KR100242758B1 - 공조장치 - Google Patents

Abstract

풍동내에 송풍기와, 가열기와, 가습기와, 열교환기를 사용한 공기냉각제습기를 내장하여 이루어진 공조장치에 있어서,

상기 공기 냉각 제습기는 상기 풍동의 공기 분출구에서 횡방향으로 치우친 위치에 배치되며, 상기 풍동으로부터의 공기는 공기 냉각 제습기를 따라서 바로 횡 방향으로 회전하며, 상기 풍동은 굴곡부를 가지며, 상기 공기 냉각제습기와 가열기는 각각 굴곡부의 전방 및 후방에 배치된 것을 특징으로 하는 공조장치이다.

Description

공조 장치

[기술분야]

본 발명은 반도체나 유리 기판의 표면을 회전시키면서 액체약품을 도포하는 장치, 즉 스핀코팅장치(이하, 스핀코터라 한다)등에서의 작업부(이하, 이것을 컵(cup)이라 한다)에 초항온항습의 공기를 공급하는 공조장치에 관한 것이다.

이 종류의 종래의 공조장치는, 예컨대, 특개평 2-1113호 공보(레지스트 처리장치)나 특개평 4-139345 호 공보(항온항습공기의 공급방법 및 그 장치)에 나타나 있다. 상기 종래예에서 전자는 흡입공기를 냉각하고 이것의 제습을 행하는 공기냉각제습기와, 제습된 공기를 일정한 온도로 가열하는 가열기와, 가열된 공기를 일정한 습도로 가습하는 가습기로 구성되어 있다. 그리고, 상기 공기 냉각 제습기에는 압축냉동기가 쓰이고 있으며, 압축된 냉매는 핀이 있는 파이프내를 통해서 핀에 접촉하는 공기를 냉각해서 제습하도록 되어 있다.

한편, 상기 종래예의 후자는 흡입공기를 일정한 습도로 가습하는 가습기와 가습된 공기를 냉각해서 제습하는 공기냉각 제습기와, 제습에 의해 습도가 조정된 공기를 일정한 온도로 가열하는 가열기와, 이것들에 공기를 공급하는 송풍기로 되어 있다. 그리고, 이 공조 장치는 공기 냉각제습기와 가습기가 크고 무겁기 때문에, 스핀코터와 별도로 크린룸내에 설치되며, 단열 닥트 등을 거쳐서 초항온항습의 공기를 컵내에 공급하는 방법으로 사용되고 있다.

그런데, 상기 종래예에서 전자는 제습기가 크고, 또한 중량이 무겁기 때문에 공조장치 전체의 크기도 커져야 된다는 문제가 있었다.

또, 그 공조처리능력을 자유로이 조정할 수 없고, 무리하게 조정하려고 하면 풍동단면적을 바꿔야 하는 번거로움이 있었다.

또한, 상기 공조장치의 제습기에는 압축기가 사용되고 있었으므로 진동을 수반하며, 그 진동에 따른 레지스트 등의 코팅에 악영향을 피하기 위한 대책이 필요하다는 문제도 있었다.

한편, 상기 종래예에서 후자는 그 사용에서 단열 닥트에 열적교란이 들어가며, 높은 정밀도의 온도와 습도조정이 곤란하다. 또, 스핀코터가 높은 기능화에 따라서 대형화하는 경향에 있으며, 그때문에 공조장치와 컵을 연결하는 닥트는 길어지므로써 온도와 습도조정의 정밀도 저하가 염려되어 있다.

또한, 크린룸 유지비가 높기 때문에 크린룸내에서의 공조장치가 차지하는 바닥 면적의 축소화 요구가 증대되고 있다.

이것들의 문제점을 해결하기 위해서는 공조장치를 소형화하고, 스핀코터 컵의 바로위에 설치하여 공조장치와 컵사이를 연결하는 단열닥트를 없애는 동시에 공조장치의 설치에 필요한 바닥면적을 없애야 한다.

이 점에 대해서는 상기 종래예에서 전자인 특개평2-1113호 공보에 나타난 「레지스트 처리장치」에 그 아이디어가 나타나 있다.

