KR100238929B1

KR100238929B1 - 반도체 시험 장치

Info

Publication number: KR100238929B1
Application number: KR1019960012840A
Authority: KR
Inventors: 노리유키 이가라시; 겐페이 스즈키
Original assignee: 오우라 히로시; 가부시키가이샤 아드반테스트
Priority date: 1995-04-28
Filing date: 1996-04-25
Publication date: 2000-01-15
Also published as: KR960039256A; US5894217A; DE19616809A1; JPH08304509A; DE19616809B4

Abstract

핸들러 장치의 시험용 턴테이블에 다수의 시험용 소켓을 장착하여 DUT의 시험 시간을 단축한 반도체 시험 장치를 제공한다. 시험용 턴테이블을 가진 핸들러 장치에 있어서, 시험용 턴테이블(60)에 복수의 시험용 캐리어(70)를 장착하여 예컨대 8개를 장착하여 시험용 캐리어(70)의 위치의 설명상 a 부터 h 까지 순서를 붙이면, a의 포인트에서는 DUT의 시험을 행하고, b에서는 DUT의 회수를 행하며, c에서는 시험전의 DUT를 공급하고, d로부터 h까지는 온도 사이클 시험을 필요로 했을 경우, 온도 관리를 할 수 있는 분위기속에 수용하는 구성이다. 이것에 의해, DUT의 시험시, 그 때마다 시험용 캐리어(70)로부터 DUT를 취출하지 않고 시험을 할 수 있다.

Description

반도체 시험 장치

제1도는 본 발명의 일실시예에 의한 시험용 턴테이블의 평면도.

제2도는 본 발명의 일실시예에 의한 프레스 기기, 시험용 턴테이블 및 시험용 소켓의 측면도.

제3도는 본 발명의 일실시예에 의한 시험용 캐리어의 사시도.

제4도는 종래 기술의 일실시예에 의한 DUT 흡착부의 측면도.

제5도는 종래 기술의 일실시예에 의한 핸들러 장치의 평면도.

〈도면의 주요부분에 대한 부호의 설명〉

10 : DUT흡착부 20 : DUT공급부

31, 90 : 시험용 소켓 60 : 시험용 턴테이블

70, 76 : 시험용 캐리어 71 : 지주

72 : 스프링 73 : 핀 개구

80 : 프레스 기기 100 : 핸들러 장치 본체

본 발명은 피시험용 반도체의 캐리어를 복수 개 설치한 턴테이블을 장착한 핸들러 장치를 구비하는 반도체 시험 장치에 관한 것이다.

종래의 핸들러 장치를 가진 반도체 시험 장치에 있어서는 피시험용 반도체(이하 DUT라 한다)를 흡착하여 시험용 소켓에 장착, 취출 및 반송하는 핸들러 장치의 반송 경로가 길고 복잡하였다. 이 때문에, 반송 인덱스 시간이 길어지고, DUT의 시험용 소켓으로의 착탈 불량이 발생하여 DUT의 리드를 변형시키고 시험을 할 수 없게 되는 문제점이 있다.

종래 기술인 DUT의 반송 및 시험용 소켓으로의 착탈의 일실시예를 도면을 참조하여 설명한다. 제5도에 있어서, 시험전에 DUT를 삽입한 DUT 공급부(20)를 DUT 흡착 위치(21)까지 운반하면, DUT 흡착부(10)는 그 위치에 있는 DUT를 흡착하여 시험용 소켓(31)으로 운반한다.

DUT 흡착부(10)는 접촉 아암(50)에 따라 동작할 수 있도록 장착되고, 접촉 아암(50)은 레일(40)을 따라 동작할 수 있다. 즉, DUT 흡착부(10)는 X-Y 방향으로 이동 가능한 구성을 가진다.

DUT의 시험이 완료되면 DUT 흡착부(10)는 DUT를 흡착하여 시험이 완료된 DUT를 제거부(22)로 운반한다. 또한, 시험 완료된 DUT는 회부수(23)로 이동하여 회수된다.

DUT 흡착부(10)는 그 측면도가 제4도에 도시되어 있다.

DUT 흡착부(10)는 X-Y 방향으로 이동하여 DUT 흡착 위치(21)로부터 DUT를 흡착하여 시험용 소켓(31)으로 운반한다.

