KR100266035B1 - 컬러 음극선관의 형광면 제조방법 - Google Patents

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KR100266035B1 KR1019980009153A KR19980009153A KR100266035B1 KR 100266035 B1 KR100266035 B1 KR 100266035B1 KR 1019980009153 A KR1019980009153 A KR 1019980009153A KR 19980009153 A KR19980009153 A KR 19980009153A KR 100266035 B1 KR100266035 B1 KR 100266035B1
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Abstract

본 발명은 컬러 음극선관의 형광면 제조방법에 관한 것으로서 블랙 매트릭스 패턴의 포토리소그래피 공정에 사용된 경화 레지스트층은 그 세정공정에 있어서 충분히 제거되지 않은 채 유리패널의 내면에 형성된 블랙 매트릭스 패턴의 호울(hole)부에 남는 경우가 있고, 이 경우 첫번째 색의 광학 필터층의 안료가 남은 레지스트층의 표면에 부착한 채 남게 되며, 이 부착된 안료는 다른 2색의 형광체의 발광색 휘도를 현저하게 저하시켜서 3색의 광학필터층 가운데 피크투과율과 그 외의 파장역에서의 투과율의 차가 가장 작은 녹색 광학필터층을 최초로 형성하고, 이것에 의해 남은 녹색안료가 청색 및 적의 형광체의 발광에 미치는 악영향의 정도를 낮게 억제할 수 있는 것을 특징으로 한다.

Description

컬러 음극선관의 형광면 제조방법
본 발명은 광학필터부착 형광면을 갖는 컬러 음극선관의 형광면의 제조방법에 관한 것이다.
현재 많은 컬러 음극선관은 형광면의 휘도 및 콘트라스트를 향상시킬 목적에서 유리 패널과 형광체층 사이에 광학필터의 층을 갖고 있다. 이 광학필터부착의 형광면은 블랙 매트릭스 또는 블랙 스트라이프가 처리된 유리패널 내면에 형성된 적, 녹, 청의 광파장만을 각각 투과하는 도트형상 또는 스트라이프형상의 광학필터층과 이 광학필터층 상에 형성된 적, 녹, 청으로 발광하는 형광체층으로 구성된다.
이와 같은 광학필터층은 블랙 매트릭스 패턴이 형성된 유리패널의 내면에 포토리소그래피(Photolithography) 기술에 의해 적, 청, 녹의 각 색마다의 필터층을 순서대로 형성해 가는 것에 의해 얻을 수 있다.
그런데, 패널내면에 형성된 블랙 매트릭스 패턴의 홀부, 즉 필터층 형성위치의 표면에는 광경화된 레지스트가 충분히 박리되지 않은채 남는 경우가 있다. 이와 같은 현상은 아지도계 감광제 또는 실란 커플링재를 포함한 수용성 감광액을 이용한 경우에 의해 현저하게 나타난다. 따라서, 첫번째 색의 필터층 형성을 할 때, 안료분산액은 패널표면에 잔류하는 광경화 레지스트층의 표면에 도포된다.
첫번째 색의 필터층의 패턴을 형성한 후, 다른 색의 안료층 형성위치를 조사하고, 상기 잔존 레지스트의 표면상에 첫번째 색의 안료가 완전하게는 박리되지 않고 남아있는 부분이 있는 것을 확인할 수 있었다. 이와 같은 첫번째 색의 안료의 잔사는 다른 2색의 형광체의 발광색의 휘도저하를 가져오고, 경우에 따라서는 백색휘도가 실용을 만족하지 않은 레벨까지 저하되어 버린다.
본 발명이 목적으로 하는 것은 블랙 매트릭스 패턴의 홀부 표면에 잔존하는 경화 레지스트층에 부착한 첫번째 색의 광학필터층의 안료에 의한 휘도의 저하를 억제할 수 있는 컬러 음극선관의 형광면의 제조방법의 제공을 목적으로 한다.
