JP2621154B2 - レーザ装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はレーザマーキングなどに用いられるレーザ装
置に関するものである。

従来の技術 近年、レーザ装置を利用して、記号もしくは符号など
を付すべき被照射体にレーザ光を照射して、その構成材
料を局部的に蒸発，除去あるいは質的変化をさせて切断
あるいは表面処理などを行なう技術がとり入れられてい
る。

この技術は、半導体装置をはじめとする電子部品の品
種区分などのためのマーキングに広く応用されるように
なって来ている。

以下に、従来のレーザ装置について、第２図を用いて
説明する。

図に示すように、レーザ発振器21から発せられたレー
ザ光22は、装置内部に配設されているレーザ光検知セン
サでそれが正常に発振されているかどうかを確認し、鏡
筒部23のレンズ24により平行なレーザ光とされる。この
平行なレーザ光は、マークのパターンが付与されている
ガラスマスク25を透過してから、レンズ26で所定のエネ
ルギー密度まで集束されてから、被照射体27に照射され
る。

発明が解決しようとする問題点 しかしながら、上記レーザ装置には以下に述べる問題
点がある。

すなわち、このレーザ装置では、レーザ光検知センサ
が発振器21内に配置されているため、レーザ発振器21が
レーザ光を発しているか否かを検出することができるも
のの、鏡筒部23,マスク25を通してレーザー光およびそ
の光量が確実に被照射体27に照射されているかどうか確
認することができない。したがって、発振器21から被照
射体27までの間でレーザ光の伝搬状態に異常が発生した
としても、検知センサはそれを検出することができず、
被照射体27におけるマーク不良の発生を防止することが
できない。また、レーザ光の発振持続期間が短時間であ
り、それに被照射体27の供給能力が対応できないことか
ら、レーザ装置を効率よく稼動させることができず、製
品のコストアップの一因となるという問題があった。

本発明は、マーキングに要するコストを低減でき、か
つマーク不良の発生を未然に防止できるレーザ装置を提
供しようとするものである。

問題点を解決するための手段 本発明のレーザ装置は、レーザ発振器から発せられる
レーザ光を回転反射鏡で所定の方向へ反射し、反射され
たレーザ光を複数の導光ケーブルでそれぞれ受光し伝送
するとともに、これの導光ケーブルの各端部に接続され
たマーク発生部から被照射体にマークパターン情報が付
与されたレーザ光を照射するよう構成したものである。
そして、マーク発生部のそれぞれは被照射体に所定の記
号もしくは符号などを焼付けるためのマスクと、マーク
パターン情報を所定の方向へ反射させる反射鏡と、この
反射鏡に設けられ、かつ前記マスクにてマークパターン
情報が付与されたレーザ光量を検出するレーザ光検知セ
ンサとを有するものである。

作用 レーザ発振器から発せられるレーザ光を複数のマーク
発生部でそれぞれに対応する被照射体にレーザ光を照射
するため、ひとつのレーザ発振器で複数のラインに流れ
る製品などにマークを付すことができる。また、所定の
記号もしくは符号などのパターン情報が付与されたレー
ザー光量を、反射鏡に設けられたレーザ光検知センサで
検知するので、導光ケーブルの破損およびマスクの汚
れ、傷等によるレーザ光量の低下を検出でき、したがっ
て、被照射体に対するマーク不良の発生を未然に防止す
ることができる。

実施例 以下に、本発明の一実施例について、第１図を用いて
説明する。

図において、レーザ発振器１の発生するレーザ光２
は、反射鏡3,4で反射されて、回転反射鏡５へ導かれ
る。回転反射鏡５は回転駆動装置６によって所定の回転
速度で回転し、反射鏡４からの２をその入射方向とは直
交する面上に反射する。前記面上には複数たとえば２個
の集束レンズ7,8が回転反射鏡５から等距離に配置され
ており、反射されて間欠的に入射するレーザ光２を集束
する。集束レンズ7,8のそれぞれには導光ケーブル9,10
の一方の端部が接続されており、集束されたレーザ光２
はこれら導光ケーブル9,10を伝搬し、それぞれの他方の
端部に接続されているマーク発生部11,12に伝送され
る。

