KR100211651B1 - 웨이퍼 타이틀러의 런종료 경보장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 웨이퍼의 타이틀을 마킹할 때 사용자가 용이하게 하나의 로트 단위의 웨이퍼의 마킹작업을 판단할 수 있도록 경보기능을 가진 웨이퍼 타이틀러(Wafer Titter)의 런종료 경보장치에 관한 것으로, 이는 타이틀 마킹(Title Marking)을 위한 웨이퍼를 이송시키는 로더 엘리베이터(Loader Elevator)와 언로더 엘리베이터(Unloder Elevator)를 구비하는 웨이퍼 타이틀러에 있어서, 로더 엘리베이터와 언로더 엘리베이터에 설치되어 웨이퍼의 피치(Pitch)를 감지하는 제1 및 제2 센서와, 로더 엘리베이터와 언로더 엘리베이터의 런 종료 최종위치에 설치되어 로트별 구동 종료 상태를 감지하는 제3 및 제4 센서 및 언로더 카세트의 유무를 감지하는 제5센서로 이루어진 감지수단; 제1 내지 제5센서의 각 감지신호를 논리합하여 특정로트(Lot)에 대한 런종료를 판별하는 판별수단; 및 판별수단으로부터 출력되는 신호의 상태에 따라 경보동작하는 경보수단을 포함하여 이루어진다. 따라서, 웨이퍼 타이틀 마킹작업을 위하여 구동되는 매 로트단위의 웨이퍼의 작업이 종료되면 이를 작업자가 인식하기 용이하게 알람동작하므로 설비의 가동율을 높일 수 있고, 생산성이 향상되는 효과가 있다.

Description

웨이퍼 타이틀러의 런종료 경보장치

본 발명은 반도체제조 공정 중 웨이퍼의 타이틀(title)을 마킹(marking)하기 위한 웨이퍼 타이틀러(titler)에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 매로트(lot)별로의 런종료를 알려주는 기능을 제공하는 웨이퍼 타이틀러의 런종료 경보장치에 관한 것이다.

웨이퍼에 타이틀을 마킹하는 작업은 반도체 제조공정의 마지막 단계로서 통상 웨이퍼 25장이 하나의 로트(lot)로 이루어지고, 로트 단위로 웨이퍼의 타이틀 마킹이 타이틀러에 의해 행해진다. 하나의 로트(lot)의 웨이퍼가 모두 마킹되면 마킹된 웨이퍼는 카세트(cassette)에 담겨서 후속공정으로 이송하고, 다음 로트의 웨이퍼에 마킹될 타이틀을 연결된 컴퓨터 키보드(key board)를 통하여 웨이퍼 타이틀러에 입력하는 작업을 수행한다.

통상 하나의 로트의 웨이퍼에 타이틀을 마킹하는 공정이 완료되기까지는 약 10분 가량이 소요된다. 이 때 작업자는 웨이퍼 타이틀러를 항상 주시하면서 관리하지 못하고 종종 다른 작업과 병행하는 경우가 있다. 이러한 경우 각 로트에 대한 웨이퍼 마킹작업의 완료시점을 알 수 없어서, 하나의 로트의 마킹종료를 인식하지 못하여 다음 런(run)을 진행하는 사이에 불필요한 시간손실(loss time)이 발생된다. 결국, 이러한 시간손실로 인하여 반도체 제조설비의 가동율을 저하되고 더 나아가서는 반도체장치의 생산성이 저하되는 문제점이 있었다.

본 발명의 목적은, 웨이퍼의 타이틀을 마킹하는 설비에 매 로트에 대한 런종료를 알려 불필요한 시간손실을 줄여 설비의 가동율을 향상시키기 위한 웨이퍼 타이틀러의 런종료 경보장치를 제공하는 데 있다.

