KR0149325B1 - 프루브 조정 방법 - Google Patents
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Abstract
이 발명은 프루브 스테이션(Probe Station)의 프루브(Probe)조정방법에 관한 것으로, 프루브 스테이션을 이용하여 박막트랜지스터 회로기판과 같은 대면적 기판을 테스트하기 전에 프루부가 수평이 되도록 하기 위하여, 저항체에 프루브 스테이션의 핀을 접속하고, 인접 핀 간의 저항을 저항측정장치를 이용하여 측정 및 판독을 한 다음, 프루브 스테이션의 핀 조정 장치를 이용하여 핀을 수평 조정하는 것으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 프루브 조정 방법에 관한 것이다. 또한 상기한 프루브 조정 방법을 이용하여 먼저 여러 개의 프루브 블록을 나누어 프루브 블록 단위로 저항을 측정하여 수평조정을 한 후 각 프루브 블록의 저항값이 일치하도록 프루브 블록간의 저항을 맞추어 주는 프루브 조정 방법에 관한 것이다.
Description
제1도는 일반적인 프루브 스테이션의 정면도이고,
제2도는 일반적인 프루브 스테이션의 측면도이고,
제3도는 본 발명의 제1실시예에 따른 고저항 기판의 저항 측정 회로도이고,
제4도는 상기 제3도의 등가 회로도이고,
제5도는 본 발명의 제1실시예에 따른 고저항 기판의 제1저항측정값을 나타낸 도표이고,
제6도는 본 발명의 제1실시예에 따른 고저항 기판의 제2저항측정값을 나타낸 도표이고,
제7도는 본 발명의 제1실시예에 따른 고저항 기판의 제3저항측정값을 나타낸 도표이고,
제8도는 본 발명의 제2실시예에 따른 프루브 스테이션의 프루브 블럭을 도시한 상태도이고,
제9도는 본 발명의 제2실시예에 따른 프루브 스테이션의 프루브 블럭의 저항측정값을 나타낸 도표이고,
제10도는 본 발명의 제2실시예에 따른 프루브 스테이션의 프루브 블럭의 저항값을 프루브 저항조정기로 조정한 후의 저항 측정값을 나타낸 도표이고,
제11도는 본 발명의 제1실시예에 따른 핀간의 저항을 측정하는 방법을 나타낸 상태도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
32 : 저항체 34 : 핀
82 : 프루브 블럭
본 발명은 프루브 스테이션(Probe Station)의 프루부(Probe)조정방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 박막 트랜지스터 회로기판과 같은 대면적 기판을 프루브 스테이션을 이용하여 테스트하기 전에 프루브가 수평이 되도록 하기 위한 프루브 스테이션의 프루브를 조정하는 방법에 관한 것이다.
일반적으로 박막트랜지스터 회로기판과 같은 대면적 기판을 테스트하기 전에 프루브가 수평이 되도록 하기 위한 방법으로는 종래에는 에지센서(Edge Sensor)를 이용하는 방법과 포토센서(Photo Sensor)를 이용하는 방법이 있다.
먼저, 에지센서를 이용한 방법을 설명하면 다음과 같다.
대면적 기판에 컨택시 온/오프(ON/OFF)되는 기계적인 스위치(Mechanical Switch)를 설치하여 프루브 카드의 평탄도를 조정한다.
상기한 방법은 단일 프루브 카드 사용할 때 충분히 가능하지만 여러 개의 프루브 카드 사용할 때 조정에 어려움이 많다. 특히, 대면적 액정디스플레이 기판의 경우에는 테스트 패드의 일렬배열에 따라 에지 센서의 설치가 어려운 단점이 있다. 만약, 에지 센서를 사용하지 않는다면 각각의 프루브 블록의 미세 조정이 힘들다.
다음, 포토 센서를 이용한 방법을 설명하면 다음과 같다.
상기한 에지센서를 이용한 프루브 조정 방법의 단점을 개선한 포토센서는 온/오프의 단속 스위치이므로 선형영역의 미세조정은 매우 힘든 단점이 있다.
