스크루(15)를 조작하여 조절할 수 있다.

상기한 바와같이 구성된 감압 밸브에 있어서, 유체는 화살표 (B) 로 나타낸 바와같이 통로 (2) 를 통해 유입된 다음 1 차 챔버 (2) 를 통해 흐른다. 그리고 유체는 밸브시트 (5) 와 밸브부 (7) 사이를 흘러 2 차 챔버(3) 내로 유입되고, 화살표 (C) 로 나타낸 바와같이 통로 (10) 를 통해 배출된다. 밸브부 (7)는 코일 스프링 (8)에 의해 밸브시트 (5)쪽으로 바이어스되고, 동시에 코일 스프링 (13)에 의해 밸브시트 (5)로부터 멀리 바이어스된다. 핸들 (15a) 이 조작되어 코일 스프링 (13)상에 큰 압력를 부여할때, 밸브부 (7)는 제2(b)도에 도시된 바와같이 밸브시트 (5)로부터 멀리 이동하고, 따라서 통로 (10)로부터 배출되는 유체의 압력이 증가한다. 핸들 (15a)이 조작되어 코일 스프링 (13)상에 작은 압력을 부여할때, 밸브부 (7) 는 밸브시트 (5) 쪽으로 이동하고 따라서 통로 (10) 로부터 배출되는 유체의 압력이 감소한다. 스프링 시트 (14)가 소정위치 이상 이동하면, 제2(a)도에 도시된 바와같이 밸브부 (7)가 밸브시트 (5)와 접촉하고감압밸브가 밀폐된다. 통로(10)로부터 배출되는 유체의 압력은 감압 밸브를 통과하기 전의 그의 압력과 비교하여 감소한다. 더욱이, 통로 (10)로부터 배출되는 유체의 압력은 핸들 (15a) 및 조절 스크루 (15) 를 조작하여 조절될 수 있다.

일본국 실용신안 출원 공개번호 제 46212/1990호에는 제 1 도에 도시된 밸브와 유사한 감압 밸브가 개시되어 있다.

그러나, 그러한 종래의 감압 밸브내에는 공진하여 역효과를 가져올 수 있는 코일 스프링 (8) 과 코일 스프링 (13) 으로 된 두개의 스프링을 포함한다.

특히, 그러한 감압 밸브는 반도체 장치를 생산하기 위한 구조내의 유독가스의 밸브로서, 그리고 반도체 장치를 생산하는데 필요한 높은 순도를 갖는 가스를 포함하는 다양한 가스의 밸브로서 통상 사용된다. 밸브내로 유입되는 유체로서 유독가스가 사용될때는, 유독가스를 불활성 가스로 일소할 필요가 있다. 높은 순도를 갖는 가스가 유체로서 이용될때는, 감압 밸브의 부품들의 표면으로부터 불순물이 방출되는 것을 방지할 필요가 있다. 더욱이, 상기 다양한 가스들중 하나가 상기 유체로서 사용될때는, 반도체 장치에 결함을 야기할 수 있는 입자가 밸브의 부품들의 표면으로부터 발생하는 것을 방지할 필요가 있다.

그러나, 코일 스프링 (8) 을 1 차 챔버 (2) 내에 배치할 필요가 있으므로, 1 차 챔버 (2) 는 그안에 스프링 (8) 을 수용하도록 충분히 확대된다. 결과적으로 유체와 접촉하는 1 차 챔버 (2) 영역의 표면적이 증가한다. 더욱이, 코일 스프링 (8) 은 1 차 챔버 (2) 내에 배치된 다음 유체와도 접촉한다. 그러므로, 종래의 감압 밸브에서는, 유체와 접촉하는 부품들 영역의 표면적이 비교적 크다. 따라서, 유독가스가 상기 유체로서 사용될때, 유독가스를 불활성 가스로 일소하는데 장시간의 조작이 필요하다. 더욱이, 높은 순도를 갖는 가스가 유체로서 이용될때, 반도체 장치를 생산하기에 충분한 높은 순도를 갖는 가스를 얻기 위해 부품들의 표면을 소망상태로 하고 불순물의 방출을 방지하는데 장시간의 조작이 필요하다.

