KR0113530Y1 - 웨이퍼 홀더 - Google Patents

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KR0113530Y1
KR0113530Y1 KR2019940005794U KR19940005794U KR0113530Y1 KR 0113530 Y1 KR0113530 Y1 KR 0113530Y1 KR 2019940005794 U KR2019940005794 U KR 2019940005794U KR 19940005794 U KR19940005794 U KR 19940005794U KR 0113530 Y1 KR0113530 Y1 KR 0113530Y1
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이대성
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김주용
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Abstract

본 고안은 반도체 제조장비중 스퍼터링 공정의 수행에 따른 웨이퍼가 장착된 홀더의 운반 및 이동시 그에 접촉되는 웨이퍼면에 생기는 긁힘을 방지하는 웨이퍼 홀더에 관한 것으로, 그 중앙부가 중공된 소정형상의 판으로 형성되며, 주연부에 소정간격마다 다수의 조립홀(1a)이 형성된 홀더몸체(1); 상기 홀더몸체(1)의 주연부에서 중공부측으로 위치되도록 ㄷ자 형상으로 형성된 핑거(2); 상기 핑거(2)의 일측면이 상기 홀더몸체(1)의 조립홀(1a)에 고정되도록 체결하는 체결수단(4); 및 상기 핑거(2)가 타측면에 장착되며, 웨이퍼의 모서리 측전체가 지지되도록 하는 지지수단(3)을 구비하여 간단한 구성으로 운반이나 이동시의 충격에 의해 발생되는 긁힘을 방지하므로써 반도체의 생산수율을 향상시키는 효과가 있다.