제1도는 본 발명에 따른 웨이퍼 타이틀러의 런종료 경보장치의 실시예를 나타내는 회로도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

11, 13, 15, 17, 19 : 센서 21, 23 : 플립플롭

25 : 논리곱게이트 27 : 부정논리곱게이트

29 : 릴레이 31 : 알람신호 발생부

33 : 클럭제너레이터 35 : 스피커

37 : 램프 R1~R10 : 저항

Vcc : 구동전원 TR1∼TR5 : 트랜지스터

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 웨이퍼 타이틀러의 런종료 경보장치는, 타이틀 마킹을 위한 웨이퍼를 이송시키는 로더 엘리베이터(loader elavator)와 언로더 엘리베이터(unloader elavator)를 구비하고, 공정완료된 웨이퍼가 언로더 카세트(unloader cassette)로 적재되도록 구성된 웨이퍼 타이틀러(wafer titler)에 있어서, 상기 로더 엘리베이터와 언로더 엘리베이터에 설치되어 웨이퍼의 피치(pitch)를 감지(sensing)하는 제1 및 제2센서와, 상기 로더 엘리베이터와 언로더 엘리베이터의 런종료 최종위치에 설치되어 로트(lot)별로 구동 종료상태를 감지하는 제3 및 제4센서 및 언로더 카세트의 유무를 감지하는 제5센서로 이루어진 감지수단; 상기 제1 내지 제5센서의 각 감지신호를 논리곱하여 특정로트에 대한 런종료를 판별하는 판별수단 및 상기 판별수단으로부터 출력되는 신호상태에 따라 런종료를 알리는 경보동작하는 경보수단으로 이루어진다.

상기 판별수단은 상기 제1 내지 제4센서의 감지신호의 상태에 따라 스위칭하는 제1스위칭수단, 상기 제1스위칭수단으로부터 출력되는 스위칭신호의 상태에 따라 연동하여 논리조합하는 제1조합수단, 상기 제1조합수단의 출력의 상태에 따라 상기 경보수단의 동작을 제어하기 위한 신호를 선택적으로 출력하는 제2스위칭수단 및 상기 제5센서의 입력과 제1스위칭수단의 출력을 부정논리곱조합하여 상기 제1스위칭수단을 리셋(reset)하여 경보수단의 동작을 제어하기 위한 제2조합수단으로 이루어짐이 바람직하다.

그리고, 제1스위칭수단은 상기 제1 내지 제4센서의 감지상태에 따라 스위칭하는 제1 내지 제4트랜지스터 및 상기 제1 및 제2센서의 감지신호에 의하여 스위칭되는 제1 내지 제2트랜지스터의 도통상태와 상기 제2조합수단의 출력상태에 따라 상기 제1조합수단을 제어하는 제1 및 제2플립플롭(flip flop)으로 이루어질 수 있다.

또한, 상기 제2스위칭수단은 상기 제1조합수단의 출력상태에 따라 스위칭되는 제5트랜지스터 및 상기 제5트랜지스터의 스위칭상태에 따라 연동되어 상기 경보수단으로 동작신호를 선택적으로 인가하는 릴레이(relay)로 이루어짐이 바람직하다.

마지막으로, 경보수단은 상기 판별수단에 연동하여 제어신호를 출력하는 알람신호(경보) 발생부 및 상기 알람신호 발생부의 제어신호에 따라 가청주파수 대역의 신호를 출력하는 스피커로 이루어지나, 상기 판별수단에 연동하여 소정의 주파수의 클럭신호를 출력하는 클럭 제너레이터 및 상기 클럭 제너레이터로부터 출력되는 클럭신호에 점멸하는 램프(lamp)로 이루어질수 있다.

이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부한 예시도면을 참조하여 상세히 설명한다.

제1도는 본 발명에 따른 웨이퍼 타이틀러의 런종료 경보장치의 일 실시예를 나타내는 회로도이다.