그러나, 이 경우, 컵 바로 위에서 수직층류를 유입시켜서 제습하는 구조이기 때문에, 이슬맺힌 물방울(결로수)이 웨이퍼 등의 위에 떨어져서 실제로 사용할 수 없게 된다. 또, 공기냉각 제습기에서 제습된 공기는 그 바로 아래 가습기에서 가습된 후, 다시 그 밑에 있는 열교환기에서 가열되는데, 가열기의 바로위에 공기냉각 제습기가 있기 때문에, 가열기로부터의 복사열 등으로 제습효율이 나빠지는 등의 문제가 있었다.

본 발명은 상술된 종래기술의 문제점을 극복하기 위해 이뤄진 것으로서, 이슬맺힌 물방울이 풍동의 공기 분출구로부터 떨어져내리는 일이 없어지며 또, 종래의 압축냉동기를 사용한 것에 비교하여 소형화, 경량화를 꾀할 수 있음과 더불어 진동을 없앨 수 있으며 또, 열효율이 양호한 공조를 실현할 수 있으며, 초정밀공조가 실현될 수 있고, 또한 열교환기의 능력을 용이하게 바꿀 수 있으며, 유지도 용이하게 행할 수 있도록 하는 공조장치를 제공하는데 있다.

[발명의 상세한 설명]

상기의 목적을 달성하기 위한, 본 발명의 한 형태에 의하면 풍동내에 송풍기와, 가열기와, 가습기와 열교환기를 사용한 공기 냉각 제습기를 내장하는 공조장치에서, 상기 공기 냉각 제습기는 상기 풍동의 공기 분출구에서 횡 방향으로 치우친 위치에 배치되며, 상기 풍동으로부터의 공기는 공기 냉각 제습기를 따라서 바로 횡 방향으로 회전하며, 상기 풍동은 굴곡부를 가지며, 상기 공기 냉각 제습기와 가열기는 각각 굴곡부의 전방 및 후방에 배치된 것을 특징으로 하는 공조 장치가 제공된다.

상기 구성에 의하면 공기냉각 제습기가 공기 분출구로부터 횡방향으로 치우친 위치에 배치되어 있으므로, 공기 냉각 제습기에 응축된 물방울이 풍동(5)의 공기 분출구로부터 떨어져 내리지 않는다.

또한 상기 구성에서 풍동에 굴곡부를 두고, 상기 굴곡부의 전후에 상기 공기 냉각 제습기와 상기 가열기를 각각 배치하는 것이 양호하다.

이와 같이 하면 공기 냉각 제습기와 가열기의 대향면은 서로 마주하지 않으므로 가열기로부터 공기 냉각 제습기로의 복사 영향이 적고 제습효과의 저하가 방지된다.

또한, 상기 구성에 덧붙여서 흡열판내에 설치한 통로와 열방출 방출판내에 설치한 통로가 서로 직교하도록 연장되고, 상기 흡열판과, 상기 열방출판 사이에 펠티에(Peltier) 소자를 삽입시켜 서로 적층 배치된 흡열판과 열방출판을 또한 구비하는 것이 양호하다.

이와 같이 하면 유체-유체열교환기의 내부를 흐르는 냉매와 냉각수가 서로 직교하므로서 효율좋게 열교환된다.

또한, 흡열판내에 설치한 통로와, 열방출판내에 설치한 통로가 평행하도록 연장되고 상기 흡열판과 상기 열방출판 사이에 펠티에 소자를 삽입시키도록 서로 적층 흡열판과 열방출판을 또한 구비하는 것이 양호하다.

[도면의 간단한 설명]

제 1 도는 본 발명에 의한 공조장치의 제 1 실시예를 도시한 전체 구성도.

제 2 도는 상기 제 1 실시예에 사용하는 공기냉각제습기에 접속하는 유체-유체 열교환기의 일예를 개략적으로 도시한 구성 설명도.

제 3 도는 상기 실시예에 사용되는 유체-유체 열교환기를 도시한 평면도.

