KR0125596B1 - 표면결함 검사방법 및 그 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 투명 또는 반투명이면서 일정한 두께를 갖는 판재, 예를 들면 합성수지 필름이나 그 위에 코팅되는 코팅층등의 표면결함 검사방법 및 그 장치에 관한 것이다. 이를 위한 본 발명은 피검사재에 광을 조사하는 광원과 그 광원에 의해 조사된 광을 검출하여 신호레벨로 출력하는 촬상소자를 갖는 카메라와 그 카메라에서 출력된 신호레벨을 소정의 기준레벨과 비교하여 상기 피검사재의 표면에 결함이 있는지의 여부를 판단하고 결정할 수 있는 제어장치를 구비하여, 피검사재의 종류, 폭 및 코팅두께등에 상관없이 신속하고 신뢰성있게 검사하여 결함의 위치, 종류등을 사용자가 원하는 형태로 제공할 수 있는 이점을 제공한다.

Description

표면결함 검사방법 및 그 장치

제1도는 피검사재의 각종 표면결함 상태를 개략적으로 도시한 예시도이고,

제2도는 종래 표면결함 검사장치의 일 실시예를 도시한 구성도이고,

제3도는 종래 표면결함 검사장치의 다른 실시예를 도시한 구성도이고,

제4도 및 제5도는 본 발명에 의한 표면결함 검사장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이고, 그리고

제6도는 본 발명에 의한 표면결함 검사방법의 바람직한 실시예를 설명하기 위한 그래프이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

41 : 피검사재42 : 광원

43 : 카메라44 : 제어장치

45 : 모니터46 : 프린터

51 : 냉각팬52 : 반사판

53 : 적외선필터

본 발명은 투명 또는 반투명이면서 일정한 두께를 갖는 판재, 예를 들면 합성수지 필름이나 그위에 코팅되는 코팅층 등의 표면결함 검사방법 및 그 장치에 관한 것으로서, 예를들면 기록매체인 자기 필름에 있어서 베이스 필름에 코팅되는 자성층에 나타나는 홈이나 돌기 및 스크래치등의 코팅불량을 가려내는데 유용한 표면결함 검사방법 및 그 장치에 관한 것이다.

비디오/오디오 테이프, 플로피 디스크 등으로 사용되는 자기 필름 (또는 시이트)에 있어서, 자성층의 코팅불량은 자기적 기록특성을 크게 악화시키고, 스캐닝 헤드에 손상을 초래하며, 특히 사용자가 중요한 정보를 잃을 수 있는 중대한 문제를 발생시키는 원인이 된다. 따라서 자기 필름은 그 제조과정에서 철저한 표면결함 검사를 통해 그 자성층의 코팅불량을 가려낼 필요가 있는 것이다. 한편, 자기 필름은 처음에 광폭으로 제조된 다음, 폭이 일정한 테이프형으로 절단하는 슬리이팅공정이나 도우넛형으로 펀칭되는 펀칭공정을 거치게 되는데, 양품의 불량처리에 의한 손실을 방지하기 위하여 슬리이팅 또는 펀칭부위별 검사를 행할 필요가 있는 것이다.

제1도는 자성체가 도포된 자기 필름(1)에 있어서, 베이스 필름(2)에 코팅되는 자성층(3)의 코팅불량의 여러 가지 형태를 보인다. 코팅불량의 유형은 자성체의 과다부착으로 인한 돌기(4)와 부족부착으로 인한 구멍(5) 및 홈(6), 그리고 베이스 필름의 표면결함에 의한 요철(7)(8)등이 있다. 이와 같은 코팅불량을 가려내는 가장 확실한 방법으로는 원시적인 육안검사라 할 수 있다. 그렇지만 육안검사는 자기 필름을 이동시키면서 행하기 어려워 비효율적이다. 따라서 자기 필림의 표면결함 검사에는 광을 이용하여 자동검출하는 방법이 도모되고 있다.