시험이 완료되면, DUT 흡착부(10)는 X-Y 방향으로 이동하여 시험 완료된 DUT를 제거부(22)로 한 개씩 운반한다.

시험을 행하는 경우, DUT를 DUT 흡착부(10)에서 시험용 소켓(31)으로 운반할 때, 시험용 소켓(31)과 DUT가 접촉 불량이 되는 경우가 있다.

또한, DUT를 DUT 흡착부(10)가 X-Y 방향으로 이동하여 흡착하고 회수할 때까지의 인덱스 시간이 길어지는 문제점이 있다.

DUT 흡착부는 X-Y 방향으로 이동하여 DUT를 흡착 또는 회수하는 활발한 동작을 하므로, DUT를 흡착 또는 회수할 때, 흡착하는 위치가 어긋나거나, 흡착 오류, DUT 리드의 변형 또는 DUT와 시험용 소켓(31)의 접촉 불량이 발생하는 문제점이 생길 수 있다.

본 발명은 DUT의 시험용 턴테이블에 시험용 캐리어를 다수개 설치하여 시험이 완료되면, 즉시 시험용 턴테이블이 회전하여 다음의 DUT 시험을 행할 수 있으며, 시험용 소켓에 DUT를 간단히 고정하여 접촉 불량을 방지하고, 고정된 DUT를 간단히 빼낼 수 있으며, DUT의 온도 사이클 시험에도 적용할 수 있는 구성을 가진 핸들러 장치를 구비한 반도체 시험 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 핸들러 장치를 구비한 반도체 시험 장치에 있어서는 시험용 턴테이블 시험용 캐리어를 다수개 설치하여 DUT의 시험시 반송 시간을 단축하는 수단이 제공된다.

시험시, DUT를 간단히 고정시키는 조작을 행하는 수단과, DUT를 간단히 빼낼 수 있는 수단이 제공된다.

온도 사이클 시험용으로서 시험, 반송 또는 착탈 공정에 있는 시험용 캐리어를 제외하고는 시험전 공정에 있는 시험용 캐리어에 삽입된 DUT를 온도 관리를 할 수 있는 분위기 속에 수용하는 수단이 제공된다.

시험용 캐리어는 네 개의 모서리에 스프링을 가진 지주에 의해 시험용 턴테이블에 부착되고, DUT의 핀은 개방된 개구에서 사방으로 외부로 꺼낼 수 있는 구조를 가진다. 또한, 시험용 소켓에 삽입된 DUT는 시험시 상측에 설치된 프레스 기기에 의해 하측으로 가압되어 시험용 소켓과 접촉한다. 이 때문에, 접촉 불량의 방지에 도움이 된다.

시험이 끝난 DUT는 프레스 기기를 상승시키면 시험용 캐리어의 네 모서리에 있는 스프링의 작용으로 DUT가 상승한다.

다음 DUT의 시험은 시험용 턴테이블을 회전시켜 행하므로 반송 시간은 종래 기술보다 단축할 수 있다.

실시예에 관하여 도면을 참조하여 설명한다. 제1도에 있어서, 시험용 턴테이블(60)에 복수 개(예컨대, 8개)의 시험용 캐리어(70)를 장착하고, 시험용 캐리어 (70)의 위치의 설명상 a부터 h까지 순서를 붙이면, 위치 a에서는 DUT의 시험을 행하고, b에서는 DUT의 회수를 행하며, c에서는 시험전의 DUT를 공급하고, d부터 h까지는 온도 사이클 시험을 필요로 할 경우, 온도 관리를 할 수 있는 분위기속에 수용하는 구성으로 한다.

DUT의 착탈 위치는 시험용 캐리어(70)의 b와 c로 정해지고, 시험용 턴테이블(60)은 시험이 완료하면 한 개씩 이동한다. 즉, h에 있었던 시험용 캐리어 (70)는 a의 위치로 이동하여 DUT의 시험을 행하고, a의 위치에 있었던 시험용 캐리어(70)는 b의 위치로 이동하여 DUT가 회수되며, c의 위치에서는 시험전의 DUT가 공급되는 방식으로 순차적으로 이동하며, 또 시험용 턴테이블(60)은 필요에 따라서 우측 또는 좌측으로 회전할 수 있는 구성을 가진다.

