JP3411599B2 - 減圧弁 - Google Patents
減圧弁Info
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- JP3411599B2 JP3411599B2 JP30235492A JP30235492A JP3411599B2 JP 3411599 B2 JP3411599 B2 JP 3411599B2 JP 30235492 A JP30235492 A JP 30235492A JP 30235492 A JP30235492 A JP 30235492A JP 3411599 B2 JP3411599 B2 JP 3411599B2
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、流体の回路中に介装し
て、その流体の圧力を減圧調整するために使用する減圧
弁に関するものである。 【０００２】 【従来の技術】図３および図４は、従来の一般的な減圧
弁の一例を示すもので、図中１は弁匣体、２は弁匣体１
の中心部に設けた丸孔、３は弁匣体１の上面を凹欠して
設けた二次室、４はこの二次室３と丸孔２とを連通する
通路、５はこの通路４の丸孔２側の開口の周囲を突出さ
せて形成したノズル、６は丸孔２内に摺動自在に設けた
移動部材、７（図５参照）はノズル５と対向するように
移動部材６の端部6aに設けた弁座、８は移動部材６の弁
座７と反対側の端部6bと丸孔２の底面2aとの間に介挿し
た小コイルばね、９は弁匣体１の外部から丸孔２と連通
するように設けた流体の流入路、10は二次室３と接続し
た流体の吐出路である。 【０００３】また11は、弁匣体１の上部に螺合した略段
付き中空円筒形状の弁蓋、12はこの弁蓋11内に移動自在
に設けた略段付き円板形状の調整盤で、12a はこの調整
盤の中心部より前記通路４を貫通して弁座７と衝合する
ように突設したロッド、13は調整盤12を押し下げる作用
をする大コイルばね、14はこのコイルばね13の上端に設
けた段付き円板形状のばね押え、15はこのばね押え14の
位置を調整するための調整ねじで、15a はそのハンドル
である。 【０００４】上述のように構成された減圧弁では、流入
路９より入った流体は、丸孔２内の一次室を経て、ノズ
ル５と弁座７との間より二次室３内に入り、減圧されて
吐出路10より外部へ出る。図４(a) はノズル５と弁座７
とが閉じた状態であり、同図(b) は開いた状態を示すも
のである。そしてその減圧の程度はハンドル15a と一体
の調整ねじ15のねじ込み量によって調節することができ
るものである。 【０００５】 【発明が解決しようとする課題】従来の減圧弁には、大
コイルばね13と小コイルばね８との２個のばねがあった
ため、これら２個のばねが共振した場合にバイブレーシ
ョンを起こすという問題点があった。また丸孔２内の一
次室は、小コイルばね８を収納するスペースが必要であ
ったから、その分弁全体が大きくなると共に、コイルば
ねがあれば、その分流体との接触面積が増大した。した
がって、毒性の強いガスを使用した場合の不活性ガスに
よるパージ作業に多大の時間を要し、また高純度のガス
を得るための純度出し作業に時間がかかるという問題点
があった。また弁座７と一体の移動部材６が丸孔２の周
囲の案内壁に対して摺動すると、その摺動面が摩耗する
ことにより、および小コイルばね８と丸孔２の内壁との
接触によりパーティクルが発生した。これは、半導体製
造工業のようにパーティクルを極度に嫌う産業では極め
て大きな問題点であった。 【０００６】 【課題を解決するための手段】上述の問題点を解決する
ため、本発明の減圧弁は、底部に螺合した固定部材、中
心部に設けた一次室、上面を凹欠して設けた二次室、こ
れらの室を連通する通路、この通路の一次室側の開口の
周囲を突出させて形成したノズル、外部から一次室に連
通するように設けた流体の流入路、及び二次室と接続し
た流体の吐出路を有する弁匣体と、この弁匣体の一次室
内に配置され、前記ノズルと対向する弁座をもつ移動部
材と、この弁匣体の上部に螺合した中空円筒状の弁蓋
と、弁匣体とこれに螺合した弁蓋の中空円筒内に配置さ
れた、移動自在に設けた調整盤、この調整盤の上方に位
置し、これを押し下げる方向にばね力を作用させる大コ
イルばね、及びこの大コイルばねの上端に設けたばね押
えと、このばね押えの位置を調整して大コイルばねのば
ね力の大きさを変更するための調整ねじをもつハンドル
と、調整盤と移動部材の間で前記通路を貫通して延び、
