JPH0755177A - 空調装置 - Google Patents
空調装置Info
- Publication number
- JPH0755177A JPH0755177A JP5200752A JP20075293A JPH0755177A JP H0755177 A JPH0755177 A JP H0755177A JP 5200752 A JP5200752 A JP 5200752A JP 20075293 A JP20075293 A JP 20075293A JP H0755177 A JPH0755177 A JP H0755177A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- water
- cooling
- air
- humidifier
- wind tunnel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Air-Conditioning Room Units, And Self-Contained Units In General (AREA)
- Devices For Blowing Cold Air, Devices For Blowing Warm Air, And Means For Preventing Water Condensation In Air Conditioning Units (AREA)
- Air Humidification (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 空調装置の各構成部分から水滴が落下したと
してもこれが空調空気の出口側に混入排出されることが
なく、結露水の影響を皆無にすることができるようにす
る。 【構成】 冷却除湿機５、加熱器６、加湿機７を、送風
機８を有して略水平方向に設けた風胴９内に順次配置す
ると共に、この風胴９の出口側を被空調部へ向けて開口
した出口管１１に接続し、上記冷却除湿機５と加湿器７
の下側に防水トレイ１７，１８を設置すると共に、上記
各部分の下方に、これらからの漏水を受ける防水トレイ
１９とした。
してもこれが空調空気の出口側に混入排出されることが
なく、結露水の影響を皆無にすることができるようにす
る。 【構成】 冷却除湿機５、加熱器６、加湿機７を、送風
機８を有して略水平方向に設けた風胴９内に順次配置す
ると共に、この風胴９の出口側を被空調部へ向けて開口
した出口管１１に接続し、上記冷却除湿機５と加湿器７
の下側に防水トレイ１７，１８を設置すると共に、上記
各部分の下方に、これらからの漏水を受ける防水トレイ
１９とした。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体の表面に、これ
を回転させながらレジストを塗布したり、光ディスク基
板上にコーティング材を塗布したりする、いわゆるスピ
ンコーティング装置等において、これの作業部に超恒温
恒湿の空気を供給する空調装置に関するものである。
を回転させながらレジストを塗布したり、光ディスク基
板上にコーティング材を塗布したりする、いわゆるスピ
ンコーティング装置等において、これの作業部に超恒温
恒湿の空気を供給する空調装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】この種の空調装置は、例えば、特開平２
−１１１３号公報に示されているようになっていて、吸
入空気を冷却してこれの除湿を行なう冷却除湿機と、こ
の冷却除湿機にて除湿された空気を所定の温度に加温す
る加熱機と、さらにこの空気を所定の温度に加温する加
湿機と、これらの空気を送給する送風機とからなってい
る。
−１１１３号公報に示されているようになっていて、吸
入空気を冷却してこれの除湿を行なう冷却除湿機と、こ
の冷却除湿機にて除湿された空気を所定の温度に加温す
る加熱機と、さらにこの空気を所定の温度に加温する加
湿機と、これらの空気を送給する送風機とからなってい
る。
【０００３】そしてこの従来の空調装置にあっては、送
風機と冷却用熱交換機からなる冷却除湿機と温度調節用
熱交換からなる加熱機と加湿機が筒状のハウジング内
に、上下方向に順次配列して内装されており、垂直層流
の温湿度を制御した垂直層流を、これの下方に位置する
上記スピンコーティング装置等の被空調部へ供給するよ
うになっている。
風機と冷却用熱交換機からなる冷却除湿機と温度調節用
熱交換からなる加熱機と加湿機が筒状のハウジング内
に、上下方向に順次配列して内装されており、垂直層流
の温湿度を制御した垂直層流を、これの下方に位置する
上記スピンコーティング装置等の被空調部へ供給するよ
うになっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の空調装置で
