KR0161831B1 - 레이저마킹장치 - Google Patents

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KR0161831B1
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정재용
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이희종
엘지산전주식회사
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    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/06Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
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Abstract

본 발명은 레이저마킹장치의 유리거울마스크로 부터의 반사 및 투과레이저빔 모두를 이용하여 마킹대상물에 정상 및 역상마킹을 할 수 있어서 레이저빔의 사용효율을 증대시킬 수 있을 뿐만 아니라, 유리거울마스크로부터 반사빔에 의해 발생되는 광학부품의 손상 및 패턴이 끊어지는 현상을 방지할 수 있으므로 인해 장치의 효율성 및 신뢰성을 대폭 향상시킨 것이다.
이를 위해, 본 발명은 레이저빔을 발생하는 레이저발진기(1)와, 상기 레이저발진기로부터 입사된 레이저빔의 단면크기를 확대시키는 빔확대기(2)와, 상기 빔확대기로부터 조사되는 빔을 투과시키는 투명유리기판(3a) 및 빔을 반사시키는 패턴(3P)이 형성된 유리거울마스크(3)와, 상기 유리거울 마스크의 거울코팅된 패턴부에 의해 반사된 레이저빔을 반사시켜 주는 방향전환용 거울(4)과, 상기 방향전환용 거울에서 반사된 레이저빔을 마킹대상물에 정상마킹되도록 결상시켜주는 제1집속렌즈(6)와, 상기 유리거울마스크의 투명유리기판으로 투과된 레이저빔을 마킹대상물에 역상마킹되도록 결상시켜주는 제2집속렌즈(7)로 구성된 레이저마킹장치이다.

