KR0123866Y1 - 웨이퍼 가장자리 치수 점검자 - Google Patents

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KR0123866Y1
KR0123866Y1 KR2019950010753U KR19950010753U KR0123866Y1 KR 0123866 Y1 KR0123866 Y1 KR 0123866Y1 KR 2019950010753 U KR2019950010753 U KR 2019950010753U KR 19950010753 U KR19950010753 U KR 19950010753U KR 0123866 Y1 KR0123866 Y1 KR 0123866Y1
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백승호
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문정환
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Abstract

본 고안은 웨이퍼의 가장자리 치수를 점검하기위한 점검자로서, 치수를 나타내는 눈금편(21)과, 상기 눈금편(21)의 하부에 가이드편(22)을 평행으로 설치하여 상기 눈금편(21)과 가이드편(22) 사이에 가이드홈부(23)를 형성시켜서, 상기 가이드홈부(23)의 내측단과 동일 위치에 눈금편(21)의 눈금을 0 셋팅시킨 것이다. 눈금편은 계단형상으로 형성된 것이다.

Description

웨이퍼 가장자리 치수 점검자
제1도는 종래의 웨이퍼 코팅장치 측면도.
제2도는 종래의 웨이퍼 이.비.알 싸이즈 점검상태 평면도.
제3도는 본 고안의 이.비.알 점검자 사용상태 측면도.
제4도는 본 고안의 이.비.알 점검자 사용상태 평면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10 : 웨이퍼 11 : 이.비.알부
12 : 분사노즐 13 : 막대자
20 : 점검자 21 : 눈금편
22 : 가이드편 23 : 가이드홈부
24 : 눈금부
본 고안은 웨이퍼 가장자리 치수 점검자에 관한 것이며, 특히 웨이퍼의 이.비.알(EBR : Edge Bead Romoval) 싸이즈 점검을 하기에 적합한 점검자에 관한 것이다.
반도체 제조공정중에 웨이퍼의 가장자리를 측정할 필요가 있는 경우가 많은 데 예로서 포토레지스트를 코팅후 웨이퍼의 테두리에 묻어 있는 포토레지스터를 제거하여 발생되는 이.비.알부의 싸이즈를 측정하여 소정의 치수를 유지하는지 검사하여야 하는 경우가 있다.
제1도에 나타낸 바와같이 반도체 제조공정중 포토레지스트를 웨이퍼(10)위에 코팅 후 웨이퍼(10)의 테두리에 일정시간 신나를 분사시켜 이.비.알부(11)를 형성시키게 하는데, 이때 이.비.알부(11)의 싸이즈를 측정하여 소정의 치수에 합격되지 아니하면 필요에 따라 적절한 위치에 신나를 분사하는 분사노즐(2) 위치를 조절한다.
종래에는 제2도에 나타낸 바와같이, 포토레지스터 코팅후 이.비.알 된 싸이즈를 사이즈를 측정할 때, 트위즈를 사용하여 웨이퍼(10)를 한손에 들고, 다른 손으로 막대눈금자(13)를 이용하여 이.비.알부(11)의 싸이즈를 측정하기 때문에, 막대자(13)가 웨이퍼(10)에 접촉하여 코팅된 부분이 훼손될 우려가 높고, 코팅된 웨이퍼(10)가 핸드링에 의하여 이물질에 오염될 문제점이 있었다. 또한, 웨이퍼(10)의 이.비.알부(11)를 측정할때 막대자(13)를 이용하여 이.비.알부(11)의 싸이즈를 측정하므로서 측정이 용이하지 못할뿐 아니라, 측정값이 정확하지 못한 문제점이 있었다.
따라서, 본 고안은 상기한 문제점을 해소하기 위하여 안출한 것으로, 웨이퍼의 가장자리 치수, 예로서 이.비.알부 싸이즈를 손쉽게 측정할 수 있도록 하고, 측정값의 정확도 및 신뢰도를 향상시킬 수 있으며, 이물질이나 긁힘등으로 부터 웨이퍼의 보호하여 위이퍼의 훼손을 방지하도록 한 웨이퍼가장자리치수 점검자를 제공하는 데 있다.
본 고안은 웨이퍼의 가장자리를 삽입하는 가이드홈부를 형성하되, 사익 가이드홈부의 내측단을 0 셋팅하여 구성함을 그 기술적 구성상의 기본특징으로 한다.
위와같이 구성된 본 고안의 실시예를 첨부한 도면을 참조하면서 상세히 설명하면 다음과 같다.
제3도와 제4도에 나타낸 바와같이, 점검자(20)는 상부에 눈금편(21)을 형성하고, 상기 눈금편(21)의 하부에 가이드편(22)을 평행으로 형성하여 상기 눈금편(21)과 가이드편(22) 사이에 가이드홈부(23)를 형성시킨다. 상기 눈금편(21)은 계단형태로 눈금부(24)을 형성한다. 상기 가이드홈부(23)의 내측단과 동일위치에 눈금편(21)의 눈금을 0 셋팅시킨다.
이러한 본 고안은 포토코팅 장치에서 포토레지스터 코팅후 이.비.알 된 웨이퍼(10)가 언로딩 카세트에 들어갔을때 이.비.알 점검자(20) 의 가이드홈부(23)에 코팅된 웨이퍼(10)를 삽입시키면 웨이퍼(10)의 가장자리가 가이드홈부(23)의 내측단에 위치하여 눈금편(21)의 0 셋팅위치에 위치하게 되므로서 정확하고 간편하게 이.비.알의 싸이즈를 측정할 수 있다. 또한 눈금편(21)에 계단형상으로 눈금부(24)가 형성되어 측정자가 눈금을 잘못 읽을 오류를 최대한 억제시킨다.
이상에서 살펴본 바와같이, 본 고안은 간단한 구조로 웨이퍼의 이.비.알 싸이즈를 손쉽고, 정확하게 측정할 수 있을뿐 아니라, 측정시 웨이퍼의 오염이나 훼손을 최대한 억제시킬 수 있는 것이다.

Claims (2)

  1. 치수를 나타내는 눈금편(21)과, 상기 눈금편(21)의 하부에 가이드편(22)을 평행으로 설치하여 상기 눈금편(21)과 가이드편(22) 사이에 가이드홈부(23)를 형성시켜서, 상기 가이드홈부(23)의 내측단과 동일위치에 눈금편(21)의 눈금을 0 셋팅시킨 것을 특징으로 하는 웨이퍼 가장자리 치수 점검자.
  2. 제1항에 있어서, 상기 눈금편은 계단형상으로 형성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 가장자리 치수 점검자.
KR2019950010753U 1995-05-19 1995-05-19 웨이퍼 가장자리 치수 점검자 KR0123866Y1 (ko)

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