KR0127244Y1 - 웨이퍼 보관박스 - Google Patents

웨이퍼 보관박스 Download PDF

Info

Publication number
KR0127244Y1
KR0127244Y1 KR2019940027680U KR19940027680U KR0127244Y1 KR 0127244 Y1 KR0127244 Y1 KR 0127244Y1 KR 2019940027680 U KR2019940027680 U KR 2019940027680U KR 19940027680 U KR19940027680 U KR 19940027680U KR 0127244 Y1 KR0127244 Y1 KR 0127244Y1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
storage box
wafer
wafer storage
cartridge
box body
Prior art date
Application number
KR2019940027680U
Other languages
English (en)
Other versions
KR960015618U (ko
Inventor
이동건
Original Assignee
문정환
엘지반도체주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 문정환, 엘지반도체주식회사 filed Critical 문정환
Priority to KR2019940027680U priority Critical patent/KR0127244Y1/ko
Publication of KR960015618U publication Critical patent/KR960015618U/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR0127244Y1 publication Critical patent/KR0127244Y1/ko

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67376—Closed carriers characterised by sealing arrangements
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67369—Closed carriers characterised by shock absorbing elements, e.g. retainers or cushions

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Packaging Frangible Articles (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

본 고안은 특정 웨이퍼의 취급이 용이하게 한 웨이퍼 보관박스에 관한 것으로써, 내주면에 복수 개의 고정홈이 형성되어 상기 고정홈들 사이 공간에 다 수개의 반도체 웨이퍼가 적재되며, 측벽 일부가 절개되어 개구되어 개구된 부위로의 반도체 웨이퍼가 출입되도록 하기 위한 카트리지와, 카트리지를 넣을 수 있도록 내부에 공간을 가지고 상부가 개구된 외부박스몸체와, 외부박스몸체 상부에 체결되는 뚜껑을 구비하여 이루어진다.

