KR0113623Y1 - Heater bath for chemical solution - Google Patents
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Abstract
본 고안은 가열장치를 외부로 부터 차단하기 위한 접착제 부위에 순수를 공급하는 장치를 부가하여 접착제에 화학용액 증기가 흡착되는 것을 미연에 방지하는 화학용액 가열조에 관한 것으로, 장비의 수명 연장 및 가동율을 증가시키는 효과가 있다The present invention relates to a chemical solution heating tank which prevents the adsorption of chemical solution vapor to the adhesive by adding a device for supplying pure water to the adhesive site to block the heating device from the outside. It is effective to increase
Description
제 1 도는 종래 기술에 따른 화학용액 가열조 얼부 단면도1 is a cross-sectional view of the chemical solution heating tank according to the prior art
제 2A 도는 본 고안의 일시예에 따른 화학용액 가열조의 사시도2A is a perspective view of a chemical solution heating bath according to one embodiment of the present invention
제 2B 도는 본 고안의 일실시예에 따른 화학용액 가열조의 단면도2B is a sectional view of a chemical solution heating bath according to an embodiment of the present invention
제 3 도는 본 고안의 다른 실시예에 따른 화학용액 가열조의 단면도3 is a cross-sectional view of a chemical solution heating bath according to another embodiment of the present invention
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for the main parts of the drawings
1 : 용기, 2 : 가열장치1: container, 2: heating device
3 : 하우징, 4 : 플랜지3: housing, 4: flange
5 : 접착제, 10 : 순수 관5: adhesive, 10: pure tube
15 : 구멍, 20 : 지지대15: hole, 20: support
30 : 칸막이30: partition
본 고안은 반도체 제조 공정중 식각 및 세정 공정에 사용되는 화학용액 가열조(heater bath)에 관한 것이다.The present invention relates to a chemical solution heater bath used for etching and cleaning processes in a semiconductor manufacturing process.
반도체 제조 공정에서는 화학용액을 이용하여 세정 또는 식각 공정이 필연적으로 필요하며, 따라서 화학용액을 고온으로 가열하는 가열조(heater bath)가 사용되고 있다.In the semiconductor manufacturing process, a cleaning or etching process is inevitably required using a chemical solution, and thus a heater bath for heating the chemical solution to a high temperature is used.
제 1 도는 종래의 가열조 일부 단면도로서, 도면에서 1은 화학용액을 담는 석영 재질의 용기, 2는 용기 외벽에 형성되어 화학용액을 가열하는 가열장치, 3은 가열조 하우징, 4는 상기 하우징과 용기를 결합하는 플랜지, 5는 상기 플랜지와 용기 사이를 접착하여 가열장치를 외부로부터 차단하기 위한 실리콘 접착제를 각각 나타낸 것이다.1 is a partial cross-sectional view of a conventional heating bath, in which 1 is a quartz container containing a chemical solution, 2 is a heating device formed on the outer wall of the container to heat a chemical solution, 3 is a heating bath housing, 4 is a housing and Flange for joining the container, 5 represents a silicone adhesive for bonding between the flange and the container to block the heating device from the outside, respectively.
그러나, 상기와 같은 종래의 가열조는 고온의 화학용액 증기에 의하여 실리콘 접착제가 녹아 없어짐으로써 가열장치까지 화학용액 증기가 흡입되어 쉽게 쇼트(short) 현상을 일으키게 된다. 따라서 가열조를 사용하지 못하고 고단가의 가열조를 교체해야만 하는 현상으로 인해 원가 절감 측면이나 장비 가동율에도 지대한 악영향을 미치는 문제점이 있었다.However, in the conventional heating bath as described above, since the silicone adhesive is melted away by the high temperature chemical solution vapor, the chemical solution vapor is sucked up to the heating device to easily cause a short phenomenon. Therefore, due to the phenomenon that the heating tank must be replaced without using the heating tank, there was a problem that the cost reduction aspect or equipment operation rate had a great adverse effect.
