KR100247273B1

KR100247273B1 - 액정 표시 장치 및 그 제조 방법

Info

Publication number: KR100247273B1
Application number: KR1019980008213A
Authority: KR
Inventors: 차기석; 심정욱
Original assignee: 윤종용; 삼성전자주식회사
Priority date: 1998-03-12
Filing date: 1998-03-12
Publication date: 2000-03-15
Also published as: KR19990074537A

Abstract

투명 절연 기판 위에 세로 방향으로 다수의 데이터선이 형성되어 있고, 데이터선을 중심으로 분리된 다수의 게이트선이 가로 방향으로 형성되어 있으며, 데이터선을 중심으로 분리된 다수의 제1 및 제2 공통 전극선이 서로 평행하게 가로 방향으로 형성되어 있으며, 제1 공통 전극선으로부터 제2 공통 전극선에 이르기까지 데이터선과 평행하게 다수의 공통 전극이 형성되어 제1 및 제2 공통 전극선에 연결되어 있다. 게이트선, 데이터선, 제1 및 제2 공통 전극선과 공통 전극은 절연막으로 덮여 있으며, 절연막 위에는 보조 공통 전극이 데이터선의 가장자리와 중첩되도록 세로 방향으로 형성되어 있어서, 데이터선에 의한 전계의 차폐막 역할을 한다. 이때, 보조 공통 전극은 절연막에 형성되어 있는 접촉구를 통해서 데이터선 양쪽에 인접한 제1 및 제2 공통 전극선과 접촉한다. 또한, 절연막 위에는 데이터선 양쪽에 위치한 게이트선을 접촉구를 통해 연결하는 연결 패턴이 형성되어 있다.

Description

액정 표시 장치 및 그 제조 방법

본 발명은 액정 표시 장치 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 특히 화소 전극 및 공통 전극이 한 기판에 형성되어 있는 구조의 액정 표시 장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다.

액정 표시 장치 중 대표적인 것으로서 비틀린 네마틱(twisted nematic) 방식 액정 표시 장치와 평면 구동 방식 액정 표시 장치를 들 수 있다. 비틀린 네마틱 방식은 서로 마주보고 있는 두 기판 중 하나의 투명 기판에 박막 트랜지스터, 화소 전극, 게이트선 및 데이터선 등이 형성되어 있고, 다른 하나의 투명 기판에 공통 전극이 형성되어 있어 기판에 대해 수직한 전계가 형성되는 액정 표시 장치로서, 구동 전압이 비교적 낮은 장점이 있지만, 시야각이 좁은 단점이 있다. 이와는 달리, 평면 구동 방식에서는 하나의 투명 기판 내에 화소 전극 및 공통 전극이 동시에 형성되어 있어서 기판에 평행한 전기장이 형성되기 때문에 시야각이 넓어진다.

그러면, 첨부한 도면을 참고로 하여 종래의 기술에 따른 평면 구동 액정 표시 장치에 대하여 설명한다.

도 1은 종래의 기술에 따른 평면 구동 방식 액정 표시 장치의 배치도이고, 도 2는 도 1의 II-II' 선, 즉 박막 트랜지스터에 대한 단면도이고, 도 3은 도 1의 III-III' 선에 대한 단면도이다.