Description

웨이퍼 보관박스
제1도는 종래의 웨이퍼 보관박스를 도시한 도면.
제2도는 본 고안의 웨이퍼 보관박스를 도시한 도면.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
11 : 박스몸체 21 : 외부박스몸체
22 : 카트리지 13,23 : 뚜껑
24 : 손잡이 15,25 : 웨이퍼
16 : 거름종이 17 : 스폰지
28 : 고정홈 29 : 완충기
본 고안은 웨이퍼 보관박스에 관한 것으로, 특히 웨이퍼 보관박스에 보관된 특정 웨이퍼의 취급을 용이하게 한 웨이퍼 보관박스에 관한 것이다.
웨이퍼 제조공정에 의해 제조된 웨이퍼는 다음 공정을 위한 대기 및 이송을 위해 웨이퍼 보관박스에서 보관된다.
종래의 웨이퍼 보관박스는 상부가 개구된 원통형 몸체와, 몸체의 상부에 체결되는 뚜껑으로 이루어진다.
제1도는 종래의 웨이퍼 보관박스를 도시한 도면으로, 제1도의 (a)는 종래의 웨이퍼 보관박스의 사시도이고, 제1도의 (b)는 종래의 웨이퍼 보관박스에서 웨이퍼 보관형태를 설명하기 위해 도시한 웨이퍼 보관박스의 단면도이다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 종래의 웨이퍼 보관박스를 설명하면 다음과 같다.
종래의 웨이퍼 보관박스는 제1도(a)에 도시한 바와 같이, 상부가 개구된 원통형 박스몸체(11)와, 박스몸체의 상부에 체결되는 뚜껑(23)으로 이루어져 있다.
종래의 웨이퍼 보관박스에서 웨이퍼를 보관하려면 제1도(b)에 도시한 바와 같이, 박스몸체(11) 내부에 다수의 웨이퍼(15)를 누적 적충하여 보관하되, 박스몸체(11) 내부바닥과 적충된 웨이퍼들 상으로 충격완화용 스폰지(17)를 두고, 웨이퍼(15)간의 접촉과 웨이퍼와 충격완화용 스폰지(17)간의 접촉에 의해 발생하는 웨이퍼의 오염 및 긁힘을 방지하기 위한 거름종이(16)를 충격완화용 스폰지(17)와 웨이퍼(15)간 및 각 웨이퍼(15)간에 개재하고, 박스몸체의 상부에 뚜껑(23)을 체결하여 보관하였다.
따라서, 종래의 웨이퍼 보관박스는 박스의 형태상 먼저 들어간 웨이퍼가 나중에 꺼내야 하는, 즉 선입후출(First in-Last out)의 방식이다.
그러므로, 종래의 웨이퍼 보관박스는 선입후출의 방식이므로 특정 웨이퍼의 취급이 곤란한 문제점이 있으며, 웨이퍼 보관시에 충격완화용 스폰지 및 거름종이등의 많은 이용재료가 소모되는 문제점이 있다.
본 고안은 이와같은 문제점을 개선키위해 안출된 것으로써, 외부박스와 그 내부에 카트리지를 형성하여 특정 웨이퍼 취급이 용이하고, 종래의 웨이퍼 보관박스에서 보관시 소모되는 충격완화용 스폰지 및 거름종이 등의 이용재료를 줄이는 웨이퍼 보관박스를 제공하는 데 목적이 있다.
상술한 목적을 달상하기 위해 본 고안의 웨이퍼 보관박스는 내주면에 복수 개의 고정홈이 형성되어 상기 고정홈들 사이 공간에 다 수개의 반도체 웨이퍼가 적재되며, 측벽 일부가 절개되어 개구되어 개구된 부위로의 상기 반도체 웨이퍼가 출입되도록 하기 위한 카트리지와, 카트리지를 넣을 수 있도록 내부에 공간을 가지고 상부가 개구된 외부박스몸체와, 외부박스몸체 상부에 체결되는 뚜껑을 구비한 것이 특징이다.
제2도는 본 고안의 웨이퍼 보관박스를 도시한 도면으로, 제2도의 (a)는 본 고안의 웨이퍼 보관박스의 사시도이고, 제2도의 (b)는 본 고안의 웨이퍼 보관박스의 외부박스의 일부를 절개한 단면도이고, 제2도의 (c)는 본 고안의 웨이퍼 보관박스에서 웨이퍼 보관형태를 설며아기 위해 도시한 카트리지의 단면도이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 고안의 웨이퍼 보관박스를 설명하면 다음과 같다.
본 고안의 웨이퍼 보관박스는 내부면에 복수 개의 고정홈(28)이 형성되어 상기 고정홈들 사이 공간에 다수개의 반도체 웨이퍼가 적재되며, 측벽 일부가 절개되어 개구되어 개구된 부위로의 상기 반도체 웨이퍼가 출입되도록 하기 위한 카트리지(22)와, 카트리지(22)상부에 형성된 손잡이(24)와, 카트리지를 넣을 수 있도록 카트리지 모양의 내부 공간을 가지고 상부가 개구된 외부박스몸체(21)와, 외부박스몸체 상부에 체결되는 뚜껑(23)을 구비하여 이루어 진다.
또한, 제2도(b)에 도시한 바와 같이, 외부박스몸체(21)의 내부바닥에 충격완화용 완충기(29)를 형성함으로써, 웨이퍼 보관박스의 운반시 웨이퍼에 가해지는 충격을 완화한다.
본 고안의 웨이퍼 보관박스에서 웨이퍼를 보관하려면, 제2도(c)에 도시한 바와 같이 보관용 카트리지(22)의 내주면에 층층이 복수로 형성된 고정홈(28)에 웨이퍼(25)를 삽입하여 웨이퍼간 일정 공간을 유지하도록 하고, 그 보관용 카트리지(22)를 외부박스몸체(21)에 넣고, 뚜껑(23)을 외부박스몸체(21)상부에 체결하여 보관한다.
본 고안의 실시에 따른 개선효과는 다음과 같다.
본 고안의 웨이퍼 보관박스는 종래의 웨이퍼 보관박스의 선입후출 방식과는 달리, 특정 웨이퍼의 취급시 카트리지를 외부박스몸체로부터 꺼내 특정웨이퍼를 취급할 수 있다. 즉 랜덤하게 아무 웨이퍼나 꺼내고 넣고 할 수 있다. 또한 종래의 웨이퍼 보관박스에서 웨이퍼 보관시 소모되는 스폰지, 거름종이 등의 이용재료가 필요없는 장점이 있다.
또한, 웨이퍼가 적재되는 카트리지가 외부박스몸체 내에 보관됨에 따라, 웨이퍼가 이중으로 감싸여지므로 웨이퍼가 파손되는 위험이 적는 효과를 갖는다.