본 발명의 실시예에서, 센서(11)와 센서(13)는 웨이퍼의 로더 엘리베이터와 언로더 엘리베이터에 각각 설치되어 웨이퍼가 로더 엘리베이터와 언로더 엘리베이터에서 피칭되는 것을 감지하고, 센서(15)와 센서(17)는 로더 엘리베이터와 언로더 엘리베이터의 매 로트의 마지막 웨이퍼가 피치되는 위치 즉 탑 포지션(top position)에 각각 설치되어 하나의 로트 단위의 웨이퍼에 대한 피칭완료를 감지한다.

또한, 센서(19)는 언로더 카세트(unloader cassette)의 유무를 감지하기 위하여 언로더 카세트가 놓이는 위치에 설치되는 것으로서 엘리베이터로부터 한 로트의 웨이퍼가 캐리어에 적재완료되어 이송됨으로써 한 로트분의 웨이퍼가 적재가 완료됨을 감지하는 것이다.

센서(11)와 센서(13)는 저항(R1)과 저항(R3)을 각각 통하여 트랜지스터(TR1)와 트랜지스터(TR2)의 베이스에 각각 연결된다. 그리고, 트랜지스터(TR1)와 트랜지스터(TR2)의 에미터단자는 각각 접지되어 있고, 콜렉터에는 구동전원(Vcc)이 인가되는 저항(R2)(R4)들이 각각 연결되어 있다. 또한, 저항(R2)(R4)들에 대하여 각각 병렬로 플립플롭(21)과 플립플롭(23)의 입력단자(J)와 클럭단자(CK)가 연결되며, 플립플롭(21)과 플립플롭(23)의 입력단자(K)는 각각 접지되어 있다. 플립플롭(21)과 플립플롭(23)의 비반전출력단자(Q)는 논리곱게이트(25)의 입력단자에 각각 연결된다.

또한, 센서(15)와 센서(17)는 저항(R5)과 저항(R7)을 통하여 트랜지스터(TR3)와 트랜지스터(TR4)의 베이스에 각각 연결되며, 트랜지스터(TR3)와 트랜지스터(TR4)의 에미터는 각각 접지되어 있고, 콜렉터에는 구동전원(Vcc)이 인가된 저항(R6)(R8)들이 각각 직렬로 연결되어 있다. 또한, 트랜지스터(TR3)(TR4)의 콜렉터는 논리곱게이트(25)의 입력단자에 각각 연결된다.

논리곱게이트(25)의 출력단은 분기되어서 저항(R10)을 통하여 트랜지스터(TR5)의 베이스에 연결되는 한편 부정논리곱게이트(27)의 입력단자에 연결되며, 트랜지스터(TR5)의 에미터는 접지되어 있고, 콜렉터에는 트랜지스터(TR5)의 스위칭에 연동하여 동작하는 릴레이(29)와 저항(R9)이 직렬로 연결된다.

또한, 릴레이(29)의 2개의 스위칭단자 중 하나의 단자(a)는 접지되어 있고, 다른 하나의 단자(b)는 알람신호 발생부(31)와 클럭 제너레이터(33)에 각각 연결되어 있다. 이 알람신호 발생부(31)에는 스피커(35)가 연결되어 있고, 클럭 제너레이터(33)에는 램프(37)가 연결되어 있다.

한편, 논리곱게이트(25)의 출력단이 입력단에 연결된 부정논리곱게이트(27)의 다른 입력단자에는 센서(19)가 연결되어 있고, 부정논리곱게이트(27)의 출력단자는 플립플롭(21)과 플립플롭(23)의 리셋단자()에 각각 연결되어 있다.

이와 같이 구성된 본 발명에 따른 웨이퍼 타이틀러의 런종료 경보장치의 실시예의 동작을 상세히 설명하기로 한다.

먼저, 웨이퍼의 타이틀 마킹작업이 시작되면 로더 엘리베이터 및 언로더 엘리베이터에서의 웨이퍼 피칭을 감지하고, 웨이퍼가 피칭될때마다 센서(11) 및 센서(13)는 로우(low) 레벨의 피칭신호가 저항(R1)과 저항(R3)을 통하여 트랜지스터(TR1)와 트랜지스터(TR2)에 각각 인가된다.