前記大コイルばねのばね力による調整盤の下降移動に伴
って弁座をノズルより離間させるロッドと、移動部材
に、その弁座と反対側の端部から移動部材の中心軸線に
沿って延長して設けた第１永久磁石と、固定部材に設け
られ、第１永久磁石に対し移動部材が前記ばね力に抗す
る方向に反発する第２永久磁石と、移動部材と周囲の案
内壁との間に設けられた空隙と、前記案内壁に設けら
れ、第１永久磁石に対し移動部材が案内壁との非接触状
態を保持する方向に反発する円筒状の第３永久磁石とを
具えることにある。 【０００７】 【作用】上述のように本発明においては、弁座と一体の
移動部材の弁座と反対側の端部に第１永久磁石を設ける
と共に、この第１永久磁石に対し移動部材が前記ばね力
に抗する方向に反発する第２永久磁石を弁の固定部材に
設けたから、従来の減圧弁で使用していた小コイルばね
が不要になる。このため２個のコイルばねが共振した場
合に発生したバイブレーションが発生するおそれがなく
なる。 【０００８】また本発明によれば、一次室内に小コイル
ばねを設ける必要がなくなったから、一次室内のデッド
ゾーンを小さくすることにより、その分弁全体を小形化
することができると共に、小コイルばねがなくなるの
で、その分流体と構成部材間の接触面積が減少する。 【０００９】また本発明においては、移動部材に設けた
第１永久磁石を移動部材の中心軸線に沿って延長すると
共に、この移動部材と周囲の案内壁との間に空隙を設
け、前記案内壁に前記第１永久磁石と反発する円筒状の
第３永久磁石を設けて、第１及び第３永久磁石相互の反
発力によって前記移動部材を一次室内の中心位置に一次
室の内壁と非接触状態で保持するようにしたから、従来
装置のように摺動面が摩耗するおそれがなくなる。 【００１０】 【実施例】以下、図１及び図２について本発明の実施例
を説明する。図中前記符号と同一の符号は同等のものを
示す。図１は本発明の実施例である。 【００１１】本実施例においては、弁座７と一体の移動
部材６の弁座７と反対側の端部6bに円板状の第１永久磁
石19を埋設すると共に、この第１永久磁石19に対し移動
部材が前記ばね力に抗する方向に反発する円板状の第２
永久磁石17を、弁匣体１の底部に螺合した弁の固定部材
である鍔付きねじ18に埋設する。 【００１２】また図１および図２に示す本実施例におい
ては、移動部材６に、第１永久磁石19を移動部材６の中
心軸線に沿って延長して設けると共に、この移動部材６
と周囲の丸孔２の案内壁2bとの間に空隙Ｓを設け、第１
永久磁石19に対し移動部材６が案内壁2bとの非接触状態
を保持する方向に反発する円筒状の第３永久磁石20を前
記案内壁2bに埋設する。 【００１３】 【発明の効果】上述のように本発明においては、弁座７
と一体の移動部材６の弁座７と反対側の端部6bに第１永
久磁石19を設けると共に、この第１永久磁石19に対し前
記ばね力に反発する第２永久磁石17を弁の固定部材18に
設けたから、従来の減圧弁で使用していた小コイルばね
８が不要になる。このため２個のコイルばね８，13が共
振した場合に発生したバイブレーションが発生するおそ
れがなくなるという効果が得られる。 【００１４】また本発明によれば、一次室２内に小コイ
ルばね８を設ける必要がなくなったから、一次室２内の
デッドゾーンを小さくすることにより、その分弁全体を
小形化することができると共に、小コイルばね８がなく
なるので、その分流体と構成部材間の接触面積が減少す
るので、毒性の強いガスを使用しても容易に排除するこ
とができ、高純度のガスが得られ易くなるという効果が
得られる。 【００１５】また本発明においては、移動部材６に設け
た第１永久磁石19を移動部材６の中心軸線に沿って延長
すると共に、この移動部材６と周囲の案内壁2bとの間に
空隙Ｓを設け、前記案内壁2bに前記第１永久磁石19と反
発する円筒状の第３永久磁石20を設けて、第１及び第３
永久磁石相互の反発力によって前記移動部材６を一次室
２内の中心位置に一次室２の案内壁2bと非接触状態で保
持するようにしたから、従来装置のように摺動面が摩耗
するおそれがなくなり、また小コイルばね８がなくなる
ので、パーティクルの発生を防止できるという効果が得
られる。
て、その流体の圧力を減圧調整するために使用する減圧
弁に関するものである。 【０００２】 【従来の技術】図３および図４は、従来の一般的な減圧
弁の一例を示すもので、図中１は弁匣体、２は弁匣体１
の中心部に設けた丸孔、３は弁匣体１の上面を凹欠して