그리고 이 목적을 달성하기 위해 이 발명은 컬러 음극선관의 형광면의 제조방법에 있어서,
(a) 포토리소그래피 기술을 이용하여 투명한 패널면에 블랙 매트릭스의 패턴을 형성하는 공정과,
(b) 상기 패널면에 형성된 상기 블랙 매트릭스 패턴의 일부 홀부에 녹색의 제 1 광학필터층을 형성한 공정과,
(c) 상기 제 1 광학필터층을 형성후, 상기 블랙 매트릭스 패턴의 다른 홀부에 청색의 제 2 광학필터층 및 적색의 제 3 광학필터층을 각각 형성하는 공정을 갖는 것을 특징으로 한 것이다.
도 1의 (a), (b), (c)는 각각 청, 녹, 적의 광학필터용 안료의 분광투과성을 나타낸 도면,
도 2의 (a), (b), (c), (d), (e), (f)는 각각 본 발명의 제 1 실시예인 컬러 음극선관의 형광면의 제조방법의 각 공정에 대응하는 단면도,
도 3의 (a), (b), (c), (d)는 각각 본 발명의 제 1 실시예인 컬러 음극선관의 형광면의 제조방법에 있어서 주요 각 공정에 대응하는 단면도,
도 4는 제 1 실시예의 광학필터층의 형성절차를 나타낸 플로우 챠트,
도 5의 (a), (b), (c), (d), (e), (f)는 각각 본 발명의 제 2 실시예인 컬러 음극선관의 형광면의 제조방법의 각 공정에 대응하는 단면도,
도 6의 (a), (b), (c), (d)는 각각 본 발명의 제 2 실시예인 컬러 음극선관의 형광면의 제조방법에 있어서 주요 각 공정에 대응하는 단면도, 및
도 7은 제 2 실시예의 광학필터층의 형성절차를 나타낸 플로우 챠트이다.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10: 패널 12: 광흡수층
13: 잔존경화 레지스트층 20G: 녹색안료 도포층
22G: 잔존녹색 안료층 30G: 녹색안료층
30B: 청색안료층 30R: 적색안료층
40G: 녹색 형광체층 40B: 청색 형광체층
40R: 적색 형광체층
이하, 본 발명의 실시예를 도면에 기초하여 설명한다.
도 1의 (a)(b)(c)는 청, 녹, 적의 광학필터층용 안료의 분광투과성을 나타내고 있다. A선은 각 색원료의 파장과 투과율과의 관계를 나타내고, B선은 각 색의 형광체의 특성곡선을 나타낸다. 이러한 도면에서 녹색안료의 피크투과율과 청색·적색 형광체의 발광피크파장(450㎚부근, 630㎚부근)에서의 투과율과의 차는 청색안료의 피크투과율과 녹색·적색 형광체의 발광피크파장(550㎚부근, 630㎚부근)에서의 투과율과의 차, 또한 적색안료의 피크투과율과 청색·녹색 형광체의 발광피크파장(450㎚부근, 550㎚부근)에서의 투과율과의 차에 비해 꽤 작은 것을 알 수 있다.
따라서, 3색의 광학필터층 가운데 피크투과율과 그 외의 파장역에서의 투과율의 차가 가장 작은 녹색의 광학필터층을 최초로 형성하면 청색안료층의 형성위치 또는 적색안료층의 형성위치에 녹색안료의 잔사가 생겨도 이 녹색안료의 잔사에 의한 청색 및 적의 형광체의 발광에 미치는 악영향은 적기 때문에 백색휘도의 저하를 실용상 문제없는 정도로 억제할 수 있는 것을 알 수 있다.
또, 녹색안료의 농도는 청색·적색 안료에 비해 낮고, 이 점에서도 녹색안료의 잔사에 의한 다른 색의 발광체의 발광으로의 악영향은 적다. 또, 잔존 레지스트층의 표면은 녹색안료로 피복되기 때문에 두번째 색의 안료가 세번째 색의 안료형성위치에 잔사하는 일은 없다.
녹색안료의 농도가 비교적 낮은 이유를 다음에 설명한다. 녹색안료의 분광투과율은 소위 시감도 곡선에 가깝고, 안료농도를 매우 높게 하면 백색휘도가 현저하게 저하된다. 이 때문에 녹색안료의 농도는 백색휘도의 저하를 매우 억제하면서 보디(body)컬러를 보정할 수 있는 정도의 비교적 낮은 값으로 선택되고 있다. 한편, 청색안료의 농도는 백색휘도로의 영향이 가장 적은 점에서 콘트라스트(contrast) 효과를 최대로 얻기 위해 될 수 있는 한 높은 값으로 하고 있다. 적색안료의 농도는 보디컬러가 붉은 색을 띄지 않을 정도로 높은 값으로 한다.