광을 이용한 표면결함 검사를 행하는 종래의 방법에는, 필름의 반사율을 분석하는 것과 투과율을 분석하는 것 2가지 방식이 있었다.

전자의 방식을 설명하면, 제2도와 같이 광을 발생하는 광주사기(도시되지 않음)로 이동하는 피검사재(27)의 표면을 주사방향(29)으로 스캐닝하고, 광전변환기(25)로 그 피검사재의 표면으로부터 반사되는 광을 복수의 볼록렌즈(22), 칸막이판(23), 공간필터(24)를 통해 수광 검출하여 그 표면의 홈결을 알리는 전기신호를 가산회로가 내장된 신호처리기(26)에서 출력한다. 이와같은 검사방법은 일본국 공개특허공보 평2-82142에 잘 나나타 있다.

그리고, 후자의 방식을 설명하면, 개략적으로 도시된 제3도와 같이 투광센서(31)에 의해 발생된 광이 피검사재(32)를 투과하고 그 투과된 광은 수광센서(33)에서 검출되며 그 검출된 광량 데이터는 미리 설정한 기준광량 데이터와 비교기(34)에서 비교된다. 그리고, 비교기(34)에서 비교된 신호는 처리기(35)에서 입력되고 처리기(35)는 피검사재(32) 표면의 결함 유.무를 알리는 전기신호를 출력한다.

그런데, 상술한 바와 같은 종래 기술에 있어서, 후자의 검사방식은 단순한 투과 광량의 변화에 의해서만 피검사재의 홈결을 검사함으로 원하는 검사를 수행하는데 있어서, 제1도의 코팅불량의 유형중 돌기(4)는 검사가 불가능하며 요철(7,8)에서도 결함의 크기에 따라 검사가 되지 않는 등 신뢰도가 저하되거나 코팅의 두께 및 종류에 따라 기준데이터를 달리 입력해야 하는 번거로움이 많았으며, 전자의 검사방식은 후자의 검사방식에 의해 더 육안검사에 가까운 검사를 할 수 있지만, 필요에 따라, 즉 피검사재의 폭 변화등에 따라 피검사재의 회절된 반사광을 집광하는 복수의 렌즈(22)로 집광된 광을 수광하는 복수의 공간필터(24), 상기 렌즈(22)와 공간필터(24) 사이에 광을 반사 투과하지 않는 칸막이판(23) 및 각 공간필터(24)의 상측에 설치된 광전변환기(25)등이 결합 및/또는 분해되어야 하는 하는 번거로움이 있었고, 상기 렌즈(22)의 초점거리에 상당하는 위치에 공간필터를 정확히 설치해야 하는 어려움이 있었고, 이에따라 검사장치의 구조가 복잡해지는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 착안된 것으로서, 피검사재를 조사하는광원과, 그 광원에 의해 피검사재를 투과한 투과광의 광량을 전기적인 신호레벨로 출력한는 촬상소자를 갖는 카메라와, 그 카메라엥서 출력된 신호레벨을 입력받아 피검사재의 결함 유무를 비교판단하는 제어장치를 구비하여, 피검사재의 종류 및 형태에 상관없이 그 피검사재의 표면결함을 용이하게 검사할 수 있는 표면결함 검사방법 및 그 장치를 제공함에 그 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 표면결함 검사방법은, 빛이 투과될 수 있는 피검사재의 표면결함을 검사하기 위한 표면결함 검사방법에 있어서, 피검사재 표면의 일측면을 향해서 광을 조사하는 광조사 단계, 상기 피검사재의 타측면으로 투과하는 광량에 전기적 신호레벨을 출력하는 촬상소자를 갖는 복수의 검출 수단으로 상기 피검사재에 대한 신호레벨을 촬상하는 단계, 상기 검출수단에서 출력된 신호레벨을 피검사재의 초기 선단 부분부터 일정시간 또는 일정길이 경과한 때까지의 소정의 레벨이상 또는 그 이하의 광투과량이 값을 제외한 광투과량의 평균값을 구하여 얻어진 기준레벨과 비교하여 상기 피검사재의 결함을 감식하는 단계를 포함하는 점에 그 특징이 있다.