도 1에 도시한 바와 같이, 투명한 기판(100) 위에 가로 방향으로 게이트선(200)이 형성되어 있고, 게이트선(200)과 평행하게 제1 및 제2 공통 전극선(301)이 형성되어 있다. 제1 공통 전극선(301)으로부터 수직하게 다수의 공통 전극(310)이 길게 연장되어 제2 공통 전극선(302)에 연결되어 있다. 게이트선(200), 제1 및 제2 공통 전극선(301, 302) 및 공통 전극(310)을 게이트 절연막(400)이 덮고 있으며, 게이트 절연막(400) 위에는 게이트선(200)의 일부, 즉 게이트 전극(201) 위에 비정질 규소층(500)이 형성되어 있다. 또한, 게이트 절연막(400) 위에는 세로 방향으로 데이터선(700)이 형성되어 있으며, 데이터선(700)이 연장된 부분이 비정질 규소층(500)과 일부 중첩되어 소스 전극(710)을 이룬다. 게이트 전극(201)을 중심으로 소스 전극(710)의 반대편에는 드레인 전극(720)이 비정질 규소층(500)과 겹치도록 형성되어 있고, 소스 및 드레인 전극(710, 720)과 비정질 규소층(500)의 사이에는 접촉 특성을 향상시키기 위한 도핑된 비정질 규소층(610, 620)이 형성되어 있다. 드레인 전극(720)이 제1 공통 전극선(301)을 따라 연장되어 화소 전극선(800)을 이루며, 이로부터 화소 전극(810)이 데이터선(700) 및 공통 전극(310)과 평행하게 연장되어 있다. 이때, 화소 전극(810)은 공통 전극(310)의 사이에 빗살 형태로 형성되어 있다.

이처럼, 한 기판(100) 위에 서로 평행한 화소 전극(810)과 공통 전극(310)이 동시에 형성되어 있으므로, 본질적으로 기판(100) 면에 평행한 방향의 전계가 형성된다.

그러면, 종래의 평면 구동 방식 액정 표시 장치에서의 전계 형성 및 액정 분자의 배열에 대해 다음에서 설명한다.

도 4는 종래의 평면 구동 방식 액정 표시 장치에서의 전계 분포 및 액정 분자의 배열을 보여주는 단면도이다.

도 4에 도시한 바와 같이, 투명한 제1 기판(100), 즉 박막 트랜지스터 기판 위에 공통 전극(310)이 게이트 절연막(400)을 매개로 하여 화소 전극(810) 및 데이터선(700)과 나란히 형성되어 있고, 차광막(900)이 형성되어 있는 제2 기판(110), 즉 대향 기판이 제1 기판(100)과 마주보도록 조립되어 있으며, 그 사이에는 액정(LC)이 주입되어 있다. 이때, 차광막(900)은 제1 기판(100)의 화소와 화소 사이, 즉 데이터선(700) 및 데이터선(700)에 인접한 공통 전극(310)의 일부와 마주보도록 정렬된다.

이러한 액정 표시 장치는 공통 전극(310)과 화소 전극(810)의 전위차로 액정(LC)이 동작하는데, 공통 전극(310)에는 직류 전압 혹은 크기가 다른 두 전압이 반복되는 형태의 교류 전압이 공급되며, 화소 전극(810)에는 데이터선(700)을 통해 인가되는 화상 전압이 박막 트랜지스터가 열림과 동시에 인가된다. 박막 트랜지스터가 닫히면, 화소 전극(810)에 인가된 신호가 다시 박막 트랜지스터가 열릴 때까지 유지되며, 데이터선(700)에는 다른 행의 화소 전극에 인가할 다른 화상 신호가 흐르게 된다.

도 4에 도시한 등전위선(P_eq)과 전기력선(E)을 통해 알 수 있듯이, 전기력선(E)은 전극(310, 810) 사이에서 기판(100, 110) 면에 거의 평행하게 형성된다. 그러나, 데이터선(700)과 인접한 공통 전극(310) 및 화소 전극(810)의 사이에서는 액정 분자(LC)의 이상 배열이 나타난다. 이는 주로 화소 전극(810)에 인가되어 유지되고 있는 전압과 데이터선(700)에 인가되는 전압이 다르기 때문인데, 데이터선(700)과 화소 전극(810)의 전위차가 클수록, 간격이 가까울수록 액정 배열의 이상 배열 영역이 커진다. 또한, 데이터선(700)의 신호 변화가 인접한 공통 전극(310)의 신호에도 영향을 주어 전기장의 형태를 변화시키기 때문이기도 하다.