컬러관의 형광면의 보디컬러를 미놀타 분광반사율계 CM-2002를 이용하여 측정한 경우, CIE1976L*a*b*표시계 색도 도면상의 "a*"와 "b*"의 바람직한 값의 범위는 이하와 같다.
-1.5＞a*＞-2.5
-0.2＞b*＞-1.2
단, 이 측정결과는 20명의 관찰자의 관찰하에 형광면의 관찰결과에 기초한 것이다.
하기의 표1은 녹색안료층이 최초로 형성된 형광면과 청색안료층이 최초로 형성된 형광면의 각각에 대해 상기 "a*", "b*"의 조건을 만족하는 녹색안료액 농도와 청색안료액 농도를 나타내고 있다.
안료층형성순서 청색안료액농도 녹색안료액농도 a* b*
B→G→R 16.5% 6.6% -1.8 이하-2.0 이상 -0.9 이하-1.2 이상
G→B→R 18.3% 6.0% -1.9 이하-2.4 이상 -0.8 이하-1.1 이상
이 표에 나타낸 바와 같이 녹색안료층이 최초로 형성된 형광면의 녹색안료액 농도는 청색안료층이 최초로 형성된 형광면의 녹색안료액 농도보다 낮아서 좋다. 또, 녹색안료층이 최초로 형성된 형광면의 청색안료액 농도는 청색안료층이 최초로 형성된 형광면의 청색안료액 농도보다 높지만, 이 정도 높이의 청색안료액 농도가 형광면의 백색휘도에 주는 영향은 적고, 실용상의 문제를 발생시키는 일은 없다.
따라서, 이 발명의 방법에 의하면 녹색안료층을 최초로 형성하여 다른 색의 필터층이 형성된 위치에 잔존하는 녹색안료에 의해 녹색안료액 농도를 낮게 설정할 수 있고, 백색휘도를 향상시킬 수 있다.
또, 녹색 광학필터층 중의 녹색 안료 입자의 농도는 4.0∼11.0중량% 바람직하게는 5.1∼11.0중량%가 좋다. 이 이유는 4.0중량%보다 작을 때(바람직하게는 5.1중량%보다 작을 때)는 녹색성분이 없어져서 보디컬러가 심홍색이 되기 때문이고, 한편 11.0중량%보다 클 때는 녹색에 의한 휘도저하가 커져서 백색휘도도 저하되어 버리기 때문이다.
하기의 표 2에 청색안료층을 최초로 도포형성한 경우와 녹색안료층을 최초로 도포형성한 경우에 녹단색 휘도, 적단색 휘도, 백색 휘도의 비교결과를 나타낸다.
안료도포순서 G단색 휘도 R단색 휘도 백색 휘도
B→G→R STD STD STD
G→B→R +7.5% +10.6% +6.9%
이 표 2에서 녹색안료층을 최초로 도포형성한 경우의 녹단색 휘도, 적단색 휘도, 백색 휘도는 청색안료층을 최초로 도포형성한 경우에 비해 모두 높고, 첫번째 색의 광학필터층의 안료의 잔사에 의한 휘도저하를 대폭 억제할 수 있는 것을 알 수 있다.
또, 본 발명에 적용된 안료는 무기계 및 유기계 모두 좋지만, 특히 필터부착 형광체층의 필터층 중에 균일하게 분산할 수 있고, 광의 산란을 일으키지 않고 광학필터층에 충분한 투명성을 갖게할 수 있는 안료가 바람직하다. 또, 컬러 음극선관의 제조공정에서는 고온처리가 개재되기 때문에 무기계의 것이 보다 바람직하다. 구체적으로는 이하의 안료를 이용할 수 있다.