상기 본 발명의 표면결함 검사방법에 있어서, 상기 피검사재의 결함상태를 력하도록 소정의 출력수단을 제거하는 단계를 더 포함할 수도 있다.

상기 표면결함 검사방법을 실시하기에 적합한 본 발명에 따른 표면결함 검사장치는, 빛이 투과될 수 있는 피검사재의 표면결함을 검사하기 위한 표면결함 검사장치에 있어서, 피검사재 표면에 광을 조사하며 상기 피검사재에 대한 광조사영역을 달리할 수 있도록 구성된 광 발생수단과, 상기 피검사재의 일측면으로 투과하는 광량에 따라 전기적 신호 레벨을 출력하는 촬상소자를 갖는 복수의 카메라로 상기 피검사재에 대한 신호레벨을 촬상하며 상기 피검사재를 투과한 광량을 검출하기 위해 위치의 가변이 가능한 검출수단과, 상기 검출수단에서 출력된 신호레벨을 소정의 기준레벨과 비교하여 상기 피검사재의 결함을 감식하며 상기 피검사재의 결함을 알리는 신호를 제어하는 제어수단을 포함하는 점에 그 특징이 있다.

상기 본 발명의 표면결함 검사장치에 있어서, 상기 촬상 소자에 의해 검출된 전기적 신호레벨을 표시하는 표시수단과 상기 피검사재의 결함을 알리는 신호에 의해 그 상황을 기록지에 기록하는 프린터를 더 포함할 수도 있다.

이하 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명에 따른 표면결함 검사방법 및 그 장치의 바람직한 일 실시예를 상세히 설명한다.

제4도 및 제5도를 참조하면, 이송 및/또는 정지 상태의 자기 필름과 같은 피검사재 (41)의 하부(제5도) 또는 상부(제4도)에는 피검사재(41)에 빛을 조사하는 광원(42)이 설치되어 있다. 광원(42) 상부(제5도) 또는 하부(제4도)에는 지면 안쪽, 또는 바깥쪽으로 이송되는 피검사재(41)가 있다. 피검사재(41) 상부 (제5도)에는 피검사재(41)의 폭 전체를 감지할 수 있는 전하 결합소자(CCD : charge coupled device)로 구성된 촬상소자를 갖는 광 검출수단인 복수의 카메라(43)가 설치되어 있다.

카메라(43)는 피검사재(41)의 폭 변화등에 자유롭게 대응할 수 있도록 높낮이 조절수단(도시되지 않음)이 구비되어 있다. 그리고,광원(42)과 카메라(43)를 제어하고 카메라(43)에 내장된 촬상소자에 의해 촬상된 전기적 신호레벨을 기준레벨로 변환하거나 그 기준레벨과 검사대상 신호레벨을 비교판단할 수 있는 마이콤 등이 내장된 제어장치(44)가 카메라(43)와 광원(42)에 각각 연결되어 있다.

더욱이, 제4도를 참조하면 카메라(43)에 내장된 촬상소자에 의해 촬상된 전기적 신호레벨을 육안으로 모니터링(moitoring)할 수 있는 표시수단인 모니터(45)와 피검사재(41)의 표면결함 상태 및 그 이외의 상태를 필요에 따라 기록하는 프린터(46)가 제어장치(44)dp 각각 연결되어 있다. 모니터(45)에서는 상기 제어장치(44)에 데이터를 입출력할 수 있고 모니터(45)의 상태를 조절할 수 있는 입력수단인 키보도(47)가 연결되어 있다. 그리고, 광 발생수단인 광원(42)의 수명을 연장시키기 위한 냉각팬(fan)(51)이 상기 광원(42) 및 제어장치(44)(제5도)에 상호연관되어 마련되고 있다.