제 4 도는 상기 유체-유체 열교환기를 도시한 정면도.

제 5 도는 제 3 도의 VI-VI 선에 따른 단면도.

제 6 도는 제 3 도의 VI-VI 선에 따른 단면도.

제7도는 펠티에 소자의 특성을 도시한 선도.

제8도는 상기 실시예에 사용되는 유체-유체 열교환기의 또다른 예를 개략적으로 도시한 구성 설명도.

제9도는 본 발명에 의한 공조장치의 또다른 실시예를 도시한 전체구성도.

[실시예]

본 발명은 이하의 상세한 설명 및 실시예를 도시하는 첨부 도면에 의해서 좀더 자세히 이해될 것이다. 또한, 첨부도면에 도시하는 실시예는 발명을 특정하는 것을 의도하는 것은 아니고 다만 설명 및 이해를 용이하게 하는 것이다.

이하, 본 발명의 양호한 실시예에 의한 공조장치를 첨부도면을 참조하면서 설명한다.

도 1 은 이 발명에 관한 공조장치의 제 1 실시예의 개략적인 구성을 도시하고 있다. 도면중, 부호 1은 공기냉각 제습기이고, 부호 2는 가열기이고, 부호 3은 가습기이고, 부호 4는 송풍기이며, 이것들은 굴곡된 풍동(5)내에 직렬상으로 배치되어 있다. 그리고 송풍기(4)로 흡입된 공기가 냉각 제습기(1)를 통하는 동안에 냉각 제습되고, 이어서 가열기(2)에서 가열되고, 가습기(3)에서 가습되고, 원하는 온도와 습도로 되며 또한, 송풍기(4)의 하류측에 배치된 ULPA 필터 등의 필터(4a)를 통해서 먼지제거, 정류화되어서 스핀코터등의 작업부(컵등)에 공급되며, 그 작업부와 공조를 행하도록 되어 있다.

상기 공지 냉각 제습기(1)와 가열기(2)는 풍동(5)의 굴곡부(5b)의 양측에 배치되어 있고 이것들의 대향면은 서로 마주보지 않게 되어 있고 각각을 통과하는 공기의 유통방향이 각도를 이루도록 되어 있다.

또, 상기 공기냉각 제습기(1)는 이것에 응축된 물방울이 풍동(5)의 공기분출구(5a)에 떨어져 내리지 않도록 공기 분출구(5a)에서 횡방향으로 치우친 위치에 배치되어 있다.

또한, ±0.01℃의 초고정밀도 공조를 실현하기 위해서, 또 공조공기량을 자유로 바꾸기 위해서, 송풍기(4)는 회전수 서보기구를 구비한 것을 사용하여 처리하는 공기량을 일정하게 유지시키고 있다.

상기 공기 냉각 제습기(1)는 도 2 에 도시된 바와 같이 내부에 냉매(냉각매체)가 흐르는 공기-유체 열교환기(6)를 풍동(5)내에 배치하는 것에 의해 구성되고 있으며, 상기 풍동(5)을 통하는 공기가 공기-유체 열교환기(6)의 외부표면에 접촉하는 것에 의해 냉각되도록 되어 있다. 그리고 상기 공기-유체 열교환기(6)의 냉매 유입구(6a)는 바람의 흐름에 대해서 하류측에, 냉매 유출구(6b)는 상류측에 각각 설치되고 있으며, 공기-유체 열교환기(6)내에 있어서의 냉매의 흐름 방향은 상기 공기-유체 열교환기(6)를 흐르는 바람의 하류측에서 상류측으로 향해서 흐르게 되어 있다. 상기 냉매 유입 및 유출구(6a, 6b)는 펌프(8)를 갖는 냉각 회로(7)를 거쳐서 유체-유체 열교환기(9)에 접속되어 있다.