액정 분자(LC)의 이상 배열이 발생한 영역에서는 빛이 누설되는 현상이 발생하는데, 데이터선(700) 및 인접한 공통 전극(310)의 일부를 가리고 있는 대향 기판(110)의 차광막(900)에 의해서 이 부분의 누설광은 일부 차단된다. 그러나, 차광막(900)에 의해 가려지지 않는 A 영역에서는 여전히 액정 분자(LC)의 이상 배열에 의한 광 누설이 발생한다.

이러한 현상은 데이터선(700)을 따라 전 화소에 걸쳐 나타나므로, 노멀리 블랙(normally black) 상태의 화면상에 흰 줄이 생기는 수직 크로스토크(vertical crosstalk)가 발생한다.

본 발명은 이러한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 액정 분자의 이상 배열을 줄여 크로스토크를 감소시키는 것이 그 과제이다.

도 1은 종래의 기술에 따른 평면 구동 방식 액정 표시 장치의 배치도이고,

도 2는 도 1의 II-II' 선, 즉 박막 트랜지스터에 대한 단면도이고,

도 3은 도 1의 III-III' 선에 대한 단면도이고,

도 4는 종래의 평면 구동 액정 표시 장치에서의 전계 분포 및 액정의 배열을 나타낸 단면도이고,

도 5는 본 발명에 따른 평면 구동 방식 액정 표시 장치의 배치도이고,

도 6 내지 도 8은 도 5의 VI-VI', VII-VII', VIII-VIII' 선에 대한 단면도이고,

도 9는 본 발명의 평면 구동 액정 표시 장치에서의 전계 분포 및 액정의 배열을 나타낸 단면도이고,

도 10a 내지 도 10e는 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치의 제조 방법을 VI-VI' 선 및 VIII-VIII' 선에 대하여 공정 순서에 따라 설명한 단면도이다.

이러한 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 액정 표시 장치에서는 절연막을 매개로 데이터선의 가장자리와 중첩하도록 전계 차단막을 형성하여 데이터선으로부터의 전계를 차단한다.

이때, 전계 차단막은 데이터선과 인접한 공통 전극과 일부 중첩도록 할 수 있으며, 공통 전극과 연결되도록 할 수도 있다.

여기에서, 게이트선과 데이터선은 같은 층에 만들 수 있으며, 이때 게이트선은 데이터선을 경계로 다수의 게이트선 조각으로 분리되고 이 게이트선 조각은 게이트선 조각 및 데이터선을 덮는 절연막 위에 형성되어 있는 연결 패턴을 통하여 연결된다. 또한 데이터선과 공통 전극도 동일한 층에 만들 수 있으며, 이 경우 이웃하는 화소의 공통 전극끼리는 데이터선 및 공통 전극 위의 절연막 위에 형성되어 있는 전계 차단막을 통하여 서로 연결될 수 있다.

이때, 게이트선으로부터의 주사 신호에 따라 데이터선으로부터의 화상 신호를 스위칭하여 화소 전극으로 전달하는 스위칭 소자를 포함할 수 있다.

그러면, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 따른 평면 구동 액정 표시 장치에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세하게 설명한다.

도 5는 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 배치도이고, 도 6 내지 도 8은 각각 도 5의 VI-VI', VII-VII', VIII-VIII' 선에 대한 단면도로서, 데이터선 및 게이트, 공통 전극 및 화소 전극이 같은 층에 형성되어 있고, 데이터선 가장자리를 따라 보조 공통 전극을 형성한 구조이다.

도 5 내지 도 8에 도시한 바와 같이, 투명 절연 기판(100) 위에 세로 방향으로 다수의 데이터선(700)이 형성되어 있고, 데이터선(700) 사이에는 가로 방향으로 다수의 게이트선 조각(200, 210, 220)이 데이터선(700)과 분리되어 일직선으로 형성되어 있다.