또한, 장치의 기능확장 및 외부장치와의 통신을 위해 외부장치와 연결할 수 있는 RS-232C와 같은 통신수단(48) 및 장치의 안정성을 위한 무정전전원공급장치(UPS)(50)와 자동전압 조정기(AVR)(49)가 제어장치(44)에 상호연결되어 접속되어 있다.

그리고, 제5도를 참조하면, 피검사재(41)와 광원(42) 사이에는 합성수지 필름과 같은 재료로 형성된 피검사재가 광원에서 발생되는 열에 의해 변형되지 않도록 하기위해 적외선 차단용 필터(53)가 마련되어 있고, 광원(42) 후면에는 광원에서 발생되는 광을 피검사재(41)에 효율적으로 집광하기 위한 반사판(52)이 구비되어 있다.

이와 같이 이송 또는 정지하고 있는 자기필름과 같은 피검사재(41)에 광을 조사하는 광원(42)과 그 조사되어 투과된 광량에 따라 전기적 신호레벨을 출력하는 카메라(43) 및 상기 광원(42) 및 카메라(43)를 제어하고 신호를 처리하는 제어장치(44)를 구비하는 본 발명의 표면결함 검사장치에 의한 표면결함 검사방법은 다음과 같다.

먼저, 제어장치(44)에 내장된 마이콤같은 중앙처리장치에 검사에 필요한 각종 데이터를 키보드(47) 및 기타 입력수단으로 입력한 후, 도시되지 않은 이송수단에 의해 피검사재(41)가 카메라(43)와 광원(42)사이로 이송되게 한다. 이때 광원(42)에 의해 발생된 광이 이송되는 피검사재(41)의 일측면에 조사되고 타측면으로 투과되게 한다. 이와 같이 이송되는 피검사재(41)를 투과한 초기 투과광에 의한 제6도 (b)에 도시되어 있는 바와 같은 기준레벨의 폭(상한치 및 하한치)을 설정해야 하는데, 그 기준레벨의 폭 설정방법은 다음과 같다.

제6도 (a)에서 (c)를 참조하면, 피검사재(41)의 초기선단부분부터 일정시간 또는 일정길이 경과할 때가지의 투과 광량의 레벨을 제어장치(44)에 기억한다. 이와 같이 저장된 초기 투과광량들을 제어장치(44)에서 평균값으로 연산하여 저장하고, 그 연산된 평균값에 의해 기준레벨의 폭을 정한다. 이때, 제6도 (a)에 도시되어 있는 바와 같이 초기 투과 광량(61)이 소정의 초기 기준레벨(62)을 넘는 투과광량 값은 평균값 계산에서 제외하며, 마찬가지로 소정레벨이하(도시되지 않음)의 투과광량값도 평균값 계산에서 제외하는 것이 바람직하다.

그리고, 제6도 (b)에 도시되어 있는 바와 같이 상기 평균값에 의해 정해진 기준레벨에 소정의 오차허용값을 더해 기준레벨의 폭(63)(이하 기준레벨의 폭은 기준레벨과 같은 의미로 사용한다)으로 정한다. 이와 같이 설정된 기준레벨(63) 값은 제어장치(44)에 연결된 프린터(46)로 프린팅시켜 기록으로 남기거나 외부장치에 통신으로 전달한다.

상기와 같이 기준레벨의 폭이 설정되면 실질적인 피검사재(41)의 표면결함 검사를 시작한다. 광원(42)은 기준레벨을 설정할 때와 마찬가지로 피검사재(41)를 조사하고 피검사재(41)에서 투과되는데 그 투과되는 광량은 피검사재(41)의 표면결함 상태에 따라 달라진다. 즉, 제1도에 도시된 바와 같이, 돌기(4) 부분 및 철(7) 부분을 투과한 광량은 기준레벨의 광량보다 미세하게 될 것이고, 구멍(5)부분, 홈(6)부분 및 요(8)부분을 투과한 광량은 기준데이터의 광량보다 많게 될 것이다.

