JPS63171279A - レ−ザ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はレーザマーキングなどに用いられるレーザ装置
に関するものである。

従来の技術 近年、レーザ装置を利用して、記号もしくは符号などを
付すべき被照射体にレーザ光を照射して、その構成材料
を局部的に蒸発、除去あるいは質的変化をさせて切断あ
るいは表面処理などを行なう技術がとり入れられている
。

この技術は、半導体装置をはじめとする電子部品の品種
区分などのためのマーキングに広く応用されるようにな
って来ている。

以下に、従来のレーザ装置について、第２図を用いて説
明する。

図に示すように、レーザ発振器２１から発せられたレー
ザ光２２は、装置内部に配設されているレーザ光検知セ
ンサでそれが正常に発振されているかどうかを確認し、
鏡筒部２３のレンズ２４により平行なレーザ光とされる
。この平行なレーザ光は、マークのパターンが付与され
ているガラスマスク２５を透過してから、レンズ２６で
所定のエネルギー密度まで集束されてから、被照射体２
７に照射される。

発明が解決しようとする問題点 しかしながら、上記レーザ装置には以下に述べる問題点
がある。

すなわち、このレーザ装置では、レーザ光検知センサが
発振器２１内に配置されているため、レーザ発振器２１
がレーザ光を発しているか否かを検出することができる
ものの、鏡筒部２３．マスク２５を通してレーザ光が確
実に被照射体２７に照射されているかどうか確認するこ
とができない。したがって、発振器２１から被照射体２
７までの間でレーザ光の伝搬状態に異常が発生したとし
ても、検知センサはそれを検出することができず、被照
射体２７におけるマーク不良の発生を防止することがで
きない。また、レーザ光の発振持続期間が短時間であり
、それに被照射体２７の供給能力が対応できないことか
ら、レーザ装置を効率よく稼動させることができず、製
品のコストアップの一因となるという問題があった。

本発明は、マーキングに要するコストを低減でき、かつ
マーク不良の発生全未然に防止できるし一ザ装置を提供
しようとするものである。

問題点を解決するための手段 本発明のレーザ装置は、レーザ発振器から発せられるレ
ーザ光を回転反射鏡で所定の方向へ反射し、反射された
レーザ光を複数の導光ケーブルでそれぞれ受光し伝送す
るとともに、これの導光ケーブルの条端部に接続された
マーク発生部から被照射体にマークパターン情報が付与
されたレーザ光を照射するよう構成したものである。そ
して、マーク発生部のそれぞれは被照射体に所定の記号
もしくは符号などを焼付けるためのマスクと、このマス
クにてマークパターン情報が与えられたレーザ光を検出
するレーザ光検知センサとを有するものである。

作用 レーザ発振器から発せられるレーザ光を複数のマーク発
生部でそれぞれに対応する被照射体にレーザ光を照射す
るため、ひとつのレーザ発振器で複数のラインに流れる
製品などにマークを付すことができる。また、所定の記
号もしくは符号など。

のパターン情報が付与されたレーザ光をレーザ光検知セ
ンサで検出するので、被照射体に対するマーク不良の発
生を未然に防止できる。

実施例 以下に、本発明の一実施例について、第１図を用いて説
明する。

図において、レーザ発振器１の発生するレーザ光２は、
反射鏡３，４で反射されて、回転反射鏡５へ導かれる。

回転反射鏡５は回転駆動装置６によって所定の回転速度
で回転し、反射鏡４からの２をその入射方向とは直交す
る面上に反射する。

前記面上には複数たとえば２個の集束レンズ７゜８が回
転反射鏡５から等距離に配置されており、反射されて間
欠的に入射するレーザ光２を集束する。集束レンズ７．
８のそれぞれには導光ケーブル９．ｌＯの一方の端部が
接続されており、集束されたレーザ光２はこれら導光ケ
ーブル９，１０を伝搬し、それぞれの他方の端部に接続
されているマーク発生部１１．１２に伝送される。

マーク発生部１１．１２は所定の記号もしくは符号など
のパターンを発生するものであり、同じ構造１機能を有
するものであるので、その詳細については一方１１を代
表させて説明する。すなわち、マーク発生部１１に導入
されたレーザ光２は拡散レンズ１３でいったん平行光線
にされてから、所定の記号もしくは記号などのパターン
情報が付されているマスク１４を透過する。このマスク
１４は透明基板に記号もしくは符号などのマークパター
ン情報をもつパターン金属蒸着膜が付与されたものであ
る。ここではマスク１４を透過式としたが、レーザ光を
反射させて読出す方式としてもよいのは言うまでもない
ことである。マークパターンで変調されたレーザ光２は
反射鏡１５で反射され、集束レンズ１６で集束されてか
ら被照射体１７に照射される。このとき、マーク発生部
１１における反射鏡１５の裏面側に付設されているレー
ザ光検出素子１９によってマスク１４の透過レーザ光が
検出され、マーク発生部１１からレーザ光２が被照射体
１７へ向けて確実に発せられているか否かがモニターさ
れる。

一方、マーク発生部１２においても、まった（同じこと
が行われ、被照射体１８にマスクを透過したレーザ光２
が照射される。

被照射体１７．１８をレーザ光２の照射に同期して順次
移動配置することにより、それらにマークが焼付けられ
る。

この実施例では、ふたつのマーク発生部１１゜１２が配
置されているので、被照射体１７．１８に対するレーザ
光２の照射は回転反射鏡５の回転により交互に行われる
が、マーク発生部を三個以上配置しておけば、マーキン
グ速度を高めることができる。また、マーク発生部が互
いに異なるマークパターンを発生するようにすれば、ひ
とつのレーザ発振器で複数の品種を並行して焼付けする
ことができる。

発明の効果 本発明のレーザ装置は、レーザ光を回転反射鏡で反射さ
せて複数のマーク発生部に順次供給するので、複数の被
照射体に対してマーキングを行うことができる。したが
って、その稼働状態は従来装置に比べて非常に向上し、
マーキングに要するコストを低下させることができる。

また、マスクを透過したレーザ光を検知センサで検出し
ているので、マーク不良の発生を未然に防止することが
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のレーザ装置の一実施例の構成を示す平
面図、第２図は従来のレーザ装置の構成を示す平面図で
ある。 １・・・・・・レーザ装置、２・・・・・・レーザ光、
５・・・・・・回転反射鏡、６・・・・・・回転駆動装
置、９，１０・・・・・・導光ケーブル、１１．１２・
・・・・・マーク発生部、１４・・・・・・マスク、１
７．１８・・・・・・被照射体。 代理人の氏名　弁理士　中尾敏男　ほか１名第２図 ？５

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. レーザ発振器と、前記発振器から発せられるレーザ光を
   所定の方向へ反射させる回転反射鏡と、前記反射鏡で反
   射されたレーザ光を一方の端部側で受光しかつ伝送する
   複数の導光ケーブルと、前記導光ケーブルの各他方の端
   部にそれぞれ接続され、記号もしくは符号などのパター
   ンを発生するマーク発生部とを具備し、前記マーク発生
   部はレーザ光に所定の記号もしくは符号などのマークパ
   ターン情報を与えるマスクと、前記マスクにてマークパ
   ターン情報が付与されたレーザ光を検知するレーザ光検
   知センサとを有することを特徴とするレーザ装置。