は、冷却除湿機にて除湿された水は下方へ落下せざるを
得ず、この水が加熱機やハウジング内に設けた温湿度セ
ンサに付着すると、温湿度の制御精度が低下し、またハ
ウジングの出口に設けたフィルタに上記水が付着する
と、これの目詰りによって供給風量が低下するという問
題がある。
は、冷却除湿機にて除湿された水は下方へ落下せざるを
得ず、この水が加熱機やハウジング内に設けた温湿度セ
ンサに付着すると、温湿度の制御精度が低下し、またハ
ウジングの出口に設けたフィルタに上記水が付着する
と、これの目詰りによって供給風量が低下するという問
題がある。
【０００５】本発明は上記のことにかんがみなれされた
もので、冷却除湿機等空調装置の各構成部分から水滴が
落下したとしても、これが空調空気の出口側に混入排出
されることがなく、結露水の影響が皆無で、高精度な温
湿度制御を可能にした空調装置を提供することを目的と
するものである。
もので、冷却除湿機等空調装置の各構成部分から水滴が
落下したとしても、これが空調空気の出口側に混入排出
されることがなく、結露水の影響が皆無で、高精度な温
湿度制御を可能にした空調装置を提供することを目的と
するものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係る空調装置は、冷却除湿機５、加熱器
６、加湿機７を、送風機８を有して略水平方向に設けた
風胴９内に順次配置すると共に、この風胴９の出口側を
被空調部へ向けて開口した出口管１１に接続し、上記冷
却除湿機５と加湿器７の下側に防水トレイ１７，１８を
設置すると共に、上記各部分の下方に、これらからの漏
水を受ける他の防水トレイ１９を設けた構成となってい
る。
に、本発明に係る空調装置は、冷却除湿機５、加熱器
６、加湿機７を、送風機８を有して略水平方向に設けた
風胴９内に順次配置すると共に、この風胴９の出口側を
被空調部へ向けて開口した出口管１１に接続し、上記冷
却除湿機５と加湿器７の下側に防水トレイ１７，１８を
設置すると共に、上記各部分の下方に、これらからの漏
水を受ける他の防水トレイ１９を設けた構成となってい
る。
【０００７】
【作 用】空調空気は略水平に設けた風胴９内を通る
間に、この風胴９内に配置した冷却除湿機５にて冷却除
湿され、加熱機６にて加熱され、加湿機７にて加湿され
て所定の温湿度となって出口管１１より被空調部分へ送
風される。このとき、冷却除湿機５及び加湿機７に結露
した水滴は、それぞれの下側に設けた防水トレイ１７，
１８にて受けられ、さらにこれらの下方へ落下した水滴
はこれらの下方に設けた他の防水トレイ１９にて受けら
れる。
間に、この風胴９内に配置した冷却除湿機５にて冷却除
湿され、加熱機６にて加熱され、加湿機７にて加湿され
て所定の温湿度となって出口管１１より被空調部分へ送
風される。このとき、冷却除湿機５及び加湿機７に結露
した水滴は、それぞれの下側に設けた防水トレイ１７，
１８にて受けられ、さらにこれらの下方へ落下した水滴
はこれらの下方に設けた他の防水トレイ１９にて受けら
れる。
【０００８】
【実 施 例】本発明の実施例を図面に基づいて説明す
る。図中１はフィルタ１ａを介して空気を取入れるよう
にしたクリーンルーム、２はこのクリーンルーム１の床
に設置されたスピンコーティング装置であり、このスピ
ンコーティング装置２の上部に本発明に係る空調装置３
がビルトイン状に搭載されている。
る。図中１はフィルタ１ａを介して空気を取入れるよう
にしたクリーンルーム、２はこのクリーンルーム１の床
に設置されたスピンコーティング装置であり、このスピ
ンコーティング装置２の上部に本発明に係る空調装置３
がビルトイン状に搭載されている。
【０００９】空調装置３は図２に示すようになってい
て、ハウジング４内に、冷却除湿機５と加熱機６と加湿
機７と遠心ファン型の送風機８とが略水平に設けた風胴
９内に直列状に配置されている。そして冷却除湿機５は
プレフィルタ１０を設けた風胴９の入口側に対向し、送
風機８の出口側は下方へテーパ状に拡開形成した出口管
１１に接続してある。この出口管１１は高性能フィルタ
１２を介してハウジング４の下面に開口されており、こ
の開口部がスピンコーティング装置２の被空調部分に対
向されている。
て、ハウジング４内に、冷却除湿機５と加熱機６と加湿
機７と遠心ファン型の送風機８とが略水平に設けた風胴
９内に直列状に配置されている。そして冷却除湿機５は
プレフィルタ１０を設けた風胴９の入口側に対向し、送
風機８の出口側は下方へテーパ状に拡開形成した出口管
１１に接続してある。この出口管１１は高性能フィルタ
１２を介してハウジング４の下面に開口されており、こ
の開口部がスピンコーティング装置２の被空調部分に対
向されている。
