KR0138073B1 - 진동작동기 또는 진동시스템의 고유주파수조정방법, 그리고 진동부재의 조건결정방법 - Google Patents

진동작동기 또는 진동시스템의 고유주파수조정방법, 그리고 진동부재의 조건결정방법

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KR0138073B1
KR0138073B1 KR1019930001165A KR930001165A KR0138073B1 KR 0138073 B1 KR0138073 B1 KR 0138073B1 KR 1019930001165 A KR1019930001165 A KR 1019930001165A KR 930001165 A KR930001165 A KR 930001165A KR 0138073 B1 KR0138073 B1 KR 0138073B1
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야마지 게이조
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Abstract

진동모터 또는 작동기는, 진동부재내에 배치된, 제1 방향의 진동을 발생하는 압전소자와, 진동부재내에 배치된, 상기 제1 방향과 다른 제2 방향의 진동을 발생하는 다른 압전소자를 구비하고, 상기 진동부재는 예를 들면 레이저에 의해 깎인 오목부 또는 질양이 부가된 부분을 지니므로, 제1 방향 및 제2 방향에서의 진동의 소정진동모드의 고유주파수를 서로 대략 일치시킬 수 있다.

Description

진동작동기 또는 진동시스템의 고유주파수조정방법, 그리고 진동부재의 조건결정방법
제1도는 본 발명의 방법을 유효하게 실시할수 있는 검출장치의 일실시예의 회로배열을 도시한 블록도
제2도는(A) 내지 제2도(E)는 제1도에 도시한 진동모터외 주파수 대 어드미턴스 특성을 도시한 그래표
제3도는 본 발명의 다른 실시예에 의한 검출장치의 회로배열을 도시한 블록도
제4도는 제3도에 도시한 실시예에 있어서의 각도와 전류간의 관계를 도시한 그래프
제5도는 본 발명에 의해 검출된 각도에 해당하는 진동부재의 부분을 가공하는 가공방법을 설명하기 위한 도면
제6도는 본 발명의 방법에 따라 조정된 모터를 구동원으로서 사용하는 장치의 주요부의 단면도
제7도는 종래의 진동모터의 분해사시도
제8도는 막대형상의 진동모터의 종단면도
(1):연산마이크로컴퓨터(2):발진기
(3)(4):증폭기(5)(6):전압검출기
(7)(8):전류 검출기(9)(10)(11):위상차검출기
(12)(13):이독제어기(54):접속축
(55):구동장치(56):슬릿판
(57):포토커플러(a1)(a2):구동용 압전소자
(b1)(b2):금속제블록(c):체결볼트
(d):절연시트(e):베어링부재
(f):기어(g):고정부재
(h):코일스프링(i):스프링케이스
(r):로터
본 발명은 막대형상 또는 환형상의 진동모터 또는 작동기의 고유모드조정위치검출방법 및 조정방법에 관한 것이다.
제7도 막대형상 진동모터의 진동부재의 분해사시도이고, 제8도는 막대형상 진동모터의 종단면도이다.
제7도에 도시한 진동부재는, 2매의 압전소자판(PZT1), (PZT2)을 1군으로 하는 구동용의 A상압전소자(a1), 2매의 압전소자판(PZT3), (PZT4)을 1군으로 하는 구동용의 B상업전소자(a2) 및 1매의 압전소자판으로 이루어진 센서용 압전소자(S1)를 동도에 도시한 바와 같이 적층하여 구성된 동시에, 각 2매의 인접한 압전소자 사이에은 상기 압전소자에 전기를 공급하기 위한 전국판(A1), (A2) 및 센서신호출력용의 전국판(S)이 삽입되어 있다. 또, GND용 전국판(G1), (G2), (G3)도 GND 전위를 부여하기 위하여 배치되어 있다. 이들 압전소자판과 전국판을 고정하기 위하여, 예를들면 청동이나 스테인레스스틸 등의 진동감쇠가 비교적 적은 금속제블록(b1)(b2)을 설치하고, 체결볼트(c)에 의해 상기 금속제블록(b1), (b2)을 체결함으로써 일체화된 구조를 형성하여 압전소자판에 압축용력을 부여하고 있다. 이 진동부재에 있어서는, 볼트(c)와 금속제블록(b2)사이에 절연시트(d)가 삽입되어 있으므로, 단지 1매의 센서용 압전소자(S1)만을 사용한다.
