KR100212267B1 - 정전기 방지 수단을 가지고 있는 표시 장치 - Google Patents

정전기 방지 수단을 가지고 있는 표시 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 박막 트랜지스터 패널 내부에 정전기 방지를 위한 도전층을 형성하여 정전기로 인한 결함을 방지하는 정전기 방지 수단을 가지고 있는 표시 장치에 관한 것이다. 데이터 패드부는 데이터선과 연결되어 있는 크롬층인 데이터 패드 금속층의 하부에 절연막이 형성되어 있고, 절연막의 하부에 데이터 패드 금속층의 하부에 대응하는 위치에 도전 물질로 이루어진 정전기 방지링인 도전층이 형성되어 있다.

Description

정전기 방지 수단을 가지고 있는 표시 장치
제1도는 종래의 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 데이터 패드를 나타낸 단면도.
제2도는 종래의 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 게이트 패드를 나타낸 단면도.
제3도는 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 데이터 패드를 나타낸 단면도.
제4도는 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 게이트 패드를 나타낸 단면도이고.
제5도는 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치의 접속상태를 나타낸 외형도.
제6도는 제5도의 A부분의 확대도.
제7도는 제6도의 B부분의 단면도.
본 발명은 정전기 방지 수단을 가지고 있는 표시 장치에 관한것으로서, 더욱 상세히 말하자면, 표시 장치 패널 내부에 정전기 방지를 위한 도전층(earth ring)을 형성하여 정전기로 인한 손상을 방지하는 정전기 방지 수단을 가지고 있는 표시 장치에 관한 것이다.
일반적으로 액정 표시 장치는, 박막 트랜지스터와 화소 전극이 형성되어 있는 화소 단위가 행렬의 형태로 다수 개가 형성되어 있으며, 게이트선 및 데이터선이 각각 화소 단위의 행과 열을 따라 형성되어있는 액정 표시 장치의 상부 기판인 박막 트랜지스터 기판, 그리고 공통전극이 형성되어 있는 액정 표시 장치의 하부 기판인 컬러 필터 기판, 그리고 그 사이에 봉입되어 있는 액정 물질을 포함하고 있다.
상기 박막 트랜지스터 기판의 게이트 전극은 상기 게이트선을 통해 게이트 구동 드라이브로부터 게이트 구동 신호를 전달받아 반도체층에 채널을 형성시키며, 이에 따라 데이터 구동 드라이브로부터의 데이터 신호가 상기 데이터선을 통해 소스 전극에 전달되어, 반도체층과 드레인 전극을 통하여 화소 전극에 전달된다.
이와 같은 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판은 정전기 발생으로 인한 결함이 자주 일어난다. 특히, 세정시, 장치간 반송 조작시, 이온 주입 공정시, 플라즈마 공정시에 정전기가 많이 발생한다.
이러한 정전기 장애는 정전기에 의한 미립자 부착, 정전기 방전에 의한 소자 파괴, 대전 전하 등에 의한 소자 전기 특성 열화, 전자빔 주행 경로에 미치는 영향, 조작 에러 등이 있다.
제1도는 종래의 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 데이터패드를 나타낸 단면도이고, 제2도는 종래의 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 게이트 패드를 나타낸 단면도이다.
제1도 내지 제2도에 도시한 바와 같이, 일반적인 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판은, 기판(1) 위에 크롬층(12)과 ITO막(18)으로 이루어진 패드 금속층이 형성되어 있으며, 그 위 일부를 보호막(19)이 덮고 있으며, 상기 크롬층(12)과 접속되게 데이터선(10)이 형성되어 있으며, 데이터선(10)과 크롬층(12) 사이에는 컨택홀을 가진 절연막(13)이 형성되어 있는 데이터 패드부(제1도)와, 기판(1) 위에 크롬층(12)과 ITO막(18)으로 이루어진 패드 금속층이 형성되어 있고, 그 위를 보호막(19)이 덮고 있으며, 상기 보호막(19)과 상기 ITO막(18) 사이에는 소스/드레인 금속(10)이 형성되어 있으며, 상기 크롬층(12)과 접속되게 게이트선(11)이 형성되어 있으며, 게이트선(11)과 ITO막(18) 사이에 게이트 절연막(13)이 형성되어 있는 게이트 패드부를 포함하여 이루어진다.
이러한 종래의 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판은, 박막 트랜지스터 기판에 외부로부터의 정전기가 가해지면 박막 트랜지스터의 전기적 특성이 열화되어 화소 행렬의 행방향으로 브라이트성 화소 결함이 나타난다. 이러한 이유는 채널층인 비정질 실리콘층과 접하고 있는 게이트 절연막에 전하가 트랩됨으로써 발생하며, 정전기의 전기적인 에너지가 이러한 작용을 일으키는 원인이 된다.
즉, 정전기의 높은 전압이 짧은 시간 동안에 게이트 절연막에 가해지면 전하(charge)에 인가된 에너지가 일함수를 극복하여 전하 트랩을 일으킨다. 이러한 경우, 오프 전류가 증가하며 온 전류가 감소된다.
