KR0125878Y1

KR0125878Y1 - 필터 세척장치

Info

Publication number: KR0125878Y1
Application number: KR2019950011374U
Authority: KR
Inventors: 백승호
Original assignee: 문정환; 엘지반도체주식회사
Priority date: 1995-05-25
Filing date: 1995-05-25
Publication date: 1998-11-02
Also published as: KR960038716U

Abstract

본 고안은 포토레지스트(PHOTO RESIST) 장비 혹은 웨트 스테이션(WET STATION)에 사용하고 난 후의 필터(FILTER)를 세척하는 필터 세척장치에 관한 것으로, 종래의 필터 세척은 웨팅시 필터의 외부가 손이나 외부의 오염물질에 의해 오염된 상태로 알콜에 담그기 때문에 알콜 및 필터를 오염시키고, 웨팅이 충분히 이루어졌는지의 시점을 정확히 알 수 없어 시간의 손실이 초래되는 문제점이 있었던 바, 본 고안은 알콜 또는 순수가 흐르도록 경로를 선택적으로 변경하기 위한 제1쓰리 웨이 밸브(20)와, 상기 제1쓰리 웨이 밸브(20)를 통과한 알콜 또는 순수로 세척을 하기 위한 필터가 장착되는 수개의 피팅부(21)와, 상기 피팅부(21)를 통과한 알콜의 흐르는 압력으로 웨팅의 완료시점을 판단하기 위한 플로우 미터(22)와, 상기 플로우 미터(22)를 통과하는 알콜 또는 순수를 선택적으로 배출하기 위한 제2쓰리 웨이 밸브(23)로 구성하여, 웨팅 완료시간을 판단할 수 있고, 또한 알콜을 회수할 수 있도록 함으로써 시간 및 비용이 절감되는 효과가 있는 것이다.

Description

필터 세척장치

제1도는 종래 필터의 웨팅 방법을 설명하기 위한 상태도.

제2도는 종래 필터의 세척방법을 설명하기 위한 배관도.

제3도는 본 고안 필터 세척장치의 구성 및 동작을 설명하기 위한 배관도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

20 : 제1쓰리 웨이 밸브 21 : 피팅부

22 : 플로우 미터 23 : 제2쓰리 웨이 밸브

본 고안은 포토레지스트(PHOTO RESIST) 장비 혹은 웨트 스테이션(WET STATION)에 사용하고 난 후의 필터(FILTER)를 세척하는 필터 세척장치에 관한 것으로, 특히 플로우 미터(FLOW METER)를 설치하여 필터를 통과하는 알콜의 플로우 미터 통과압력으로 충분한 웨팅이 되었는지를 판단할 수 있도록 함으로써 웨팅시간을 절감할 수 있고, 알콜 회수통을 설치하여 사용하고 난 후의 알콜을 회수하여 재사용할 수 있도록 함으로써 원가절감을 할 수 있도록 한 필터 세척장치에 관한 것이다.

제1도는 종래 필터의 웨팅 방법을 설명하기 위한 상태도이고, 제2도는 종래 필터의 세척 방법을 설명하기 위한 배관도로서, 이에 도시된 바와 같이, 종래에는 베스(1)에 알콜(2)을 채운 웨팅장치에 세척하고자 하는 필터(3)를 약 30분 정도 담가 놓으면 필터(3)가 충분히 웨팅되었을 것으로 판단하여 필터(3)를 베스(1)에서 꺼낸다.

그리고, 웨팅이 끝나면 제2도와 같이 순수(DI WATER) 공급라인(10)과, 그 순수 공급라인(10)에 설치되어 있는 메뉴얼 밸브(11)와, 필터(3)를 장착하기 위한 피팅부(12)로 구성되어 있는 세척장치의 피팅부(12)에 필터(3)를 장착하고, 순수를 흘려보내 흐름이 원할하다고 판단이 되면 필터(3)를 떼내어 필요한 장치에 장착한 후 재사용하는 것이다.

그러나, 상기와 같은 종래의 필터(3) 세척은 웨팅시 필터(3)의 외부가 손이나 외부의 오염물질에 의해 오염된 상태로 알콜(2)에 암그기 때문에 알콜(2) 및 필터(3)를 오염시키고, 웨팅이 충분히 이루어졌는지의 시점을 정확히 알 수 없어 시간의 손실이 초래되는 문제점이 있었다.

이를 감안하여 안출한 본 고안의 목적은 알콜로 필터를 웨팅시에 손이나 외부의 오염물질에 의해 필터를 오염시키지 않고, 필터가 충분히 웨팅이 된 시점을 정확히 알 수 있어 시간손실이 없는 필터 세척장치를 제공함에 있다.