【００１０】冷却除湿機５には冷却水発生機１３がポン
プ１４を介して接続してある。この冷却水発生機１３及
び上記加熱機６、加湿機７、送風機８は電源コントロー
ラ１５にて接続されており、この電源コントローラ１５
は上記出口管１１に設けた温湿度センサ１６の検出値に
基づいて制御されるようになっている。
プ１４を介して接続してある。この冷却水発生機１３及
び上記加熱機６、加湿機７、送風機８は電源コントロー
ラ１５にて接続されており、この電源コントローラ１５
は上記出口管１１に設けた温湿度センサ１６の検出値に
基づいて制御されるようになっている。
【００１１】上記冷却除湿機５と加熱機６の下側は防水
トレイ１７，１８が設けてある。またハウジング４の下
部は出口管１１を除く部分全体が液密に閉じられてお
り、この部分で他の防水トレイ１９が構成されており、
この防水トレイ１９に上記冷水発生機１３が設置してあ
り、また排水口２０が設けてある。
トレイ１７，１８が設けてある。またハウジング４の下
部は出口管１１を除く部分全体が液密に閉じられてお
り、この部分で他の防水トレイ１９が構成されており、
この防水トレイ１９に上記冷水発生機１３が設置してあ
り、また排水口２０が設けてある。
【００１２】上記構成において、送風機８の駆動によ
り、クリーンルーム１内の空気が風胴９の入口からプレ
フィルタ１０を通って吸引され、この間に、この空気は
冷却除湿機５にて冷却除湿され、ついで加熱機６にて加
熱され、加湿機７にて加湿されて出口管１１より高性能
フィルタ１２を通ってスピンコーティング装置２側へ、
所定の温湿度となって供給される。このときの供給空気
の温湿度は温湿度センサ１６にて検出され、この検出値
に基づいて電源コントローラ１５が制御される。
り、クリーンルーム１内の空気が風胴９の入口からプレ
フィルタ１０を通って吸引され、この間に、この空気は
冷却除湿機５にて冷却除湿され、ついで加熱機６にて加
熱され、加湿機７にて加湿されて出口管１１より高性能
フィルタ１２を通ってスピンコーティング装置２側へ、
所定の温湿度となって供給される。このときの供給空気
の温湿度は温湿度センサ１６にて検出され、この検出値
に基づいて電源コントローラ１５が制御される。
【００１３】上記作用において、冷却除湿機５では、こ
こを通る空気中の水分は結露してフィン等の吸熱部材を
伝わって落下し、これの下側に設けた防水トレイ１７を
通ってハウジング４の外側へ排出される。また加湿機７
はここに供給された水をヒータにて蒸発して、この上記
を空気中に混入するものであり、ここに供給された水が
漏れた場合には、これの下側に設けた防水トレイ１８に
て設けられ、ハウジング４の外側へ排出される。
こを通る空気中の水分は結露してフィン等の吸熱部材を
伝わって落下し、これの下側に設けた防水トレイ１７を
通ってハウジング４の外側へ排出される。また加湿機７
はここに供給された水をヒータにて蒸発して、この上記
を空気中に混入するものであり、ここに供給された水が
漏れた場合には、これの下側に設けた防水トレイ１８に
て設けられ、ハウジング４の外側へ排出される。
【００１４】そしてさらに、上記冷却除湿機５及び加湿
機７の防水トレイ１７，１８や、これらに至る配管から
水が漏れた場合にはハウジング４の下部に構成された他
の防水トレイ１９にて受けて排水口２０より外部へ排出
される。
機７の防水トレイ１７，１８や、これらに至る配管から
水が漏れた場合にはハウジング４の下部に構成された他
の防水トレイ１９にて受けて排水口２０より外部へ排出
される。
【００１５】
【発明の効果】本発明によれば、冷却除湿機等空調装置
の各構成部分から水滴が落下したとしても、これが空調
空気の出口側に混入排出されることがなく、結露水の影
響が皆無で、高精度な温湿度制御が可能となる。
の各構成部分から水滴が落下したとしても、これが空調
空気の出口側に混入排出されることがなく、結露水の影
響が皆無で、高精度な温湿度制御が可能となる。
【図１】本発明に係る空調装置の使用例に示す概略的な
説明図である。
説明図である。
【図２】本発明に係る空調装置の一例に示す概略的な構
成説明図である。
成説明図である。
１…クリーンルーム、２…スピンコーティング装置、３
…空調装置、４…ハウジング、５…冷却除湿機、６…加
熱機、７…加湿機、８…送風機、１０…プレフィルタ、
１１…出口管、１２…高性能フィルタ、１３…冷却水発
生機、１４…ポンプ、１５…電源コントローラ、１６…
温湿度センサ、１７，１８，１９…防水トレイ、２０…
排水口。
…空調装置、４…ハウジング、５…冷却除湿機、６…加
熱機、７…加湿機、８…送風機、１０…プレフィルタ、
１１…出口管、１２…高性能フィルタ、１３…冷却水発
生機、１４…ポンプ、１５…電源コントローラ、１６…
温湿度センサ、１７，１８，１９…防水トレイ、２０…