이때 A상압전소자(a1) 및 B상압전소자(a2)는 90°변위된 상태로 배치되어 있고, 이들 압전소자(a1), (a2)가 각각 해당 진동부재의 축을 포함하는 2개의 직교평면내의 방향으로 굴곡진동을 여진시키고, 또 적절한 시간적 위상차를 지님으로써, 진동부재의 표면입자에 원 혹은 타원운동을 일으켜 진동부재의 상부에 대해 압압된 이동부재를 마찰구동한다.
제8도는 이러한 진동부재가 막대형상 진동모터에 사용된 예를 도시한 것이다. 이 예에서는, 진동부재의 체결볼트(c)는 그의 말단부에 작은 직경의 지주부(c2)를 지니고, 이 지주부(c2)의 말단부에 고정된 고정부재(g)에 의해 모터자체를 고정시킬 수 있고 또 예를 들면 모터(r)를 회전지지할 수도 있다. 모터(r)는 앞쪽 금속제블록(b1)의 선단면에 접촉하고, 가압은 베어링부재(e)와 기어(f)를 개재해서 로터(r)에 내장된 스프링케이스(i)의 코일스프링(h)을 압압함으로써 부여된다.
높은 효율을 얻기 위해서는, 막대형상 진동모터 뿐만 아니라 환형상 진동모터에 있어서도, 진동부재에 여진되는 2상의 고유모드의 고유주파수가 서로 일치하도록 설계되어 있다.
그러나, 실제로는 진동부재를 구성하는 금속제블록의 재료의 불균일, PZT소자를 고정하는 부분의 압력불균일 등에 의해 양 고유주파수가 서로 변하여, 그 주파수에서 2개의 위상분만큼 구동된때 2개의 위상에 의해 발생된 진폭은 그 사이의 차이분을 지녀, 진동부재의 질점에서 형성된 원형운동이 변형되어 그 결과 모터효율의 저하를 초래한다고 하는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기 종래의 문제점을 해결하기 위하여 이루어진 것으로서, 진동부재에 여진되는 2개의 고유모드의 고유주파수간의 차를 가능한 한 줄일 수 있는 고유모드조정위치검출방법 및 조정방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 다른 목적은 진동부재에 여진되는 2상의 고유모드의 고유주파수를 서로 일치시킬 수 있는 구조를 지닌 진동모터 또는 작동기를 제공하는데 있다.
본 발명의 기타 목적은 본 발명의 이하의 상세한 설명으로부터 명백해질 것이다.
본 발명의 일양상은, 진동부재의 소정 부분에 예를 들면 레이저에 의해 오목부를 형성하거나 여기에 소정의 질량을 지닌 부재를 부가하여 진동부재에 여진되는 적어도 2상의 고유모드의 고유주파수를 서로 일치시킬 수 있도록 구성된 것을 특징으로 한다.
본 발명의 상기 목적을 달성하기 위한 진동모터의 고유모드조정위치검출방법은, 진동모터의 진동부재에 있어서의 2상, 예를 들면 A상 및 B상의 구동용 전기기계에너지변환소자에 교류전압을 인가하고, 소정 주파수에서의 전압 및 전류의 크기와 그 위상차에 의거해서 조정위치를 검출하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 다른 양상은, 진동모터의 진동부재에 있어서의 2상, 예를 들면 A 및 B상의 구동용 전기기계변환소자에 인가하는 교류전압의 크기 및 위상차를 변화시키면서 전류치를 계측하고, 이 계측전류치가 피크값으로 되는 위치를 고유 모드조정위치로 결정하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 또 다른 양상은, 검출된 조정위치를 예를 들면 레이저에 의해 깎아내고, 다른 위상보다 고유모드의 고유주파수가 높은 위상은 그 고유주파수를 낮추거나 이와 반대로 낮은 주파수 일때는 높게해서 조정하는 것을 특징으로 한다.