데이터선(700)의 사이에는 또한 게이트선 조각(200, 210, 220)과 평행하게 다수의 제1 공통 전극선 조각(311)이 데이터선(700)과 분리되어 일직선으로 형성되어 있고, 공통 전극선 조각(311)으로부터 다수의 공통 전극(310)이 데이터선(700)과 평행하게 연장되어 있으며, 연장된 끝 부분은 제1 공통 전극선 조각(311)과 평행하게 형성되어 있는 제2 공통 전극선 조각(312)에 연결되어 있다. 화소 전극(810)이 공통 전극(310) 사이에 데이터선(700) 및 공통 전극(310)과 평행하게 형성되어 있으며, 제1 및 제2 공통 전극선 조각(311, 312)과는 분리되어 있다.

기판(100) 위에는 게이트선 조각(200, 210, 220), 공통 전극선 조각(311, 312) 및 공통 전극(310), 데이터선(700) 및 화소 전극(810)을 덮는 게이트 절연막(400)이 형성되어 있으며, 게이트 절연막(400)에는 게이트선 조각(200, 210, 220)의 양 끝, 데이터선(700)의 일부, 화소 전극(810)의 양 끝 및 제1 및 제2 공통 전극선 조각(311, 312)의 양 끝을 각각 드러내는 접촉구들(C1, C2, C3, C6, C7, C4, C5, C8, C9)이 형성되어 있다. 또한, 게이트 절연막(400) 위에는 게이트선 조각(200)의 일부, 즉 게이트 전극(201)에 해당하는 위치에 비정질 규소층(500)이 형성되어 있다.

또한, 게이트 절연막(400) 위에는 데이터선(700)과 교차하며 이웃하는 게이트선 조각(200, 210)을 접촉구(C1, C2)를 통하여 연결하는 도전 연결 패턴(10, 20)이 형성되어 있다. 이처럼, 일직선으로 배열되어 있는 게이트선 조각(200)이 연결 패턴(10)을 통하여 하나로 연결되어 있어서, 하나의 게이트선이 형성되어 있는 것과 같다.

또한, 게이트 절연막(400) 위에는 연결 패턴(10, 20)과 같은 물질로 소스 전극(710) 및 드레인 전극(720)을 위한 패턴이 형성되어 있다. 소스 전극(710)의 한쪽 끝은 접촉구(C3)를 통해 데이터선(700)과 연결되어 있고, 다른 한쪽 끝은 비정질 규소층(500)의 가장자리와 중첩되며, 드레인 전극(720)은 게이트 전극(201)을 중심으로 소스 전극(710)의 반대편에서 비정질 규소층(500)과 중첩되어 있다. 소스 및 드레인 전극(710, 720)이 비정질 규소층(500)과 접촉하는 부분에는 접촉 특성을 좋게 하기 위한 도핑된 비정질 규소층(610, 620)이 형성되어 있다.

드레인 전극(720)은 연장되어 제1 화소 전극선(811)을 이루는데, 제1 화소 전극선(811)은 제1 공통 전극선 조각(311)과 중첩되어 있으며, 접촉구(C6)를 통해 화소 전극(810)의 한쪽과 연결되어 있다. 제2 공통 전극선 조각(312)을 따라 중첩되도록 제2 화소 전극선(812)이 게이트 절연막(400) 위에 형성되어 있고, 접촉구(C7)를 통해 화소 전극(812)의 다른 한쪽과 연결되어 있다.

게이트 절연막(400) 위에는 또한 보조 공통 전극(320)이 데이터선(700)을 기준으로 두 갈래로 갈라져 형성되어 있으며, 갈라진 각각의 부분은 데이터선(700) 및 데이터선(700)과 인접한 공통 전극(310)의 가장자리와 각각 중첩되는 형태로 형성되어 있다. 또한, 보조 공통 전극(320)은 접촉구(C5, C9)를 통해 제1 및 제2 공통 전극선 조각(311, 312)의 한쪽 끝과 연결되어 있으며, 접촉구(C4, C8)를 통해 이웃한 화소의 공통 전극선 조각과도 연결되어 있어 다른 화소의 공통 전극선 조각들을 연결하는 구실을 한다.