(적색안료)
·시코토란스레드1-2817(상품명; BASF샤 제조), 산화 제 2 철계, 입자지름 0.01㎛∼0.02㎛
·크로모파탈레드A2B(상품명; 치바가이기샤 제조), 안스라키논계, 입자지름 0.01㎛
(청색안료)
·코발트블루X(상품명; 도요안료샤 제조), 알루민산코발트(Al2O3-CoO)계, 입자지름 0.01㎛∼0.02㎛
·군청No.8000(상품명; 다이이치가세샤 제조), 군청계, 입자지름 0.03㎛
·리오놀블루FG-7370(상품명; 도요인크샤 제조), 프탈로시아닌블루계, 입자지름 0.01㎛
(녹색안료)
·다이제록사이드TM-그린#3320(상품명; 다이니치세카샤 제조), TiO2-NiO-ZnO계, 입자지름 0.01㎛∼0.02㎛
·다이제록사이드TM-그린#3420(상품명; 다이니치세카샤 제조),
CoO-Al2O3-Cr2O3계, 입자지름 0.01㎛∼0.02㎛
·D-801(상품명; 닛폰덴코샤 제조), Cr2O3계, 입자지름 0.35㎛
·패스트겐그린S(상품명; 다이닛폰잉크샤 제조), 염소화프탈로시아닌그린계, 입자지름 0.01㎛
·패스트겐그린2YK(상품명; 다이닛폰잉크샤 제조), 브롬화프탈로시아닌그린계, 입자지름 0.01㎛
한편, 광학필터층은 이하의 방법에 의해 형성할 수 있다.
우선, 안료입자와 고분자 전해질 안료분산제를 주성분으로 하는 안료분산액이 블랙 매트릭스가 형성된 페이스 플레이트의 내면에 도포된다. 도포방법에는 스핀코트(spin coat)법, 롤러(Roller)법, 침지법 등이 있고, 이러한 도포방법 가운데, 스핀코트법은 균일하고 소정의 막두께를 얻기 때문에 가장 유망한 방법이다. 다음에, 안료도포층이 건조된다. 이 건조는 수분의 휘발과 동시에 고분자 전해질염중의 염의 일부를 해리시킬 수 있다면 예를 들면 히터건조, 열풍에 의한 건조, 실온에 있어서 장시간의 건조 등, 어떤 건조방법을 이용해도 상관없다. 이어서, 건조시킨 안료층 상에 포토레지스트층이 형성된다. 이 포토레지스트층은 고압수은등 등에 의한 소정의 패턴으로 노광된 후, 현상된 것에 의해 소정의 필터 패턴이 형성된다. 이상의 광학필터층의 형성공정은 녹, 청, 적의 순서로 반복되어 실행된다.
또, 블랙 매트릭스를 갖는 페이스 플레이트 내면에 포토레지스트를 함유한 안료분산액이 도포되어 포토레지스트층을 형성하는 공정을 생략할 수 있다.
다음에, 본 발명의 컬러 음극선관의 형광면 제조방법에 대한 보다 구체적인 실시예를 설명한다.
도 2의 (a)에 나타낸 바와 같이 컬러 음극선관의 패널(10)내면에 블랙 매트릭스로서의 광흡수층(12)이 형성된다. 이 광흡수층(12)은 다음과 같은 방법으로 형성된 것이다. 패널(10)상에 적어도 아지도계 감광기와 폴리비닐피롤리돈으로 이루어진 포토레지스트가 도포된다. 다음에, 섀도우 마스크(shadow mask)를 이용한 노광, 현상, 건조의 각 공정이 순서대로 실행된다. 이것에 의해 패널(10)상에 스트라이프 형상 또는 도트형상의 광경화막이 형성된다. 이 광경화막 상에 광흡수물질 예를 들면 흑연이 도포되고, 결착된 후, 15%의 설파민산에 의해 광경화막이 약해지는 것에 의해 약해진 광경화막 상의 광흡수층이 광흡수물질과 함께 제거된다. 이것에 의해 안료층 및 형광체층이 형성되어야 할 홀부가 노출되고, 패터닝된 광흡수층(12)이 형성된다. 이 때, 도 3의 (a)에 나타낸 바와 같이 홀부 표면에는 약 200옹스트롬 정도 두께의 경화 레지스트층(13)이 남는다.
녹, 청, 적의 안료분산액에는 다음의 것이 이용된다.
