KR970072374A - 웨이퍼 타이틀러의 런종료 경보장치 - Google Patents

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Abstract

웨이퍼의 타이틀을 마킹할 때 사용자가 용이하게 하나의 로트 단위의 웨이퍼의 마킹작업을 판단할 수 있도록 경보기능을 가진 웨이퍼 타이틀러(Wafer Titler)의 런종료 경보장치에 관한 것이다.
본 발명은, 타이틀 마킹(Title Marking)을 위한 웨이퍼를 이송시키는 로더 엘리베이터(Loader Elevator)와 언로더 엘리베이터(Unloader Elevator)를 구비하는 웨이퍼 타이틀러에 있어서, 로더 엘리베이터와 언로더 엘리베이터에 설치되어 웨이퍼의 피치(Pitch)를 센싱하는 제1 및 제2센서와, 로더 엘리베이터와 언로더 엘리베이터의 런 종료 최종위치에 설치되어 로트별 구동 종료 상태를 센싱하는 제3 및 제4센서 및 언로더 카세트의 유무를 센싱하는 제5센서로 이루어진 센싱수단, 제1 내지 제5센서의 각 센싱신호를 논리조합하여 특정 로트(Lot)에 대한 런 종료를 판별하는 판별수단 및 판별수단으로부터 출력되는 신호의 상태에 따라 경보동작하는 경보수단을 포함하여 이루어진다. 따라서, 웨이퍼 타이틀 마킹작업을 위하여 구동되는 매 로트 단위의 웨이퍼의 작업이 종료되면 이를 작업자가 인식하기 용이하게 알림동작하므로 설비의 가동율을 높일 수 있고, 생상성이 향상되는 효과가 있다.

Description

웨이퍼 타이틀러의 런종료 경보장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 웨이퍼 타이틀러의 런종료 경보장치의 실시예를 나타낸 회로도이다.

Claims (6)

  1. 타이틀 마킹(Title Marking)을 위한 웨이퍼를 이송시키는 로더 엘리베이터(Loader Elevator)와 언로더 엘리베이터(Unloader Elevator)를 구비하고, 공정완료된 웨이퍼가 언로더 카세트(Unloader Cassette)로 적재되도록 구성된 웨이퍼 타이틀러(Wafer Titler)에 있어서, 상기 로더 엘리베이터와 언로더 엘리베이터에 설치되어 웨이퍼의 피치(Pitch)를 센싱(Sensing)하는 제1 및 제2센서와, 상기 로더 엘리베이터와 상기 언로더 엘리베이터의 런 종료 최종위칭에 설치되어 로트(Lot)별 구동 종료 상태를 센싱하는 제3 및 제4센서 및 상기 언로더 카세트의 유무를 센싱하는 제5센서로 이루어진 센싱수단; 상기 제1 내지 제5센서의 각 센싱신호를 논리조합하여 특정 로트(Lot)에 대한 런 종료를 판별하는 판별수단; 및 상기 판별수단으로부터 출력되는 신호의 상태에 따라 경보동작하는 경보수단;을 구비하여 이루어짐을 특징으로 하는 웨이퍼 타이틀러의 런종료 경보장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 판별수단은, 상기 제1 내지 제4센서의 센싱신호의 상태에 따라 스위칭하는 제1스위칭수단; 상기 제1스위칭수단으로부터 출력되는 스위칭신호의 상태에 따라 연동하여 논리곱조합하는 제1조합수단; 상기 제1조합수단의 출력의 상태에 따라 상기 경보수단의 동작을 제어하기 위한 신호를 선택적으로 출력하는 제2스위칭수단; 및 상기 제5센서의 입력과 상기 제1스위칭수단의 출력을 부정논리곱조합하여 상기 제1스위칭수단을 리셋하여 경보수단의 동작을 제어하기 위한 제2조합수단;을 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 웨이퍼 타이틀러의 런종료 경보 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 제1스위칭수단은, 상기 제1 내지 제4센서의 센싱상태에 따라 스위칭하는 제1 내지 제4트랜지스터; 및 상기 제1 및 제2센서의 센싱신호에 의하여 스위칭되는 제1 내지 제2트랜지스터의 도통상태와 상기 제2조합수단의 출력상태에 따라 상기 제1조합수단을 제어하는 제1 및 제2플립플롭;을 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 웨이퍼 타이틀러의 런종료 경보장치.
  4. 제2항에 있어서, 상기 제2스위칭수단은, 상기 제1조합수단의 출력상태에 따라 스위칭되는 제5트랜지스터; 및 상기 제5트랜지스터의 스위칭 상태에 따라 연동되어 상기 경보수단으로 동작신호를 선택적으로 인가하는 릴레이;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 상기 웨이퍼 타이틀러의 런종료 경보장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 경보수단은 상기 판별수단에 연동하여 제어신호를 출력하는 알람신호발생부; 및 상기 알람신호발생부의 제어신호에 따라 가청신호를 출력하는 스피커; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 웨이퍼 타이틀러의 런종료 경보장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 경보수단은, 상기 판별수단에 연동하여 소정의 주파수의 클럭신호를 출력하는 클럭 제너레이터; 및 상기 클러제너레이터로부터 출력되는 클럭신호에 점멸하는 램프; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 웨이퍼 타이틀러의 런종표 경보장치.
    ※ 참고사항:최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960010449A 1996-04-08 1996-04-08 웨이퍼 타이틀러의 런종료 경보장치 KR100211651B1 (ko)

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