여기에서 게이트 전극(201), 비정질 규소층(500) 및 도핑된 비정질 규소층(610, 620), 소스 및 드레인 전극(710, 720)은 스위칭 소자의 역할을 하는 박막 트랜지스터를 이루며, 게이트선(200, 210, 220, 10, 20)으로부터의 주사 신호에 따라 데이터선(700)으로부터의 화상 신호를 스위칭하여 화소 전극(810)에 전달하는 역할을 한다.

이처럼, 보조 공통 전극(320)은 데이터선(700)의 가장자리를 가려줌으로써, 데이터선(700)과 화소 전극(810)의 전위차에 의한 이상 전계의 형성을 막는 전계 차단막의 역할을 한다. 이러한 구조에서 형성되는 전계를 다음에서 설명한다.

도 9는 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치에서의 전계 분포 및 액정 배열을 나타낸 단면도이다.

앞서 설명한 종래 기술에서와 마찬가지로, 화소 전극(810), 공통 전극(310), 보조 공통 전극(320) 그리고 데이터선(700)이 한 기판(100) 위에 서로 나란히 형성되어 있기 때문에 기판(100, 110) 면에 대해 거의 평행한 전기력선(E)이 형성된다. 단, 보조 공통 전극(320)이 데이터선(700)의 가장자리를 가리고 있으며 데이터선(700)에 인접해 있는 공통 전극(310)과 데이터선(700) 사이에 형성되어 있어서, 데이터선(700)에서의 전압의 변화가 데이터선(700)에 인접한 화소 전극(810) 및 공통 전극(310) 사이의 전계에 미치는 영향을 감소시킬 수 있다. 따라서, 데이터선(700) 근처에서의 액정 분자(LC)의 이상 배열 또한 줄어든다.

이러한 구조 및 효과를 가지는 액정 표시 장치의 제조 방법을 도 5 및 도 10a 내지 도 10e를 참고로 하여 다음에서 설명한다.

기판(100) 위에 제1 도전 물질을 증착하고 패터닝하여 게이트 전극(201) 및 게이트선 조각(200, 210, 220) 등의 게이트 배선과 공통 전극선 조각(311, 312) 및 공통 전극(310), 화소 전극(810) 그리고 데이터선(700) 등의 제1 도전 패턴을 형성한 다음(도 10a 참조), 게이트 절연막(400)을 적층한다(도 10b 참조).

그 후, 게이트선 조각(200, 210, 220), 데이터선(700), 화소 전극(810), 공통 전극선 조각(311, 312) 상부의 게이트 절연막(400)을 식각하여 접촉구(C1, C2, C3, C6, C7, C4, C5, C8, C9)를 형성한다(도 10c 참조).

게이트 전극(201) 상부의 게이트 절연막(400) 위에 활성층으로서의 역할을 할 비정질 규소층(500) 및 도핑된 비정질 규소층(610)을 차례로 적층하여 패터닝하고(도 10d 참조), 제2 도전 물질을 적층하고 패터닝하여 소스 및 드레인 전극(710, 720), 게이트선 조각(200, 210, 220)을 연결하는 연결 패턴(10, 20), 보조 공통 전극(320) 및 화소 전극선(811, 812) 등의 제2 도전 패턴을 형성한 다음, 드러나 있는 도핑된 비정질 규소층(610)을 제2 도전 패턴을 마스크로 하여 제거한다. 이 단계에서, 데이터선(700)을 경계로 분리되어 있는 게이트선 조각(200, 210, 220)은 접촉구(C1, C2)를 통하여 연결 패턴(10, 20)과 접촉함으로써 하나로 이어지며, 소스 전극(710)은 접촉구(C3)를 통해 데이터선(700)에, 화소 전극선(811, 812)은 접촉구(C6, C7)를 통해 화소 전극(810)에, 공통 전극선 조각(310)은 접촉구(C4, C5, C8, C9)를 통해 보조 공통 전극(320, 321, 322)을 매개로 하여 다음 화소의 공통 전극선 조각과 연결된다(도 10e 참조).