(녹색 안료분산액)
녹색 안료 입자인 TiO2-NiO-CoO-ZnO(다이니치세카샤 제조, 상품명; 다이제록사이드TM그린#3320(입자지름 0.01㎛∼0.02㎛)), 포토레지스트인 ADC+PVA, 고분자 전해질인 아크릴산의 나트륨염(상품명; 디스펙N-40)을 각각 6.4중량%, 2중량%, 0.15중량%의 비로 순수중(純水中)에 분산시킨 것. 단, 이 녹색 안료분산액의 고분자 전해질 농도/안료농도비는 0.023, 레지스트농도/고분자 전해질 농도는 13.33, 레지스트농도/안료농도는 0.313.
(청색 안료분산액)
청색 안료 입자인 알루민산코발트(도요안료샤 제조, 상품명; 코발트블루X(입자지름 0.01㎛∼0.02㎛)), 포토레지스트인 중크롬산암모늄(ADC)+폴리비닐알콜(PVA), 고분자 전해질인 폴리아크릴산 공중합체의 암모늄염(아라이드·코로이드샤 제조, 상품명; 디스펙GA-40)을 각각 18.0중량%, 0.5중량%, 0.414중량%의 비로 순수중에 분산시킨 것. 단, 이 청색 안료분산액의 고분자 전해질 농도/안료농도비는 0.023, 레지스트농도/고분자 전해질 농도는 1.208, 레지스트농도/안료농도는 0.028.
(적색 안료분산액)
적색 안료 입자인 Fe2O3의 미립자(입자지름 0.01㎛∼0.02㎛), 포토레지스트인 ADC+PVA, 고분자 전해질인 폴리옥시에틸렌알킬에틸설페이트의 암모늄염(다이이치고교세야크샤 제조, 상품명;하이테놀08)을 각각 3.0중량%, 2중량%, 0.069중량%의 비로 순수중에 분산시켜 작제한 것. 단, 이 적색 안료 분산액의 고분자 전해질 농도/안료농도비는 0.023, 레지스트농도/고분자 전해질 농도는 29.0, 레지스트농도/안료농도는 0.67.
개개의 광학필터층의 패턴은 상기한 녹, 청, 적의 안료분산액을 이용하여 도 4에 나타낸 공정에 따라 다음과 같이 형성된다.
우선, 30℃의 온도로 유지된 컬러 음극선관의 패널(10)의 내면에 첫번째 색의 광학필터층을 형성하기 위한 녹색 안료 분산액이 도포된다(스텝A). 이어서, 과잉 안료분산액을 흔들어 제거하는 동시에 녹색안료 분산액의 막두께를 일정하게 하기 위해 패널(10)은 100∼150rpm으로 회전된다. 그 후, 히터온도 120℃로 3∼4분간 건조를 실행한다(스텝B). 이와 같이 하여 도 2의 (b) 및 도 3의 (b)에 나타낸 바와 같이 녹색 안료도포층(20G)을 얻을 수 있다.
다음에 도 2의 (c)에 나타낸 바와 같이 도시하지 않은 섀도우 마스크를 통해 녹색 안료도포층(20G)이 고압수은 등에 의해 소정의 패턴으로 노광된다(스텝C). 이어서 스프레이 상태, 예를 들면 NaOH를 함유한 알카리 수용액(PH9)으로 이루어진 현상액을 액압 2∼10㎏/㎠로 스프레이하는 것에 의해 현상을 실행하고(스텝D), 건조시킨다(스텝E). 이렇게 하여 도 2의 (d)에 나타낸 바와 같이 소정 패턴의 녹색안료층(30G)이 형성된다. 또, 청색안료층 및 적색안료층이 형성된 위치의 녹색안료는 도 3의 (c)에 나타낸 바와 같이 잔존경화 레지스트층(13)의 표면에서 완전하게는 박리되지 않고, 약간의 두께의 잔존 녹색안료층(22G)이 잔존경화 레지스트층(13)상에 남는다.
다음에, 상기의 녹색안료층의 형성공정과 같은 공정으로 청색안료층(30B) 및 적색안료층(30R)의 형성이 실행된다. 이러한 안료층의 형성공정에 있어서는 모두 LiCl이 함유된 알카리수용액이 현상액으로 이용된다. 이렇게 하여 도 2의 (e)에 나타낸 바와 같이 녹색안료층(30G), 청색안료층(30B) 및 적색안료층(30R)으로 이루어진 소망하는 필터 패턴을 얻을 수 있다. 도 3의 (d)에 나타낸 바와 같이 청색안료층(30B)(및 적색안료층(30R))은 잔존경화 레지스트층(13)의 표면에 잔류한 녹색안료층(22G) 상에 적층되는 것을 알 수 있다.