이하, 첨부도면을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.
제1도는 본 발명에 의한 고유모드조정위치검출방법을 유효하게 실시할 수 있는 검출장치의 일실시예의 회로배열을 도시한 블록도이다.
상기 검출장치는, 장치전체의 제어를 행하는 연산마이크로컴퓨터(1), 발진기(2), 구동용증폭기(3), (4)(A상 및 B상용), A상압전소자(a1)의 전압검출기(5), B상 압전소자(a2)의 전압검출기(6), A상압전소자(a1)의 전류검출기(7), B상 압전소자(a2)의 전류검출기(8), A상압전압과 A상전류간의 위상차를 검출하기 위한 위상차검출기(9), B상전압과 B상 전류간의 위상차를 검출하기 위한 위상차검출기(10) 및 A상전류와 B상전압간의 위상차를 검출하기 위한 위상차검출기(11)로 구성되어 있다.
연산마이크로컴퓨터(1)는, 소정주파수범위에서 발진기(2)의 출력주파수를 스위프(Sweep)하기 위한 신호를 발진기(2)에 공급한다. 이 발진기(2)의 출력은 증폭기(3), (4)를 통해서 제7도 및 제8도에 도시한 A상 및 B상 구동용 압전소자(a1) 및 (a2)와 같은 압전소자(a1), (a2)에 인가된다. 이때 소정의 고유모드의 고유주파수가 그의 스위프주파수범위내에 있으면, 어드미턴스(전류/전압)가 그 고유주파수에서 최대로 된다. 본 발명은 이러한 특성을 이용해서 고유주파수를 검출한다.
이 주파수 스위프(주사)동작 및 전압과 전류의 측정을 A상 및 B상 양자에 대해 수행하면, 2방향의 고유주파수를 구할 수 있다. 제2도(A), 제2도.(B) 및 제2도(C)에 이때 얻은 어드미턴스특성을 도시하였다.
제2도(A)는 예를 들면 A상 압전소자를 여진시키는 방향(X방향)에서 높은 강성을 지니고 X방향과 90° 위상차를 지닌 B상의 압전소자를 여진시키는 방향(Y방향)에서 낮은 강성을 지니는 진동부재(제7도 참조)의 특성을 도시한 그래프이다. 이 제2도(A)에 있어서, 실선의 곡선은 A상압전소자(a1)에 인가된 전압의 주파수와 이 각 주파수에서의 어드미턴스간의 특성을 나타내며, 점선의 곡선은 B상압전소자(a2)에 인가된 전압의 주파수와 이 각 주파수에서의 어드미턴스간의 특성을 나타낸다.
제2도(B)는 제2도(A)와는 다른 진동부재 즉 X방향에서 낮은 강성을 지니고 Y방향에서 높은 강성을 지니는 진동부재의 어드미턴스특성을 도시한 것으로서, 실선의 곡선은 A상에 AC전압을 인기한 때의 A상의 어드미턴스특성을 나타내고, 점선의 곡선은 B상의 AC전압을 인가한때의 B상의 어드민턴스특성을 나타낸다.
제2도(C)는 제2도(A) 및 제2도(B)에 도시한 진동부재와는 높고 낮은 강성의 방향이 다른 진동부재의 특성을 도시한 그래프이다. 동도에 있어서 실선 및 점선은 제2도(A) 및 제2도(B)에 도시한 경우와 마찬가지이다.
이하, 어드미턴스와 위상에 의거하여 진동부재의 높은 강성 및 낮은 강성의 방향을 구하는 방법에 대해 설명한다.
A상압전소자(a1)의 진동인가방향(APD)(제7도 참조)으로부터 변위된 각도를 θ(제7도 참조)라고 가정한다.
또, 제7도에 도시한 성분(a1), (a2), (b1), (b2), (c), (d)의 강성은 원래 높은 방향을 이하 X모드라고 하고, 이들 성분의 강성의 낮은 방향을 Y모드라고 한다.
또한, 다음과 같이 약자를 정의하기로 한다.