트랜지스터(TR1)와 트랜지스터(TR2)는 로우 레벨의 피칭신호가 인가됨에 따라서 오프되고, 그에 따라서 하이(high) 레벨의 정전압(Vcc)이 플립플롭(21)과 플립플롭(23)의 입력단자(J)와 클럭단자(CK)에 각각 인가되며, 플립플롭(21)과 플립플롭(23)은 비반전출력단자(Q)로 하이레벨의 출력신호를 출력하여 논리곱게이트(25)의 입력단자에 인가한다.

한편, 해당 로트(lot)의 마지막 웨이퍼가 피칭되어 로더 엘리베이터와 언로더 엘리베이터가 탑포지션에 위치하면 센서(15)와 센서(17)가 이를 감지하여 저항(R5)과 저항(R7)을 통하여 트랜지스터(TR3)와 트랜지스터(TR4)의 베이스에 각각 로우 레벨의 신호를 인가한다. 인가된 로우 레벨의 신호에 의하여 트랜지스터(TR3)와 트랜지스터(TR4)는 각각 오프되고, 그에 따라서 하이 레벨의 정전압(Vcc)이 각각 논리곱게이트(25)의 입력단자로 인가된다.

따라서, 논리곱게이트(25)의 입력단계는 모두 하이 레벨의 신호가 인가되므로, 논리곱게이트(25)는 하이레벨의 입력을 논리곱하여 하이레벨의 출력신호를 저항(R10)을 통하여 트랜지스터(TR5)에 인가한다. 그러면, 트랜지스터(TR5)가 도통되고, 그에 연동하여 릴레이(23)가 연동되어 스위칭 온 상태가 되면, 알람신호 발생부(25)와 클럭 제너레이터(27)에 각각 구동전원(Vcc)이 인가된다.

알람신호 발생부(25)는 하이 레벨의 구동전원이 인가되면, 스피커로 알림제어신호를 출력하여 스피커(29)를 통하여 가청신호가 출력되도록 한다. 또한, 클럭제너레이터(27)는 인가된 신호에 따라 소정 주파수의 클럭을 발생하여 램프(37)에 인가하고, 그에 따라서 램프(37)는 소정주기를 갖고 잠멸되게 된다.

한편, 하나의 로트에 대한 웨이퍼의 타이틀 마킹작업이 완료되어서 카세트에 마킹이 완료된 웨이퍼가 적재되면, 작업자는 적재가 완료된 카세트를 다른 카세트와 교체한다. 이 때 잠시 웨이퍼 카세트의 부재상황이 발생되므로 이를 이용하여 경보동작의 리셋이 이루어질 수 있다.

즉, 웨이퍼 카세트가 교체되어 부재상황이 발생하면 이 때 언로더 카세트 위치에 설치된 센서(19)가 감지동작하여 하이 레벨의 감지신호를 부정논리곱게이트(27)에 입력한다. 부정논리곱게이트(27)의 다른 입력단자에는 논리곱게이트(25)의 하이 레벨의 신호가 입력되어 부정논리곱게이트(27)의 출력은 결국 로우 레벨이 된다.

따라서, 부정논리곱게이트(27)의 로우 레벨 출력을 플립플롭(21)와 플립플롭(23)으로 인가되어 리셋시키게 되고, 따라서 그에 연동한 논리곱게이트(25)의 출력이 로우 레벨로 된다. 논리곱게이트(25)의 출력은 트랜지스터(TR5)의 동작을 차단하여 릴레이(29)가 동작하지 않도록 한다. 따라서, 알람신호 발생부(25)와 클럭 제너레이터(27)에 구동전원(Vcc)의 공급이 중단되어서 알람신호 발생부(25)와 클럭제너레이터(27)의 동작이 중단되고 그에 따른 스피커(29)와 램프(31)의 동작도 중단하게 된다.