더욱이, 밸브부재 (6)는 1차 챔버 (2)의 안내벽 (2b)과 접촉하면서 미끄럼이동하고, 서로 접촉하는 밸브부재 (6) 와 안내벽 (2b)의 표면들로부터 입자들이 발생한다. 게다가, 코일 스프링 (8)이 1차 챔버 (2)의 안내벽(2b)과 역시 접촉하여 입자들을 발생시킨다. 따라서, 반도체 장치에 결함을 야기할 수 있는 입자들의 발생을 방지할 것이 요구된다.

본 발명의 목적은 유체의 유동회로내에 배치되어 유체의 압력을 감소시키고 조절하며, 두 코일 스프링의 공진을 방지할 수 있는 감압 밸브를 제공하는 것이다.

본 발명의 또다른 목적은 유체 통로의 체적과 유체와 접촉하는 감압밸브의 부품들의 영역의 표면적을 감소시키는 것이다.

본 발명의 또다른 목적은 유독가스를 불활성 가스로 일소하는데 필요한 조작시간을 감소시키는 것이다.

본 발명의 또다른 목적은 부품들의 표면을 소망상태로 하고 불순물의 발생을 방지하는데 필요한 조작시간을 감소시키는 것이다.

본 발명의 또다른 목적은 서로 접촉하는 밸브부재와 1차 챔버의 안내벽의 표면들로부터 입자들이 발생하는 것을 방지하는 것이다.

본 발명의 또다른 목적은 서로 접촉하는 1차 챔버내의 코일 스프링과 안내벽의 표면들로부터 입자들이 발생하는 것을 방지하는 것이다.

본 발명은, 밸브 하우징; 이 밸브 하우징내에 형성된 유체의 통로내에 배치된 밸브시트; 이 밸브시트와 대향하는 밸브부재; 이 밸브부재를 밸브시트로부터 멀리 바이어스하기 위한 바이어싱 수단; 밸브부재내에 고정된 제 1 영구자석; 및 이 제 1영구자석에 저항하는 제 2영구자석을 포함함으로써, 제 1 영구자석과 제 2 영구자석 사이의 반발작용에 의해 밸브부재가 밸브시트 쪽으로 바이어스되는 감압 밸브를 제공한다.

상기한 바와같이, 본 발명에 따르면, 제 1 영구자석은 밸브부재내에 고정되고 제 1영구자석에 저항하는 제 2영구자석은 제 1영구자석과 제2영구자석 사이의 반발작용에 의해 밸브부재가 밸브시트 쪽으로 바이어스되도록 설치된다. 그러므로, 밸브부재는 제 1도 및 제 2도에 도시된 바와같은 감압 밸브에 사용된 코일 스프링 (8)없이 밸브시트 쪽으로 바이어스 될 수 있고, 두 코일 스프링 (8, 13) 의 공진이 방지될 수 있다. 더욱이 본 발명에 따라, 코일 스프링 (8)은 1차 챔버내에 배치되어 있지 않고 코일 스프링 (8)용의 공간이 불필요하다. 그러므로 감압 밸브의 크기 및 유체 통로의 체적을 감소시킬 수 있다. 더욱이, 코일 스프링 (8) 이 배치되어 있지 않기 때문에 유체와 접촉하는 감압 밸브의 부품들 영역의 표면적을 감소시킬 수 있다.

밸브부재는 제 2 영구자석을 제외하고 하나의 재료로 형성될 수 있다. 이 경우에 밸브시트와 대향하는 밸브부재의 밸브부와 밸브부재의 다른 부분은 같은 재료로 형성될 수 있다. 게다가, 밸브부재의 밸브부 및 다른 부분은 상이한 재료로 형성될 수 있고, 별개체로서 형성될 수 있다.

제 1 영구자석이 밸브부재에 고정될때, 이 제 1 영구자석은 밸브부의 반대측상에서 밸브부재의 단부에 바람직하게 고정될 수 있다.

