KR0119767Y1 - 핸들러의 디바이스 로딩 잼 자동 제거장치 - Google Patents

핸들러의 디바이스 로딩 잼 자동 제거장치

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KR0119767Y1
KR0119767Y1 KR2019910023085U KR910023085U KR0119767Y1 KR 0119767 Y1 KR0119767 Y1 KR 0119767Y1 KR 2019910023085 U KR2019910023085 U KR 2019910023085U KR 910023085 U KR910023085 U KR 910023085U KR 0119767 Y1 KR0119767 Y1 KR 0119767Y1
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Abstract

본 고안은 반도체 패키지 검사공정에 사용되는 핸들러의 디바이스 로딩 잼 자동제거장치에 관한 것으로, 디바이스의 이동을 안내하는 프리히터와, 그 프리히터의 하부에 평행하게 배치된 프리히터 베이와, 상기 프리히터에 일직선상으로 배치된 오리엔터와 그 오리엔터로 공급되는 디바이스의 이동을 감지하는 감지센서로 구성된 것에 있어서, 상기 프리히터에 디바이스의 원활한 로딩 및 잼 제거를 위한 제1, 제2, 제3 에어노즐을 설치하고, 그 에어노즐을 컨트롤하는 제1, 제2, 제3 에어 솔레노이드를 구비하여 핸들러 내부에서 발생하는 디바이스 로딩 잼을 자동제거할 수 있도록 구성한 것이다.
이와같은 본 고안에 의하면 근본적으로 잼 발생의 빈도수를 줄일 수 있고, 장비 다운-타임을 줄일 수 있어 생산성 향상과 생산코스트를 절감킬 수 있는 효과가 있다.