그러므로 본 발명은 상기한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 박막트랜지스터 회로기판과 같은 대면적 기판을 프루브 스테이션을 이용하여 테스트하기 전에 프루브가 수평이 되도록 하기 위하여 프루브 스테이션의 프루브를 조정하는 방법으로써, 저항측정장치를 이용하여 프루브의 저항값을 측정한 후 측정값의 판독으로 수평도를 파악한 후 다시 프루브가 수평이 되도록 수평조정장치를 이용하여 프루브를 조정하는 것을 특징으로 하는 프루브 조정 방법을 제공하기 위한 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 프루브 조정 방법은, 저항체에 프루브 스테이션의 핀을 접속하고, 인접 핀 간의 저항을 저항측정장치를 이용하여 측정 및 판독을 한 다음, 프루브 스테이션의 핀 조정장치를 이용하여 핀을 수평 조정하는 것으로 이루어진다.
또한, 상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 또 다른 프루브 조정 방법은, 프루브 스테이션의 다수의 프루브에 대하여 여러 개의 프루브 블럭을 나누어 프루브 블럭을 지정한 다음, 프루브 블럭 중 어느 하나의 프루브 블럭에 저항체를 접속하고, 저항측정장치를 이용하여 인접 핀 간의 저항을 측정 및 판독 한 다음, 프루브 스테이션의 핀 조정 장치를 이용하여 프루브 블럭의 핀을 수평 조정한 뒤, 프루브 블럭 중 나머지 프루브 블럭에 대해서도 상기와 같은 방법으로 프루브 블럭의 핀을 수평 조정하는 것을 되풀이 한 다음, 각 프루브 블럭마다 저항이 동일하도록 프루브의 높이를 조절하여 각 프루브 블록마다 동일한 저항값이 나오도록 조정하는 것으로 이루어진다.
이하, 첨부한 도면을 참조로 하여 본 발명의 실시예에 대해 상세히 설명한다.
제3도는 본 발명의 제1실시예에 따른 고저항 기판의 저항 측정 회로도이고, 제4도는 상기 제3도의 등가 회로도이고, 제5도는 본 발명의 제1실시예에 따른 고저항 기판의 제1저항측정값을 나타낸 도표이고, 제6도는 본 발명의 제1실시예에 따른 고저항 기판의 제2저항측정값을 나타낸 도표이고, 제7도는 본 발명의 제1실시예에 따른 고저항 기판의 제3저항측정값을 나타낸 도표이다.
이 발명의 제1실시예에 따른 프루브 조정 방법의 구성은, 저항체(32)에 프루브 스테이션의 핀(34)을 접속하고, 인접 핀(34)간의 저항을 저항측정장치를 이용하여 측정 및 판독을 한 다음, 프루브 스테이션의 핀 조정 장치를 이용하여 핀을 수평조정하는 것으로 이루어진다.
상기한 구성에 의한 발명의 제1실시예에 따른 프루브 조정 방법을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 제3도에 도시한 바와 같이 저항체(32)에 프루브 스테이션의 핀(34)을 접속한다.
다음, 인접 핀(34)간의 저항을 측정한다. 이때 측정 장치로는 테스터를 이용하는 것이 바람직하다.
다음, 저항측정장치를 이용하여 제5도 및 제6도에 도시한 바와 같이 측정 및 판독을 한 다음, 제5도 및 제6도에 도시한 바와 같이 핀 번호마다 저항값이 수평하지 않은 결과값(R1, R2, R3, … Rn)이 나온 경우에 프루브 스테이션의 핀 조정 장치를 이용하여 제7도에 도시한 바와 같이 수평한 결과값(R1, R2, R3, … Rn)이 나오도록 핀을 수평조정한다.
제8도는 본 발명의 제2실시예에 따른 프루브 스테이션의 프루브 블럭을 도시한 상태도이고, 제9도는 본 발명의 제2실시예에 따른 프루브 스테이션의 프루브 블럭의 저항측정값을 나타낸 도표이고, 제10도는 본 발명의 제2실시예에 따른 프루브 스테이션의 프루브 블럭의 저항값을 프루브 저항조정기로 조정한 후의 저항 측정값을 나타낸 도표이고, 제11도는 본 발명의 제1실시예에 따른 핀간의 저항을 측정하는 방법을 나타낸 상태도이다.