유체-유체열교환기(9)는 도 2 에 도시된 바와같이 냉매가 통하는 흡열통로(10)와 냉각수가 통하는 열방출 통로(11)를 펠티에소자(12)를 거쳐서 적층한 구성으로 되어 있다. 그리고 이 유체-유체 열교환기(9)내에 있어서 냉매와 냉각수의 흐름 방향이 도 2 에 도시된 바와같이 대향되든가, 또는 후술하는 구체적인 구성예와 같이, 교차되어 흡열통로(10)와 열방출통로(11)가 배치되어 있다.

도 3 내지 도 6은 상기 유체-유체 열교환기(9)의 구체적인 구성을 도시한다. 또한, 이 구성에는 냉매와 냉각수가 서로 교차하는 방향으로 흐르도록 흡열통로(10)와 열방출 통로(11)가 각각 펠티에 소자(12)를 거쳐서 서로 번갈아서 적층된 구성으로 되어 있다.

도 3 은 상기 유체-유체 열교환기(9)의 평면형상을, 또는 도 4 는 정면형상을 도시하고 있다. 도 5는 도 3의 V-V선을 따르는 단면 형상을 도시하며, 이것에 의해 상기 흡열 통로(10)의 부분을 도시하고 있다. 또 도 6은 도 3의 VI-VI선을 따르는 단면형상을 도시하며, 이것에 의해 상기 열방출 통로(11)의 부분을 도시하고 있다.

도 5에 도시하는 흡열통로(10)는 상하 양단에 위치하는 입구용 및 출구용 흡열판(13a, 13b)과 이것들 사이에 적층되어 위치하는 복수개의 중간용 흡열판(13c)을 가지며, 각 흡열판(13a,13b,13c)에 통로(14)를 적측 방향과 직교하는 방향에 설치하므로서 구성되어 있다. 그리고 각 흡열판(13a,13b,13c)의 통로(14)는 각각의 양측부가 조인트 부재(15a,15b)로 다른 흡열판의 통로(14)와 접속하고 있으며, 상하 양단에 위치하는 출구용 및 입구용 흡열판(13a,13b)에는 각각의 통로(14)의 일측부에 연통한 입구, 출구 이음쇠(16a, 16b)가 각각 접속되어 있다.

상기 조인트부재(15a,15b)중 냉매의 유입방향의 상류측에 위치하는 조인트부재(15a)는 이것의 중간부가 간막이판(15c)에 의해 폐쇄되어 있으며, 하류측에 위치하는 조인트 부재(15b)는 중간부가 개방되어 있고, 입구 이음쇠(16a)에서 유입된 냉매는 흡열판(13a,13b,13c)내의 통로(14)를 전체로서 지그재그형으로 흘러서 출구 이음쇠(16b)로 인도되게 되어 있다.

한편, 도 6에 도시하는 열방출 통로(11)는 양단에 위치하는 입구용 및 출구용 열방출판(17a,17b)과 이것들 사이에 적층되어 위치하는 복수개의 중간용 열방출판(17c)으로 구성되어 있다. 그리고 각 열방출판(17a,17b,17c)에는 통로(18)가 적층 방향과 직교하는 방향에 설치되어 있다. 그리고 각 열방출판(17a,17b,17c)의 통로(18)는 상기 흡열 통로(10)의 각 흡열판(13a,13b,13c)의 통로(14)와 마찬가지로 중간부에 간막이판(15c)을 갖는 조인트부재(15a)와 중간부가 개방된 조인트 부재(15b)에 의해 다른 통로(18)와 접속되어 있으며, 냉각수는 열방출판(17a,17b,17c)내의 통로(18)를 전체로서 지그재그 모양으로 흐르게 되어 있다. 또한, 상하 양단부에서 조인트부재(15)에 의해 중간 열방출판(17c)과 접속되어 있고 그 상하 양단에 위치하는 출구용 및 입구용 열방출판(17a,17b)에는 각각의 통로(18)의 일단부에 연통한 출입구 이음쇠(19a,19b)가 각각 접속되어 있다.