제 1 영구자석에 저항하는 제 2 영구자석은 밸브 하우징내에 고정될 수 있다. 그러나, 제 2 영구자석을 밸브 하우징내에 고정하는 것은 다소 곤란하다. 제 2 영구자석은 고정부재에 부착된 다음 밸브 하우징상에 장착될 수 있다. 이 경우에, 제 2 영구자석은 제 1 및 제 2영구자석 사이의 반발작용에 의해 밸브부재가 효과적으로 바이어스되도록 용이하게 배치될 수 있고, 제 2 영구자석은 밸브 하우징으로부터 용이하게 분리될 수 있다. 고정부재는 예컨대, 나사결합 또는 삽입에 의해 밸브 하우징에 장착된다.

유독가스가 유체로 사용될때, 상기한 바와같이 유체 통로의 체적은 감소하고 코일 스프링 (8) 이 배치되지 않으므로 유독가스와 접촉하는 감압밸브의 부품들 영역의 표면적을 감소시킨다. 그러므로, 유독가스를 불활성 가스로 일소하는데 필요한 조작시간을 감소시킬 수 있다. 이러한 유독가스는 반도체 장치를 생산하는데 사용되는 부식성 가스를 포함한다.

높은 순도를 갖는 가스가 유체로 사용될때, 상기한 바와같이 가스와 접촉하는 감압 밸브의 부품들 영역의 표면적을 감소시킨다. 그러므로, 높은 순도를 갖는 가스를 얻기 위해 부품들의 표면을 소망상태로 하고 불순물의 방출을 방지하는데 필요한 조작시간을 감소시킬 수 있다. 본 발명의 밸브는 반도체 장치를 생산하기에 충분한 높은 순도를 갖는 가스를 얻는데 특히 효과적이다.

더욱이, 반도체 장치를 생산하는데 감압 밸브가 사용될때, 상기한 바와같이 코일 스프링 (8)은 1차 챔버내에 배치되지 않고, 서로 접촉하는 코일 스프링(8)과 1차 챔버의 안내벽의 표면들로부터 입자들이 발생하는 것을 방지할 수 있다.

또한, 본 발명의 감압 밸브에서, 밸브부재와 이 밸브부재를 둘러싸는 안내벽은 이들이 서로 접촉하도록 유체통로내에 배치될 수 있다.

보다, 바람직하게, 유체통로에서 밸브부재와 이 밸브부재를 둘러싸는 안내벽 사이에는 틈새가 형성되고, 제 3영구자석이 안내벽내에 고정되며, 밸브부재내의 제 1 영구자석과 제 3영구자석 사이의 반발작용에 의해 밸브부재가 안내벽과 접촉하지 않고 유체통로내에 보유된다. 본 발명의 이 실시예에서, 밸브부재는 안내벽과 접촉하지 않고 유체통로내에 보유되므로, 밸브부재와 안내벽의 표면들로부터 입자들이 발생하는 것을 방지할 수 있다.

밸브부재내의 제 1영구자석은 바람직하게 밸브부재의 중심축선을 따라 기다랗다. 따라서, 밸브부재는 중심축선의 방향으로 그의 전체길이에 걸쳐 안정하게 보유될 수 있다. 더욱이, 제 1영구자석이 중심축선에 대해 대칭적인 중실 원통형의 형상을 가지면, 밸브부재는 그의 전체면에 걸쳐 제 3 영구자석으로부터의 일정한 반발력에 의해 바이어스될 수 있다. 또한, 안내벽내의 제 3 영구자석은 바람직하게 밸브부재의 중심축선에 평행한 방향으로 기다랗다. 따라서 밸브부재는 중심축선의 방향으로 그의 전체길이에 걸쳐 안정하게 보유될 수 있다. 제 3 영구자석이 중심축선에 대해 대칭적인 중공 원통형의 형상을 가지면, 밸브부재는 그의 전체면에 걸쳐 제 3 영구자석으로부터의 일정한 반발력에 의해 바이어스될 수 있다.