다음에, 도 2의 (f)에 나타낸 바와 같이 통상의 방법에 의해 녹색 형광체층(40G), 청색 형광체층(40B) 및 적색 형광체층(40R)이 각각 녹색안료층(30G), 청색안료층(30B) 및 적색안료층(30R) 상에 형성된다.
녹, 청, 적색의 형광체 현탁액에는 각각 이하의 조성의 것이 이용된다.
(녹색 형광체 현탁액)
녹색형광체(ZnS:Cu, Al) 100g, 폴리비닐알콜 8g, 중크롬산암모늄 0.40g, 계면활성제 0.01g, 순수 160g을 혼합교반한 것.
(청색 형광체 현탁액)
청색형광체(ZnS;Ag, Cl) 100g, 폴리비닐알콜 5g, 중크롬산암모늄 0.30g, 계면활성제 0.01g, 순수 140g을 혼합교반한 것.
(적색 형광체 현탁액)
적색형광체(Y2O2S:Eu) 100g, 폴리비닐알콜 10g, 중크롬산암모늄 0.50g, 계면활성제 0.01g, 순수 190g을 혼합교반한 것.
또, 잔존하는 경화 레지스트층(13)은 후공정에 있어서 연소제거된다.
다음에, 본 발명의 컬러 음극선관의 형광면의 제조방법의 다른 실시예를 설명한다.
우선, 도 5의 (a)에 나타낸 바와 같이 컬러 음극선관의 패널(10) 내면에 블랙 매트릭스로서의 광흡수층(12)이 형성된다. 이 패널(10)의 홀부 표면에는 도 6의 (a)에 나타낸 바와 같이 약 200옹스트롬 정도 두께의 경화 레지스트층(13)이 잔존하고 있다.
녹, 청, 적색의 안료분산액에는 포토레지스트를 함유하지 않은 다음 조성의 것이 이용된다.
(녹색 안료분산액)
녹색 안료입자인 TiO2-NiO-CoO-ZnO(다이니치세카샤 제조, 상품명; 다이피록사이드TM그린#3320(입자지름 0.01㎛∼0.02㎛)), 고분자 전해질인 아크릴산의 나트륨염(상품명; 디스펙 N-40)을 각각 6.4중량%, 0.147중량%의 비로 순수중에 분산시킨 것. 단, 고분자 전해질 농도/안료농도비는 0.023.
(청색 안료분산액)
청색 안료입자인 알루민산 코발트(도요안료샤 제조, 상품명; 코발트블루X(입자지름 0.01㎛∼0.02㎛)), 고분자 전해질인 폴리아크릴산공중합체의 암모늄염(아라이드·코로이드샤 제조, 상품명; 디스펙 GA-40)을 각각 18.0중량%, 0.414중량%의 비로 순수중에 분산시킨 것. 단, 고분자 전해질 농도/안료농도비는 0.023.
(적색 안료분산액)
적색 안료입자인 Fe2O3의 미립자(입자지름 0.01㎛∼0.02㎛), 고분자 전해질인 폴리옥시에틸렌알킬에테르설페이트의 암모늄염(다이이치고교세야크샤 제조, 상품명; 하이테놀08)을 각각 3.0중량%, 0.105중량%의 비로 순수중에 분산시킨 것. 단, 고분자 전해질 농도/안료농도비는 0.035.
개개의 필터층의 패턴은 상기한 녹, 청, 적색의 안료분산액을 이용하여 도 7에 나타낸 공정을 따라 다음과 같이 형성된다.
우선, 30℃의 온도로 유지된 컬러 음극선관의 패널(10) 내면에 첫번째 색의 광학필터층을 형성하기 위한 녹색 안료분산액이 도포된다(스텝F). 이어서 과잉 안료분산액을 흔들어 제거하는 동시에 녹색안료분산액의 막두께를 일정하게 하기 위해 패널(10)은 100∼150rpm으로 회전된다. 그 후, 히터온도 120℃로 3∼4분간 건조를 실행한다(스텝B). 이와 같이 하여 녹색 안료도포층(20G)을 얻을 수 있다.