Description

핸들러의 디바이스 로딩 잼(JAM)자동 제거장치
제1도 및 제2도는 종래의 일반적인 핸들러(Handler)의 디바이스 로딩 잼(Device Loading JAM) 제거장치의 구성 및 작용을 보인 구성도 및 제1도의 A부 상세도.
제3도 및 제4도는 종래 핸들러의 디바이스 로딩 잼 발생의 예를 보이는 도면으로서,
제3도는 파티클(particle)에 의한 잼 발생 불량을 보이는 도면.
제4도는 디바이스의 외관불량 혹은 기타에 의한 잼 발생 불량을 보이는 도면.
제5도는 본 고안에 의한 핸들러의 디바이스 로딩 잼 자동제거 장치의 구성 및 작용을 보이는 구성도.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1: 디바이스 2: 프리히터
4: 프리히터베이스 6: 오리엔터
11: 감지센서 21, 22, 23: 제1, 제2, 제3에어노즐
31, 32, 33: 제1, 제2, 제3 에어 솔레노이드
본 고안은 반도체 패키지 검사 공정에 사용되는 핸들러(Handler)의 디바이스 로딩 잼(Device loading JAM)자동 제거장치에 관한 것으로, 특히 디바이스의 이동을 안내하는 프리히터(preheater)에 3개 이상의 에어 노즐을 형성하고 그 에어노즐을 컨트롤하는 3개이상의 에어 솔레노이드(Air Solenoid)를 구비하여, 잼발생시 3방향에서 압축 공기를 불어 넣어 줌으로써 잼을 자동으로 제거할 수 있도록한 핸들러의 디바이스 로딩 잼 자동제거장치에 관한 것이다.
반도체 패키지 검사공정중 테스터장비내로 개개의 반도체 패키지를 이동시키는 역할을 하는 핸들러(Handler)는 일반적으로 경사면을 이용한 물체의 자유낙하식으로 반도체 패키지를 이동시켜 왔는바, 이와같은 반도체 패키지의 로딩시에는 자연적인 디바이스 로딩잼 발생이 빈번하게 일어나곤 하였다.
상기와 같은 잼 현상은 메카니즘이 분리된 부분에서 집중적으로 발생되어 왔는바, 이와같은 잼을 제거하기 위한 종래의 디바이스 로딩 잼 제거장치가 제1도 및 제2도에 도시되어 있다.
즉, 종래의 디바이스 로딩 잼 제거장치는 제1도 및 제2도에서 보는 바와 같이 디바이스(1)의 이동을 안내하는 프리히터(Preheater)(2)의 일측에는 소정의 경사각도(α)로 에어노즐(Air Nozzle)(3)이 설치되고, 상기 프리히터(2)의 하측에 평행하게 배치된 프리히터 베이스(Base)(4)의 일측에는 상기 에어노즐(3)를 컨트롤하는 에어 솔레노이드(Air Solenoid)(5)가 설치되며, 상기 프리히터(2)와, 그와 인접하게 일직선상으로 배치된 오리엔터(orienter)(6)의 사이에는 디바이스(1)의 이동을 감지하는 감지센서(7)가 설치되어 디바이스 로딩 중 잼이 발생하게 되면, 이를 감지센서(7)가 감지하여 에러 솔레노이드(5)를 구동시켜 그에 연결된 에어노즐(3)를 통해 압축공기를 2-3회 불어 넣어 줌으로써 잼을 제거하도록 구성되어 있다.
도면중 미설명 부호 8 및 8'는 스토퍼(stopper)를 보인 것이다.
통상, 핸들러는 경사면을 이용한 물체의 자유낙하식으로 디바이스를 이동시키므로 자연적인 디바이스 로딩 잼이 발생하게 되는바, 이러한 잼은 제3도에 도시한 바와같이 파티클(particle)에 의해 발생되거나, 또는 제4도에 도시한 바와같이 디바이스(1)의 외관불량으로 그의 아웃리드(1a)가 프리히터 레일(9)의 일측벽에 접촉되는 것에 의하여 발생되어 왔으며, 특히 메카니즘이 분리된 곳 예컨데 핸들러 내부의 프리히터(2)와 그와 인접하게 배치된 오리엔터(6)사이에서 집중적으로 발생되어 왔다.
도면중 미설명 부호 10은 디바이스 유무 판단센서를 보인 것이다.
상기와 같이 잼이 발생하게 되면, 디바이스의 로딩이 멈추게 되고 이를 감지센서(7)가 감지하여 에어솔레노이드(5)를 구동시켜 연결된 에어노즐(3)을 통해 압축공기를 2-3회 불어 넣어 줌으로써 잼을 제거하는 것이다.
그러나, 상기와 같은 작용을 하는 종래의 디바이스 로딩 잼 제거장치는 하나의 에어노즐(3)을 이용함으로 잼 제거가 용이하지않고 이에따라 시스템 자체가 자동적으로 멈추게 되어 작업자가 직접 잼이 발생된 부위의 디바이스를 제거한 후, 다시 스타트를 해야 동작이 가능하게 되어 있어 번거로울 뿐만아니라 생산 코스트(Cost) 측면에서 상당히 큰 손실을 초래했고 장비 가동율의 저하를 가져 왔으며, 작업자가 무리하게 제거하다보니 장비상의 손상을 가져와 장비의 급속한 노후로 인하여 잼 발생의 빈도수가 증가되어 왔고 이는 정상 디바이스도 잼이 발생되는 결과를 초래하게 되는 여러 문제점이 있었다.
본 고안은 상기한 바와같은 종래의 결함을 해소하기 위하여 안출한 것으로, 3개 이상의 에어노즐 및 이를 컨트롤하는 3개 이상의 에어 솔레노이드를 구비하여 잼이 발생되었을 경우 3방향에서 압축공기를 불어 넣어 줌으로써 잼을 자동으로 제거할 수 있도록 한 핸들러의 디바이스 로딩 잼 자동제거장치를 제공하는데 목적을 두고 있다.