도 5 및 도 6에 도시된 바와같이 상기 흡열통로(10)를 구성하는 각 흡열판(13a,13b,13c)과 열방출통로(11)를 구성하는 각 열방출판(17a,17b,17c)은 그것들 사이에 펠티에 소자(12)를 삽입시켜서 적층되며 볼트로 결합되어 있다. 그리고 흡열통로(10)의 양 출입구용 흡열판(13a,13b)의 출입구 이음쇠(16a,16b)에는 도 2에 도시하는 냉각회로(7)가 접속되어 있다. 또,열방출통로(11)의 양 출입구용 열방출판(17a,17b)의 출입구 이음쇠(19a,19b)에는 도 2로 도시된 냉각수 회로(20)가 접속되어 있다. 또한, 상기 냉각회로(7)를 흐르는 매체에는 부동액이 사용된다.

상기 각 펠티에 소자(12)는 제어장치(21)가 접속되고 있으며, 상기 제어장치(21)를 거쳐서 통전하므로서 각 흡열판(13a,13b,13c)의 측면에서 흡열하여 열방출판(17a,17b,17c)측면으로 열방출하도록 되어 있다.

상기 구성의 유체-유체교환기에서 공기 냉각 제습기(1)내의 열교환기(6)를 지나는 동안에 흡열되서 온도상승된 냉매는 유체-유체 열교환기(9)의 흡열통로(10)를 순환하는 동안에 흡열통로(10)를 구성하는 각 흡열판(13a,13b,12c)내에서 이것에 접촉하고 있는 펠티에 소자(12)의 흡열작용에 의해서 냉각된다.

한편, 상기 유체-유체 열교환기(9)의 열방출 통로(11)에는 냉각수가 순환되어 있고, 상기 열방출 통로(11)를 구성하는 각 열방출판(17a,17b,17c)을 거쳐서 상기 펠티에 소자(12)의 열방출 작용에 의해서 열방출 한다.

또한 도 1에 도시하는 공조장치의 출구측에는 출구 공기의 온도 및 습도를 검출하는 온도 및 습도 센서(22)가 설치되고 있으며, 상기 온도 및 습도센서(22)의 검출값에 의해서 상기 제어장치(21)가 상기 유체-유체열교환기(9)와 가열기(2)와, 가습기(3)를 제어하게 되어 있다.

또, 상기 유체-유체열교환기(9) 양통로(10,11)를 구성하는 중간용의 흡열판(13c) 및 열방출판(17c)도 동일형상으로 공통부품으로 구성되어 있다. 그리고, 이 중간용의 흡열판(13c) 및 열방출판(17c)은 같은 갯수로 증감할 수 있고, 이것에 의해서 유체-유체열교환기(9)의 열교환능력이 조정된다.

상기 구성에 있어서 송풍기(4)로 송풍되는 공기는 공기냉각제습기(1)로 일정한 절대습도가지 제습되며, 가열기(2)로 가열되며, 가습기(3)로 가습되어, 원하는 온도 및 습도로 공조된다. 이때, 공기 냉각 제습기(1)에 이슬 맺힌 물방울은 풍동(5)의 공기 분출구(5a)로부터 치우친 부분에 떨어져 내리므로 공기 분출구(5a)로부터 물방울이 떨어져 내리는 일이 없다.

그리고 공조된 공기의 온도 및 습도가 공기 분출구(5a)부근에 설치된 온도 및 습도 센서(22)로 검출되며, 이 검출값에 상기 원하는 온도 및 습도 사이에 편차가 있는 경우에는 제어장치(21)로 가열기(2) 또는 가습기(3)의 조작량을 증감하고, 온도 및 습도의 제어가 행해진다.

또, 풍동(5)의 굴곡부(56) 입구측에도 온도 및 습도 센서를 두고 입구공기의 온도 및 습도로 계산되는 이슬맺힘 온도 및 절대온도를 비교하고 가장 효율적인 제습제어를 자동적으로 행하도록 하여도 좋다.

그리고, 이같이 최적으로 제습된 공기는 가열기(2)로 인도되어 일정한 온도까지 가열되며 다시 가습기(3)로 원하는 습도까지 가습된다. 그리고 이 공기는 송풍기(4)로 송출되는데, 풍동(5)의 공기 분출구(5a)측이 도 1 에 도시된 바와같이 깔대기 모양으로 되어 있는 경우에는, 이 부분이 팽창된다.