Axa=A상압전소자(a1)가 진동부재의 X모드를 구동할때의 힘계수
Aya=A상압전소자(a1)가 진동부재의 Y모드를 수성할때의 힘계수
Axb=B상압전소자(a2)가 진동부재의 X모드를 구동할때의 힘계수
Ayb=B상압전소자(a2)가 진동부재의 Y모드를 구동할때의 힘계수
Zmx=진동부재의 X모드에서의 진동의 기계임피던스
Zmy=진동부재의 Y모드에서의 진동의 기계임피던스
또, A상압전소자(a1)구동시의 A상압전소자(a1)의 어드미턴스(Yaa)는 하기식 (1)에 의해 구해진다.
………(1)
B상압전소자(a2)구동시의 B상압전소자(a2)의 어드미턴스(Ybb)는 하기식(2)에 의해 구해진다. 즉,
………(2)
B상압전소자(a2)구동시의 A상압전소자(a1)의 전류의 B상압전소자(a2)의 전압간의 관계(Yab)는하기식 (3)에 의해 구해진다. 즉,
………(3)
이때, 압전소자(a1), (a2)의 조립오차는 무시될 수 있는 것으로 가정한다.
일 경우,
또한, A(a1)의 구동시 B상압전소자(a2)의 전류와 A상압전소자(a1)의 전압간의 관계를 Yba라 하면, Yba는 이하의 식에 의해 구해지며,
또,
Yba=Yab
라고 하면,
…(4)
…(5)
상기식 (4) 및 (5)로부터 Zmx, Zmy, 및 A를 소거하면
……(6)
로 된다.
이들 연산식은 연산마이크로컴퓨터(1)에 설정되어 있고, 검출기(5)~(11)로 부터의 입력데이터에 의거해서, 상기 마이크로컴퓨터(1)는 상기 Yaa, Ybb, Yab를 구하고, 상기 θ즉 강성의 2방향중 하나를 구한다. 또, 마이크로컴퓨터(1)는 제2도(A) 내지 제2도(E)에 도시한 어드미런스특성에 따른 높은 강성 또는 낮은 강성을 방향을 구한다.
방향 R1(제7도 참조)에서의 강성이 높으면, 어드미턴스 특성은 제2도(D)에 도시한 바와 같이 되고, 방향 R2(제7도 참조)에서의 강성이 높으면, A상압전소자(a1) 및 B상압전소자(a2)의 어드미턴스특성은 각각 제2도(E)에 도시한 바와 같이 된다. 또, θ=0이고, 방향 R1에서의 강성이 높으면, 제2도(A)에 도시한 특성이 얻어지는 반면, 방향 R2에서의 강성의 높으면 제2도(B)에 도시한 특성이 얻어진다. 이와 같이 해서 압전소자(a1), (a2)의 어드미턴스특성(제2도(A) 내지 제2도(E))을 구하고, 진동부재의 높은 강성의 방향이 R1 또는 R2인지의 여부를 확인한다.
다음에, 진동부재의 높은 강성방향상에 위치된 표면부분에 오목부를형성하고, 이 오목부에 진동에 의해 커다란 변형을 부여하여 적당한 깊이를 지니도록 함으로써(이 깊이는 제2도(A) 및 제2도(B)에 있어서의 주파수(f1)와 (f2)간의 차 또는 주파수(f11)와 (f12)간의 차 즉 주파수차(f1-f2) 또는 (f11-f12)에 상당한다.) 상기 방향에 있어서의 진동부재의 강성을 저감시킨다.
대안적으로, 상기 오목부의 질량에 해당하는 질량을, 진동부재의 상기 방향으로 부터 90°만큼 다른 방향을 따라 위치된 표면부분으로부터 줄이고 진동에 의해 적은 변형을 부여해도 된다.
제3도는 본 발명의 다른 실시예에 의한 검출장치의 회로배열을 도시한 블록도 이다.
제1도에 도시한 검출장치에서는, 위상차검출기(9), (10), (11)을 이용해서 θ를 연산하였으나, 본 실시예에서는 증폭기(3), (4)로 부터의 출력은 이득제어기(12), (13)에 의해 가변될 수 있으므로, θ를 구하여, 상기 오목부형성위치 또는 질량 저감위치를 결정한다.