マーク発生部11,12は所定の記号もしくは符号などの
パターンを発生するものであり、同じ構造，機能を有す
るものであるので、その詳細については一方11を代表さ
せて説明する。すなわち、マーク発生部11に導入された
レーザ光２は拡散レンズ13でいったん平行光線にされて
から、所定の記号もしくは記号などのパターン情報が付
されているマスク14を透過する。このマスク14は透明基
板に記号もしくは符号などのマークパターン情報をもつ
パターン金属蒸着膜が付与されたものである。ここでは
マスク14を透過式としたが、レーザ光を反射させて読出
す方式としてもよいのは言うまでもないことである。マ
ークパターンで変調されたレーザ光２は反射鏡15で反射
され、集束レンズ16で集束されてから被照射体17に照射
される。このとき、マーク発生部11における反射鏡15の
裏面側に付設されているレーザ光検出素子19によってマ
スク14の透過レーザ光量が検出され、マーク発生部11か
らレーザ光２が被照射体17へ向けて確実に発せられてい
るか否かがモニターされる。

一方、マーク発生部12においても、まったく同じこと
が行われ、被照射体18にマスクを透過したレーザ光２が
照射される。

被照射体17,18をレーザ光２の照射に同期して順次移
動配置することにより、それらにマークが焼付けられ
る。

この実施例では、ふたつのマーク発生部11,12が配置
されているので、被照射体17,18に対するレーザ光２の
照射は回転反射鏡５の回転により交互に行われるが、マ
ーク発生部を三個以上配置しておけば、マーキング速度
を高めることができる。また、マーク発生部が互いに異
なるマークパターンを発生するようにすれば、ひとつの
レーザ発振器で複数の品種を並行して焼付けすることが
できる。

発明の効果 本発明のレーザー装置は、レーザ発振器から発せられ
るレーザー光を複数のマーク発生部でそれぞれ対応する
被照射体にレーザーを照射するため、複数のマーク発生
部のマスクをそれぞれ異なるマスクにすれば、１つのレ
ーザ発振器で複数の品種を平行してマーキングすること
ができる。また、所定の記号もしくは符号などのパター
ン情報が付与されたレーザー光量を、反射鏡に設けられ
たレーザ光検知センサで検知するので、導光ケーブルの
破損およびマスクの汚れ、傷等によるレーザ光量の低下
を検出でき、したがって、被照射体に対するマーク不良
の発生を未然に防止することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のレーザ装置の一実施例の構成を示す平
面図、第２図は従来のレーザ装置の構成を示す平面図で
ある。 １……レーザ発振器、２……レーザ光、５……回転反射
鏡、６……回転駆動装置、9,10……導光ケーブル、11,1
2……マーク発生部、14……マスク、17,18……被照射
体。

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】レーザ発振器と、前記発振器から発せられ
   るレーザ光を所定の方向へ反射させる回転反射鏡と、前
   記回転反射鏡で反射されたレーザ光を一方の端部側で受
   光しかつ伝送する複数の導光ケーブルと、前記導光ケー
   ブルの各他方の端部にそれぞれ接続され、記号もしくは
   符号などのパターンを発生するマーク発生部とを具備
   し、前記マーク発生部は、前記レーザ光に所定の記号も
   しくは符号などのマークパターン情報を与えるマスク
   と、前記マークパターン情報を所定の方向へ反射させる
   反射鏡と、前記マークパターン情報を所定の方向へ反射
   させる反射鏡に設けられ、かつ前記マスクにてマークパ
   ターン情報が付与されたレーザ光量を検知するレーザ光
   検知センサとを有することを特徴とするレーザ装置。