상기와 같이 피검사재(41)를 투과한 투과광량은 카메라(43)에 내장된 촬상소자에 의해 그 투과량의 광량에 따라 전기적인 신호레벨로 변환된다. 이때, 카메라(43)에서 출력되는 신호레벨을 카메라(43)에서 출력되는 전체의 평균값으로 할 수도 있고, 카메라별 평균값으로 할 수도 있다.

상기와 같은 신호레벨은 제어장치(44)와 연결된 모니터(45)에 표시가 가능하며, 이 표시된 신호레벨에 의해 육안검사가 가능하도록 할 수 있다. 그리고, 상기 신호레벨은 제어장치(44)에 의해 검출레벨 데이터로 변환되고 그 변환된 검출레벨 데이터는 기준레벨 데이터와 비교된다. 기준레벨 데이터와 검출레벨 데이터가 비교된 후 검출레벨 데이터가 기준레벨 데이터의 폭을 벗어나게 되면 제어장치(44)는 피검사재(41)의 각종 데이터, 예를 들면 결함 위치, 결함 내용등과 같은 데이터를 결함 검출과 동시에 또는 사용자의 요구에 따라 출력하도록 한다. 물론, 기준레벨 데이터내에 있는 피검사재(41)의 각종 데이터도 키보드(47)와 같은 입력수단 또는 도시되지 않은 입력수단의 조작에 의해 프린터(46)로 수시 출력할 수 있다. 이때, 제어장치(44)는 프린터(46) 또는 기타 출력수단을 제어하며 출력형태를 데이터형 또는 그래프형등으로 할 수 있다.

상술한 바와 같이 기준레벨 데이터와 카메라의 검출된 신호레벨 데이터를 제어장치에서 비교함으로써 피검사재의 표면결함을 피검사재의 종류, 폭 및 코팅두께등에 상관없이 신속하고도 신뢰성있게 검사할 수 있는 것이다.

상기와 같이 이송 또는 정지하고 있는 자기필름과 같은 피검사재(41)에 광을 조사하는 광원(42)과 그 조사되어 투과된 광량에 따라 전기적 신호레벨을 출력하는 카메라(43) 및 상기 광원(42) 및 카메라(43)를 제어하고 신호를 처리하는 제어장치(44)를 구비하는 피검사재의 표면 결함을 검사하기 위한 표면결함 검사장치는 다음과 같다.

제4도 및 제5도를 참조하면, 피검사재(41)를 가운데 두고 그 상하에 광원(42)과 광량에 따라 전기적 신호레벨을 출력하는 촬상소자가 내장된 복수의 카메라(43)가 설치되어 있다. 광원(42)과 카메라(43)의 설치위치는 설치장소등에 따라 위치를 달리하는 상관은 없으며, 이러한 상황예를 도시하기 위해 제4도와 제5도와 같이 설치위치를 달리했다.

피검사재(41) 폭 변화에 용이하게 대응하도록 하기 위해 광원(42) 및 카메라(43)의 위치가 가변될 수 있도록 했다. 즉, 폭이 넓은 피검사재(41)의 표면을 검사하기 위해서는 광원(42)과 카메라(43)를 피검사재(41)에서 상대적으로 멀리하고, 폭이 좁은 피검사재(41)를 검하기 위해서는 광원(42)과 카메라(43)를 피검사재(41)에 상대적으로 가까이 하면 피검사제(41)의 폭에 상관없이 용이하게 검사를 수행할 수 있는 것이다. 또한, 카메라(43)의 수를 변환시키고, 광원(42)의 길이를 변화시켜 피검사재(41)의 폭에 대응하여 검사를 수행할 수도 있다.