따라서 정전기를 제거하기 위한 방안이 요구된다. 종래에 이러한 정전기를 제거하기 위한 방안으로는 설비 작업시 작업대에 1의 저항 접지를 설치하는 방법, 작업자의 손목에 정전기 흡수띠를 장착하는 방법, 이온 불어주기 방법등이 있다. 그러나 이러한 정전기 제거 방법은 정전기 제거를 위한 근본적인 해결 방안은 못된다. 따라서 그 대책이 요구된다.
그러므로 본 발명의 목적은 이러한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 박막 트랜지스터 패널 내부에 정전기 방지를 위한 도전층(earth ring)을 형성하여 정전기로 인한 결함을 방지하는 액정표시 장치용 박막 트랜지스터 기판을 제공하기 위한 것이다.
이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 정전기 방지 수단을 가지고 있는 표시 장치의 구성은,
기판,
상기 기판 위에 상기 기판의 가장자리 둘레를 따라 형성되어 있는 도전층,
상기 도전층을 포함한 전면을 덮고 있는 절연막,
상기 절연막 위에 형성되어 있는 배선을 포함하고 있다.
이러한 목적을 달성하기 위한 다른 발명의 표시 장치의 구성은,
기판의 가장자리를 따라 형성되어 있는 도전층,
상기 도전층을 덮고 있는 절연막 및 상기 절연막 위에 형성되어 있는 배선을 포함하는 표시 패널,
상기 도전층과 연결되어 있는 PCB 기판을 포함하고 있다.
첨부한 도면을 참고로 하여, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예를 상세하게 설명한다.
제3도는 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 데이터 패드를나타낸 단면도이다.
제3도에 도시한 바와 같이, 데이터선(10)과 연결되어 있는 크롬층인 데이터 패드 금속층(12)의 하부에 절연막(14)이 형성되어 있고, 상기 절연막(14)의 하부에 상기 데이터 패드 금속층(12)의 하부에 대응하는 위치에 도전 물질로 이루어진 정전기 방지링인 도전층(16)이 형성되어 있다. 상기 데이터 패드 금속층(12)의 상부에는 ITO막(18)을 형성할 수 있다. 상기 ITO막(18)과 상기 데이터선(10)의 상부에는 보호막(19)을 형성할 수 있다. 상기 ITO막(18)과 상기 데이터 패드 금속층(12) 사이에는 게이트 절연막(13)을 부분적으로 형성하고, 상기 데이터선(10)과 상기 절연막(14) 사이에는 게이트 절연막(13)을 부분적으로 형성할 수 있다.
제4도는 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 게이트 패드를 나타낸 단면도이다.
제4도에 도시한 바와 같이, 게이트선(20)의 연장선인 크롬층인 게이트 패드 금속층(22)의 하부에는 절연막(14)이 형성되어 있다. 이 절연막(14)은 SiNx를 사용하고 그 두께를 2000으로 하면 효과적이다. 그리고 상기 절연막(14)의 하부에는 정전기 방지링인 도전층(16)이 형성되어 있다. 그 두께를 500로 하고 넓이를 10이상으로 하면 효과적이다. 이 도전층(16)은 피뢰침 역할을 함으로써 외부로부터 정전기가 발생되면 정전기를 흡수할 수 있다.
제5도는 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치의 접속 상태를 나타낸 외형도이고, 제6도는 제5도의 A부분의 확대도이다.
제5도 및 제6도에 도시한 바와 같이, 정전기 방지링인 도전층(16)이 박막 트랜지스터 기판(100)의 가장자리를 따라 형성되어 있다.
이 도전층(16)은 박막 FPC(flexible printed cable)(500)에 의해 데이터 PCB(printed circuit board) 기판(200)과 접속되어 있다. 이러한 까닭은 도전층(16)에 유입된 정전기를 PCB 기판(200)의 그라운드와 접지시켜 정전기를 방전시키기 위함이다.
그리고 상기 데이터 PCB 기판(200)과 게이트 PCB 기판(400)은 FPC(600)에 의해 접속되어 있다.
제7도는 제6도의 B 부분의 단면도이다.
제7도에 도시한 바와 같이, 상기 제6도의 B 부분의 단면도로서, 상기 박막 FPC(500)와 상기 도전층(16) 사이에는 이방성 도전 물질(ACF:anisotropic conductive film)(700)이 형성되어 있다.
그러므로 본 발명은 박막 트랜지스터 패널 내부에 정전기 방지를 위한 도전층(earth ring)을 형성함으로써 정전기로 인한 결함을 방지하여 액정 표시 장치의 수율을 높이는 효과가 있다.

Claims (3)

  1. 절연 기판 및 상기 절연 기판의 가장자리를 따라 형성되어 있는 도전층을 포함하는 표시 패널, 및 상기 도전층과 전기적으로 연결되어 있는 접지선을 포함하는 PCB 기판을 포함하는 표시 장치.
  2. 제1항에서, 상기 도전층은 박막 FPC에 의해 상기 접지선에 접속되어 있는 표시 장치.
  3. 제2항에서, 상기 도전층과 상기 박막 FPC 사이에 이방성 도전 물질이 형성되어 있는 표시 장치.
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KR20110038497A (ko) * 2009-10-08 2011-04-14 엘지디스플레이 주식회사 표시장치

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