이상에서는 게이트 전극(201)이 소스 및 드레인 전극(710, 720)의 아래에 위치하는 버텀(bottom) 게이트 방식을 위주로 설명하였으나, 탑(top) 게이트 방식으로 제조할 수도 있다. 즉, 소스 및 드레인 전극, 보조 공통 전극, 게이트선 영역을 연결하는 연결 패턴, 화소 전극선 등을 형성하고 액티브 패턴인 비정질 실리콘층을 형성한 다음, 절연막을 형성하고 접촉구를 형성한 다음, 게이트 배선 및 화소 전극 및 공통 전극 배선을 형성하는 것도 가능하다.

또한, 본 실시예에서는 전계 차단막이 공통 전극 또는 공통 전극선 조각과 연결되어 있는 것으로 설명하였으나, 데이터선의 전계를 차단할 수 있으면 굳이 공통 전극과 연결될 필요가 없다.

또한, 이러한 구조는 평면 구동 방식 액정 표시 장치 이외에도 화소 전극 및 공통 전극이 한 기판에 형성되는 모든 액정 표시 장치에 적용될 수 있다.

이상에서와 같이, 본 발명에 따른 액정 표시 장치 및 그 제조 방법에서는 전계 차단막으로서의 보조 공통 전극을 데이터선의 일부를 덮도록 형성함으로써, 데이터선 주변에서의 액정 분자의 이상 배열을 막는다. 이에 따라, 표시 장치에서의 크로스 토크 현상이 줄고 화질이 향상된다.

Claims

서로 절연되어 교차하는 게이트선 및 데이터선,

상기 데이터선과 평행하게 형성되어 있는 다수의 공통 전극,

상기 공통 전극의 사이에 형성되어 있는 화소 전극,

절연막을 매개로 적어도 상기 데이터선의 가장자리와 중첩하여 상기 데이터선으로부터의 전계를 차단하는 전계 차단막

을 포함하는 액정 표시 장치.
제1항에서,

상기 전계 차단막은 상기 데이터선과 인접한 상기 공통 전극과 중첩되는 액정 표시 장치.
제2항에서,

상기 전계 차단막은 상기 공통 전극과 연결되어 있는 액정 표시 장치.
제1항에서,

상기 게이트선은, 상기 데이터선과 동일한 층으로 이루어지며 상기 데이터선을 경계로 분리되어 있는 다수의 게이트선 조각, 상기 데이터선과 절연되어 중첩하며 이웃하는 상기 게이트선 조각을 서로 연결하는 연결 수단을 포함하는 액정 표시 장치.
제1항에서,

상기 공통 전극은 상기 데이터선과 동일한 층에 형성되며 상기 전계 차단막은 상기 데이터선의 양쪽의 상기 공통 전극과 모두 연결되어 있는 액정 표시 장치.
제1항에서,

상기 게이트선으로부터의 주사 신호에 따라 상기 데이터선으로부터의 화상 신호를 스위칭하여 상기 화소 전극으로 전달하는 스위칭 소자를 더 포함하는 액정 표시 장치.
투명한 절연 기판,

상기 기판 위에 제1 방향으로 형성되어 있는 데이터선,

상기 데이터선과 평행하게 형성되어 있는 다수의 공통 전극,

상기 데이터선과 평행하게 상기 공통 전극의 사이에 형성되어 있는 다수의 화소 전극,

상기 기판 위에 제2 방향으로 형성되어 있으며 상기 데이터선을 경계로 분리되어 있는 다수의 게이트선 조각,

상기 데이터선과 상기 게이트선 조각과 상기 공통 전극과 상기 화소 전극을 덮고 있는 절연막,

상기 절연막 위에 상기 데이터선과 교차하도록 형성되어 있으며 서로 인접한 상기 게이트선 조각을 연결하는 다수의 연결 패턴,

상기 절연막 위에 상기 제1 방향으로 형성되어 있으며 적어도 상기 데이터선의 가장자리와 중첩하여 상기 데이터선으로부터의 전계를 차단하는 전계 차단막