송출되는 공기는 공기 분출구(5a)측에 설치한 온도 및 습도 센서(22)로 검출되며 그 검출치에 의해 가열기(2), 가습기(3)를 제어하는 것에 의해 각각 ±0.01℃, ±0.1%RH의 오차로 온도 및 습도가 제어된다.

상기 작용에 있어서 공기 냉각 제습기(1)와 가열기(2)의 대향면이 마주보고 있지 않은 것에 의해서 공기 냉각 제습기(1)로의 가열기(2)로부터의 복사열에 의한 영향을 줄일 수 있다.

또, 상기 공기 냉각 제습기(1)를 흐르는 냉매의 흐름 방향이 공기 냉각 제습기(1)를 지나는 공기의 흐름과 대향하는 방향으로 되어 있는 것에 의해 냉매의 온도상승을 크게 취할 수 있음과 더불어 냉매-공기의 열교환 효율도 좋아진다.

공기 냉각 제습기(1)에서 흡열해서 온도 상승된 냉매의 열은 상술된 바와같이 유체-유체 열교환기(9)를 지나는 동안에 펠티에 소자(12)의 흡열 작용에 의해 냉각수측으로 배출되지만, 이때 유체-유체 열교환기(9)에서 냉매와 냉각수 각각의 흐름 방향이 대향하거나, 상기 실시예에 도시된 바와 같이 교차하는 것에 의해 팰티에 소자(12)의 동작점은 고효율로 설정되며, 냉매에서 냉각수로의 열 이동이 효율좋게 행해진다.

이때의 펠티에 소자(12)의 높은 효율 동작은 도 7에 의해서 설명된다.

도 7의 선도는 가로축에 펠티에 소자의 흡열면과 방열면의 온도차(ΔT), 즉 냉매와 냉각수의 온도차를 나타내며 세로측은 펠티에 소자의 흡열량(Qc)을 나타낸다. 이 선도로 보아 온도차(ΔT)가 클수록 흡열상(Qc)은 적다는 것을 알 수 있다. 냉매의 온도와 냉각수의 온도가 정해져 있으면 ΔT는 일정이라고 생각하기 쉬운데 그렇지는 않다. 흡열판(10)을 거쳐서 펠티에 소자(12)로 냉각된 예컨대 0℃ 냉매는 공기 냉각 제습기(1)를 통과할 때 흡입공기로부터 흡열해서 예컨대 10℃로 온도가 올라가며 펌프(8)를 거쳐서 다시 흡열판(10)으로 되돌아가는 경우, 흡열판(10)의 흡열면의 산술 평균 온도는 15℃로 되며 냉각수의 온도가 예컨대 20℃이면 온도차(ΔT)는 15℃로 된다. 이같이 냉매의 공기 냉각 제습기(1)로의 흘리는 방법으로 온도 상승의 정도가 바뀌기 때문에 펠티에 소자(12)의 온도차(ΔT)도 바꿀 수 있다. 실제로는 냉각수의 온도도 상승하기 때문에 온도차(ΔT)는 대수 평균 온도차로 계산해야 하는데 평균 온도차(ΔT)가 바귀는 점은 같다. 즉 공기 냉각 제습기(1)에서는 공기와 냉매가 반대방향으로 흐르도록 해서 열교환율을 높이고 냉매의 유량을 줄이고 있는데, 유체-유체열교환기(9)에 있어서도 냉각수와 냉매도 반대방향의 흐름으로서 펠티에 소자의 흡열면과 방열면의 온도차(ΔT)(평균온도차)를 작게 할 수 있다.