도면에 제시된 카메라(43)의 수는 바람직한 실시예의 카메라 수이며, 반드시 5개의 카메라가 필요한 것은 아니다. 그리고, 광원(42)은 수명이 긴 할로겐 램프를 사용하고, 수명을 더욱 연장하기 위해 냉각팬(51)을 설치하는 것이 바람직하다. 또한, 광원(42) 후면에는 광원(42)에서 발생된 광을 피검사재(41)에 효율적으로 집광하기 위해 반사판(52)를 설치하는 것이 바람직하며, 광원(42)에서 발생된 열에 의해 피검사재(41)가 변형되는 것을 방지하기 위해 적외선반사 필터(53)를 설치하는 것이 또한 바람직하다.

또한, 상기 광원(42)과 카메라(43)를 자동전압조정기(49)에 접속된 제어장치(44)에 연결시켜 광원(42)의 조도가 전압변동에 따라 변하지 않도록 하였으며, 무정전전원공급장치(50)는 순간적인 정전사고에 의한 데이터 손실을 방지하기 위해 마련하였다.

상술한 바와 같은 장치들과 상호연결된 제어장치(44)에는 카메라(43)에 내장된 촬상소자에 의해 출력된 신호레벨이 입력된다.

제어장치(44)는 신호레벨을 입력받아 평균값으로 기준레벨을 설정한다.

또한, 제어장치(44)는 피검사재(41)의 결함 검출시 검출 신호레벨을 모니터(45)에 출력표시가 되도록 하고 사용자의 요구에 따라 프린터(46)에 프린팅을 지시하기도 한다. 그리고 제어장치(44)는 외부장치와의 연결을 위해 RS-232C와 같은 통신수단(48)을 구비하여 인터페이스가 가능하도록 구성되어 있다.

제어장치(44)에 연결된 모니터(45)는 카메라(43)에 내장된 촬상소자에서 출력된 신호레벨을 표시하여 육안으로도 피검사재(41)의 표면결함을 식별할 수 있도록 한다. 그리고, 모니터(45)에 연결된 키보드(47)는 각종 데이터를 입력시키는 입력 수단으로서의 역할을 한다.

제어장치(44)에 연결된 프린터(46)는 제어장치(44)의 지시에 따라 피검사재(41)의 결함상태 또는 초기 기준레벨등을 기록지에 출력한다.

또한, 키보드(47)의 조작 및 기타 조작에 의해 피검사재(41)의 검사상황을 프린터(46)로 임의로 출력할 수가 있다. 더욱이, 제어장치(44)에는 각종 외부장치와의 통신을 위해 RS-232C와 같은 통신수단(48)을 가지고 있다. 즉, 통신수단(48)은 외부 장치에 피검사재(41)의 결함 상태를 통신하거나 외부장치에서의 데이터 교신을 위해서 연결접속하는 역할을 한다.

상술한 바와 같이 본 발명에 따른 표면결함 검사장치는 자성층이 도포된 자기필름과 같은 다양한 피검사재의 종류 및 코팅층등에 상관없이 신속하고 신뢰성 있게 표면결함을 검사할 수 있는 이점을 제공할 수 있다.

비록 본 발명이 일 실시예로서 설명되었으나, 이 분야에 숙련된 사람에 의해 변형이 가능하더라도, 본 발명의 청구하는 청구범위에의해 본 발명의 사상에 벗어나지 않는 한, 본 발명에 포함된다고 보아야 할 것이다.