Description

레이저마킹장치
제1도는 종래의 레이저마킹장치를 나타낸 정면도.
제2도는 제1도의 금속판마스크를 나타낸 정면도.
제3도는 제1도의 마킹대상물에 패턴이 마킹된 상태를 나타낸 정면도.
제4도는 본 발명을 나타낸 정면도.
제5도는 본 발명에 따른 유리거울마스크를 나타낸 정면도.
제6도의 (a) 및 (b)는 본 발명에 따른 마킹대상물에 패턴이 정상 및 역상마킹된 상태를 나타낸 정면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 래이저발진기 2 : 빔확대기
3 : 유리거울마스크 3a : 투명유리기판
3P,5P,5Pa : 패턴 4 : 거울
5,5a : 마킹대상물 6 : 제1집속렌즈
7 : 제2집속렌즈 NM : 정상마킹
AM : 역상마킹
본 발명은 레이저마킹장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 레이저마킹 장치의 마스크로부터 반사빔에 의해 광학부품이 손상되는 것을 방지할 수 있으며, 레이저빔의 사용효율을 증대시킬 수 있도록 한 것이다.
일반적으로, 레이저마킹장치는 레이저빔을 마킹대상물상에 직접주사 시키므로써 마킹을 하는 스캔타입마커와 패턴이 미리 준비된 마스크 및 결상용렌즈를 이용하여 마킹을 하는 마스크타입마커로 구분되고, 마스크타입마커는 동일패턴의 반복마킹을 고속으로 할 수 있는 장점과 패턴변경이 어려운 단점이 있다.
레이저마킹장치는 레이저빔으로 물체의 표면을 직접각인하므로써 비접촉, 고속 및 영구마킹을 할 수 있는 등의 장점을 갖고 있으며, IC패키지등 각종반도체소자의 형번마킹, 공구, 부품소자 및 명판 등에의 모델명, 일련번호, 일자마킹 등의 다양한 물체에 각종마킹을 할 수 있는 장치이다.
종래의 레이저마킹장치는 제1도 내지 제3도에 나타낸 바와 같이, 레이저빔을 발생하는 레이저발진기(1)와, 레이저발진기(1)의 레이저빔 단면크기를 확대시켜주는 빔확대기(2)와, 패턴(3Pb)이 형성되어 금속판으로 된 마스크(3b)와, 마스크(3b)를 투과한 레이저빔을 마킹대상물(5b)상에 결상시키는 결상렌즈(7a)로 구성된다.
따라서, 레이저발진기(1)로 부터 출사된 레이저빔은 빔확대기(2)를 지나 단면크기가 확대된 후 마스크(3b)에 입사되는데, 이때 금속판 마스크(3b)의 불투명부분(3c)에 조사된 레이저빔은 차단되고, 투명부분인 패턴(3Pb)으로 입사된 레이저빔만이 마스크(3b)를 투과하여 결상렌즈(7a)로 입사되며,결상렌즈(7a)는 마킹패턴을 마킹대상물(5b)상에 결상시키게 됨에 따라 상기 마스크(3b)에 의해 마킹을 하면 마킹대상물(5b)상에 패턴(5Pb)이 형성된다.
그러나, 이와 같은 종래 레이저마킹장치의 마스크(3b)는 금속판으로 제작하므로 예컨대 B, O 및 8 등의 폐곡선으로 이루어지는 문자의 마킹시에는 제3도와 같이 문자 내에 패턴(5Pb)의 끊어짐(C)이 발생하게될 뿐만 아니라, 마스크(3b)의 불투명부분(3C)에 조사된 레이저빔이 반사되어 역으로 레이저장치로 입사될 경우 레이저발진기(1)내부의 광학부품이 손상을 입을 우려가 있는 등의 문제점이 있었다.
본 발명은 상기한 제반문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명은 레이저마킹장치의 마스크로부터 반사빔에 의해 발생되는 광학부품의 손상 및 패턴의 끊어짐을 방지할 수 있을 뿐만 아니라, 마스크로부터의 반사 및 투과빔 모두를 이용하여 정상 및 역상마킹을 할 수 있어서 레이저빔의 사용효율을 증대시킬 수 있는 레이저마킹장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기한 목적을 달성하기 위해 본 발명은 레이저발진기로부터 입사된 레이저빔의 단면크기를 확대시키는 빔확대기와, 상기 빔확대기로부터 조사되는 빔을 투과시키는 투명유리기판 및 빔을 반사시키는 패턴이 형성된 유리거울마스크와, 상기 유리거울마스크의 거울 코팅된 패턴부에 의해 반사된 레이저빔을 반사시켜주는 방향전환용거울과, 상기 방향전환용 거울에서 반사된 레이저빔을 마킹대상물상에 정상마킹되도록 결상시켜주는 제1집속렌즈와, 상기 유리거울마스크의 투명유리기판으로 투과된 레이저빔을 마킹대상물상에 역상마킹되도록 결상시켜주는 제2집속렌즈로 구성된 레이저마킹장치이다.
이하, 본 발명의 일실시예를 첨부도면 제4도 내지 제6도를 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