이 발명의 제2실시예에 따른 프루브 조정 방법의 구성은, 프루브 스테이션의 다수의 프루브에 대하여 여러 개의 프루브 블럭을 나누어 프루브 블럭(82)을 지정한 다음, 프루브 블럭(82) 중 어느 하나의 프루브 블럭에 저항체를 접속하고, 저항측정장치를 이용하여 인접 핀 간의 저항을 측정 및 판독 한 다음, 프루브 스테이션의 핀 조정 장치를 이용하여 프루브 블럭의 핀을 수평조정한 뒤, 프루브 블럭 중 나머지 프루브 블럭에 대해서도 상기와 같은 방법으로 프루브 블럭의 핀을 수평조정하는 것을 되풀이 한 다음, 각 프루브 블럭(82)마다 저항이 동일 하도록 프루브의 높이를 조절하여 각 프루브 블럭(82)마다 동일한 저항값이 나오도록 조정하는 것으로 이루어진다.
상기한 구성에 의한 이 발명의 제2실시예에 따른 프루브 조정 방법을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 프루브 스테이션의 다수의 프루브에 대하여 여러 개의 프루브 블럭(A, B C)을 나누어 프루브 블럭(82)을 지정한 다음, 프루브 블럭(82) 중 어느 하나의 프루브 블럭에 저항체를 접속하고, 저항측정장치를 이용하여 인접 핀 간의 저항을 측정 및 판독한 다음, 프루브 스테이션의 핀 조정 장치를 이용하여 상기 프루브 블럭의 핀을 수평조정한 뒤, 상기 프루브 블럭 중 나머지 프루브 블럭에 대해서도 상기와 같은 방법으로 프루브 블럭의 핀을 수평조정하는 것을 되풀이 한 다음, 제9도에 도시한 바와 같은 각 프루브 블럭마다 다른 결과값이 나온 경우에 각 프루브 블럭마다 저항이 동일 하도록 프루브의 높이를 조절하여 제10도에 도시한 바와 같이 각 프루브 블럭(82)마다 동일한 저항값이 나오도록 조정한다.
이러한 방법은 액정 표시 장치와 같은 다수개의 프루브 블럭을 가지는 액정 표시 프루브 유니트의 미세조정에 유용하다.
또한 제11도에 도시한 바와 같이 각 인접 패드간의, 즉 핀 간의 저항을 측정하여 저항값이 균일하도록 하여 핀의 접촉을 균일하게 하고, 반대쪽에도 같은 방법으로 저항 측정후 핀의 접촉 균일도를 유지하고, 핀과 상대편 핀 간의 저항측정으로 단성 여부를 판정할 수 있다.
상기와 같이 이루어진 이 발명의 효과는, 박막트랜지스터 회로기관을 테스트하기에 앞서 프루브 스테이션의 프루브가 수평이 되도록 하기 위한 방법으로써 각 프루브 핀의 저항값을 측정하여 판독하는 방법을 통하여 미세조정이 가능하다는 장점이 있다.
Claims (2)
- 저항체에 프루브 스테이션의 핀을 접속하고, 인접 핀 간의 저항을 저항측정장치를 이용하여 측정 및 판독을 한 다음, 프루브 스테이션의 핀 조정장치를 이용하여 핀을 수평조정하는 것으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 프루브 조정 방법.
- 프루브 스테이션의 다수의 프루브에 대하여 여러 개의 프루브 블럭을 나누어 프루브 블럭을 지정한 다음, 프루브 블럭 중 어느 하나의 프루브 블럭에 저항체를 접속하고, 저항측정장치를 이용하여 인접 핀 간의 저항을 측정 및 판독 한 다음, 프루브 스테이션의 핀 조정 장치를 이용하여 프루브 블럭의 핀을 수평 조정한 뒤, 프루브 블럭 중 나머지 프루브 블럭에 대해서도 상기와 같은 방법으로 프루브 블럭의 핀을 수평 조정하는 것을 되풀이 한 다음, 각 프루브 블럭마다 저항이 동일하도록 프루브의 높이를 조절하여 각 프루브 블록마다 동일한 저항값이 나오도록 조정하는 것으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 프루브 조정 방법.
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