이하에서는 이러한 본 고안을 첨부한 도면에 의거하여 보다 상세히 설명하겠다.
제5도는 본 고안에 의한 핸들러의 디바이스 로딩 잼 자동제거장치의 구성 및 작용을 보이는 도면으로서 이에 도시한 바와같이 본 고안에 의한 핸들러의 디바이스 로딩 잼 자동제거장치는 디바이스(1)의 이동을 안내하는 프리히터(2)와, 그 하측에 평행하게 배치된 프리히터 베이스(4)와, 상기 프리히터(2)와 인접하게 일직선상에 배치된 오리엔터(6)와 그 오리엔터(6) 공급되는 디바이스(1)의 이동으로 감지하는 감지센서(7)로 구성된 것에 있어서, 상기 프리히터(2)에 제1, 제2, 제3, 에어노즐(21)(22)(23)을 설치하고 그 에어노즐(21)(22)(23)을 컨트롤하는 제1, 제2, 제3 에어솔레노이드(31)(32)(33)를 상기 프리히터 베이스(4)에 설치하여 잼발생시 3방향에서 압축공기를 불어 넣어 줌으로써 잼을 자동으로 제거할 수 있도록 구성한 것으로, 도면에서 종래 구성과 동일한 부분에 대해서는 동일 부호를 부여하였으며, 미설명 부호 41 및 42는 프리히터 커버 및 오리엔터 커버를 보인 것이다.
상기 제2에어노즐(22)은 1개 이상으로 설치함이 바람직하다.
이와같이 구성된 본 고안에 의한 핸들러의 디바이스 로딩 잼 자동제거장치는 감지센서(7)에 의해 잼이 감지되면, 각 에어 솔레노이드(31)(32)(33)는 시퀸스(Sequence)에 의해 그에 연결된 각각의 에어노즐(21)(22)(23)을 컨트롤하여 압축공기를 불어 넣어 잼을 제거하게 되어 있는 바, 이를 좀더 상세히 설명한면 다음과 같다.
즉, 디바이스(1)로딩시 잼이 발생하였을 경우 감지센서(7)에 의해 디바이스(1)가 프리히터(2)에서 오리엔터(6)로 로딩되지 않은 것을 감지하고, 또한 디바이스 유무 판단센서(10: 제4도에 도시함)에 의해 프리히터(2) 내부에 디바이스(1)가 있는 것을 감지하면, 이 결과를 CPU(도시되지 않음)가 받고 판단하여 잼 제거장치를 동작시키게 되는 바, 먼저 제2솔레노이드(32)를 컨트롤하여 그 솔레노이드(32)와 연결된 제2에어노즐(22)를 압축공기를 2-3회 불어 넣는데 순차적으로 불어 넣을 수도 있고, 동시에 불어 넣을 수도 있다.
이와같은 동작이 끝날 무렵 제1솔레노이드(31)를 컨트롤하여 그와 연결된 제1에어노즐(21)를 통하여 압축공기를 2-3회 재차 불어 넣고, 상기의 동작이 완료되면, 제3솔레노이드(33)를 컨트롤하여 그에 연결된 제3에어노즐(23)로 압축공기를 또 다시 불어 넣는다.
이와같은 동작으로 인해 디바이스(1)는 프리히터(2)에서 오리엔터(6)로 이동되는 것이다.
상기의 동작은 잼발생시의 동작이며 평상시에는 디바이스(1)가 프리히터(2)에서 오리엔터(6)로 이동되는 것을 돕기 위해 제2, 제3 솔레노이드(32)(33)만이 동작하여 로딩을 자유낙하 방식에 강제 로딩을 추가함으로써 근본적으로 잼 발생을 방지하게 되는 것인 바, 이의 동작순서는 상기 시퀸시의 제2, 제3 솔레노이드(32)(33)를 콘트롤하여 압축공기를 불어 넣는 동작과 동일하다.
이상에서 상세히 설명한 바와같이 본 고안에 의하면, 제2, 제3솔레노이드가 평상시에도 작용을 하므로 디바이스의 로딩이 원활하여 근본적으로 잼 발생의 빈도수를 줄일 수 있으며, 잼이 발생하여도 시스템 자체에서 자동적으로 압축공기를 불어 넣어 제거하므로 인력의 손실을 줄일 수 있다.
또한, 시스템의 가동정지시간을 줄일 수 있으므로 장비의 효율을 극대화시킬 수 있고 이에따라 생상성향상 및 생산코스트 절감에 기여하는 효과가 있다.
이와같은 구성된 본 고안에 의한 디바이스 로딩 잼 자동제거장치는 반도체 패키지 검사공정에 사용되는 모든 핸들러에 유리하게 적용할 수 잇다.

Claims (2)

  1. 디바이스(1)의 이동을 안내하는 프리히터(2)오, 그 프리히터(2)의 하부에 평행하게 배치된 프리히터 베이스(4)와, 상기 프리히터(2)에 인접하게 일직선상으로 배치된 오리엔터(6)와 그 오리엔터(6)로 공급되는 디바이스(1)의 이동을 감지하는 감지센서(7)로 구성된 것에 있어서, 상기 프리히터(2)에 디바이스(1)의 원활한 로딩 및 잼 제거를 위한 제1, 제2, 제3 에어노즐(21)(22)(23)을 설치하고, 그 에어노즐(21)(22)(23)을 컨트롤하는 제1, 제2, 제3 에어 솔레노이드(31)(32)(33)를 구비하여서된 것임을 특징으로 하는 핸들러의 디바이스 로딩 잼 자동제거장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제2 에어노즐(22)은 적어도 1개 이상인 것임을 특징으로 하는 핸들러의 디바이스 로딩 잼 자동제거장치.
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