밸브부재를 밸브시트로부터 멀리 바이어스하기 위한 바이어싱 수단은 예컨대, 코일 스프링 따위의 스프링을 포함하고, 또한 바이어싱 수단은 공기와 질소를 포함하는 가스의 파일컨 압력을 조절하기 위한 조절장치, 압전(piezoelectric) 장치 및 솔레노이드를 사용한다.

이하 본 발명의 바람직한 실시예를 제 3 도 내지 제 5 도를 참조로 설명하면 다음과 같다. 제 3도는 본 발명의 제 1실시예에 따른 감압 밸브의 단면도이다.

1차 챔버 (22)는 밸브 하우징 (1)의 중앙부분에 원통형의 공간으로 형성되어 있다. 2차 챔버 (3)는 하우징 (1)의 상부에 형성되어 있다. 챔버 (22)의 상부와 2차 챔버 (3)의 하부는 하우징 (1)의 상부에 있는 밸브구멍 (4) 을 통해 서로 소통한다. 1 차 챔버 (22) 를 향하는 구멍 (4)의 가장자리에는 밸브시트 (5)가 링형상의 돌출부로 형성되어 있다. 밸브부재 (6)는 안내벽 (22b)을 따라 이 안내벽 (22b)과 접촉하면서 1차 챔버 (22)내에서 미끄럼이동할 수 있게 1차 챔버 (22)내에 배치된다. 밸브부재 (6)의 단부 (6a) 에는 밸브부 (7)가 형성되어 있고, 이 밸브부 (7)는 밸브시트 (5)와 대향하고 있다. 밸브 하우징(1)의 하부에 형성된 유체 유입용 통로 (9)는 1차 챔버 (22)와 소통한다. 2차 챔버 (3)의 저면으로부터 하우징 (1)에 형성된 유체 배출용 통로 (10) 는 2 차 챔버 (3) 와 소통한다.

밸브 하우징 (1) 의 상부에는 밸브커버 (11) 가 장착되어 있다. 밸브커버 (11) 는 중공 원통체이고 그 하부에는 비교적 직경이 큰 확대부를 갖는다. 조절 디스크 (12)는 제 1도에서 수직방향으로 미끄럼이동 가능하게 밸브커버 (11)내에 배치되어 있다. 조절 디스크 (12)는 그의 하부에 비교적 직경이 큰 확대부를 갖는다. 조절 디스크 (12)의 저면에는 로드 (12a) 가 고정되어 수직방향으로 돌출한다. 이 로드 (12a) 는 밸브구멍(4) 을 통해 돌출하여 밸브부 (7) 에 연결되어 있다. 비교적 직경이 큰 코일 스프링 (13)의 하단부는 조절 디스크 (12)와 접촉한다. 스프링 시트 (14)는 커버 (11)내에서 코일 스프링 (13)상에 장착된다. 스프링 시트 (14)는 코일 스프링 (13) 의 상단부와 접촉하는 확대부를 갖는다. 조절 스크루 (15)는 스프링 시트 (14) 의 상부와 접촉하고 조절 스크루 (15) 의 핸들 (15a) 은 커버 (11) 위에 장착된다. 스프링 시트 (14) 의 위치는 핸들 (15a) 과 조절 스크루 (15) 를 작동함으로써 조절될 수 있다.

본 실시예에서 디스트 형상의 제 1 영구자석 (16)은 밸브부 (7) 반대편의 밸브부재 (6) 의 단부 (6b)내에 고정되어 있다. 제 1 영구자석(16)에 저항하는 디스크 형상의 제 2영구자석 (17)은 이 제 2영구자석의 고정부재인, 칼라를 갖는 스크루 (18)에 부착된다. 스크루 (18)는 밸브 하우징의 저부내로 나사결합한다. 디스크 형상의 제 1 영구자석 (16) 이 단부 (6b) 내에 고정되어 저면 (22a) 근방에 배치되므로 제 1 영구자석 (16)과 제 2영구자석 (17)은 서로 비교적 밀접하다. 따라서, 코일 스프링이 1차 챔버 (22) 내에 배치되지 않으므로 1 차 챔버 (22)는 1차 챔버(2) (제 1 도 참조) 보다, 매우 작을 수 있다.