Claims (4)

  1. 반도체 웨이퍼와 같은 얇은 판을 보관하는 보관박스로써, 내주면에 복수 개의 고정홈이 형성되어 상기 고정홈들 사이 공간에 다 수개의 반도체 웨이퍼가 적재되며, 측벽 일부가 개구되어 개구된 부위로의 상기 반도체 웨이퍼가 출입되도록 하기 위한 카트리지와, 상기 카트리지를 넣을 수 있도록 내부에 공간을 가지고 상부가 개구된 외부박스몸체와, 상기 외부박스몸체 상부에 체결되는 뚜껑을 구비하여 이루어지는 보관박스.
  2. 제1항에 있어서, 상기 카트리지는 그 상부에 손잡이가 형성된 것을 특징으로 하는 보관박스.
  3. 제1항에 있어서, 상기 외부박스 몸체의 내부바닥에는 완충기가 형성된 것이 특징으로 하는 웨이퍼 보관박스.
  4. 제1항에 있어서, 상기 얇은 판은 반도체 웨이퍼인 것을 특징으로 하는 보관박스.
KR2019940027680U 1994-10-24 1994-10-24 웨이퍼 보관박스 KR0127244Y1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR2019940027680U KR0127244Y1 (ko) 1994-10-24 1994-10-24 웨이퍼 보관박스

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR2019940027680U KR0127244Y1 (ko) 1994-10-24 1994-10-24 웨이퍼 보관박스

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR960015618U KR960015618U (ko) 1996-05-17
KR0127244Y1 true KR0127244Y1 (ko) 1998-12-01

Family

ID=19396158

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR2019940027680U KR0127244Y1 (ko) 1994-10-24 1994-10-24 웨이퍼 보관박스

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR0127244Y1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20150107338A (ko) * 2014-03-14 2015-09-23 삼성중공업 주식회사 용접봉 보관 장치

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20150107338A (ko) * 2014-03-14 2015-09-23 삼성중공업 주식회사 용접봉 보관 장치

Also Published As

Publication number Publication date
KR960015618U (ko) 1996-05-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5960960A (en) Wafer carrier
US4880116A (en) Robotic accessible wafer shipper assembly
US5871097A (en) Article transport case which shields article against ultraviolet light and humidity and absorbs impacts
JPH07307378A (ja) 半導体ウエーハ収納容器の梱包構造体とその梱包方法
US4787508A (en) Integrated circuit wafer container
WO1998030472A1 (en) Improved disk package for rotating memory disks
KR0127244Y1 (ko) 웨이퍼 보관박스
JP4916864B2 (ja) 梱包用緩衝体および包装体
CN210028343U (zh) 板状物包装盒和板状物包装盒组
KR200157451Y1 (ko) 반도체 칩 저장용 트레이
JP2001055274A (ja) 梱包容器および半導体装置および半導体装置の製造方法
JP2003312648A (ja) 梱包用仕切構造体および梱包箱
JP3136208B2 (ja) 電池用包装体
EP4245686A1 (en) Airtight container for battery cells
JP7421823B2 (ja) ウェハ移送ボックス
JP7403874B2 (ja) ウェハ移送ボックス
KR100760239B1 (ko) 엘시디 패널 포장용 패킹
JP2003258079A (ja) ウェハ収納容器
EP0410529A1 (en) Pack for a fragile cylindrical object
US5114005A (en) Cartridge with projections to secure articles held within
WO2023127332A1 (ja) 緩衝材、梱包体および梱包方法
KR19980016868A (ko) 웨이퍼 캐리어 운반용 박스
KR810000835Y1 (ko) 운반용 상자
KR200408227Y1 (ko) 국수 포장용 상자 어셈블리
KR200150371Y1 (ko) 어상자

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
REGI Registration of establishment
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20050620

Year of fee payment: 8

LAPS Lapse due to unpaid annual fee