排水口。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 門谷 ▲かん▼一 神奈川県平塚市万田1200 株式会社小松製 作所研究所内 (72)発明者 今村 敏英 神奈川県平塚市万田1200 株式会社小松製 作所研究所内 (72)発明者 松本 利彦 神奈川県平塚市万田1200 株式会社小松製 作所研究所内 (72)発明者 渡辺 弦一郎 神奈川県平塚市万田1200 株式会社小松製 作所研究所内
Claims (1)
- 【請求項１】 冷却除湿機５、加熱器６、加湿機７を、
送風機８を有して略水平方向に設けた風胴９内に順次配
置すると共に、この風胴９の出口側を被空調部へ向けて
開口した出口管１１に接続し、上記冷却除湿機５と加湿
器７の下側に防水トレイ１７，１８を設置すると共に、
上記各部分の下方に、これらからの漏水を受ける他の防
水トレイ１９を設けたことを特徴とする空調装置。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5200752A JPH0755177A (ja) | 1993-08-12 | 1993-08-12 | 空調装置 |
| PCT/JP1994/001336 WO1995005563A1 (fr) | 1993-08-12 | 1994-08-11 | Dispositif d'amenee d'eau a des fins d'humidification et climatiseur utilisant un tel dispositif |
| KR1019960700608A KR0172056B1 (ko) | 1993-08-12 | 1994-08-11 | 가습용수 공급장치 및 그것을 구비한 공조장치 |
| US08/537,865 US5609296A (en) | 1993-08-12 | 1994-08-11 | Water feed device for humidification and air conditioning apparatus incorporating the same |
| EP94922364A EP0713060A4 (en) | 1993-08-12 | 1994-08-11 | DEVICE FOR WATER SUPPLY FOR HUMIDIFICATION AND AIR CONDITIONING THEREFORE |
| US08/767,805 US5701950A (en) | 1993-08-12 | 1996-12-17 | Water feed device for humidification and air conditioning apparatus incorporating the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5200752A JPH0755177A (ja) | 1993-08-12 | 1993-08-12 | 空調装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0755177A true JPH0755177A (ja) | 1995-03-03 |
Family
ID=16429590
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5200752A Pending JPH0755177A (ja) | 1993-08-12 | 1993-08-12 | 空調装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0755177A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0766049A1 (en) * | 1994-07-01 | 1997-04-02 | Komatsu Ltd. | Air conditioning device |
-
1993
- 1993-08-12 JP JP5200752A patent/JPH0755177A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0766049A1 (en) * | 1994-07-01 | 1997-04-02 | Komatsu Ltd. | Air conditioning device |
| EP0766049A4 (en) * | 1994-07-01 | 1999-10-20 | Komatsu Mfg Co Ltd | AIR CONDITIONER |
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