보다 상세하게는, 이득제어기(12), (12)의 제어에 의해, 진동부재에는 A상압전소자(a1)의 진동인가방향만의 진동과, B상압전소자(a2)의 진동인가방향만의 진동을 여진시킬 수 있고, 또, A상압전소자(a1)의 B상압전소자(a2)의 진동인가 방향은, 상기 소자(a1), (a2)가 서로 수직으로 배치되어 있으므로 서로 수직방향으로 형성된다. A상압전소자(a1)와 B상압전소자(a2)에 동일한 크기를 지닌 전압을 인가하면, 그 합성에 의한 진동의 방향은 A상압전소자(a1) 또는 B상압전소자(a2)의 진동인가방향으로부터 -45° 또는 45° 변위된 방향으로 된다. 이러한 현상을 이용해서, 상기 θ를 구한다.
A상압전소자(a1) 또는 B상압전소자(a2)에 인가되는 AC전압의 주파수를 순차변경해서 제2도(A)내지 제2도(C)에 도시한 어드미턴스특성을 구함으로써, 주파수(f1)나 주파수(f1)근방의 주파수, 또는 주파수(f2)나 주파수(f2)근방의 주파수를 구한 후, 상기 주파수(f1) 또는 (f2)를 지닌 AC전압을 A상압전소자(a1) 및 B상압전소자(a2)에 인가한다.
이때, A상압전소자(a1) 및 B상압전소자(a2)에 인가되는 AC전압의 진폭을 순차 변경해서 ｜Va｜+｜Vb｜=일정(여기에서, ｜Va｜는 (a1)에 인가되는 전압의 절대치, ｜Vb｜는 (a2)에 인가되는 전압의 절대치이다)을 만족시키도록 하여, 이때 압전소자(a1)를 통해 흐르는 전류 Ia를 검출기(7)에 의해 검출한다. 제3도에 있어서, 제1도에 도시한 것과 동일한 기능을 지닌 요소에는 동일한 참조번호를 부기하였다.
다음에, 전류 Ia의 최대값(압전소자(a2)를 통해 흐르는 전류 Ib를 사용해도 되며, 이상적으로는 Ia+Ib가 바람직하다)을 구한다.
제4도의 좌표계의 전류 Ia의 변화를 도시하였다. 제4도에 있어서, 각도 θ는 가로축에 표시하였으며, 이 각도 θ의 정의는 다음과 같다. 즉, A상압전소자(a1)에 인가되는 전압의 크기를 Y축에 표시하고, B상압전소자(a2)에 인가되는 전압의 크기를 X축에 표시할때, 이들 두 전압의 합성벡터의 방향과, Y축이 이루는 각도를 θ라 한다. 또, 전류 Ia의 크기는 세로축에 표시하였다.
이 각도 θ는 압전소자(a1), (a2)에 의한 진동인가시 진동부재성분(a1), (a2), (b1), (b2), (c) 및 (d)(제7도 참조)에서 발생된 합성진동인가방향과 일치한다.(
또, 전류 Ia의 최대값 또는 그 최대값 근방의 값에 상당하는 각도 θ는 제4도로 부터 구해진다(물론, 각도 θ는 종이위에 제4도의 그래프를 실제로 구려서 구할 필요는 없고, 컴퓨터를 이용해서 구할 수 있다).
상기 각도 θ는, 제 1실시예에서 기술한 각도 θ의 내용과 같은 내용을 나타내므로(즉, 각도 θ는, 제7도 도시한 방향(APD)과 높거나 낮은 강성의 방향사이에 이루는 각도를 나타낸다), 진동부재의 표면부분에 오목부 또는 중공부를 형성하면 되고, 상기 진동부재의 표면부분은, 구해진 θ에 의거해서 방향 R1 또는 R2(제7도 참조)의 대략 일치하는 방향을 따라 위치한다). 대안적으로, 낮은 강성의 방향이 구해지면, 해당부분에 소정 질량를 부가하면 된다.