상기와 같은 본 고안의 목적을 달성하기 위하여 알콜 또는 순수가 흐르도록 경로를 선택적으로 변경하기 위한 제1쓰리 웨이 밸브와, 상기 제1쓰리 웨이 밸브를 통과한 알콜 또는 순수로 세척을 하기 위한 필터가 장착되는 수개의 피팅부와, 상기 피팅부를 통과한 알콜의 흐르는 압력으로 웨팅의 완료시점을 판단하기 위한 플로우 미터와, 상기 플로우 미터를 통과하는 알콜 또는 순수를 선택적으로 배출하기 위한 제2쓰리 웨이 밸브로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 필터 세척장치가 제공된다.

이하, 상기와 같이 구성되어 있는 본 고안의 필터 세척장치를 첨부된 도면에 의거하여 보다 상세히 설명한다.

제3도는 본 고안 필터 세척장치의 구성 및 동작을 설명하기 위한 배관도로서, 이에 도시된 바와 같이, 본 고안의 필터 세척장치는 웨팅을 실시하기 위한 알콜과 웨팅 후 알콜을 씻어내기 위한 순수를 필요에 따라 선택적으로 흐르도록 경로를 변경할 수 있는 제1쓰리 웨이 밸브(20)와, 상기 제1쓰리 웨이 밸브(20)를 통과한 알콜 또는 순수로 세척하기 위한 필터가 장착되는 수개의 피팅부(21)와, 상기 피팅부(21)를 통과한 알콜의 통과압력으로 웨팅의 완료시점을 판단하기 위한 플로우미터(22)와, 상기 플로우 미터(22)를 통과한 알콜과 순수를 필요한 곳으로 배출할 수 있도록 경로를 변경하기 위한 제2쓰리 웨이 밸브(23)로 구성되어 있다.

상기 피팅부(21)는 필터 크기에 따라 선택하여 장착할 수 있도록 각기 크기가 다른 수개를 병렬로 설치하였다.

도면중 미설명부호 24, 24'는 피팅부의 전,후에 각각 설치되어 있는 매뉴얼 밸브이다.

이와 같이 구성되어 있는 본 고안의 필터 세척장치는 웨팅을 하고자 하는 필터를 크기가 맞는 피팅부(21)에 장착하고, 전원을 인가하면 제1쓰리 웨이 밸브(20)와 제2쓰리 웨이 밸브(23)가 알콜이 흐를 수 있도록 열리고, 알콜은 제1쓰리 웨이 밸브(20)→피팅부(21)→플로우 미터(22)→제2쓰리 웨이 밸브(23)를 거쳐 알콜 회수통으로 회수된다.

상기 플로우 미터(22)에는 웨팅 완료시점의 적정압력을 확인할 수 있도록 셋팅하고, 웨팅시 일정시간이 흐른 후 셋팅 압력에 도달하면, 제1쓰리 웨이 밸브(20)와 제2쓰리 웨이 밸브(23)를 순수가 흐를 수 있도록 경로를 바꾸는 것이다.

상기와 같이 순수가 흐를 수 있도록 경로가 바뀌면 순수가 투입되어 흐르고, 그 흐르는 순수는 필터에 묻어 있는 알콜을 씻어 내면서 드레인되는 것이다.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이 본 고안의 필터 세척장치는 제1쓰리 웨이 밸브와 제2쓰리 웨이 밸브를 설치하여 알콜 또는 순수의 흐름을 선택적으로 변경할 수 있도록 하고, 플로우 미터를 설치하여 웨팅 완료시점을 정확히 판단할 수 있도록 하였으며, 또한 웨팅시 사용하는 알콜을 회수하여 재사용할 수 있도록 함으로써 시간 및 비용을 절감할 수 있는 효과가 있는 것이다.

Claims

알콜 또는 순수가 흐르도록 경로를 선택적으로 변경하기 위한 제1쓰리 웨이 밸브와, 상기 제1쓰리 웨이 밸브를 통과한 알콜 또는 순수로 세척을 하기 위한 필터가 장착되는 수개의 피팅부와, 상기 피팅부를 통과한 알콜의 흐르는 압력으로 웨팅의 완료시점을 판단하기 위한 플로우 미터와, 상기 플로우 미터를 통과하는 알콜 또는 순수를 선택적으로 배출하기 위한 제2쓰리 웨이 밸브로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 필터 세척장치.