Description

웨이퍼 홀더
제1도는 종래에 의한 웨이퍼가 지지되는 핑거의 구성도.
제2도는 종래에 의한 웨이퍼 홀더의 구성도.
제3도는 본 고안에 의한 웨이퍼홀더에 구비된 링클램프의 구성도.
제4도는 본 고안에 의한 웨이퍼 홀더의 일실시예 구성도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 홀더몸체 1a : 조립홀
2 : 핑거 3 : 링클램프
4 : 나사
본 고안은 반도체 제조장비중 스퍼터링 공정의 수행시, 웨이퍼를 고정시키는 웨이퍼 홀더에 관한 것으로, 특히 웨이퍼가 장착된 홀더의 운반 및 이동시 그에 접촉되는 웨이퍼면에 생기는 긁힘을 방지하는 웨이퍼 홀더에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 제조장비에서 스퍼터링 공정을 수행하기 위한 웨이퍼를 지지하는 웨이퍼홀더는 회로뿐만 아니라 부품 등에도 전혀 지장이 없어야 하는데, 종래의 웨이퍼 홀더는 제1도 및 제2도에 도시된 바와 같이, 중공된 원형형상의 판으로 형성된 홀더몸체(21)에는 ㄷ자로 형성된 다수의 핑거(22)가 장착되는데, 상기핑거(22)는 그의 일측면이 나사(23)에 의해 체결되어 있으며, 타측단부는 웨이퍼를 지지하도록 굴곡된 지지면(22a)으로 형성되어 있다.
따라서, 상기 핑거(22)의 지지면(22a)에 웨이퍼의 주연부가 얹혀져 외부의 힘에 의해 지지, 고정되어 이동되고, 상기 상태에서 알루미늄, 티타늄 등의 금속막 증착 공정을 진행하게 된다.
여기서, 핑거타입의 웨이퍼 홀더는 운반시나 이동시 움직임이나 충격에 의하여 상기 핑거의 장력이 달라지므로써 그의 지지면 모서리에 접촉되는 상기 웨이퍼의 회로생성부분에 일정한 모양의 긁힘이 발생하게 되며, 상기 긁힘은 금속 불순물로 발생되어 생산수율을 저하시키는 문제점을 내포하고 있었다.
따라서, 본 고안은 상기의 제반문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로써, 반도체 제조공정 중에서 웨이퍼를 지지하기 위한 웨이퍼 홀더에 있어서, 다수의 핑거에 웨이퍼가 안전하게 얹혀져 지지될 수 있는 링플램프를 구비하여 웨이퍼의 모서리부분 전체가 상기 링클램프를 구비하여 웨이퍼의 모서리부분 전체가 상기 링클램프 수단에 의해 지지되도록 함으로써 웨이퍼의 접촉면에 발생되는 긁힘을 방지하는 웨이퍼 홀더를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 고안은, 반도체 제조공정 중, 스퍼터링 공정장비에 포함되어 웨이퍼를 지지, 고정하는 웨이퍼 홀더에 있어서, 반도체 웨이퍼의 직경보다 소정만큼 큰 중앙 개구부를 가지며 소정의 너비를 갖는 원환체로서, 주연부에 일정간격으로 형성된 다수의 조립홀을 갖는 홀더몸체; 소정 폭의 판상부재를 굴곡시켜 형성된 'ㄷ'상의 부재로서, 상기 홀더몸체의 주연부 상에서 방사상 방향으로 위치되는 다수의 핑거; 각각의 핑거의 일측면을 상기 홀더몸체의 조립홀에 각가 체결하여 고정하는 체결수단; 및 각각의 핑거의 일단면에 일체로 고착되어, 상기 홀더몸체의 중앙개구부 내에 위치되는 웨이퍼의 가장자리를 다수의 지점에서 지지하는 지지수단을 포함하여 이루어진 웨이퍼 홀더를 제공한다.
이하, 첨부된 제3도 및 제4도의 도면을 참조하여 본 고안의 실시예를 상세히 설명한다.
제3도는 본 고안에 의한 웨이퍼 홀더에 구비된 링클램프의 구성도이고, 제4도는 본 고안에 의한 웨이퍼 홀더의 일실시예를 상세히 설명한다.
제3도는 본 고안에 의한 웨이퍼 홀더에 구비된 링클램프의 구성도이고, 제4도는 본 고안에 의한 웨이퍼 홀더의 일실시예 구성도를 각각 나타낸다.
도면에서 1은 홀더몸체, 1a는 조립홀, 2는 핑거, 3은 링클램프, 4는 나사를 각각 나타낸 것이다.
본 고안에 의한 웨이퍼 홀더는 스퍼터링 공정장비에 포함되어 웨이퍼를 지지, 고정하는 장치로 그 구성을 살펴보면, 도면에 도시한 바와 같이, 웨이퍼의 면적보다 다소 큰 소정면적의 중앙부가 개방된 원환체로 형성된 홀더몸체(1)는 그의 상면 주연부에 일정한 간격으로 조립홀(1a)이 형성된다.
그리고, 상기 홀더몸체(1)의 장착되는 핑거(20)는 소정 폭의 판상부재가 'ㄷ'자 형상으로 굴곡되어 형성되며. 상기 홀더몸체(1)의 상면 주연부에서 중앙개구부를 향해 방사상으로 위치되는데, 상기 핑거(2)의 일측면은 나사(4)등의 체결수단에 의해 홀더몸체(1)의 조립홀(1a)에 체결 고정되며, 중앙 개구부 측의 일단면에는 원형형상의 링클램프(3)가 용접에 의해 일체로 고착되며, 상기 링클램프(3)의 상면에 웨이퍼의 주연부 끝면 전체가 지지되도록 놓여진다.
따라서, 상기 링클램프(3)의 상면에 웨이퍼의 회로생성부분이 제외된 모서리 끝면이 지지되므로써 스퍼터링 공정의 수행에 따른 운반이나 이동시 그에 따른 충격에 의한 핑거(2)의 장력이 일정하게 웨이퍼의 끝면에 분포되도록 한 것이다.
상기와 같이 구성되는 본 고안은 간단한 구성으로 운반이나 이동시의 충격에 의해 발생되는 긁힘을 방지하므로써 반도체의 생산 수율을 향상시키는 효과가 있다.

Claims (1)

  1. 반도체 제조공정 중, 스퍼터링 공정장비에 포함되어 웨이퍼를 지지, 고정하는 웨이퍼 홀더에 있어서, 반도체 웨이퍼의 직경보다 소정만큼 큰 중앙 개구부를 가지며 소정의 너비를 갖는 원환체로서, 주연부에 일정간격으로 형성된 다수의 조립홀(1a)을 갖는 홀더몸체(1); 소정 폭의 판상부재를 굴곡시켜 형성된 'ㄷ'형상의 부재로서, 상기 홀더몸체(1)의 주연부 상에서 방사상 방향으로 위치되는 다수의 핑거(2); 각각의 핑거(2)의 일측면을 상기 홀더몸체(1)의 조립홀(1a)에 각각 체결하여 고정하는 체결수단(4); 및 각각의 핑거(2)의 일단면에 일체로 고착되어, 상기 홀더몸체(1)의 중앙개구부 내에 위치되는 웨이퍼의 가장자리를 다수의 지점에서 지지하는 지지수단(3)을 포함하여 이루어진 웨이퍼 홀더.
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