다음에, 폴리비닐알콜(3중량%), 중크롬산암모늄(0.20중량%), 계면활성제(0.01중량%), 순수로 이루어진 포토레지스트 용액이 안료층 형성방법과 같은 방법으로 도포되고(스텝G1), 건조가 실행된다(스텝H). 이렇게 하여 도 5의 (b)에 나타낸 바와 같이 녹색 안료도포층(21G) 상에 포토레지스트층(25)이 적층된다.
다음에 도 5의 (c)에 나타낸 바와 같이 도시하지 않은 섀도우 마스크를 통해 녹색 안료도포층(20G)이 고압수은등에 의해 소정의 패턴으로 노광된다(스텝C). 또, 본례의 제조방법에 의하면 선례의 제조방법에 비해 노광시간이 1/5정도가 된다.
이어서, 스프레이 상태, 예를 들면 NaOH를 함유한 알카리수용액(PH9)으로 이루어진 현상액을 현상액압 2∼10㎏/㎠로 스프레이하는 것에 의해 현상을 실행하고(스텝D), 건조시킨다(스텝E). 도 5의 (d)에 나타낸 바와 같이 녹색 안료도포층(21G)과 포토레지스트층(25)이 적층된 패턴을 얻을 수 있다. 또, 청색안료층 및 적색안료층이 형성된 위치의 녹색안료는 도 6의 (c)에 나타낸 바와 같이 잔존경화 레지스트층(13)의 표면에서 완전하게는 박리되지 않고, 약간의 두께의 잔존 녹색안료층(22G)이 잔존경화 레지스트층(13) 상에 남는다.
다음에 상기의 녹색안료층의 형성공정과 같은 공정으로 청색안료층(30B) 및 적색안료층(30R)의 형성이 실행된다. 이러한 안료층의 형성공정에 있어서는 모두 Na2CO3가 함유된 알카리 수용액이 현상액으로서 사용된다. 이렇게 하여 도 5의 (e)에 나타낸 바와 같이 패널(10) 내면상에 녹색안료층(31G), 청색안료층(31B) 및 적색안료층(31R)으로 이루어지 필터 패턴을 얻을 수 있다. 도 6의 (d)에 나타낸 바와 같이 청색안료층(30B)(및 적색안료층(30R))은 잔존경화 레지스트층(13)의 표면에 잔류한 녹색안료층(22G)상에 적층되는 것을 알 수 있다.
다음에, 도 5의 (f)에 나타낸 바와 같이 청, 녹, 적색의 각각의 안료층 상의 레지스트층(25)이 박리된 후, 통상의 방법에 의해 형광체층(41G, 41B, 41R)이 형성된다. 또, 이 방법으로 이용된 녹, 청, 적색의 형광체 현탁액은 상기한 예와 같은 것이다. 또, 패널(10) 내면의 홀부 표면에 잔존한 경화 레지스트층(13)은 후공정에 있어서 연소제거된다.
본 발명에 의해 블랙 매트릭스 패턴의 홀부 표면에 잔존하는 경화 레지스트층에 부착한 첫번째 색의 광학 필터층의 안료에 의한 휘도의 저하를 억제할 수 있는 컬러 음극선관의 형광면을 제조할 수 있다.

Claims (3)

  1. 컬러음극선관의 형광면 제조방법에 있어서,
    (a) 패널의 내면에 레지스트를 도포하고, 형광 및 현상하는 것에 의해 광학필터층이 형성된 위치에 레지스트가 잔존하는 블랙 매트릭스의 패턴을 형성하는 공정과,
    (b) 상기 패널의 내면에 녹색안료를 도포하여 녹색 광학필터층의 패턴을 형성하는 공정과,
    (c) 상기 녹색 광학필터층의 패턴을 형성한 후, 청색 또는 적색의 광학필터층의 패턴을 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 컬러 음극선관 형광면 제조방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 (a)공정이 사용된 레지스트가 적어도 아지도계 감광제 또는 실란 커플링재를 포함한 수용성 감광액인 것을 특징으로 하는 컬러 음극선관의 형광면 제조방법.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 각 광학필터층이 각각 도트형상 또는 스트라이프형상의 패턴을 갖는 것을 특징으로 하는 컬러 음극선관의 형광면 제조방법.
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