제2도에 있이서, 시험용 캐리어(70)의 상측에 설치된 프레스 기기(80)는 시험용 캐리어(70)가 a의 위치로 이동하면 상측에 설치된 핸들러 장치 본체(100)의 프레스 기기(80)가 DUT를 하측으로 누르고, 반도체 시험 장치측(110)의 시험용 소켓(90)에 접촉하여 DUT를 시험하고, 시험이 종료하면, 프레스 기기(80)는 상측으로 이동하는 구성을 가진다.

제3도에 있이서, 시험용 턴테이블(60)에 장착되는 시험용 캐리어(70)는 시험시의 위치 교정을 정확히 하기 위하여 DUT의 타입에 맞추어 중심에 개구를 형성하고, DUT의 핀을 사방에서 꺼내기 위한 핀 개구(73)가 형성된다.

시험용 캐리어(70)는 자신의 네 개의 모서리에 지주(71)를 형성하여, 시험용 턴테이블(60)에 장착된다. 그리고, 시험용 턴테이블(60)과 지주의 상측과의 사이에 스프링(72)을 끼워 설치한다. DUT를 시험할 때 이외는 스프링(72)의 작용에 의해 시험용 캐리어(70)가 시험용 턴테이블(60)의 하측에 부착되어 있다.

DUT를 시험하는 경우는 상측에서 프레스 기기(80)가 DUT를 가압하므로 시험용 캐리어(70)는 하측으로 가압된다.

DUT의 시험이 끝나면 프레스 기기(80)는 상측으로 되돌아가기 때문에 시험용 캐리어(70)는 스프링(72)의 작용으로 시험용 턴테이블(60)의 하측으로 부착된다.

시험용 턴테이블(60)은 필요에 따라 우측 또는 좌측 회전을 자유롭게 제어할 수 있는 구성을 가진다.

다른 실시예에서는 상기 구성에 있어서, 시험용 캐리어(70)를 시험용 턴테이블(60)에 고정하여 턴테이블 전체를 상하로 이동할 수 있게 하고, 이동시마다 시험용 턴테이블 전체를 상하로 이동하는 구성으로 할 수 있다.

본 발명은 이상 설명한 바와 같이 구성되어 있기 때문에, 이하에 기재되는 효과를 가진다.

시험용 턴테이블(60)에 다수의 시험용 캐리어(70)를 장착하여 DUT의 시험시 시험용 캐리어(70)로부터 DUT를 취출하지 않고 시험을 하므로, 공정의 이동이 종래 기술보다 단축될 수 있다.

시험용 턴테이블(60)에 다수의 시험용 캐리어(70)를 장착할 수 있으므로, DUT의 시험중, DUT의 회수중, 시험전의 DUT를 공급하는 과정을 제외한 공정인 d부터 h까지를 사용하여 온도 사이클 시험을 필요로 했을 경우, 온도 관리를 할 수 있는 분위기속에 수용하는 것으로 온도 사이클 시험이 가능해졌다.

Claims

시험용 턴테이블이 장착된 핸들러 장치를 구비한 반도체 시험 장치에 있어서, DUT가 삽입될 수 있으며, 좌우로 회전 가능한 시험용 턴테이블(60)에 장착되는 복수 개의 시험용 캐리어(70)와, 상기 핸들러 장치의 본체(100)에 장착되며 상기 시험용 캐리어(70)에 삽입한 상기 DUT가 시험 위치에 도달하면 상측으로부터 상기 DUT를 압착하는 프레스 기기(80)를 구비함으로써, 턴테이블(60)에서 시험용 소켓으로의 흡착 및 취출 과정 없이 회전체에 고정된 상태로 반도체의 시험을 행하고 시험이 종료되면 턴테이블을 회전시킴으로써 시험을 연속적으로 행할 수 이도록 한 것을 특징으로 하는 반도체 시험 장치.
제1항에 있어서, 상기 시험용 캐리어(70)는, DUT의 외형에 맞추어 그 중심에 형성되며, 상기 DUT의 핀을 사방에서 꺼낼 수 있게 하는 핀 개구(73)와, 상기 시험용 캐리어의 네 모서리에 형성되고, 상기 시험용 턴테이블(60)을 관통하며 스프링(72)이 상기 시험용 턴테이블(60)의 상측으로 이동하여 상기 시험용 캐리어(70)를 상기 시험용 턴테이블(60) 쪽으로 잡아당기도록 상기 스프링(72)을 통과한 지주(71)를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 시험 장치.