이러한 방법에 의하면, 2방향에서의 강성을 서로 일치시킬 수 있다.
높은 강성의 방향은, 제1실시예에서와 마찬가지로 제2도(A)내지 제2도(C)에 도시한 압전소자의 어드미턴스특성을 측정함으로써 결정된다.
유의할 점은, 2방향에서의 강성을 서로 완전히 일치시킬 필요는 없다는 점이다. 즉, 압전소자(a1)의 여전시의 진동부재의 주어진 모드의 고유주파수는 압전소자(a2)의 여진시의 진동부재의 주어진 모드의 고유주파수의 완전히 일치할 필요가 없다. 즉, 2개의 고유주파수가 대략 200Hz정도차이가 나면 실용상 아무런 문제가 없다. 제5도는 진동부재의 표면에 레이저를 이용해서 상기 오목부를 형성하는 실시예의 주요부의 단면도이다.
제5도에 있어서, 레이저(15)는 금속제블록(b1)의 가운데가 잘록한 부분(b11)에 레이저빔을 조사하도록 되어있다. 그래서, 상기 제1 또는 제2실시예에 따라 구해진 방향과 진동부재의 표면부분이 대략 일치되도록 진동부재홀더(16)에 의해 지지된 진동부재를 회전시키고, 레이저를 조사한다. 고유 주파수의 보정량은 레이저빔의 조사시간 혹은 주사폭을 제어함으로써 조정한다. 이 경우, 레이저를 사용하였으나, 대안적으로, 줄, 드릴, 회전숫돌 등을 이용해서 표면부분을 깎아내도 된다. 또, 본 발명은 막대형상 진동모터에 한정되지 않고 환형상의 진동모터에 대해서도 적용가능하다.
제6도 본 발명의 방법에 의해 가공된 막대형상진동모터를 이용한 구동장치를 도시한것이다. 이 장치는, 슬릿판(56), 포토커플러(57) 및 모터의 장치(55)(이 경우, 카메라용 촬상렌즈구동유닛)을 연결하는 접속축(54)을 구비하고 있다. 상기 막대형상진동모터로부터의 출력은 축(54)을 통해서 장치(55)에 전달된다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 2개의 고유주파수를 소정값으로 조정할 수 있어, 모터성능을 향상시킬 수 있다. 또, 진동부재의 고유모드를 조립된 상태에서 유효하게 조정할 수 있으므로, 모터 또는 작동기를 저렴한 가격으로 제작할 수 있다.

Claims (12)

  1. 진동부재와, 이 진동부재에 있어서의 2방향으로 진동을 발생하는 2개의 전기기계에너지변환부재를 구비한 진동작동기의 고유주파수를 조정하는 방법이 있어서, 상기 2개의 변환부재를 구동함으로써 상기 진동부재의 강성의 방향을 결정하는 단계와, 상기 변환부재의 주파수 대 어드미턴스특성에 의거해서 진동부재의 높은 강성 또는 낮은 강성의 방향을 결정하는 단계와, 진동부재의 상기 구해진 높은 강성 또는 낮은 강성의 방향에 대해 대략 존재하는 질량을 증감하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 진동작동기의 고유주파수조정방법.
  2. 제1항에 있어서, 강성의 방향은, 적어도 변환부재의 구동시, 변환부재에 공급된 전압값, 변화부재를 통해 흐르는 전류값 및 변환부재에 공급된 전압과 변환부재를 통해 흐르는 전류값간의 위상차에 의거해서 결정되는 것을 특징으로 하는 진동 작동기의 고유주파수 조정방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 강성의 방향을 결정하는 단계는, 변환부재에 인가되는 AC신호의 주파수를 주사함으로써 적어도 1개의 변환부재의 주파수 대 어드미턴스특성을 구하고, 상기 특성의 피크값 또는 그 피크값 근방의 값에 해당하는 주파수를 구하는 단계와, 구해진 주파수를 지닌 AC신호를 양 변환부재에 인가함으로써 진동부재에 발생되는 진동의 벡터방향을 변화시키고, AC신호의 진폭을 변화시키는 단계와, 적어도 1개의 변환부재를 통해 흐르는 전류의 피크값 또는 그 피크값 근방의 값을 구한 때의 상기 벡터의 방향을 구하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 진동작동기의 고유주파수조정방법.