상기 문제점을 해결하기 위하여 안출된 본 고안은 가열장치를 외부로 부터 차단하기 위한 접착제 부위에 순수(deionized water)를 공급하는 장치를 부가하여 접착제에 화학용액 증기가 흡착되는 것을 미연에 방지하는 화학용액 가열조를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention devised to solve the above problems is to add a device for supplying deionized water to the adhesive site for blocking the heating device from the outside to prevent the chemical solution vapor adsorbed on the adhesive in advance. The purpose is to provide a heating bath.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 고안은 화학용액을 수용하며 상부가 외측으로 ㄱ 형상으로 두번 직각 절곡된 용기 : 상기 용기 외벽에 형성되어 열을 가하는 가열장치 : 상기 가열장치 및 용기를 감싸는 하우징 : 일측은 상기 하우징의 내벽 및 용기의 절곡된 내부를 결합하며 타측은 외부로 돌출되는 플랜지 : 상기 용기의 절곡된 내부와 플랜지 일측이 접촉하는 부위에 형성되는 접착제를 구비하는 화학용액 가열조에 있어서 : 상기 외부로 돌출된 플랜지 상면에 길이 방향으로 형성되며, ㄱ 형상으로 절곡된 용기 부위로 순수를 분사하도록 다수의 구멍이 형성되어 있는 순수 관 : 상기 순수 관을 플랜지 상면에 길이 방향으로 고정하는 다수의 지지수단을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the present invention accommodates a chemical solution and the container is bent at right angles twice in an A shape to the outside: a heating device formed on the outer wall of the container and applying heat: a housing surrounding the heating device and the container: one side is The inner wall of the housing and the bent inside of the container is coupled to the other side is protruded to the outside: the chemical solution heating bath having an adhesive formed on the contact portion of the bent inner side and the flange of the container: in the outside Pure water pipe is formed in the upper surface of the protruding flange in the longitudinal direction, the plurality of holes are formed to spray the pure water to the container portion bent in a shape: a plurality of support means for fixing the pure water pipe in the longitudinal direction on the flange Characterized in that it comprises a.
또한, 본 고안은 화학용액을 수용하며 상부가 외측으로 형상으로 두번 직각 절곡된 용기 : 상기 용기 외벽에 형성되어 열을 가는 가열장치 : 상기 가열장치 및 용기를 감싸는 하우징 : 일측은 상기 하우징의 내벽 및 용기의 절곡된 내부를 결합하며 타측은 외부로 돌출되는 플랜지 : 상기 용기의 절곡된 내부와 플랜지 일측이 접촉하는 부위에 형성되는 접착제를 구비하는 화학용액 가열조에 있어서, 상기 ㄱ 형상으로 절곡된 용기 사이에 순수를 수용하도록 외부로 돌출된 플랜지 상면에 수직으로 길이 방향으로 형성되는 칸막이 : 상기 칸막이 및 절곡된 용기 사이에 순수를 공급하는 순수공급장치를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.In addition, the present invention accommodates a chemical solution and the container is bent at a right angle twice in the shape of the outside: a heating device formed on the outer wall of the container to heat: a housing surrounding the heating device and the container: one side is the inner wall of the housing and A flange that is coupled to the inside of the container and the other side protrudes outward: A chemical solution heating bath having an adhesive formed on a portion in which the bent inside of the container and the one side of the flange in contact, between the container bent in a shape Partition formed in the longitudinal direction perpendicular to the upper surface of the flange projecting outward to receive the pure water: characterized in that it comprises a pure water supply device for supplying pure water between the partition and the bent container.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 고안을 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
먼저, 제2A도 및 제2B도는 본 고안의 일 실시예에 따른 화학용액 가열조의 사시도 및 단면도로서, 제1도와 같은 종래의 가열조의 외부로 돌출된 플랜지(4) 상면에 길이 방향으로 순수관(10)을 지지대(20)를 통해 형성한 것이다.First, FIGS. 2A and 2B are a perspective view and a cross-sectional view of a chemical solution heating bath according to an embodiment of the present invention, and the pure water pipe in the longitudinal direction on the upper surface of the flange 4 protruding to the outside of the conventional heating bath as shown in FIG. 10) is formed through the support (20).