設けた二次室、４はこの二次室３と丸孔２とを連通する
通路、５はこの通路４の丸孔２側の開口の周囲を突出さ
せて形成したノズル、６は丸孔２内に摺動自在に設けた
移動部材、７（図５参照）はノズル５と対向するように
移動部材６の端部6aに設けた弁座、８は移動部材６の弁
座７と反対側の端部6bと丸孔２の底面2aとの間に介挿し
た小コイルばね、９は弁匣体１の外部から丸孔２と連通
するように設けた流体の流入路、10は二次室３と接続し
た流体の吐出路である。 【０００３】また11は、弁匣体１の上部に螺合した略段
付き中空円筒形状の弁蓋、12はこの弁蓋11内に移動自在
に設けた略段付き円板形状の調整盤で、12a はこの調整
盤の中心部より前記通路４を貫通して弁座７と衝合する
ように突設したロッド、13は調整盤12を押し下げる作用
をする大コイルばね、14はこのコイルばね13の上端に設
けた段付き円板形状のばね押え、15はこのばね押え14の
位置を調整するための調整ねじで、15a はそのハンドル
である。 【０００４】上述のように構成された減圧弁では、流入
路９より入った流体は、丸孔２内の一次室を経て、ノズ
ル５と弁座７との間より二次室３内に入り、減圧されて
吐出路10より外部へ出る。図４(a) はノズル５と弁座７
とが閉じた状態であり、同図(b) は開いた状態を示すも
のである。そしてその減圧の程度はハンドル15a と一体
の調整ねじ15のねじ込み量によって調節することができ
るものである。 【０００５】 【発明が解決しようとする課題】従来の減圧弁には、大
コイルばね13と小コイルばね８との２個のばねがあった
ため、これら２個のばねが共振した場合にバイブレーシ
ョンを起こすという問題点があった。また丸孔２内の一
次室は、小コイルばね８を収納するスペースが必要であ
ったから、その分弁全体が大きくなると共に、コイルば
ねがあれば、その分流体との接触面積が増大した。した
がって、毒性の強いガスを使用した場合の不活性ガスに
よるパージ作業に多大の時間を要し、また高純度のガス
を得るための純度出し作業に時間がかかるという問題点
があった。また弁座７と一体の移動部材６が丸孔２の周
囲の案内壁に対して摺動すると、その摺動面が摩耗する
ことにより、および小コイルばね８と丸孔２の内壁との
接触によりパーティクルが発生した。これは、半導体製
造工業のようにパーティクルを極度に嫌う産業では極め
て大きな問題点であった。 【０００６】 【課題を解決するための手段】上述の問題点を解決する
ため、本発明の減圧弁は、底部に螺合した固定部材、中
心部に設けた一次室、上面を凹欠して設けた二次室、こ
れらの室を連通する通路、この通路の一次室側の開口の
周囲を突出させて形成したノズル、外部から一次室に連
通するように設けた流体の流入路、及び二次室と接続し
た流体の吐出路を有する弁匣体と、この弁匣体の一次室
内に配置され、前記ノズルと対向する弁座をもつ移動部
材と、この弁匣体の上部に螺合した中空円筒状の弁蓋
と、弁匣体とこれに螺合した弁蓋の中空円筒内に配置さ
れた、移動自在に設けた調整盤、この調整盤の上方に位
置し、これを押し下げる方向にばね力を作用させる大コ
イルばね、及びこの大コイルばねの上端に設けたばね押
えと、このばね押えの位置を調整して大コイルばねのば
ね力の大きさを変更するための調整ねじをもつハンドル
と、調整盤と移動部材の間で前記通路を貫通して延び、
前記大コイルばねのばね力による調整盤の下降移動に伴
って弁座をノズルより離間させるロッドと、移動部材
に、その弁座と反対側の端部から移動部材の中心軸線に
沿って延長して設けた第１永久磁石と、固定部材に設け
られ、第１永久磁石に対し移動部材が前記ばね力に抗す
る方向に反発する第２永久磁石と、移動部材と周囲の案
内壁との間に設けられた空隙と、前記案内壁に設けら
れ、第１永久磁石に対し移動部材が案内壁との非接触状
態を保持する方向に反発する円筒状の第３永久磁石とを
具えることにある。 【０００７】 【作用】上述のように本発明においては、弁座と一体の
移動部材の弁座と反対側の端部に第１永久磁石を設ける
と共に、この第１永久磁石に対し移動部材が前記ばね力
に抗する方向に反発する第２永久磁石を弁の固定部材に
設けたから、従来の減圧弁で使用していた小コイルばね
が不要になる。このため２個のコイルばねが共振した場
合に発生したバイブレーションが発生するおそれがなく
なる。 【０００８】また本発明によれば、一次室内に小コイル
ばねを設ける必要がなくなったから、一次室内のデッド
ゾーンを小さくすることにより、その分弁全体を小形化