을 포함하는 액정 표시 장치.
제7항에서,

상기 전계 차단막은 상기 데이터선을 중심으로 두 갈래로 분리되어 있으며, 인접한 상기 공통 전극과 일부 중첩하는 액정 표시 장치.
제8항에서,

상기 절연막은 상기 공통 전극을 드러내는 제1 접촉구를 가지고 있으며, 상기 전계 차단막은 상기 제1 접촉구를 통하여 상기 데이터선 양쪽의 상기 공통 전극과 연결되어 있는 액정 표시 장치.
제7항에서,

상기 게이트선과 연결되어 있는 게이트 전극, 상기 게이트 전극 상부의 상기 게이트 절연막 위에 형성되어 있는 비정질 규소층, 상기 게이트 전극 위의 상기 비정질 규소층의 양쪽과 각각 연결되어 있는 소스 및 드레인 전극을 더 포함하며, 상기 절연막에는 상기 데이터선의 일부를 드러내는 제2 접촉구와 상기 화소 전극을 드러내는 제3 접촉구가 형성되어 있으며 상기 소스 전극은 상기 제2 접촉구를 통해 상기 데이터선과 연결되고 상기 드레인 전극은 상기 제3 접촉구를 통해 상기 화소 전극과 연결되어 있는 액정 표시 장치.
제10항에서,

상기 화소 전극의 수는 둘 이상이며 상기 드레인 전극으로부터 연장되어 상기 화소 전극을 전기적으로 서로 연결하는 화소 전극선을 더 포함하는 액정 표시 장치.
제7항에서,

상기 데이터선을 경계로 분리되어 있으며 상기 공통 전극을 전기적으로 연결하고 있는 공통 전극선 조각을 더 포함하는 액정 표시 장치.
기판 위에 데이터선, 상기 데이터선을 경계로 분리되는 다수의 게이트선 조각, 상기 데이터선을 경계로 분리되는 다수의 공통 전극선 조각, 상기 공통 전극선 조각을 통하여 서로 연결되어 있는 다수의 공통 전극 및 상기 공통 전극 사이에 위치하는 다수의 화소 전극을 형성하는 단계,

절연막을 적층하는 단계,

상기 절연막 위에 상기 데이터선의 가장자리를 가리는 전계 차단막 및 상기 게이트선 조각을 서로 연결하는 연결 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
제13항에서,

상기 절연막을 식각하여 상기 공통 전극선 조각의 일부를 드러내는 제1 접촉구를 형성하는 단계를 더 포함하며, 상기 전계 차단막은 상기 제1 접촉구를 통해 상기 공통 전극선 조각과 접촉하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
제14항에서,

상기 절연막을 식각하여 상기 게이트선 조각을 드러내는 제2 접촉구를 형성하는 단계를 더 포함하며, 인접한 상기 게이트선 조각을 상기 제2 접촉구를 통해 연결하는 다수의 연결 패턴을 형성하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
제15항에서,

상기 게이트선과 연결되는 게이트 전극을 상기 기판 위에 형성하는 단계,

상기 게이트 전극 상부의 상기 게이트 절연막 위에 반도체층을 형성하는 단계,

상기 절연막을 식각하여 상기 데이터선 및 상기 화소 전극의 일부를 각각 드러내는 제3 및 제4 접촉구를 형성하는 단계,

한쪽 끝이 상기 제3 접촉구를 통해 상기 데이터선과 접촉하고 다른 한 쪽 끝은 상기 반도체층과 접촉하는 소스 전극을 형성하는 단계,

상기 게이트 전극을 중심으로 상기 소스 전극의 반대편에서 상기 반도체층과 접촉하여 상기 제4 접촉구를 통하여 상기 화소 전극과 접촉하는 드레인 전극을 형성하는 단계

를 더 포함하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
제13항에서,

상기 절연막을 식각하여 상기 화소 전극의 일부를 드러내는 다수의 접촉구를 형성하며, 상기 접촉구를 통해 상기 다수의 화소 전극을 서로 전기적으로 연결하는 화소 전극선을 형성하는 단계를 더 포함하는 액정 표시 장치의 제조 방법.