유체는 화살표 (B)로 나타낸 바와같이 통로 (9)를 통해 유입된 다음 1 차 챔버 (22) 를 통해 흐른다. 그리고 유체는 밸브시트 (5) 와 밸브부 (7)사이를 흘러 2차 챔버 (3)로 유입되고 화살표 (C)로 나타낸 바와같이 통로 (10)를 통해 방출된다. 밸브부 (7)는 제 1영구자석 (16)과 제 2영구자석 (17)사이의 반발작용에 의해 밸브시트 (5)쪽으로 바이어스되고, 동시에 코일 스프링 (13)에 의해 밸브시트 (5)로부터 멀리 바이어스된다. 핸들 (15a)이 작동하여 코일 스프링 (13)상에 큰 압력을 부여할때, 밸브부 (7)는 제 2(b)도에 도시된 바와같이 밸브시트 (5)로부터 멀리 이동하고, 따라서 통로 (10) 로부터 배출되는 유체압력이 증가한다. 핸들 (15a)이 작동하여 코일 스프링 (13)상에 작은 압력을 부여할때, 밸브부 (7) 는 밸브시트 (5) 쪽으로 이동하고, 따라서 통로 (10) 로부터 배출되는 유체의 압력이 감소한다. 스프링 시트 (14)가 소정위치 이상 이동하면, 제2(a)도에 도시된 바와같이 밸브부 (7) 는 밸브시트 (5) 와 접촉하고 감압 밸브가 밀폐된다. 통로 (10)로부터 배출되는 유체의 압력은 감압 밸브를 통과하기 전의 그의 압력과 비교하여 감소된다. 더욱이, 통로 (10) 로부터 배출되는 유체의 압력은 핸들 (15a) 과 조절 스크루 (15) 를 조작하여 조절될 수 있다.

제 4 도는 본 발명의 제 2실시예에 따른 감압 밸브의 단면도이다. 제 5 도는 제 4 도의 A - A선을 따라 취한 단면도이다. 제 3도에 이미 도시된 것과 동일한 부분들은 제 3 도에 도시된 번호와 같은 번호를 사용하였으며 그러한 부분들에 대한 설명은 이하에서 생략한다.

밸브부재 (21)의 직경은 1차 챔버 (22)의 내경보다, 작고 밸브부재(21)와 안내벽 (22b)사이에는 틈새가 형성됨으로써, 밸브부재 (21)는 안내벽 (22b)과 접촉하지 않고 이동할 수 있다. 밸브부 (7)는 밸브부재(21) 의 단부 (21a)에 부착되어 있다. 제 1 영구자석 (19)은 밸브부재(21) 내에 고정되고, 제 2영구자석 (17)은 고정부재 (18)에 부착되며, 제 3 영구자석 (20) 은 안내벽내에 고정된다.

제 1 영구자석 (19)은 밸브부재 (21)의 중심축선을 따라 기다랗고, 제 1 영구자석 (19) 의 단부는 밸브부재 (21) 의 단부 (21b) 에 배치된다. 제 1 영구자석 (19) 은 중심축선에 대해 대칭적인 중실 원통형 형상을 갖는다. 안내벽 (22b)내의 제 3영구자석 (20)은 밸브부재 (21)의 중심축선에 평행한 방향으로 기다랗고, 중심축선에 대해 대칭적인 중공 원통형 형상을 갖는다. 밸브부재 (21)는 제 1영구자석 (19)과 제 3영구자석 (20)사이의 반발작용에 의해 안내벽 (22b)과 접촉하지 않고 1차 챔버 (22)내에 보유된다.

상기한 바와같이, 본 발명에 따라 제 1영구자석은 밸브부재내에 고정되고 이 제 1 영구자석에 저항하는 제 2 영구자석은 제 1 영구자석과 제 2 영구자석 사이의 반발작용에 의해 밸브부재가 밸브시트 쪽으로 바이어스 되도록 설치된다. 그러므로, 밸브부재는 제 1, 2(a)도, 및 제2(b)도에 도시된 바와같은 감압 밸브에 사용된 코일 스프링 (8) 없이 밸브시트 쪽으로 바이어스 될 수 있고, 두 코일 스프링 (8, 13)의 공진이 방지될 수 있다.