することができると共に、小コイルばねがなくなるの
で、その分流体と構成部材間の接触面積が減少する。 【０００９】また本発明においては、移動部材に設けた
第１永久磁石を移動部材の中心軸線に沿って延長すると
共に、この移動部材と周囲の案内壁との間に空隙を設
け、前記案内壁に前記第１永久磁石と反発する円筒状の
第３永久磁石を設けて、第１及び第３永久磁石相互の反
発力によって前記移動部材を一次室内の中心位置に一次
室の内壁と非接触状態で保持するようにしたから、従来
装置のように摺動面が摩耗するおそれがなくなる。 【００１０】 【実施例】以下、図１及び図２について本発明の実施例
を説明する。図中前記符号と同一の符号は同等のものを
示す。図１は本発明の実施例である。 【００１１】本実施例においては、弁座７と一体の移動
部材６の弁座７と反対側の端部6bに円板状の第１永久磁
石19を埋設すると共に、この第１永久磁石19に対し移動
部材が前記ばね力に抗する方向に反発する円板状の第２
永久磁石17を、弁匣体１の底部に螺合した弁の固定部材
である鍔付きねじ18に埋設する。 【００１２】また図１および図２に示す本実施例におい
ては、移動部材６に、第１永久磁石19を移動部材６の中
心軸線に沿って延長して設けると共に、この移動部材６
と周囲の丸孔２の案内壁2bとの間に空隙Ｓを設け、第１
永久磁石19に対し移動部材６が案内壁2bとの非接触状態
を保持する方向に反発する円筒状の第３永久磁石20を前
記案内壁2bに埋設する。 【００１３】 【発明の効果】上述のように本発明においては、弁座７
と一体の移動部材６の弁座７と反対側の端部6bに第１永
久磁石19を設けると共に、この第１永久磁石19に対し前
記ばね力に反発する第２永久磁石17を弁の固定部材18に
設けたから、従来の減圧弁で使用していた小コイルばね
８が不要になる。このため２個のコイルばね８，13が共
振した場合に発生したバイブレーションが発生するおそ
れがなくなるという効果が得られる。 【００１４】また本発明によれば、一次室２内に小コイ
ルばね８を設ける必要がなくなったから、一次室２内の
デッドゾーンを小さくすることにより、その分弁全体を
小形化することができると共に、小コイルばね８がなく
なるので、その分流体と構成部材間の接触面積が減少す
るので、毒性の強いガスを使用しても容易に排除するこ
とができ、高純度のガスが得られ易くなるという効果が
得られる。 【００１５】また本発明においては、移動部材６に設け
た第１永久磁石19を移動部材６の中心軸線に沿って延長
すると共に、この移動部材６と周囲の案内壁2bとの間に
空隙Ｓを設け、前記案内壁2bに前記第１永久磁石19と反
発する円筒状の第３永久磁石20を設けて、第１及び第３
永久磁石相互の反発力によって前記移動部材６を一次室
２内の中心位置に一次室２の案内壁2bと非接触状態で保
持するようにしたから、従来装置のように摺動面が摩耗
するおそれがなくなり、また小コイルばね８がなくなる
ので、パーティクルの発生を防止できるという効果が得
られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の実施例を示す断面図である。
【図２】 図１のＡ−Ａ断面図である。
【図３】 従来の減圧弁の一例を示す断面図である。
【図４】 (a) は、図３のノズルと弁座とが閉じた状態
を示す部分断面図であり、 (b) は、図３のノズルと弁座とが開いた状態を示す部分
断面図である。 【符号の説明】 １ 弁匣体 ２ 丸孔（一次室） ３ 二次室 ４ 通路 ５ ノズル ６ 移動部材 ７ 弁座 ８ 小コイルばね ９ 流入路 10 吐出路 11 弁蓋 12 調整盤 12a ロッド 13 大コイルばね 14 ばね押え 15 調整ねじ 15a ハンドル 17 第２永久磁石 18 鍔付きねじ（固定部材） 19 第１永久磁石 20 第３永久磁石
を示す部分断面図であり、 (b) は、図３のノズルと弁座とが開いた状態を示す部分
断面図である。 【符号の説明】 １ 弁匣体 ２ 丸孔（一次室） ３ 二次室 ４ 通路 ５ ノズル ６ 移動部材 ７ 弁座 ８ 小コイルばね ９ 流入路 10 吐出路 11 弁蓋 12 調整盤 12a ロッド 13 大コイルばね 14 ばね押え 15 調整ねじ 15a ハンドル 17 第２永久磁石 18 鍔付きねじ（固定部材） 19 第１永久磁石 20 第３永久磁石
─────────────────────────────────────────────────────