그리고, 상기 순수관(10)에는 ㄱ 형상으로 절곡된 용기(1) 부위로 순수를 분사하도록 지름은 0. 75mm이고 각각 1인치(inch) 간격을 갖는 다수의 구멍(15)이 형성되어 있어, 이 구멍(15)을 통해 공급된 순수가 용기(1)의 절곡된 내부와 플렌지(4) 일측을 접착하는 실리콘 접착제(5)를 화학용액 증기로부터 보호하게 된다.In addition, the pure water pipe 10 is formed with a plurality of holes 15 having a diameter of 0.75 mm and having an interval of 1 inch, so as to spray pure water into the portion of the container 1 bent in a shape, The pure water supplied through this hole 15 protects the silicone adhesive 5, which bonds the bent interior of the container 1 with one side of the flange 4, from chemical solution vapor.
제 3 도는 본 고안의 다른 실시예에 따른 화학용액 가열조의 단면도로서, 제 1 도와 같은 종래의 가열조의 외부로 돌출된 플랜지(4) 상면에 수직 및 길이 방향으로 칸막이(30)를 형성함으로써 절곡된 용기(1) 사이에 항상 일정량의 순수를 수용하도록 하여 실리콘 접착제(5)를 화학용액 증기로부터 보호하는 것이다.3 is a cross-sectional view of a chemical solution heating bath according to another embodiment of the present invention, which is bent by forming a partition 30 in the vertical and longitudinal directions on the upper surface of the flange 4 protruding out of the conventional heating bath such as the first drawing. It is to protect the silicone adhesive 5 from chemical solution vapor by always receiving a certain amount of pure water between the containers 1.
칸막이(30)의 높이가 ㄱ 형상으로 절곡된 용기(1)의 끝 부위보다 높도록 하여 순수의 수면이 절곡된 용기(1)의 끝 부위보다 높기 때문에 용기(1)의 절곡된 부위와 플랜지(4) 틈새를 통해 화학용액 증기가 침투하는 것을 막을 수 있으며, 별도의 순수공급장치(도면에는 도시하지 않음)에서 계속적으로 순수를 공급함으로써 칸막이(30) 상부로 순수가 오버(over) 플로우(flow) 되도록 하여 순수의 온도 상승을 방지할 수 있다.Since the height of the partition 30 is higher than the end portion of the container 1 bent in a shape, the surface of the pure water is higher than the end portion of the bent container 1 so that the bent portion and the flange ( 4) It can prevent the chemical solution vapor from penetrating through the gap, and the pure water flows over the partition 30 by continuously supplying pure water from a separate pure water supply device (not shown). The temperature rise of pure water can be prevented.
상기 설명과 같은 본 고안은 고온의 화학용액 증기에 의하여 실리콘 접착제가 녹아 없어짐으로써 가열장치까지 화학용액 증기가 흡입되어 쉽게 쇼트(short) 현상을 방지하여 장비의 수명 연장 및 가동율을 증가시키는 효과가 있다.The present invention as described above has the effect of increasing the service life of the equipment and increase the operation rate by preventing the short-circuit phenomenon by easily absorbing the chemical solution vapor to the heating device by dissolving the silicone adhesive by the high temperature chemical solution vapor. .
Claims (3)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019940012332U KR0113623Y1 (en) | 1994-05-30 | 1994-05-30 | Heater bath for chemical solution |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019940012332U KR0113623Y1 (en) | 1994-05-30 | 1994-05-30 | Heater bath for chemical solution |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR950034043U KR950034043U (en) | 1995-12-18 |
| KR0113623Y1 true KR0113623Y1 (en) | 1998-04-11 |
Family
ID=19384476
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR2019940012332U KR0113623Y1 (en) | 1994-05-30 | 1994-05-30 | Heater bath for chemical solution |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR0113623Y1 (en) |
-
1994
- 1994-05-30 KR KR2019940012332U patent/KR0113623Y1/en not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR950034043U (en) | 1995-12-18 |
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