도 8은 유체-유체열교환기의 다른 예를 도시하고 있다 이것은 1쌍의 열방출판(17a,17b)사이에 각각 펠티에 소자(12)를 거쳐서 흡열판(13c)을 적층해서 이루는 열교환 유닛(23)을 복수 사용하고 있다. 그리고 펌프(8)로 공급되는 냉매는 복수의 열교환 유닛(23)의 흡열판(13c)에 차례로 흐르며 또, 냉각수는 각 열교환 유닛(23)의 양 열방출판(17a,17b)에는 평행하여 흐르고, 또한 복수의 열교환 유닛(23)의 열방출판(17a,17b)에 차례로 흐르게 되어 있다.

도 9 는 본 발명에 의한 공조장치의 다른 실시예의 전체의 구성을 도시하고 있으며, 이것은 풍동(5)의 흡입구(5c)를 하측으로 향한 구성으로 되어 있다.

[산업상 이용가능성]

상술된 바와같이 본 발명에 의하면, 공조장치내에서 발생하는 이슬맺힌 물방울이 풍동(5)의 공기 분출구(5a)로부터 떨어져 내리는 일이 없다. 또 공기 냉각 제습기(1)에서 흡수한 열을 열방출하기 위한 열교환기를 종래의 압축냉동기를 사용한 것과 비교해서 소형의 그리고 경량으로 할 수 있음과 더불어 진동도 없앨 수 있다. 또, 펠티에 소자를 사용한 열교환기 중에서도 가장 고효율인 것으로 되며, 이것에 의해서 공조장치 전체의 소형화 및 경량화를 도모할 수 있다. 또, 공조시에 배출되는 이슬맺힌 물방을 공조공기와 완전히 분리할 수 있다는 것에서 스핀코팅장치등의 작업부 바로 위에 공조장치를 설치할 수 있기 때문에 초정밀공조가 실현되며 또, 높은 가격의 크린룸의 바닥면을 공조장치에 의해 점유하는 일도 없다.

또한, 흡열판과 열방출판 및 펠티에 소자(12)의 수를 증감하는 것에 의해서 이 열교환기의 능력을 용이하게 바꿀 수 있으며, 이것에 의해서 공기 냉각제습기(1)에서의 공기 처리 능력을 이것의 풍동 단면적을 변경하지 않고 용이하게 조정할 수 있다. 또, 공기-유체 열교환기(6)와 유체-유체 열교환기(9)를 분리하고 있기 때문에 공조장치의 유지가 용이해진다.

또한, 본 발명은 예시적인 실시예에 대해서 설명했는데 개시한 실시예에 관해서 이 발명의 요지 및 범위를 일탈하지 않고 여러가지의 변경, 생략, 추가가 가능하다는 것은 당업자에 있어서 자명하다. 따라서 본 발명은 상기 실시예에 한정되는 것은 아니고 청구범위에 기재된 요소에 의해서 규정되는 범위 및 그 균등범위를 포함하는 것으로서 이해되어야 한다.

Claims (3)

1. 풍동내에 송풍기와, 가열기와, 가습기와, 열교환기를 사용한 공기 냉각제습기를 내장하여 이루어진 공조장치에 있어서,

   상기 공기 냉각 제습기는 상기 풍동의 공기 분출구에서 횡방향으로 치우친 위치에 배치되며, 상기 풍동으로부터의 공기는 공기 냉각 제습기를 따라서 바로 횡 방향으로 회전하며, 상기 풍동은 굴곡부를 가지며, 상기 공기 냉각제습기와 가열기는 각각 굴곡부의 전방 및 후방에 배치된 것을 특징으로 하는 공조장치.
2. 제 1 항에 있어서, 흡열판내에 설치한 통로와 열방출판내에 설치한 통로가 서로 직교하도록 연장되고, 상기 흡열판과 상기 열방출판 사이에 펠티에(Peltier) 소자를 삽입시켜 서로 적층 배치된 흡열판과 열방출판을 또한 구비하는 것을 특징으로 하는 공조 장치.
3. 제 1 항에 있어서, 흡열판내에 둔 통로와 열방출판내에 설치한 통로가 서로 평행 연장되고, 상기 흡열판과 상기 열방출판 사이에 펠티에 소자를 삽입시켜 서로 적층 배치된 흡열판과 열방출판을 또한 구비하는 것을 특징으로 하는 공조장치.