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(56)参考文献 特開 平５−333940（ＪＰ，Ａ)
特開 昭63−172077（ＪＰ，Ａ)
実開 平４−44568（ＪＰ，Ｕ)
特公 昭44−15717（ＪＰ，Ｂ１)
特公 昭51−20737（ＪＰ，Ｂ２)
特表 昭63−502699（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
F16K 47/02
F16K 17/00 - 17/168
G05D 16/06
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 底部に螺合した固定部材、中心部に設け
た一次室、上面を凹欠して設けた二次室、これらの室を
連通する通路、この通路の一次室側の開口の周囲を突出
させて形成したノズル、外部から一次室に連通するよう
に設けた流体の流入路、及び二次室と接続した流体の吐
出路を有する弁匣体と、 この弁匣体の一次室内に配置され、前記ノズルと対向す
る弁座をもつ移動部材と、 この弁匣体の上部に螺合した中空円筒状の弁蓋と、 弁匣体とこれに螺合した弁蓋の中空円筒内に配置され
た、移動自在に設けた調整盤、この調整盤の上方に位置
し、これを押し下げる方向にばね力を作用させる大コイ
ルばね、及びこの大コイルばねの上端に設けたばね押え
と、 このばね押えの位置を調整して大コイルばねのばね力の
大きさを変更するための調整ねじをもつハンドルと、 調整盤と移動部材の間で前記通路を貫通して延び、前記
大コイルばねのばね力による調整盤の下降移動に伴って
弁座をノズルより離間させるロッドと、 移動部材に、その弁座と反対側の端部から移動部材の中
心軸線に沿って延長して設けた第１永久磁石と、 固定部材に設けられ、第１永久磁石に対し移動部材が前
記ばね力に抗する方向に反発する第２永久磁石と、 移動部材と周囲の案内壁との間に設けられた空隙と、 前記案内壁に設けられ、第１永久磁石に対し移動部材が
案内壁との非接触状態を保持する方向に反発する円筒状
の第３永久磁石と、を具えることを特徴とする減圧弁。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30235492A JP3411599B2 (ja) | 1992-11-12 | 1992-11-12 | 減圧弁 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30235492A JP3411599B2 (ja) | 1992-11-12 | 1992-11-12 | 減圧弁 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06159550A JPH06159550A (ja) | 1994-06-07 |
| JP3411599B2 true JP3411599B2 (ja) | 2003-06-03 |
Family
ID=17907906
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30235492A Expired - Fee Related JP3411599B2 (ja) | 1992-11-12 | 1992-11-12 | 減圧弁 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3411599B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101218396B1 (ko) * | 2011-01-13 | 2013-01-03 | 주식회사 태광에스씨티 | 핸들 오작동 및 풀림 방지 밸브 |
-
1992
- 1992-11-12 JP JP30235492A patent/JP3411599B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06159550A (ja) | 1994-06-07 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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| R250 | Receipt of annual fees |
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