본 발명에 의하면 웨이퍼 타이틀 마킹작업을 위하여 구동되는 매 로트단위의 웨이퍼의 작업이 종료되면 이를 작업자가 인식하기 용이하게 알람동작하므로 웨이퍼 타이틀 마킹작업에 있어서 설비의 가동율을 높일 수 있고, 따라서 생산성이 향상되는 효과가 있다.

이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.

Claims (6)

1. 타이틀 마킹을 위한 웨이퍼를 이송시키는 로더 엘리베이터와 언로더 엘리베이터를 구비하고, 공정완료된 웨이퍼가 언로더 카세트로 적재되도록 구성된 웨이퍼 타이틀러에 있어서, 상기 로더 엘리베이터와 언로더 엘리베이터에 설치되어 웨이퍼의 피치를 감지하는 제1 및 제2센서와, 상기 로더 엘리베이터와 언로더 엘리베이터의 런종료 최종위치에 설치되어 로트별로 구동 종료상태를 감지하는 제3 및 제4센서 및 언로더 카세트의 유무를 감지하는 제5센서로 이루어진 감지수단; 상기 제1 내지 제5센서의 각 감지신호를 논리곱하여 특정로트에 대한 런종료를 판별하는 판별수단; 및 상기 판별수단으로부터 출력되는 신호상태에 따라 런종료를 알리는 경보동작하는 경보수단; 을 구비하여 이루어짐을 특징으로 하는 웨이퍼 타이틀러의 런종료 경보장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 판별수단은, 상기 제1 내지 제4센서의 감지신호의 상태에 따라 스위칭하는 제1스위칭 수단; 상기 제1스위칭수단으로부터 출력되는 스위칭신호의 상태에 따라 연동하여 논리조합하는 제1조합수단; 상기 제1조합수단의 출력의 상태에 따라 상기 경보수단의 동작을 제어하기 위한 신호를 선택적으로 출력하는 제2스위칭수단; 및 상기 제5센서의 입력과 제1스위칭수단의 출력을 부정논리곱조합하여 상기 제1스위칭수단을 리셋하여 경보수단의 동작을 제어하기 위한 제2조합수단; 을 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 웨이퍼 타이틀러의 런종료 경보장치.
3. 제2항에 있어서, 상기 제1스위칭수단은, 상기 제1 내지 제4센서의 감지상태에 따라 스위칭하는 제1 내지 제4트랜지스터; 및 상기 제1 및 제2센서의 감지신호에 의하여 스위칭되는 제1 내지 제2트랜지스터의 도통상태와 상기 제2조합수단의 출력상태에 따라 상기 제1조합수단을 제어하는 제1 및 제2플립플롭; 을 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 웨이퍼 타이틀러의 런종료 경보장치.
4. 제2항에 있어서, 상기 제2스위칭수단은, 상기 제1조합수단의 출력상태에 따라 스위칭되는 제5트랜지스터 ; 및 상기 제5트랜지스터에 연동되어 상기 경보수단으로 동작신호를 선택적으로 인가하는 릴레이; 를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 상기 웨이퍼 타이틀러의 런종료 경보장치.
5. 제1항에 있어서, 상기 경보수단은, 상기 판별수단에 연동하여 제어신호를 출력하는 알람신호 발생부 ; 및 상기 알람신호 발생부의 제어신호에 따라 가청주파수 대역의 신호를 출력하는 스피커; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 웨이퍼 타이틀러의 런종료 경보장치.
6. 제1항에 있어서, 상기 경보수단은, 상기 판별수단에 연동하여 소정 주파수의 클럭신호를 출력하는 클럭 제너레이터; 및 상기 클럭 제너레이터로부터 출력되는 클럭신호에 의해 점멸되는 램프; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 웨이퍼 타이틀러의 런종료 경보장치.