  4. 높은 강성 또는 낮은 강성의 방향은 변환부재의 주파수 대 어드미턴스특성의 피크에 의거해서 결정되는 것을 특징으로 하는 진동작동기의 고유주파수조정방법.
  5. 제1항에 있어서, 진동부재에 대해 증감될 질량의 증감량은, 변환부재의 주파수 대 어드미턴스 특성의 피크값 또는 그 피크값 근방의 값에 해당하는 주파수간의 차에 따라 결정되는 것을 특징으로 하는 진동작동기의 고유주파수조정방법.
  6. 진동부재와, 이 진동부재에 있어서의 2방향으로 진동을 발생하는 2개의 전기기계에너지변환부재를 구비한 진동시스템의 고유주파수를 조정하는 방법에 있어서, 상기 2개의 변환부재를 구동함으로써 상기 진동부재의 강성의 방향을 결정하는 단계와, 상기 변환부재의 주파수 대 어드미턴스특성에 의거해서 진동부재의 높은 강성 또는 낮은 강성의 방향을 결정하는 단계와, 진동부재의 상기 구해진 높은 강성 또는 낮은 강성의 방향에 대해 대략 존재하는 질량을 증감하는 단계로 구성된 것을 특징으로 하는 진동시스템의 고유주파수조정방법.
  7. 강성의 방향은, 적어도 변환부재의 구동시, 변환부재에 공급된 전압값, 변환부재를 통해 흐르는 전류값 및 변환부재에 공급된 전압과 변환부재를 통해 흐르는 전류값간의 위상차에 의거해서 결정되는 것을 특징으로 하는 진동시스템의 고유주파수조정방법.
  8. 제6항에 있어서, 상기 강성의 방향을 결정하는 단계는, 변환부재에 인가되는 AC신호의 주파수를 주사함으로써 적어도 1개의 변환부재의 주파수 대 어드미턴스특성을 구하고, 상기 특성의 피크값 또는 그 피크값 근방의 값에 해당하는 주파수를 구하는 단계와, 구해진 주파수를 지닌 AC신호를 양 변환부재에 인가함으로써 진동부재에 발생되는 진동의 벡터방향을 변화시키고, AC신호의 진폭을 변화시키는 공정과, 적어도 1개의 변환부재를 통해 흐르는 전류의 피크값 또는 그 피크값 근방의 값을 구한 때의 상기 벡터의 방향을 구하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 진동시스템의 고유주파수조정방법.
  9. 제6항에 있어서, 높은 강성 또는 낮은 강성의 방향은 변환부재의 주파수 대 어드미턴스특성의 피크에 의거해서 결정되는 것을 특징으로 하는 진동시스템의 고유주파수조정방법.
  10. 제6항에 있어서, 진동부재에 대해 증감될 질량의 증감량은, 변환부재의 주파수 대 어드미턴스 특성의 피크값 또는 그 피크값 근방의 값에 해당하는 주파수간의 차에 따라 결정되는 것을 특징으로 하는 진동시스템의 고유주파수조정방법.
  11. 진동을 발생하는 진동부재의 조건을 결정하는 방법에 있어서, 동일한 진동모드이나 각각 다른 위치에서 발생되는 정상 모드의 진동을 진동부재에 발생하는 단계와, 진동부재의 구동조건을 변화시키므로써 진동부재에 발생된 정상모드의 진동의 각 특성사이의 차를 결정하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 진동부재의 조건결정방법.
  12. 진동을 발생하는 진동부재의 조건을 결정하는 방법에 있어서, 동일한 진동모드이나 각가 다른 위치에서 발생되는 정상모드의 진동을 진동부재에 발생하는 단계와, 진동부재의 구동조건을 변화시키므로써 진동부재에 발생된 정상모드의 진동으로 각 고유주파수사이의 차를 결정하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 진동부재의 조건결정방법.
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