Claims (18)

1. 빛이 투과될 수 있는 피검사재의 표면결함을 검사하기위한 표면결함 검사방법에 있어서, 피검사재 표며의 일측면을 향해서 광을 조사하는 광조사 단계, 상기 피검사재의 타측면으로 투과하는 광량에 따라 전기적 신호레벨을 출력하는 촬상소자를 갖는 복수의 검출수단으로 상기 피검사재에 대한 신호레벨을 촬상하는 단계, 상기 검출수단에서 출력된 신호레벨을 피검사재의 초기 선단 부분부터 일정시간 또는 일정길이 경과한 때까지의 소정의 레벨이상 또는 그 이하의 광투과량의 값을 제외한 광투과량의 평균값을 구하여 얻어진 기준레벨과 비교하여 상기 피검사재의 결함을 감식하는 제어단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표면결함 검사방법.
2. 제1항에 있어서, 상기 피검사재의 결함상태를 감식하여 그 상태를 소정의 출력수단에서 출력되도록 제어하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표면결함 검사방법.
3. 제1항에 있어서, 상기 소정의 기준레벨이 결정되면 소정의 출력수단에서 그 내용이 출력되도록 제어하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표면결함 검사방법.
4. 제1항에 있어서, 상기 검출수단에서 출력된 신호레벨을 소정의 표시수단에 의해 표시하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표면결함 검사방법.
5. 제1항 및 제2항에 있어서, 상기 피검사재의 결함상태의 출력형태를 달리하도록 상기 출력수단을 제어하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표면결함 검사방법.
6. 제1항에 있어서, 상기 복수의 검출수단에서 출력되는 전기적인 신호레벨을 검출수단 전체의 평균값 또는 각 검출 수단별 평균값으로 하여 상기 기준레벨과 비교하는 것을 특징으로 하는 표면결함 검사방법.
7. 빛이 투과될 수 있는 피검사재의 표면결함을 검사하기위한 표면결함 검사장치에 있어서, 피검사재 표면에 광을 조사하며 상기 피검사재에 대한 광조사영역을 달리할 수 있도록 구성된 광발생수단과, 상기 피검사재의 일측면으로 투과하는 광량에 따라 전기적 신호 레벨을 출력하는 촬상소자를 갖는 복수의 카메라로 상기 피검사재에 대한 신호레벨을 촬상하며 상기 피검사재를 투과한 광량을 검출하기 위해 위치의 가변이 가능한 검출수단과, 상기 검출수단에서 출력된 신호레벨을 소정의 기준레벨과 비교하여 상기 피검사재의 결함을 감식하며 상기 피검사재의 결함을 알리는 신호를 제어하는 제어수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 표면결함 검사장치.
8. 제7항에 있어서, 상기 검출수단에 의해 검출된 전기적 신호레벨을 화면상에 표시하는 표시수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표면결함 검사장치.
9. 제7항에 있어서, 상기 피검사재의 결함을 알리는 신호에 의해 그 결함내용을 기록지에 기록하는 프린터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표면결함 검사장치.
10. 제7항에 있어서, 상기 촬상소자가 전하결합소자로 된 것을 특징으로 하는 표면결함 검사장치.
11. 제7항에 있어서, 상기 광발생수단이 할로겐 램프인 것을 특징으로 하는 표면결함 검사장치.
12. 제7항에 있어서, 상기 제어수단에 각종 데이터를 입력시키는 입력수단이 더 구비된 것을 특징으로 하는 표면결함 검사장치.
13. 제7항에 있어서, 상기 제어수단이 외부장치와의 통신을 위해 통신수단을 더 구비한 것을 특징으로 하는 표면결함 검사장치.
14. 제7항에 있어서, 상기 피검사재에 조사되는 광량을 일정하게 유지하기 위해 자동전압조정기가 더 포함된 것을 특징으로 하는표면결함 검사장치.
15. 제7항에 있어서, 상기 광발생수단이 광반사판을 더 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 표면결함 검사장치.
16. 제7항에 있어서, 상기 제어수단이 무정전전원공급장치에 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 표면결함 검사장치.
17. 제6항에 있어서, 상기 피검사재와 상기 광발생수단 사이에 적외선 필터가 마련된 것을 특징으로 하는 표면결함 검사장치.
18. 제7항에 있어서,상기 광발생수단이 냉각팬을 더 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 표면결함 검사장치.