KR950019705A - 표면결함 검사방법 및 그 장치 - Google Patents

표면결함 검사방법 및 그 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명온 투명 또는 반투명이면서 일정한 두께를 갖는 판재, 예를 들면 합성수지 필름이나 그 위에 코팅되는 코팅층등의 표면결함 검사방법 및 그 장치에 관한 것이다. 이를 위한 본 발명은 피검사재에 광을 조사하는 광원과 그 광원에 의해 조사된 광을 검출하여 신호레벨로 출력하는 촬상소자를 갖는 카메라와 그 카메라에서 출력된 신호레벨을 소정의 기준레벨과 비교하여 상기 피검사재의 표면에 결함이 있는지의 여부를 판단하고 결정할 수 있는 제어장치를 구비하여, 피검사재의 종류, 폭 및 코팅두께 등에상관럽이 신속하고 신뢰성있게 검사하여 결함의 위치, 종류등을 사용자가 원하는 형태로 제공할 수 있는 이점을 제공한다.

Description

표면결함 검사방법 및 그 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 피검사재의 각종 표면결함 상태를 개략적으로 도시한 예시도이고,
제2도는 종래 표면결함 검사장치의 일 실시예를 도시한 구성도이고,
제3도는 종래 표면결함 검사장치의 다른 실시예를 도시한 구성도이고,
제4도는 본 발명에 의한 표면결함 검사장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.

Claims (22)

  1. 빛이 투과될 수 있는 피검사재의 표면 결함을 검사하기 위한 표면결함 검사방법에 있어서, 피검사재 표면의 일측면을 향해서 광을 조사하는 광조사 단계, 상기 피검사재의 타측면으로 투과하는 광량에 따라 전기적 신호레벨을 출력하는 촬상소자를 갖는 복수의 검출수단으로 상기 피검사재에 대한 신호레벨을 촬상하는 단계, 상기 검출수단에서 출력된 신호레벨을 소정의 기준레벨과 비교하여 상기 피검사재의 결함을 감식하는 제어단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표면결함 검사방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 피검사재의 결함상태를 감식하여 그 상태를 소정의 출력수단에서 출력되도록 제어하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표면결함 검사방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 기준레벨을 피검사재의 초기 선단부분부터 일정시간 또는 일정길이 경과한 때까지의 광투과량의 평균값을 취하여 되는 것을 특징으로 하는 표면결함 검사방법.
  4. 제3항에 있어서, 상기 피검사재의 초기 선단부터 일정기간 또는 일정길이 경과한 때의 팡투과량 중에서 소정의 레벨이상 또는 그 이하의 광투과량의 값을 취하지 않는 것을 특징으로 하는 표면결함 검사방법.
  5. 제1항 및 제3항에 있어서, 상기 소정의 기준레벨이 결정되면 소정의 출력수단에서 그 내용이 출력되도록 제어하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표면결함 검사방법.
  6. 제1항에 있어서, 상기 검출수단에서 출력된 신호레벨을 소정의 표시수단에 의해 표시하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표면결함 검사방법.
  7. 제1항 및 제2항에 있어서, 상기 피검사재의 결함상태의 출력형태를 달리하도록 상기 출력수단을 제어단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표면결함 검사방법.
  8. 제1항에 있어서, 상기 복수의 검출수단에서 출력되는 전기적인 신호레벨을 검출수단 전체의 평균 값 또는 각 검출수단별 평균값으로 하여 상기 기준레벨과 비교하는 것을 특징으로 하는 표면결함 검사 방법.
  9. 빛이 투과될 수 있는 피검사재의 표면 결함을 검사하기 위한 표면결함 검사장치에 있어서, 피검사재 표면에 광을 조사하는 광 발생수단과, 상기 피검사재의 일측면으로 투과하는 광량에 따라 전기적 신호레벨을 출력하는 촬상소자를 갖는 복수의 카메라로 상기 피검사재에 대한 신호레벨을 쵤상하는 검출수단과, 상기 검출수단에서 출력된 신호레벨을 소정의 기준레벨과 비교하여 상기 피검사재의 결함을 감식하며 상기 피검사재의 결함을 알리는 신호를 제어하는 제어수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 표면결함 검사장치.
  10. 제9항에 있어서, 상기 검출수단에 의해 검출된 전기적 신호레벨을 화면상에 표시하는 표시수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표면결함 검사장치.
  11. 제9항에 있어서, 상기 피검사재의 결함을 알리는 신호에 의해 그 결함내용을 기록지에 기록하는 프린터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표면결함 검사장치.
  12. 제9항에 있어서, 상기 촬상소자가 전하결합소자로 된 것을 특징으로 하는 표면결함 검사장치.
  13. 제9항에 있어서, 상기 광 발생수단이 할로겐 램프인 것을 특징으로 하는 표면결함 검사장치,
  14. 제9항 및 제13항에 있어서, 상기 광 방생수단이 상기 피검사재에 대한 광 조사영역을 달리할 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 표면결함 검사장치.
  15. 제9항 및 제14항에 있어서, 상기 피검사재를 투과한 광량을 검출하기 위해 상기 검출수단의 위치가 가변될 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 표면결함 검사장치.
  16. 제9항에 있어서, 상기 제어수단에 각종 데이터를 입력시키는 입력수단이 더 구비된 것을 특징으로 하는 표면결함 검사장치.
  17. 제9항에 있어서, 상기 제어수단이 외부장치와의 통신을 위해 통신수단을 더 구비한 것을 특징으로 하는 표면결함 검사장치.
  18. 제9항에 있어서, 상기 피검사재에 조사되는 광량을 일정하게 유지하기 위해 자동전압조정기가 더 포함된 것을 특징으로 하는 표면결함 검사장치.
  19. 제9항에 있어서, 상기 광 발생수단이 광 반사판을 더 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 표면결함 검사장치.
  20. 제9항에 있어서, 상기 제어수단이 무정전전원공급장치에 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 표면 결함 검사장치.
  21. 제9항에 있어서, 상기 피검사재와 상기 광 발생수단사이에 적외선 필터가 마련된 것을 특징으로 하는 표면결함 검사장치.
  22. 제9항에 있어서, 상기 광 발생수단이 냉각팬을 더 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 표면결함 검사장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019930027557A 1993-12-14 1993-12-14 표면결함 검사방법 및 그 장치 KR0125596B1 (ko)

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