제4도는 본 발명을 나타낸 정면도이고, 제5도는 본 발명에 따른 유리거울 마스크를 나타낸 정면도이며, 제6도의 (a) 및 (b)는 본 발명에 따른 마킹 대상물에 패턴이 정상 및 역상마킹된 상태를 나타낸 정면도로서, 레이저마킹장치에 레이저빔을 발생하는 레이저발진기(1)가 설치되고, 레이저발진기(1)의 전방에는 레이저발진기(1)로부터 입사된 레이저빔의 단면크기를 확대시켜주는 빔확대기(2)가 설치되며, 빔확대기(2)의 전방에는 빔확대기(2)에서 확대된 레이저빔인 반사 및 투과빔을 조사시켜주는 투명유리기판(3a)상에 패턴(3P)만이 거울코팅된 유리거울마스크(3)가 설치된다.
또한, 유리거울마스크(3)의 하부에는 유리거울마스크(3)로부터 반사된 레이저빔을 반사시켜주는 방향전환용 거울(4)이 설치되고, 거울(4)의 전방에는 거울(4)에서 반사된 레이저빔을 마킹대상물(5)상에 패턴(5P)을 정상마킹(NM)시켜 주기 위해 결상시켜주는 제1집속렌즈(6)가 설치되며, 상기 유리거울마스크(3)의 전방에는 유리거울마스크(3)를 투과하여 입사된 레이저빔을 마킹대상물(5a)상에 패턴(5Pa)을 역상마킹(AM)시켜주기 위해 결상시켜주는 제2집속렌즈(7)가 설치되어 구성된다.
이와 같이 구성된 본 발명은 제4도 내지 제6도에 나타낸 바와 같이, 레이저마킹장치의 레이저발진기(1)로부터 출사된 단면폭이 작은 레이저빔은 빔확대기(2)에 입사되어 단면폭이 유리거울마스크(3)상의 패턴(3P)크기에 적합하도록 확대되고, 상기 빔확대기(2)에서 확대된 레이저빔은 마킹 패턴(3P)이 형성된 유리거울마스크(3)에 입사된다.
유리거울마스크(3)는 제5도와 같이 레이저빔이 투과할 수 있는 투명유리기판(3a)상에 패턴(3P)만이 거울코팅되므로 유리거울마스크(3)에 입사된 레이저빔 중에서 패턴(3P)에 입사된 레이저빔은 각도가 하방으로 꺽여 방향 전환용 거울(4)로 입사되고, 투명유리기판(3a)에 입사된 레이저빔은 유리거울마스크(3)를 그대로 투과하여 제2집속렌즈(7)에 입사하게 된다.
이때, 거울(4)에 의해 반사된 레이저빔은 제1접속렌즈(6)로 입사되고, 다시 제1집속렌즈(6)를 통해 마킹대상물(5)상에 결상됨애 따라 레이저빔이 출사되면, 마킹대상물(5)에는 제6도의 (a)와 같이 레이저마킹이 이루어지게 되며, 유리거울마스크(3)의 투명유리기판(3a)을 투과한 데이저빔은 제2집속렌즈(7)에 의해 마킹대상물(5)상에 결상됨에 따라 제6도의 (b)와 같이 패턴 주변부의 마킹이 이루어지게 된다.
즉, 유리거울마스크(3)에 의해 패턴(3P)부분과 투명유리기판(3a)을 통과하는 레이저빔으로 분할되어 각각의 레이저빔광로에 제1,2집속렌즈(6)(7)를 설치하므로써 마킹대상물(5)상에 패턴(5P)이 각인되는 정상마킹(NM)과 마킹대상물(5a)상에 패턴(5Pa)이 각인되는 역상마킹(AM)이 동시에 이루어질수 있게되며, 상기 투명유리기판(3a)상에 거울코팅층으로 패턴(3P)이 형성되므로 패턴이 끊어지는 현상을 방지하여 마킹품질을 향상시킬 수 있게된다
이상에서와 같이, 본 발명은 레이저마킹장치의 유리거울마스크(3)로 부터의 반사 및 투과레이저빔모두를 이용하여 마킹대상물(5)(5a)에 정상 및 역상마킹(NM)(AM)을 할 수 있어서 레이저빔의 사용효율을 증대시킬 수 있을 뿐만 아니라, 유리거울마스크(3)로 부터 반사빔에 의해 발생되는 광학부품의 손상 및 패턴이 끊어지는 현상을 방지할 수 있으므로 인해 장치의 효율성 및 신뢰성을 대폭 향상시킨 매우 유용한 발명이다.

Claims (1)

  1. 레이저빔을 발생하는 레이저발진기(1)와 상기 레이저발진기로부터 입사된 레이저빔의 단면크기를 확대시키는 빔확대기(2)와를 구비한 레이저 마킹장치에 있어서, 상기 빔확대기로부터 조사되는 빔을 투과시키는 투명유리기판(3a) 및 빔을 반사시키는 패턴(3P)이 형성된 유리거울마스크(3)와, 상기 유리거유마스크의 거울코팅된 패턴부에 의해 반사된 레이저빔을 반사시켜 주는 방향전환용 거울(4)과, 상기 방향전환용 거울에서 반사된 레이저빔을 마캉대상물에 정상마킹되도록 결상시켜주는 제1집속렌즈(6)과, 상기 유리거울마스크의 투명유리기판으로 투과된 레이저빔을 마킹대상물에 역상마킹되도록 결상시켜주는 제2집속렌즈(7)를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 레이저마킹장치.
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