더욱이 본 발명에 따라, 코일 스프링(8)은 1차 챔버내에 배치되어 있지 않고 코일 스프링(8)용이 공간이 불필요하다. 그러므로, 감압 밸브의 크기 및 유체 통로의 체적을 감소시킬 수 있다. 더욱이, 코일 스프링(8)이 배치되어 있지 않기 때문에, 유체와 접촉하는 감압 밸브의 부품들 영역의 표면적을 감소시킬 수 있다.

본 발명을 바람직한 실시예에 관해 설명하였지만, 본 발명은 예로서만 주어진 실시예에 제한되는 것은 아니고 청구의 범위로부터 벗어나지 않고 다양한 형태로 행해질 수 있다.

Claims (12)

1. 감압 밸브에 있어서, 밸브 하우징, 상기 밸브 하우징내에 형성된 유체의 통로내에 배치된 밸브시트, 상기 밸브시트와 대향하는 밸브부재, 상기 밸브부재를 상기 밸브시트로부터 멀리 바이어스하기 위한 바이어싱 수단, 상기 밸브부재내에 고정된 제 1 영구자석, 상기 제 1 영구자석에 저항하는 제 2 영구자석을 포함하며, 이에 따라 상기 제 1 영구자석과 상기 제 2 영구자석 사이의 반발작용에 의해 상기 밸브부재가 상기 밸브시트 쪽으로 바이어스되는 감압 밸브.
2. 제 1항에 있어서, 상기 밸브시트와 접촉할 수 있는 밸브부가 상기 밸브부재내에 포함되어 있고, 상기 제 1 영구자석은 상기 밸브부의 반대편 상에서 상기 밸브부재의 단부에 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 감압 밸브.
3. 제 1항에 있어서, 상기 밸브 하우징상에 고정부재가 장착되어 있고, 이 고정부재에 상기 제 2영구자석이 부착되어 있는 것을 특징으로 하는 감압 밸브.
4. 제 1항 내지 제 3항중의 어느 한 항에 있어서, 안내벽이 상기 통로내의 상기 밸브부재를 둘러싸고, 이 밸브부재가 상기 안내벽과 접촉하면서 미끄럼 이동할 수 있는 것을 특징으로 하는 감압 밸브.
5. 제 1항 내지 제 3항중의 어느 한 항에 있어서, 안내벽이 상기 통로내의 상기 밸브부재를 둘러싸고, 상기 밸브부재와 상기 안내벽 사이에는 틈새가 형성되어 있으며, 제 3영구자석이 상기 안내벽내에 고정되어 있음으로써, 상기 제 1 영구자석과 상기 제 3 영구자석 사이의 반발작용에 의해 상기 밸브부재가 상기 안내벽과 접촉하지 않고 이동할 수 있는 것을 특징으로 하는 감압 밸브.
6. 제 5항에 있어서, 상기 제 1 영구자석이 상기 밸브부재의 중심축선을 따라 기다란 것을 특징으로 하는 감압 밸브.
7. 제 6항에 있어서, 상기 제 1 영구자석은 상기 중심축선에 대해 대칭적인 중실 원통형의 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 감압 밸브.
8. 제 5항에 있어서, 상기 제 3영구자석은 상기 밸브 부재의 중심축선에 평행한 방향으로 기다란 것을 특징으로 하는 감압 밸브.
9. 제 8항에 있어서, 상기 제 3영구자석은 상기 중심축선에 대해 대칭적인 중공 원통형의 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 감압 밸브.
10. 제 1항에 있어서, 상기 유체가 유독가스로 구성되는 것을 특징으로 하는 감압 밸브.
11. 제 1 항에 있어서, 상기 유체가 높은 순도를 갖는 가스로 구성되는 것을 특징으로 하는 감압 밸브.
12. 제 1 항, 제 10 항 및 제 11 항중의 어느 한 항에 있어서, 상기 유체가 반도체 장치를 제조하기 위한 가스로 구성되는 것을 특징으로 하는 감압 밸브.